JP6069970B2 - Memsデバイス、光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 - Google Patents
Memsデバイス、光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 Download PDFInfo
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Description
前記配線基板との電気的接続のために、前記MEMSチップ上に形成されている複数の電極部の間に凹溝形状を設けたことを特徴とする。
11 ベース基板
18 電極部
19 凹形状
19’ 凹溝形状
19” 凹溝形状
20 フレキシブル配線基板
21 ベースフィルム
22 電気的配線
23 カバーフィルム
24 電極部
25,26 穴部
27 接着剤
30 異方性導電フィルム
40 デバイスカバー(筐体)
50 コントローラボード
Claims (9)
- MEMSチップと配線基板と異方性導電樹脂膜を有し、前記MEMSチップと前記配線基板の間に前記異方性導電樹脂膜を挟んで圧着することで、前記MEMSチップと前記配線基板が機械的かつ電気的に接続されているMEMSデバイスであって、
前記MEMSチップ上の前記異方性導電樹脂膜との圧着領域に凹形状を設け、
前記MEMSチップは筐体に収容され、前記MEMSチップと前記筐体が前記異方性導電樹脂膜を挟んで前記配線基板と固着されていることを特徴とするMEMSデバイス。 - MEMSチップと配線基板と異方性導電樹脂膜を有し、前記MEMSチップと前記配線基板の間に前記異方性導電樹脂膜を挟んで圧着することで、前記MEMSチップと前記配線基板が機械的かつ電気的に接続されているMEMSデバイスであって、
前記配線基板との電気的接続のために、前記MEMSチップ上に形成されている複数の電極部の間に凹溝形状を設け、
前記MEMSチップは筐体に収容され、前記MEMSチップと前記筐体が前記異方性導電樹脂膜を挟んで前記配線基板と固着されていることを特徴とするMEMSデバイス。 - 前記MEMSチップ上の前記異方性導電樹脂膜との圧着領域の周囲に凹溝形状を更に設けたことを特徴とする請求項1又は2に記載のMEMSデバイス。
- 前記配線基板の前記異方性導電樹脂膜との圧着領域に穴部を更に設けたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のMEMSデバイス。
- 前記配線基板の前記異方性導電樹脂膜との圧着領域以外の領域に穴部を更に設け、前記穴部に接着剤を塗布したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のMEMSデバイス。
- 光ビームを偏向・走査する光偏向器であって、
請求項1乃至5のいずれか1項に記載のMEMSデバイスの構成を備えていることを特徴とする光偏向器。 - 光源と、光源からの光ビームを偏向・走査させる請求項6に記載の光偏向器と、偏向・走査された光ビームを被走査面にスポット状に結像する結像光学系とを備えることを特徴とする光走査装置。
- 請求項7に記載の光走査装置と、光ビームの走査により潜像を形成する感光体と、潜像をトナーで顕像化する現像手段と、トナー像を記録紙に転写する転写手段とを有することを特徴とする画像形成装置。
- 光源と、前記光源からの光ビームを画像信号に応じて変調する変調器と、前記光ビームを略平行光とするコリメート光学系と、前記略平行光とされた光ビームを偏向・走査して投影面に投射する請求項6に記載の光偏向器とを有することを特徴とする画像投影装置。
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