JP2021189366A - 振動素子 - Google Patents
振動素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021189366A JP2021189366A JP2020096766A JP2020096766A JP2021189366A JP 2021189366 A JP2021189366 A JP 2021189366A JP 2020096766 A JP2020096766 A JP 2020096766A JP 2020096766 A JP2020096766 A JP 2020096766A JP 2021189366 A JP2021189366 A JP 2021189366A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed
- holding member
- fixing
- support beam
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 8
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 46
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 18
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 description 1
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
- B81B3/004—Angular deflection
- B81B3/0045—Improve properties related to angular swinging, e.g. control resonance frequency
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
- B81B3/004—Angular deflection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00642—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for improving the physical properties of a device
- B81C1/0065—Mechanical properties
- B81C1/00658—Treatments for improving the stiffness of a vibrating element
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/04—Optical MEMS
- B81B2201/042—Micromirrors, not used as optical switches
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/01—Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
- B81B2203/0109—Bridges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
図1〜図7を参照して、第1実施形態による振動素子1の構成、および、振動素子1を備える光走査装置100の構成について説明する。
本実施形態による光走査装置100は、図1に示すように、振動素子1と、光源2と、制御部3と、を備えている。光走査装置100は、投影面60に対して、光を照射するように構成されている。
図2に示すように、振動素子1は、可動部14と、基板11と、駆動源12と、保持部材13と、を備える。なお、本明細書では、可動部14の表面14aと直交する方向をZ方向とし、上方向をZ1方向、下方向をZ2方向とする。また、Z方向と直交する面内において互いに直交する2方向をそれぞれX方向およびY方向とする。X方向のうち、一方側をX1方向とし、他方側をX2方向とする。また、Y方向のうち、一方側をY1方向とし、他方側をY2方向とする。なお、X方向は、特許請求の範囲の「第1方向」の一例である。また、Z方向は、特許請求の範囲の「第2方向」の一例である。
図3に示すように、固定部11dは、第1部分110aおよび第2部分110bを含む。固定部11dのうち、第1方向(X方向)において可動部14に近い側の部分が第1部分110aである。また、固定部11dのうち、第1方向において可動部14から遠い側の部分が、第2部分110bである。
図4に示すように、固定部11dは、互いに反対方向にねじられることにより、保持部材13に対する傾きが調整された状態で固定されている。具体的には、固定部11dは、固定部11dのうち、第1方向(X方向)において可動部14に近い側の第1部分110aが、可動部14の裏面14b側から表面14a側に向かう方向(Z1方向)に回転するようにねじられた状態、または、固定部11dのうち、第1方向において可動部14から遠い側の第2部分110bが、可動部14の表面14a側から裏面14b側に向かう方向(Z2方向)に回転するようにねじられた状態で保持部材13に固定されている。図4に示す例では、固定部11dは、第1部分110aが可動部14の裏面14b側から表面14a側に向かう方向に回転するようにねじられた状態で保持部材13に固定される。すなわち、固定部11dは、Y方向周りに回転するようにねじられた状態で保持部材13に固定される。
次に、図5および図6を参照して、第1実施形態による当接部15の構成について説明する。
図7に示すように、固定部11dは、基台13aに対して傾いた状態で固定されている。具体的には、固定部11dは、当接面15aに当接した状態で固定されている。
第1実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
図8および図9を参照して、第2実施形態について説明する。第2実施形態による振動素子101(図8参照)は、保持部材13の代わりに保持部材130を備える点で、上記第1実施形態による振動素子1と異なる。なお、図中において、上記第1実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。
第2実施形態では、上記のように、当接部は、保持部材13とは別体で設けられた当接部材150を含み、当接面150aの傾斜角度を調整可能な固定角度調整機構16をさらに備える。これにより、当接面150aの傾斜角度を調整することにより、保持部材13に対する固定部11dの傾きを容易に調整することができる。その結果、トーション梁部11cに対して印加される張力の大きさを容易に調整することができる。
図10および図11を参照して、第2実施形態について説明する。第3実施形態による振動素子201(図10参照)は、保持部材13の代わりに保持部材230を備える点、および、第1スペーサ部材17をさらに備えるで、上記第1実施形態による振動素子1とは異なる。なお、図中において、上記第1実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。
第3実施形態では、上記のように、固定部11dがねじられた状態で保持部材13に固定される場合において、保持部材13は、固定部11dと当接する当接面15aを有する当接部250を含み、可動部14の表面14aと直交する第2方向(Z方向)において、固定部11dと当接面250aとの間の位置に設けられた第1スペーサ部材17をさらに備え、固定部11dは、第1スペーサ部材17によって、保持部材230に対する傾きが調整された状態で、保持部材230に固定されている。これにより、第1スペーサ部材17によって固定部11dを保持部材230に対して傾けることができる。その結果、当接面250aを傾斜させることなく、固定部11dを保持部材230に対して容易に傾けることができる。
図12を参照して、第4実施形態について説明する。保持部材13に対する固定部11dの傾きを調整した状態で固定部11dを保持部材13に固定する上記第1実施形態とは異なり、第4実施形態による振動素子301では、固定部11dは、基板11の表面に沿う固定面内における保持部材13に対する固定位置が調整された状態で保持部材13に固定されている。なお、図中において、上記第1実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。
第4実施形態では、上記のように、振動素子1は、光を反射する可動部14と、第1端部111aおよび第2端部111bを各々が有する一対の支持梁部11aと、一対の支持梁部11aの各々の第1端部111aを支持する支持部11bと、可動部14を揺動可能に支持するトーション梁部11cと、を含む金属製の基板11と、支持部11bに設けられ、可動部14を揺動させる板波を発生させる駆動源12と、基板11を保持する保持部材13と、を備え、一対の支持梁部11aの各々の第2端部111bには、保持部材13に固定される固定部11dが設けられており、固定部11dは、基板11の表面に沿う固定面内における保持部材13に対する固定位置が調整されることにより、一対の支持梁部11aの各々が、トーション梁部11cが延びる第1方向においてトーション梁部11cに対して可動部14から離れる方向に張力を印加した状態で保持部材13に固定されている。これにより、一対の支持梁部11aが反対方向に曲げられることにより、支持梁部11aを介してトーション梁部11cに対して可動部14から離れる方向(第1方向)に張力を容易に印加することができる。その結果、支持梁部11aを介してトーション梁部11cに対して可動部14から離れる方向に張力を容易に印加することが可能となるので、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部14が変位することを容易に抑制することができる。
図13および図14を参照して、第5実施形態について説明する。第5実施形態による振動素子401(図13参照)は、保持部材13の代わりに保持部材330を備える点で、上記第1実施形態による振動素子1とは異なる。なお、図中において、上記第1実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。
第5実施形態では、上記のように、振動素子401は、光を反射する可動部14と、第1端部111aおよび第2端部111bを各々が有する一対の支持梁部11aと、一対の支持梁部11aの各々の第1端部111aを支持する支持部11bと、可動部14を揺動可能に支持するトーション梁部11cと、を含む金属製の基板11と、支持部11bに設けられ、可動部14を揺動させる板波を発生させる駆動源12と、基板11を保持する保持部材330と、を備え、一対の支持梁部11aの各々の第2端部111bには、保持部材330に固定される固定部11dが設けられており、固定部11dは、固定面内における固定の向きが調整されることにより、一対の支持梁部11aの各々が、トーション梁部11cが延びる第1方向においてトーション梁部11cに対して可動部14から離れる方向に張力を印加した状態で保持部材330に固定されている。これにより、上記第1実施形態による振動素子1と同様に、第5実施形態による振動素子401においても、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部14が変位することを抑制することができる。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
2 光源
11 基板
11a 一対の支持梁部
11b 支持部
11c トーション梁部
11d 固定部
12 駆動源
13、130、230、330 保持部材
14 可動部
14a 可動部の表面
14b 可動部の裏面
15 当接部
15a、150a、250a 当接面
16 固定角度調整機構
17 第1スペーサ部材
21a 第1ねじ孔
21b 第2ねじ孔
22a 第1ねじ部材
22b 第2ねじ部材
23 第2スペーサ部材
24 固定位置調整部
25、150 当接部材
26 固定部材
110a 第1部分
110b 第2部分
111a 第1端部
111b 第2端部
Claims (10)
- 可動部と、
第1端部および第2端部を各々が有する一対の支持梁部と、前記一対の支持梁部の各々の前記第1端部を支持する支持部と、前記可動部を揺動可能に支持するトーション梁部と、を含む金属製の基板と、
前記支持部に設けられ、前記可動部を揺動させる板波を発生させる駆動源と、
前記基板を保持する保持部材と、を備え、
前記一対の支持梁部の各々の前記第2端部には、前記保持部材に固定される固定部が設けられており、
前記固定部は、前記保持部材に対する傾き、前記基板の表面に沿う固定面内における前記保持部材に対する固定位置、および、前記固定面内における固定の向きのいずれかが調整されることにより、前記一対の支持梁部の各々が、前記トーション梁部が延びる第1方向において前記トーション梁部に対して前記可動部から離れる方向に張力を印加した状態で前記保持部材に固定されている、振動素子。 - 前記固定部は、互いに反対方向にねじられることにより、前記保持部材に対する傾きが調整された状態で固定されているか、または、前記一対の支持梁部が互いに反対方向に曲げられることにより、前記固定面内における前記保持部材に対する固定位置が調整された状態で固定されている、請求項1に記載の振動素子。
- 前記固定部は、
前記固定部の前記第1方向における部分のうち、前記可動部に近い側の第1部分が、前記可動部の裏面側から表面側に向かう方向に回転するようにねじられた状態、または、前記固定部の前記第1方向における部分のうち、前記可動部から遠い側の第2部分が、前記可動部の表面側から裏面側に向かう方向に回転するようにねじられた状態で前記保持部材に固定されているか、または、
前記一対の支持梁部の前記第1端部同士の間の距離よりも、前記一対の支持梁部の前記第2端部同士の間の距離のほうが大きくなるように前記一対の支持梁部が曲げられた状態で前記保持部材に固定されている、請求項2に記載の振動素子。 - 前記固定部がねじられた状態で前記保持部材に固定される場合において、
前記保持部材は、前記固定部と当接する当接面を有する当接部を含み、
前記当接面は、前記第1方向において前記可動部に近い側の第1当接部分と、前記第1方向において前記可動部から遠い側の第2当接部分とが、前記可動部の表面と直交する第2方向において互いに異なる位置となるように傾斜している、請求項3に記載の振動素子。 - 前記当接部は、前記保持部材とは別体で設けられた当接部材を含み、
前記当接面の傾斜角度を調整可能な固定角度調整機構をさらに備える、請求項4に記載の振動素子。 - 前記固定部がねじられた状態で前記保持部材に固定される場合において、
前記保持部材は、前記固定部と当接する当接面を有する当接部を含み、
前記可動部の表面と直交する第2方向において、前記固定部と前記当接面との間の位置に設けられた第1スペーサ部材をさらに備え、
前記固定部は、前記第1スペーサ部材によって、前記保持部材に対する傾きが調整された状態で、前記保持部材に固定されている、請求項3に記載の振動素子。 -
前記固定部は、前記トーション梁部のうち、前記可動部に接続されている端部を前記可動部の表面側に突出する方向に前記支持梁部がねじられた状態で前記保持部材に固定されている、請求項4〜6のいずれか1項に記載の振動素子。 - 前記支持梁部が延びる方向において、前記当接部と前記保持部材との間に配置される第2スペーサ部材をさらに備え、
前記当接部は、前記第2スペーサ部材によって、前記支持梁部が延びる方向における前記固定部の固定位置を調整可能に構成されている、請求項4〜7のいずれか1項に記載の振動素子。 - 前記支持梁部が曲げられた状態で前記保持部材に固定されている場合において、
前記固定部は、前記固定部の厚み方向において前記固定部を貫通するとともに、前記第1方向に沿って延びる固定位置調整部を有しており、
前記固定部は、前記固定位置調整部に挿通された固定部材によって、前記固定面内における位置調整が行われた状態で前記保持部材に固定されている、請求項3に記載の振動素子。 - 一対の前記固定部の一方を固定する第1ねじ部材、および、一対の前記固定部の他方を固定する第2ねじ部材を含み、
前記保持部材には、前記第1ねじ部材が締結される第1ねじ孔、および、前記第2ねじ部材が締結される第2ねじ孔が設けられており、
前記第1ねじ孔および前記第2ねじ孔は、前記第1ねじ部材を締め付けた際に前記一方の固定部を介して前記一対の支持梁部の一方に印加される力、および、前記第2ねじ部材を締め付けた際に前記他方の固定部を介して前記一対の支持梁部の他方に印加される力の各々が、前記第1方向において、前記可動部から離れる方向となるように構成されている、請求項3に記載の振動素子。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020096766A JP2021189366A (ja) | 2020-06-03 | 2020-06-03 | 振動素子 |
EP21175143.3A EP3919436A1 (en) | 2020-06-03 | 2021-05-21 | Vibrating element |
CN202110580824.0A CN113759541A (zh) | 2020-06-03 | 2021-05-26 | 振动元件 |
US17/331,639 US11921283B2 (en) | 2020-06-03 | 2021-05-27 | Vibrating element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020096766A JP2021189366A (ja) | 2020-06-03 | 2020-06-03 | 振動素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021189366A true JP2021189366A (ja) | 2021-12-13 |
Family
ID=76059664
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020096766A Pending JP2021189366A (ja) | 2020-06-03 | 2020-06-03 | 振動素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11921283B2 (ja) |
EP (1) | EP3919436A1 (ja) |
JP (1) | JP2021189366A (ja) |
CN (1) | CN113759541A (ja) |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5557444A (en) | 1994-10-26 | 1996-09-17 | University Of Washington | Miniature optical scanner for a two axis scanning system |
KR100434541B1 (ko) * | 2001-08-24 | 2004-06-05 | 삼성전자주식회사 | 광스캐너 및 그 제조방법 |
JP4446038B2 (ja) | 2004-05-11 | 2010-04-07 | 国立大学法人東北大学 | トーションバーを用いた静電駆動型マイクロミラーデバイス |
US8125699B2 (en) * | 2006-09-27 | 2012-02-28 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Optical scanning device |
JP5267370B2 (ja) | 2009-07-23 | 2013-08-21 | ブラザー工業株式会社 | 光スキャナ |
EP2526453A1 (en) | 2010-01-22 | 2012-11-28 | Cambridge Technology, Inc. | Low wobble wide scan angle taut-band resonant scanners with matched coefficients of thermal expansion and interchangeable mirrors |
JP2012037832A (ja) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Shinano Kenshi Co Ltd | 光走査装置 |
JP5500016B2 (ja) * | 2010-09-09 | 2014-05-21 | 株式会社リコー | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
JP2012068300A (ja) * | 2010-09-21 | 2012-04-05 | Brother Ind Ltd | 光走査装置及びこれを用いた画像投影装置 |
JP5494388B2 (ja) * | 2010-09-24 | 2014-05-14 | ブラザー工業株式会社 | 2次元光走査装置、画像投影装置 |
JP5736766B2 (ja) * | 2010-12-22 | 2015-06-17 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
US9765920B2 (en) * | 2011-06-17 | 2017-09-19 | Abariscan Gmbh | Positioning apparatus and system for directing a beam |
JP2014126725A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Funai Electric Co Ltd | 走査ミラー装置 |
JP6668126B2 (ja) * | 2016-03-18 | 2020-03-18 | 株式会社豊田中央研究所 | Mems装置 |
JP7000874B2 (ja) * | 2018-01-19 | 2022-01-19 | 船井電機株式会社 | 振動素子 |
JP7281638B2 (ja) * | 2019-05-16 | 2023-05-26 | 船井電機・ホールディングス株式会社 | 光スキャナユニットおよび光学機器 |
-
2020
- 2020-06-03 JP JP2020096766A patent/JP2021189366A/ja active Pending
-
2021
- 2021-05-21 EP EP21175143.3A patent/EP3919436A1/en not_active Withdrawn
- 2021-05-26 CN CN202110580824.0A patent/CN113759541A/zh active Pending
- 2021-05-27 US US17/331,639 patent/US11921283B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11921283B2 (en) | 2024-03-05 |
US20210382297A1 (en) | 2021-12-09 |
CN113759541A (zh) | 2021-12-07 |
EP3919436A1 (en) | 2021-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6516516B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP5240953B2 (ja) | 光ビーム走査装置 | |
WO2008038649A1 (fr) | Dispositif de balayage optique | |
TW200844537A (en) | Imaging device for influencing incident light | |
JP2021189366A (ja) | 振動素子 | |
US11919768B2 (en) | Vibrating mirror element and optical scanner | |
WO2023135994A1 (ja) | 形状可変鏡、レーザ加工装置および形状可変鏡の製造方法 | |
US20230266582A1 (en) | Driving element and driving device | |
JP4407046B2 (ja) | 光スキャナ | |
JPH1090618A (ja) | 光学書込装置 | |
KR20140017477A (ko) | 광주사 장치 | |
JP6492277B2 (ja) | 傾斜調整装置 | |
JP2022065649A (ja) | 光学反射素子 | |
JP2022143323A (ja) | 可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、距離測定装置、及び移動体 | |
WO2023135995A1 (ja) | 形状可変鏡、レーザ加工装置および形状可変鏡の製造方法 | |
KR20190115977A (ko) | 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 | |
WO2023105892A1 (ja) | 光学反射素子 | |
JP2019159133A (ja) | アクチュエータ及び光走査装置 | |
WO2021193669A1 (ja) | 光学反射素子、および光学反射システム | |
JP2014202801A (ja) | 光学反射素子 | |
JPH0784205A (ja) | 走査光学ユニット | |
JP5020551B2 (ja) | 光学走査装置 | |
TWI416195B (zh) | 具有鏡旋轉角度之驅動旋轉放大之微電機系統鏡 | |
JP2000208848A (ja) | 反射型波長選択素子の曲げ機構の固定装置 | |
JP2007298651A (ja) | 光走査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230522 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20230616 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240112 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240305 |