JP2016200512A - ジャイロセンサの角速度の取得方法及び取得装置 - Google Patents
ジャイロセンサの角速度の取得方法及び取得装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016200512A JP2016200512A JP2015081227A JP2015081227A JP2016200512A JP 2016200512 A JP2016200512 A JP 2016200512A JP 2015081227 A JP2015081227 A JP 2015081227A JP 2015081227 A JP2015081227 A JP 2015081227A JP 2016200512 A JP2016200512 A JP 2016200512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable body
- vibration
- angular velocity
- gyro sensor
- physical quantity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
- G01C19/5621—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks the devices involving a micromechanical structure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5726—Signal processing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/5755—Structural details or topology the devices having a single sensing mass
- G01C19/5762—Structural details or topology the devices having a single sensing mass the sensing mass being connected to a driving mass, e.g. driving frames
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Description
Q=Vp(C0+C1)=Vp(C0+C2)
の電荷Qが充電される。キャパシタへの充電が終了した後、スイッチ71a及び71bをオフ状態に設定する。
Q=Vp1(C0+C1’)=Vp2(C0+C2’)
という関係が成立する。電圧Vp1と電圧Vp2との差動電圧を差動電圧検出回路75で検出し、その差動電圧に基づいて角速度を求めることができる。
第1の方向に振動している可動体に働くコリオリ力に基づく第2の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出することと、
前記検出された所定物理量に基づいて前記可動体の角速度を算出することと、
を備え、
前記所定物理量は、前記コリオリ力に基づく第2の方向の振動が非定常状態であるときに検出される
ことを特徴とするジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記所定物理量は、固定電極部と前記可動体に含まれる可動電極部との間のキャパシタンスに基づく物理量である
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記所定物理量を検出した後に前記可動体の第1の方向の振動を停止させることを、さらに備える
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の振動は、前記コリオリ力に基づく第2の方向の振動が定常状態に達する前に停止させられる
ことを特徴とする付記3に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の振動は、前記可動体を捕捉することで停止させられる
ことを特徴とする付記3に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の振動は、前記第1の方向の振動の振幅がピークに達したときに前記可動体を捕捉することで停止させられる
ことを特徴とする付記3に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の振動は、ストッパーによって前記可動体を捕捉することで停止させられる
ことを特徴とする付記3に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体が第1の方向の振動を開始した後に、前記可動体には第1の方向の強制振動は与えられない
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体に一定期間の第1の方向の強制振動を与えた後に、前記可動体への強制振動を停止させる
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の共振周波数と前記可動体の第2の方向の共振周波数とは異なる
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記角速度は、前記可動体の第2の方向の振動の振幅がピークであるときに検出された前記所定物理量に基づいて算出される
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記角速度は、前記可動体が第1の方向の振動を開始した後の特定のタイミングで検出された前記所定物理量に基づいて算出される
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の振動は、前記可動体を第1の方向に強制的に変位させた状態から開始される
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第2の方向の振動は、前記非定常状態において過渡的なうなりを有する
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の振動の継続期間は、前記ジャイロセンサの出力データレートの逆数に対応する周期よりも短い
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の共振周波数と前記可動体の第2の方向の共振周波数との差は、1kHz以上である
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の共振周波数をfy とし、前記可動体の第2の方向の共振周波数をfx として、(fx +fy )/2は5kHz以上である
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第2の方向の振動の減衰係数をbx とし、前記可動体の第2の方向のマスをmx とし、γx =bx /mx として、γx は100Hz以下である
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第2の方向の振動のQ値は345以上である
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
第1の方向に振動している可動体に働くコリオリ力に基づく第2の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出する検出部と、
前記検出部で検出された所定物理量に基づいて前記可動体の角速度を算出する角速度算出部と、
を備え、
前記所定物理量は、前記コリオリ力に基づく第2の方向の振動が非定常状態であるときに検出される
ことを特徴とするジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記所定物理量は、固定電極部と前記可動体に含まれる可動電極部との間のキャパシタンスに基づく物理量である
ことを特徴とする付記20に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記所定物理量を検出した後に前記可動体の第1の方向の振動を停止させる振動停止部を、さらに備える
ことを特徴とする付記20に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記振動停止部は、前記コリオリ力に基づく第2の方向の振動が定常状態に達する前に前記可動体の第1の方向の振動を停止させる
ことを特徴とする付記22に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記振動停止部は、前記可動体を捕捉することで前記可動体の第1の方向の振動を停止させる
ことを特徴とする付記22に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記可動体の第1の方向の共振周波数と前記可動体の第2の方向の共振周波数とは異なる
ことを特徴とする付記20に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記角速度算出部は、前記可動体の第2の方向の振動の振幅がピークであるときに検出された前記所定物理量に基づいて角速度を算出する
ことを特徴とする付記20に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記角速度算出部は、前記可動体が第1の方向の振動を開始した後の特定のタイミングで検出された前記所定物理量に基づいて角速度を算出する
ことを特徴とする付記20に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
11xm…可動電極部 11y…y方向可動部
12…アンカー部 13、14…バネ部 15…固定電極部
16…突起部 17…ストッパー 18…駆動電極
31…駆動電圧供給回路 32…検出部 33…角速度算出部
50…ジャイロセンサ 51…可動体 51m…可動電極部
52…アンカー部 53…バネ部 54…固定電極部
55…櫛歯部 56…駆動電極
71a、71b…スイッチ 72a、72b…キャパシタ
73a、73b…可変キャパシタ 74a、74b…トランジスタ
75…差動電圧検出回路
110…下地領域 111…半導体基板 112…絶縁領域
113…トランジスタ 114…配線
120…ジャイロセンサ 121…可動体
122…固定電極部 123…バネ部
130…キャップ膜
141…可動体 142…バネ部
143…上部電極 144…下部電極
Claims (9)
- 第1の方向に振動している可動体に働くコリオリ力に基づく第2の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出することと、
前記検出された所定物理量に基づいて前記可動体の角速度を算出することと、
を備え、
前記所定物理量は、前記コリオリ力に基づく第2の方向の振動が非定常状態であるときに検出される
ことを特徴とするジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記所定物理量は、固定電極部と前記可動体に含まれる可動電極部との間のキャパシタンスに基づく物理量である
ことを特徴とする請求項1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記所定物理量を検出した後に前記可動体の第1の方向の振動を停止させることを、さらに備える
ことを特徴とする請求項1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記可動体の第1の方向の振動は、前記可動体を捕捉することで停止させられる
ことを特徴とする請求項3に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記可動体の第1の方向の共振周波数と前記可動体の第2の方向の共振周波数とは異なる
ことを特徴とする請求項1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記可動体の第1の方向の振動は、前記可動体を第1の方向に強制的に変位させた状態から開始される
ことを特徴とする請求項1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記可動体の第2の方向の振動は、前記非定常状態において過渡的なうなりを有する
ことを特徴とする請求項1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記可動体の第1の方向の振動の継続期間は、前記ジャイロセンサの出力データレートの逆数に対応する周期よりも短い
ことを特徴とする請求項1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 第1の方向に振動している可動体に働くコリオリ力に基づく第2の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出する検出部と、
前記検出部で検出された所定物理量に基づいて前記可動体の角速度を算出する角速度算出部と、
を備え、
前記所定物理量は、前記コリオリ力に基づく第2の方向の振動が非定常状態であるときに検出される
ことを特徴とするジャイロセンサの角速度の取得装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015081227A JP6448448B2 (ja) | 2015-04-10 | 2015-04-10 | ジャイロセンサの角速度の取得方法及び取得装置 |
US14/848,344 US10107626B2 (en) | 2015-04-10 | 2015-09-09 | Method for acquiring angular velocity of gyro sensor and device for doing the same |
TW105104481A TWI645161B (zh) | 2015-04-10 | 2016-02-16 | 陀螺儀感測器之角速度之取得方法及取得裝置 |
CN201610103834.4A CN106052665B (zh) | 2015-04-10 | 2016-02-25 | 陀螺仪传感器的角速度的取得方法及取得装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015081227A JP6448448B2 (ja) | 2015-04-10 | 2015-04-10 | ジャイロセンサの角速度の取得方法及び取得装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016200512A true JP2016200512A (ja) | 2016-12-01 |
JP6448448B2 JP6448448B2 (ja) | 2019-01-09 |
Family
ID=57112614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015081227A Active JP6448448B2 (ja) | 2015-04-10 | 2015-04-10 | ジャイロセンサの角速度の取得方法及び取得装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10107626B2 (ja) |
JP (1) | JP6448448B2 (ja) |
CN (1) | CN106052665B (ja) |
TW (1) | TWI645161B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019120576A (ja) * | 2018-01-04 | 2019-07-22 | 株式会社東芝 | 振動装置及び振動装置の制御方法 |
US10541671B2 (en) | 2016-12-08 | 2020-01-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Vibration device |
US10760910B2 (en) | 2017-09-14 | 2020-09-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Sensor device employing MEMS |
US10767992B2 (en) | 2017-03-24 | 2020-09-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Gyro sensor system |
US11193769B2 (en) | 2019-05-15 | 2021-12-07 | KABUSHIKl KAISHA TOSHIBA | Sensor |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6400621B2 (ja) | 2016-03-16 | 2018-10-03 | 株式会社東芝 | 角速度取得装置及び角速度取得用の電子部品 |
JP6370832B2 (ja) * | 2016-05-06 | 2018-08-08 | 矢崎総業株式会社 | 電圧センサ |
JP6562878B2 (ja) * | 2016-06-30 | 2019-08-21 | 株式会社東芝 | 角速度取得装置 |
JP6571065B2 (ja) * | 2016-12-08 | 2019-09-04 | 株式会社東芝 | 振動装置 |
CN108007434B (zh) * | 2017-11-27 | 2019-08-06 | 安徽江淮汽车集团股份有限公司 | 陀螺仪总成 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000081335A (ja) * | 1998-09-07 | 2000-03-21 | Denso Corp | ヨーレートセンサ |
JP2003028644A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Denso Corp | 角速度センサ装置 |
JP2005308657A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 角速度センサ |
US20090145230A1 (en) * | 2007-12-05 | 2009-06-11 | Tokyo Electron Limited | Displacement Measurement apparatus for microstructure and displcement measurement method thereof |
JP2009150815A (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | Toyota Central R&D Labs Inc | 角速度センサ |
US20130312520A1 (en) * | 2010-12-08 | 2013-11-28 | Rex Kho | Sensor system composed of rotation-rate sensor and a sensor controlling it |
JP2014238317A (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-18 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 角速度センサ |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6928872B2 (en) | 2001-04-27 | 2005-08-16 | Stmicroelectronics S.R.L. | Integrated gyroscope of semiconductor material with at least one sensitive axis in the sensor plane |
US6865944B2 (en) * | 2002-12-16 | 2005-03-15 | Honeywell International Inc. | Methods and systems for decelerating proof mass movements within MEMS structures |
JP2004301662A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Tdk Corp | ジャイロセンサ |
JP4887034B2 (ja) | 2005-12-05 | 2012-02-29 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
JP2007178298A (ja) | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動型慣性力検知センサ |
JP2007218717A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 慣性力センサ |
JP5287790B2 (ja) | 2010-05-10 | 2013-09-11 | 株式会社デンソー | 角速度センサ |
DE102010029590B4 (de) * | 2010-06-01 | 2014-07-10 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor, Sensoranordnung, Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors und Verfahren zum Betrieb einer Sensoranordnung |
TWI453371B (zh) | 2011-12-30 | 2014-09-21 | Ind Tech Res Inst | 一種具振盪模組的微機電系統裝置 |
JP2013213785A (ja) | 2012-04-04 | 2013-10-17 | Seiko Epson Corp | ジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器 |
JP2013234904A (ja) | 2012-05-09 | 2013-11-21 | Seiko Epson Corp | ジャイロセンサーおよびその製造方法、並びに電子機器 |
US9527722B2 (en) * | 2012-06-11 | 2016-12-27 | Omnitek Partners Llc | Inertia sensors with multi-directional shock protection |
JP6197323B2 (ja) * | 2013-03-22 | 2017-09-20 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、センサー、ジャイロセンサー、電子機器及び移動体 |
CN103292798A (zh) * | 2013-05-22 | 2013-09-11 | 同济大学 | 一种抗高强度冲击的音叉式微机械陀螺 |
DE102014202053A1 (de) * | 2014-02-05 | 2015-08-06 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung mit mindestens einer seismischen Masse |
-
2015
- 2015-04-10 JP JP2015081227A patent/JP6448448B2/ja active Active
- 2015-09-09 US US14/848,344 patent/US10107626B2/en active Active
-
2016
- 2016-02-16 TW TW105104481A patent/TWI645161B/zh active
- 2016-02-25 CN CN201610103834.4A patent/CN106052665B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000081335A (ja) * | 1998-09-07 | 2000-03-21 | Denso Corp | ヨーレートセンサ |
JP2003028644A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Denso Corp | 角速度センサ装置 |
JP2005308657A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 角速度センサ |
US20090145230A1 (en) * | 2007-12-05 | 2009-06-11 | Tokyo Electron Limited | Displacement Measurement apparatus for microstructure and displcement measurement method thereof |
JP2009139171A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Tokyo Electron Ltd | 微小構造体の変位量測定装置および変位量測定方法 |
JP2009150815A (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | Toyota Central R&D Labs Inc | 角速度センサ |
US20130312520A1 (en) * | 2010-12-08 | 2013-11-28 | Rex Kho | Sensor system composed of rotation-rate sensor and a sensor controlling it |
JP2014238317A (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-18 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 角速度センサ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10541671B2 (en) | 2016-12-08 | 2020-01-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Vibration device |
US10767992B2 (en) | 2017-03-24 | 2020-09-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Gyro sensor system |
US10760910B2 (en) | 2017-09-14 | 2020-09-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Sensor device employing MEMS |
JP2019120576A (ja) * | 2018-01-04 | 2019-07-22 | 株式会社東芝 | 振動装置及び振動装置の制御方法 |
US11092440B2 (en) | 2018-01-04 | 2021-08-17 | Kabushikikaisha Toshiba | Vibration device and method for controlling the same |
US11193769B2 (en) | 2019-05-15 | 2021-12-07 | KABUSHIKl KAISHA TOSHIBA | Sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6448448B2 (ja) | 2019-01-09 |
CN106052665B (zh) | 2019-09-20 |
US20160298966A1 (en) | 2016-10-13 |
CN106052665A (zh) | 2016-10-26 |
TW201702556A (zh) | 2017-01-16 |
TWI645161B (zh) | 2018-12-21 |
US10107626B2 (en) | 2018-10-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6448448B2 (ja) | ジャイロセンサの角速度の取得方法及び取得装置 | |
JP2015187613A (ja) | 振動摂動の時間領域測定のための装置および方法 | |
JP6759255B2 (ja) | ジャイロセンサシステム | |
JP2009510389A (ja) | 音叉ジャイロスコープ、加速度計、および改善されたスケール係数を有する他の検出器 | |
JP6372566B2 (ja) | 改善された直交補償 | |
JP5923970B2 (ja) | 振動型角速度センサ | |
JP6400621B2 (ja) | 角速度取得装置及び角速度取得用の電子部品 | |
JP2008134243A (ja) | デュアルモードmemsセンサ | |
JP6067102B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2013125025A (ja) | 慣性センサー及びこれを用いた加速度測定方法 | |
JP2009145321A (ja) | 慣性センサ | |
JP2005519296A (ja) | Memsジャイロスコープを開始するための雑音源 | |
JP6571065B2 (ja) | 振動装置 | |
JP2005283584A (ja) | 駆動/検出手段、駆動ユニットおよび評価ユニットを有するセンサ | |
JP2020036078A (ja) | 共振器およびそれを含む装置 | |
JPH09218040A (ja) | 角速度センサの自己診断方法 | |
JP2006105698A (ja) | 加速度角速度複合センサ | |
JP2013174576A (ja) | 慣性センサ | |
JP2018004383A (ja) | 角速度取得装置 | |
JP4362739B2 (ja) | 振動型角速度センサ | |
JP5418355B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2017187445A (ja) | 角速度センサおよびその感度調整方法 | |
RU2455652C1 (ru) | Интегральный микромеханический гироскоп-акселерометр на основе углеродных нанотрубок | |
JP2009503472A (ja) | 角速度センサ | |
Maenaka | Current MEMS technology and MEMS sensors-focusing on inertial sensors |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170830 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20170914 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20170914 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180718 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180828 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181017 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6448448 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |