JP2009145321A - 慣性センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可動電極13と、可動電極13に対向して設けられた固定電極14と、可動電極13と固定電極14の双方に対向した周辺の導体16と、周辺の導体16の電位が可動電極13の電位と同じになるように、周辺の導体16の電位を調整する復調回路19および電圧調整回路20とを備え、可動電極13と固定電極14の間の容量変化を検出する。
【選択図】図1
Description
図1に、本発明の実施の形態1による加速度センサのチップ概観と配線の模式図を示す。
図4に、本発明の実施の形態2による加速度センサのチップ概観と配線の模式図を示す。
図7に、本発明の実施の形態3による加速度センサのチップ概観と配線の模式図を示す。
図9に、本発明の実施の形態4による加速度センサのチップ概観と配線の模式図を示す。
図12に、本発明の実施の形態5による角速度センサのチップ概観と配線の模式図を示す。
11 慣性体質量部
12 支持梁構造体
13,13a,13b 可動電極
14,14a,14b,14c,14d,14e,14f,14g,14h 固定電極
15a,15b,15c,15d,15e,32 パッドパターン
16,16a,16b,16c、26 周辺の導体
17 容量−電圧(CV)変換回路
18,18a,18b 搬送波印加回路
19 復調回路
20 電圧調整回路
21a,21b,22a,22b 容量可変コンデンサ
25 抑制手段
27 シリコン活性層
28 BOX酸化膜
29 シリコンハンドル層
30 シリコン熱酸化膜
31 導電性ポリシリコン
41 駆動回路
42 サーボ回路
Claims (9)
- 可動電極と、
前記可動電極に対向して設けられた固定電極と、
前記可動電極および前記固定電極の周辺に前記可動電極および前記固定電極と電気的に分離されている周辺の導体と、
前記可動電極と前記固定電極の間の容量変化を検出する検出回路と、を有する慣性センサであって、
前記可動電極と前記固定電極と前記周辺の導体は所定の電位に設定されていることを特徴とする慣性センサ。 - 請求項1記載の慣性センサにおいて、
前記可動電極と、前記固定電極と、前記周辺の導体と、前記検出回路と、を有し、
前記周辺の導体は、前記可動電極と前記固定電極の双方に対向した周辺の導体であり、
前記周辺の導体の電位が前記可動電極の電位と同じになるように、前記周辺の導体の電位を調整する制御回路をさらに有することを特徴とする慣性センサ。 - 請求項1記載の慣性センサにおいて、
前記可動電極と、前記固定電極と、前記周辺の導体と、前記検出回路と、を有し、
前記周辺の導体は、前記可動電極と前記固定電極の双方に対向した第1の周辺の導体と、前記固定電極に対向し前記可動電極に対向しない第2の周辺の導体と、前記可動電極に対向し前記固定電極に対向しない第3の周辺の導体とからなり、
前記第3の周辺の導体の電位が前記可動電極の電位と同じになるように、前記第3の周辺の導体と前記可動電極とを接続する配線をさらに有することを特徴とする慣性センサ。 - 請求項3記載の慣性センサにおいて、
前記第1の周辺の導体の電位が前記可動電極の電位と同じになるように、前記第1および第2および第3の周辺の導体の電位を調整する制御回路をさらに有することを特徴とする慣性センサ。 - 請求項1記載の慣性センサにおいて、
前記周辺の導体の電位は前記可動電極のDCレベルの電位と同じであることを特徴とする慣性センサ。 - 請求項3記載の慣性センサにおいて、
前記第1および第2および第3の周辺の導体の電位は前記可動電極のDCレベルの電位と同じであることを特徴とする慣性センサ。 - 請求項1記載の慣性センサにおいて、
前記固定電極の一部は前記可動電極と対向して前記可動電極を駆動する駆動電極として使われ、
前記固定電極の他の一部は前記可動電極と対向して静電容量を形成する検出電極として使われていることを特徴とする慣性センサ。 - 請求項7記載の慣性センサにおいて、
前記駆動電極と前記検出電極の間には電位が一定に固定された前記周辺の導体が介在され、前記駆動電極と前記検出電極が面していないことを特徴とする慣性センサ。 - 請求項7記載の慣性センサにおいて、
前記駆動電極と前記検出電極の間には前記可動電極の一部が延設され、前記駆動電極と前記検出電極が面していないことを特徴とする慣性センサ。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012111357A1 (ja) * | 2011-02-16 | 2012-08-23 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 複合センサ |
JP2013148530A (ja) * | 2012-01-23 | 2013-08-01 | Denso Corp | 容量式物理量検出装置 |
WO2016103659A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | 株式会社デンソー | 加速度センサ |
JP2017156353A (ja) * | 2017-05-18 | 2017-09-07 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器、および移動体 |
US9764940B2 (en) | 2014-04-18 | 2017-09-19 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, electronic apparatus, and moving object |
US9810734B2 (en) | 2013-02-01 | 2017-11-07 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Compound sensor including a plurality of detection elements and a plurality of fault detection circuits |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0552867A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-02 | Toyoda Mach Works Ltd | 容量型加速度センサ |
JPH07301640A (ja) * | 1994-03-07 | 1995-11-14 | Nippondenso Co Ltd | 半導体加速度センサ及びその製造方法 |
JPH11230985A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-08-27 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
JP2001201348A (ja) * | 2000-01-19 | 2001-07-27 | Alps Electric Co Ltd | 静電容量検出型センサおよびジャイロスコープならびに入力装置 |
JP2002005954A (ja) * | 2000-06-19 | 2002-01-09 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
JP2002071708A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-12 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
JP2003240797A (ja) * | 2002-02-18 | 2003-08-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体加速度センサ |
JP2004085575A (ja) * | 2003-09-05 | 2004-03-18 | Toyota Motor Corp | 半導体センサ及び同半導体センサの製造方法 |
JP2005227143A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Denso Corp | 半導体力学量センサの検査方法 |
JP2007279056A (ja) * | 1998-02-12 | 2007-10-25 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
-
2008
- 2008-09-01 JP JP2008223182A patent/JP2009145321A/ja active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0552867A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-02 | Toyoda Mach Works Ltd | 容量型加速度センサ |
JPH07301640A (ja) * | 1994-03-07 | 1995-11-14 | Nippondenso Co Ltd | 半導体加速度センサ及びその製造方法 |
JP2007279056A (ja) * | 1998-02-12 | 2007-10-25 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
JPH11230985A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-08-27 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
JP2001201348A (ja) * | 2000-01-19 | 2001-07-27 | Alps Electric Co Ltd | 静電容量検出型センサおよびジャイロスコープならびに入力装置 |
JP2002005954A (ja) * | 2000-06-19 | 2002-01-09 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
JP2002071708A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-12 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
JP2003240797A (ja) * | 2002-02-18 | 2003-08-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体加速度センサ |
JP2004085575A (ja) * | 2003-09-05 | 2004-03-18 | Toyota Motor Corp | 半導体センサ及び同半導体センサの製造方法 |
JP2005227143A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Denso Corp | 半導体力学量センサの検査方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012111357A1 (ja) * | 2011-02-16 | 2012-08-23 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 複合センサ |
JP2012168097A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 複合センサ |
DE112012000823T5 (de) | 2011-02-16 | 2013-12-05 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Kombinierter Sensor |
US9151776B2 (en) | 2011-02-16 | 2015-10-06 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Combined sensor |
DE112012000823B4 (de) * | 2011-02-16 | 2015-11-05 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Kombinierter Sensor |
JP2013148530A (ja) * | 2012-01-23 | 2013-08-01 | Denso Corp | 容量式物理量検出装置 |
US9810734B2 (en) | 2013-02-01 | 2017-11-07 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Compound sensor including a plurality of detection elements and a plurality of fault detection circuits |
US9764940B2 (en) | 2014-04-18 | 2017-09-19 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, electronic apparatus, and moving object |
WO2016103659A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | 株式会社デンソー | 加速度センサ |
JP2016125842A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | 株式会社デンソー | 加速度センサ |
JP2017156353A (ja) * | 2017-05-18 | 2017-09-07 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器、および移動体 |
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