JP2009031642A - 揺動体装置、光偏向器およびそれを用いた画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る揺動体装置は、支持部と、可動部と、可動部を支持部に対してねじり軸まわりにねじり振動可能に支持するねじりバネと、可動部を振動させる駆動手段とを有する。可動部は、単結晶シリコンで形成され、可動部の主面の結晶面は(110)面であって、可動部の主面と平行で、且つねじり軸と垂直な方向の結晶方位が[111]方位である。
【選択図】 図1
Description
ここで、変形(たわみ)Yの基準平面Qからの距離δは、反射面402の光学特性の低下に影響する。今、距離δは、基準平面Qを図5(b)に示すようにとると、(式2)のように示すことができる。
22、24 ねじりバネ
30 可動部
101、201、301 支持部
102、202、304 反射面
103、203、303、305 可動部
104a、104b、204a、204b、302a、302b ねじりバネ
105、205 固定部
106、206 永久磁石
107、207、コイル
108、208、308 ねじり軸
1000、1001、2000、2001、2002、2003、3000、3001 結晶方位
501 レーザ光源
502 レンズ
503 光走査系
504 書き込みレンズ
505 感光体
506 走査軌跡
Claims (7)
- 支持部と、可動部と、前記可動部を前記支持部に対してねじり軸まわりにねじり振動可能に支持するねじりバネと、前記可動部を振動させる駆動手段とを有する揺動体装置であって、
前記可動部は、単結晶シリコンで形成され、前記可動部の主面の結晶面は(110)面であって、前記可動部の主面と平行で、且つ前記ねじり軸と垂直な方向の結晶方位が[111]方位であることを特徴とする揺動体装置。 - 前記ねじりバネは単結晶シリコンで形成され、前記ねじりバネの前記ねじり軸に平行な方向の結晶方位が[111]方位であることを特徴とする請求項1に記載の揺動体装置。
- 前記ねじりバネが(111)面を主面とする単結晶シリコンで形成されていることを特徴とする請求項1に記載の揺動体装置。
- 前記支持部と、前記可動部と、前記ねじりバネとが単結晶シリコンで一体形成されていることを特徴とする請求項1に記載の揺動体装置。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の揺動体装置と、前記可動部の上に形成された反射面を有することを特徴とする光偏向器。
- 複数の可動部と、前記複数の可動部を同一のねじり軸まわりにねじり振動可能に支持する複数のねじりバネとを有し、前記反射面は前記複数の可動部の少なくとも一つに形成され、前記ねじり軸まわりに基準周波数となる固有周波数と前記基準周波数の整数倍の固有周波数とを有することを特徴とする請求項5に記載の光偏向器。
- 光源と、請求項5又は6に記載の光偏向器と、感光体とを有し、前記光偏向器は、前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、前記光の少なくとも一部を前記感光体に照射し静電潜像を形成することを特徴とする画像形成装置。
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