JP2021189366A - 振動素子 - Google Patents

Abstract

【課題】製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部に揺動以外の変位が生じることを抑制することが可能な振動素子を提供する。【解決手段】この振動素子１は、可動部１４と、第１端部１１１ａおよび第２端部１１１ｂを各々が有する一対の支持梁部１１ａと、第１端部１１１ａを支持する支持部１１ｂと、可動部１４を揺動可能に支持するトーション梁部１１ｃと、を含む金属製の基板１１と、駆動源１２と、基板１１を保持する保持部材１３と、を備え、一対の支持梁部１１ａの各々の第２端部１１１ｂには、保持部材１３に固定される固定部１１ｄが設けられており、固定部１１ｄは、保持部材１３に対する傾きが調整されることにより、一対の支持梁部１１ａの各々が、トーション梁部１１ｃが延びる第１方向においてトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を印加した状態で保持部材１３に固定されている。【選択図】図２

Description

この発明は、振動素子に関する。

従来、振動素子が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、マイクロミラーと、マイクロミラーを回転可能に支持するトーションバーと、マイクロミラーを駆動する駆動電極と、を備えるマイクロミラーデバイスが開示されている。

ここで、上記特許文献１に開示されているマイクロミラーデバイスでは、低電圧でミラーの回転角度を大きくするために、トーションバーが柔らかくなるように構成されている。しかしながら、トーションバーには、マイクロミラーを回転（揺動）させた際に生じる回転トルクのみならず、マイクロミラーの重さなどにより、上下方向の力も加わる。そのため、トーションバーを柔らかくすると、上下方向の力によってトーションバーに撓みが生じ、マイクロミラーに対して、ミラー回転（ミラー部の揺動）以外の変位が生じ易くなる。また、上記特許文献１には明記されていないが、マイクロミラーを揺動させた際に生じる熱の影響などによりトーションバーに撓みが生じることによって、マイクロミラーに対してミラー回転以外の変位が生じると考えられる。

そこで、上記特許文献１に開示されているマイクロミラーデバイスでは、ミラーの揺動以外の変位を抑制するために、トーションバーに対して張力を加えることにより、回転方向に比較して上下左右方向の剛性を高める構成が開示されている。具体的には、上記特許文献１に開示されている構成は、トーションバーに対して引張応力を持つように成膜を行うことにより、回転方向に比較して上下左右方向の剛性を高める構成が開示されている。そこで、上記特許文献１に開示されている構成では、トーションバーに対して酸化膜を形成することにより、トーションバーの上下左右方向の剛性を高めている。

特開２００５−３２１６６３号公報

しかしながら、上記特許文献１に記載されているマイクロミラーデバイス（振動素子）では、マイクロミラー（可動部）の揺動以外の変位を抑制するために、トーションバー（トーション梁部）に対して成膜を行う構成である。成膜の工程は、マスクの形成、レジストの塗布、薄膜の形成、レジストの除去など、多数の工程が含まれるため、製造工程が複雑化するという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部に揺動以外の変位が生じることを抑制することが可能な振動素子を提供することである。

この発明の第１の局面による振動素子は、可動部と、第１端部および第２端部を各々が有する一対の支持梁部と、一対の支持梁部の各々の第１端部を支持する支持部と、可動部を揺動可能に支持するトーション梁部と、を含む金属製の基板と、支持部に設けられ、可動部を揺動させる板波を発生させる駆動源と、基板を保持する保持部材と、を備え、一対の支持梁部の各々の第２端部には、保持部材に固定される固定部が設けられており、固定部は、保持部材に対する傾き、基板の表面に沿う固定面内における保持部材に対する固定位置、および、固定面内における固定の向きのいずれかが調整されることにより、一対の支持梁部の各々が、トーション梁部が延びる第１方向においてトーション梁部に対して可動部から離れる方向に張力を印加した状態で保持部材に固定されている。

この発明の一の局面による振動素子では、上記のように、固定部は、保持部材に対する傾き、基板の表面に沿う固定面内における保持部材に対する固定位置、および、固定面内における固定の向きのいずれかが調整されることにより、一対の支持梁部の各々が、トーション梁部が延びる第１方向においてトーション梁部に対して可動部から離れる方向に張力を印加した状態で保持部材に固定されている。これにより、保持部材に対する固定部の固定の仕方を調整することにより、トーション梁部に対して張力を印加するための部材を成膜により支持梁部に設けることなく、トーション梁部に対して第１方向において可動部から離れる方向に張力を印加（付与）することができる。その結果、トーション梁部に成膜を行うことなく、トーション部に対して張力を印加することが可能となるので、トーション梁部に対して製造工程が複雑化する成膜により張力を印加する部材を形成する構成と比較して、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部が変位することを抑制することができる。

上記一の局面による振動素子において、好ましくは、固定部は、互いに反対方向にねじられることにより、保持部材に対する傾きが調整された状態で固定されているか、または、一対の支持梁部が互いに反対方向に曲げられることにより、固定面内における保持部材に対する固定位置が調整された状態で固定されている。このように構成すれば、固定部を互いに反対方向にねじられることにより保持部材に対する傾きが調整された状態で固定部が固定される場合には、固定部が互いに反対方向にねじられることにより、支持梁部が互いに反対方向にねじられるため、支持梁部を介してトーション梁部に対して可動部から離れる方向に張力を容易に印加することができる。また、一対の支持梁部が互いに反対方向に曲げられることにより、固定面内における保持部材に対する固定位置が調整された状態で固定部が固定される場合には、一対の支持梁部が反対方向に曲げられることにより、支持梁部を介してトーション梁部に対して可動部から離れる方向に張力を容易に印加することができる。これらの結果、支持梁部を介してトーション梁部に対して可動部から離れる方向に張力を容易に印加することが可能となるので、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部に揺動以外の変位が生じることを容易に抑制することができる。

この場合、好ましくは、固定部は、固定部の第１方向における部分のうち、可動部に近い側の第１部分が、可動部の裏面側から表面側に向かう方向に回転するようにねじられた状態、または、固定部の第１方向における部分のうち、可動部から遠い側の第２部分が、可動部の表面側から裏面側に向かう方向に回転するようにねじられた状態で保持部材に固定されているか、または、一対の支持梁部の第１端部同士の間の距離よりも、一対の支持梁部の第２端部同士の間の距離のほうが大きくなるように一対の支持梁部が曲げられた状態で保持部材に固定されている。このように構成すれば、固定部の第１部分を可動部の裏面側から表面側に向かう方向にねじるか、または、第２部分を可動部の表面側から裏面側に向かう方向にねじることにより、容易に、かつ、確実に、第１方向において可動部から離れる方向の張力をトーション梁部に対して印加することができる。また、第１端部同士の間の距離よりも第２端部同士の間の距離の方が大きくなるように一対の支持梁部を曲げることにより、容易に、かつ、確実に、第１方向において可動部から離れる方向の張力をトーション梁部に対して印加することができる。これらの結果、支持梁部を介してトーション梁部に対して可動部から離れる方向に張力を容易に、かつ、確実に印加することが可能となるので、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部に揺動以外の変位が生じることをより一層容易に抑制することができる。

上記固定部がねじられた状態で保持部材に固定されるか、または、一対の支持梁部が曲げられた状態で固定部が保持部材に固定される構成において、好ましくは、固定部がねじられた状態で保持部材に固定される場合において、保持部材は、固定部と当接する当接面を有する当接部を含み、当接面は、第１方向において可動部に近い側の第１当接部分と、第１方向において可動部から遠い側の第２当接部分とが、可動部の表面と直交する第２方向において互いに異なる位置となるように傾斜している。このように構成すれば、当接面を容易に傾斜させることが可能となるので、固定部を当接面に当接させた状態で固定することにより、固定部がねじられる方向を容易に反対方向にすることができる。その結果、第１方向において、一対の支持梁部がトーション梁部に対して可動部から離れる方向に張力を印加した状態となるように、固定部を保持部材に対して容易に固定することができる。

この場合、好ましくは、当接部は、保持部材とは別体で設けられた当接部材を含み、当接面の傾斜角度を調整可能な固定角度調整機構をさらに備える。このように構成すれば、当接面の傾斜角度を調整することにより、保持部材に対する固定部の傾きを容易に調整することができる。その結果、トーション梁部に対して印加される張力の大きさを容易に調整することができる。

上記固定部がねじられた状態で保持部材に固定されるか、または、一対の支持梁部が曲げられた状態で固定部が保持部材に固定される構成において、好ましくは、固定部がねじられた状態で保持部材に固定される場合において、保持部材は、固定部と当接する当接面を有する当接部を含み、可動部の表面と直交する第２方向において、固定部と当接面との間の位置に設けられた第１スペーサ部材をさらに備え、固定部は、第１スペーサ部材によって、保持部材に対する傾きが調整された状態で、保持部材に固定されている。このように構成すれば、第１スペーサ部材によって固定部を保持部材に対して傾けることができる。その結果、当接面を傾斜させることなく、固定部を保持部材に対して容易に傾けることができる。

上記固定部がねじられた状態で保持部材に固定される構成において、好ましくは、固定部は、トーション梁部のうち、可動部に接続されている端部を可動部の表面側に突出する方向に支持梁部がねじられた状態で保持部材に固定されている。このように構成すれば、トーション梁部に対して、第１方向において可動部から離れる方向の張力に加えて、可動部の表面側に対して張力を印加することができる。その結果、たとえば、可動部の表面を垂直方向の上向きに配置した場合には、可動部の表面側に対して印加された張力により、可動部の自重によって生じる可動部の沈み込みを抑制することが可能となるので、可動部の揺動以外の変位をより一層抑制することができる。

上記固定部がねじられた状態で保持部材に固定される構成において、好ましくは、支持梁部が延びる方向において、当接部と保持部材との間に配置される第２スペーサ部材をさらに備え、当接部は、第２スペーサ部材によって、支持梁部が延びる方向における固定部の固定位置を調整可能に構成されている。このように構成すれば、支持梁部が延びる方向において固定部の固定位置を調整することが可能となるので、基板および保持部材に生じる製造時の公差が生じた場合でも、組み立て時における固定部の固定位置の誤差を低減することができる。その結果、振動素子を容易に製造することができる。

上記固定部がねじられた状態で保持部材に固定されるか、または、一対の支持梁部が曲げられた状態で固定部が保持部材に固定される構成において、好ましくは、支持梁部が曲げられた状態で保持部材に固定されている場合において、固定部は、固定部の厚み方向において固定部を貫通するとともに、第１方向に沿って延びる固定位置調整部を有しており、固定部は、固定位置調整部に挿通された固定部材によって、固定面内における位置調整が行われた状態で保持部材に固定されている。このように構成すれば、固定位置調整部が第１方向に延びているため、固定部を保持部材に固定する際の第１方向における第２端部同士の間の距離を容易に調整することができる。その結果、支持梁部を介してトーション梁部に対して印加する張力の大きさを容易に調整することができる。

上記固定部がねじられた状態で保持部材に固定されるか、または、一対の支持梁部が曲げられた状態で固定部が保持部材に固定される構成において、好ましくは、一対の固定部の一方を固定する第１ねじ部材、および、一対の固定部の他方を固定する第２ねじ部材を含み、保持部材には、第１ねじ部材が締結される第１ねじ孔、および、第２ねじ部材が締結される第２ねじ孔が設けられており、第１ねじ孔および第２ねじ孔は、第１ねじ部材を締め付けた際に一方の固定部を介して一対の支持梁部の一方に印加される力、および、第２ねじ部材を締め付けた際に他方の固定部を介して一対の支持梁部の他方に印加される力の各々が、第１方向において、可動部から離れる方向となるように構成されている。

このように構成すれば、第１ねじ部材および第２ねじ部材によって一対の固定部の各々を固定することにより、一対の支持梁部の各々に、第１方向において可動部から離れる方向の力が印加されるので、一対の支持梁部の各々位置を、第１方向において、可動部から離れる位置に容易に変化させることができる。その結果、支持梁部を介してトーション梁部に対して、第１方向において可動部から離れる方向の張力を容易に印加することができる。また、第１ねじ部材および第２ねじ部材の締め付け具合（ねじ部材の角度）を調整することにより、固定面内における固定部が固定される方向を容易に調整することができる。その結果、固定面内における固定部が固定される方向が調整されることにより、固定面内における一対の支持梁部の位置を容易に変化させることが可能となるので、支持梁部を介してトーション梁部に対して印加する張力を容易に調整することができる。

本発明によれば、上記のように、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部に揺動以外の変位が生じることを抑制することが可能な振動素子および光走査装置を提供することができる。

第１実施形態による光走査装置の全体構成を示すブロック図である。 第１実施形態による振動素子の斜視図である。 第１実施形態による一対の支持梁部、トーション梁部、および、ミラーを示す平面図である。 第１実施形態による基板を、支持梁部が延びる方向から見た模式図である。 第１実施形態による保持部材の平面図である。 第１実施形態による保持部材を支持梁部が延びる方向から見た模式図である。 第１実施形態による当接部に固定部を固定する構成を説明するための模式図である。 第２実施形態による固定角度調整機構および保持部材を説明するための平面図である。 第２実施形態による固定角度調整機構によって当接面の傾斜角度を調整する構成を説明するための斜視図である。 第３実施形態による固定部を固定する構成を説明するための模式図である。 図１０の一部を拡大した模式図である。 第４実施形態による第１端部同士の間の距離および第２端部同士の間の距離を説明するための模式図である。 第５実施形態による保持部材に設けられた第１ねじ孔および第２ねじ孔を説明するための模式図である。 第５実施形態による第１ねじ部材および第２ねじ部材の締め付け方向を説明するための模式図である。 第２実施形態の変形例による第２スペーサ部材の取り付け位置を説明するための模式図である。 第２実施形態の変形例による第２スペーサ部材を説明するための模式図である。 第４実施形態の変形例による固定位置調整部を説明するための模式図である。 第４実施形態の変形例による固定部を固定する構成を説明するための模式図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

［第１実施形態］
図１〜図７を参照して、第１実施形態による振動素子１の構成、および、振動素子１を備える光走査装置１００の構成について説明する。

（光走査装置の構成）
本実施形態による光走査装置１００は、図１に示すように、振動素子１と、光源２と、制御部３と、を備えている。光走査装置１００は、投影面６０に対して、光を照射するように構成されている。

振動素子１は、駆動源１２が発生させた板波によって可動部１４（図２参照）を揺動させながら、光源２から照射された光を、投影面６０に投影させるように、可動部１４に設けられたミラー１０により反射させるように構成されている。振動素子１の詳細な構成については、後述する。

光源２は、光を出力するように構成されている。具体的には、光源２は、レンズなどを介して、振動素子１が備えるミラー１０に照射するように構成されている。光源２は、たとえば、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）または、ＬＤ（Ｌａｓｅｒ Ｄｉｏｄｅ）などを含む。本実施形態では、光源２は、ＬＥＤである。

制御部３は、光源２によるレーザ光の照射を制御するように構成されている。また、制御部３は、振動素子１を制御するように構成されている。制御部３は、たとえば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などのプロセッサを含んでいる。

（振動素子の構成）
図２に示すように、振動素子１は、可動部１４と、基板１１と、駆動源１２と、保持部材１３と、を備える。なお、本明細書では、可動部１４の表面１４ａと直交する方向をＺ方向とし、上方向をＺ１方向、下方向をＺ２方向とする。また、Ｚ方向と直交する面内において互いに直交する２方向をそれぞれＸ方向およびＹ方向とする。Ｘ方向のうち、一方側をＸ１方向とし、他方側をＸ２方向とする。また、Ｙ方向のうち、一方側をＹ１方向とし、他方側をＹ２方向とする。なお、Ｘ方向は、特許請求の範囲の「第１方向」の一例である。また、Ｚ方向は、特許請求の範囲の「第２方向」の一例である。

基板１１は、一対の支持梁部１１ａと、支持部１１ｂと、トーション梁部１１ｃとを含む。また、基板１１は、可動部１４が配置される可動部１４を含む。基板１１は、たとえば、平板形状のステンレス鋼材により構成されている。

一対の支持梁部１１ａは、第１端部１１１ａおよび第２端部１１１ｂを各々が有している。また、第１端部１１１ａの各々は、支持部１１ｂに支持されている。また、第１実施形態では、一対の支持梁部１１ａの各々の第２端部１１１ｂには、保持部材１３に固定される固定部１１ｄが設けられている。なお、固定部１１ｄは、一対の支持梁部１１ａの一部である。

図２に示す例では、一対の支持梁部１１ａの第２端部１１１ｂ側のＸ方向の幅を大きくすることにより、固定部１１ｄを形成している。また、固定部１１ｄは、たとえば、ねじ止めされることにより、保持部材１３に保持される。そのため、固定部１１ｄには、Ｚ方向に貫通する貫通孔３０が設けられている。

支持部１１ｂは、一対の支持梁部１１ａの各々の第１端部１１１ａを支持するように構成されている。また、支持部１１ｂには、駆動源１２が設けられている。具体的には、支持部１１ｂは、駆動源１２を支持する駆動源支持部１１ｅを有しており、駆動源１２は、駆動源支持部１１ｅに配置されている。駆動源支持部１１ｅは、駆動源１２と同様に、半円形状を有している。また、支持部１１ｂは、支持梁部１１ａが延びる方向（Ｙ方向）において、一対の支持梁部１１ａを支持していない側の端部に、保持部１１ｆを有する。支持部１１ｂは、たとえば、ねじ止めされことにより、保持部材１３に保持される。そのため、保持部１１ｆには、Ｚ方向に貫通する貫通孔３１が設けられている。

トーション梁部１１ｃは、可動部１４を揺動可能に支持する。トーション梁部１１ｃは、第１方向（Ｘ方向）に延びる。また、トーション梁部１１ｃは、柱状形状を有している。また、トーション梁部１１ｃは、一対設けられている。一対のトーション梁部１１ｃの一方は、一対の支持梁部１１ａの一方と接続されており、他方のトーション梁部１１ｃは、他方の支持梁部１１ａに接続されている。また、一対のトーション梁部１１ｃの各々は、可動部１４に接続されている。

可動部１４は、矩形形状を有している。また、可動部１４は、基板１１と一体的に形成されている。また、可動部１４は、トーション梁部１１ｃを介して一対の支持梁部１１ａに接続されている。また、本実施形態では、可動部１４の表面１４ａ側に、ミラー１０が設けられている。なお、図２に示す例では、便宜上、ミラー１０にハッチングを付して図示している。

駆動源１２は、可動部１４を揺動させる板波を発生させるように構成されている。駆動源１２は、たとえば、圧電素子を含む。圧電素子は、たとえば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、および、ＰＺＴに電圧を印加するための電極を含む。図２に示す例では、駆動源１２として、半円形状を有するＰＺＴが基板１１に設けられている。

保持部材１３は、支持部１１ｂを保持するように構成されている。図２に示すように、保持部材１３は、支持部１１ｂのうち、Ｙ方向において、一対の支持梁部１１ａを支持していない側の端部に設けられた保持部１１ｆを保持する。また、保持部材１３は、一対の支持梁部１１ａの各々を保持するように構成されている。図２に示すように、保持部材１３は、一対の支持梁部１１ａのうち、固定部１１ｄを保持するように構成されている。保持部材１３が固定部１１ｄを保持する構成の詳細については、後述する。

（第１部分および第２部分）
図３に示すように、固定部１１ｄは、第１部分１１０ａおよび第２部分１１０ｂを含む。固定部１１ｄのうち、第１方向（Ｘ方向）において可動部１４に近い側の部分が第１部分１１０ａである。また、固定部１１ｄのうち、第１方向において可動部１４から遠い側の部分が、第２部分１１０ｂである。

固定部１１ｄは、保持部材１３に対する傾き、基板１１の表面に沿う固定面内における保持部材１３に対する固定位置、および、固定面内における固定の向きのいずれかが調整されることにより、一対の支持梁部１１ａの各々が、トーション梁部１１ｃが延びる第１方向においてトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を印加した状態で保持部材１３に固定されている。なお、固定部１１ｄの固定面内における固定の向きとは、固定面内における固定部１１ｄの回転方向のことである。第１実施形態では、固定部１１ｄは、保持部材１３に対する傾きが調整されることにより、一対の支持梁部１１ａの各々が、トーション梁部１１ｃが延びる第１方向においてトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を印加した状態で保持部材１３に固定されている。

（固定部の傾き）
図４に示すように、固定部１１ｄは、互いに反対方向にねじられることにより、保持部材１３に対する傾きが調整された状態で固定されている。具体的には、固定部１１ｄは、固定部１１ｄのうち、第１方向（Ｘ方向）において可動部１４に近い側の第１部分１１０ａが、可動部１４の裏面１４ｂ側から表面１４ａ側に向かう方向（Ｚ１方向）に回転するようにねじられた状態、または、固定部１１ｄのうち、第１方向において可動部１４から遠い側の第２部分１１０ｂが、可動部１４の表面１４ａ側から裏面１４ｂ側に向かう方向（Ｚ２方向）に回転するようにねじられた状態で保持部材１３に固定されている。図４に示す例では、固定部１１ｄは、第１部分１１０ａが可動部１４の裏面１４ｂ側から表面１４ａ側に向かう方向に回転するようにねじられた状態で保持部材１３に固定される。すなわち、固定部１１ｄは、Ｙ方向周りに回転するようにねじられた状態で保持部材１３に固定される。

具体的には、Ｘ１方向側の第１部分１１０ａが矢印４０ａに沿う方向にねじられた状態でＸ１方向側の固定部１１ｄが保持部材１３に固定される。これにより、Ｘ１方向側の支持梁部１１ａ（図３参照）が矢印４０ａに沿う方向にねじられる。そのため、Ｘ１方向側の支持梁部１１ａに対して、矢印４１ａに示す方向の力が生じるので、トーション梁部１１ｃに対して、第１方向において可動部１４から離れる方向（Ｘ１方向）に張力が印加される。

また、Ｘ２方向側の第１部分１１０ａが矢印４０ｂに沿う方向にねじられた状態でＸ２方向側の固定部１１ｄが保持部材１３に固定される。これにより、Ｘ２方向側の支持梁部１１ａ（図３参照）が矢印４０ｂに沿う方向にねじられる。そのため、Ｘ２方向側の支持梁部１１ａに対して、矢印４１ｂに示す方向の力が生じるので、トーション梁部１１ｃに対して、第１方向において可動部１４から離れる方向（Ｘ２方向）に張力が印加される。

また、第１実施形態では、固定部１１ｄは、トーション梁部１１ｃのうち、可動部１４に接続されている端部を可動部１４の表面１４ａ側に突出する方向に支持梁部１１ａがねじられた状態で保持部材１３に固定されている。なお、図４に示す例では、表面１４ａ側に突出する方向は、Ｚ１方向である。

（当接部の構成）
次に、図５および図６を参照して、第１実施形態による当接部１５の構成について説明する。

図５に示すように、保持部材１３は、基台１３ａおよび当接部１５を含む。当接部１５は、基台１３ａから、可動部１４の表面１４ａ側（Ｚ１方向側）に突出するように形成されている。当接部１５は、保持部材１３のうち、Ｙ２方向側の端部に設けられている。また、当接部１５は、保持部材１３のＹ２方向側の端部のうち、Ｘ１方向側およびＸ２方向側の２か所に設けられている。図５に示す例では、当接部１５は、保持部材１３と一体的に形成されている。また、当接部１５は、固定部１１ｄと当接する当接面１５ａを有する。また、当接面１５ａは、第１当接部分１５ｂと、第２当接部分１５ｃとを含む。当接面１５ａのうち、第１方向（Ｘ方向）において可動部１４に近い側の部分が第１当接部分１５ｂである。また、当接面１５ａのうち、第１方向において可動部１４から遠い側の部分が第２当接部分１５ｃである。

図６に示すように、当接面１５ａは、傾斜している。具体的には、当接面１５ａは、第１当接部分１５ｂと、第２当接部分１５ｃとが、可動部１４の表面１４ａと直交する第２方向（Ｚ方向）において互いに異なる位置となるように傾斜している。第１実施形態では、第１当接部分１５ｂが、第２当接部分１５ｃよりも、Ｚ１方向側の位置となるように、当接面１５ａが傾斜している。また、第１実施形態では、当接面１５ａは、傾斜角度が角度θ１となるように傾斜している。傾斜角度とは、可動部１４の表面１４ａに沿う面と、当接面１５ａとの間の角度である。

（保持部材に対する固定部の傾き）
図７に示すように、固定部１１ｄは、基台１３ａに対して傾いた状態で固定されている。具体的には、固定部１１ｄは、当接面１５ａに当接した状態で固定されている。

第１当接部分１５ｂが第２当接部分１５ｃよりもＺ１方向側の位置となるように当接面１５ａが傾斜しているため、固定部１１ｄを当接面１５ａに当接させた状態で固定することにより、第１部分１１０ａが、第２部分１１０ｂよりもＺ１方向側の位置となるように傾斜する。なお、第１実施形態では、当接面１５ａの傾斜角度が角度θ１で傾斜しているため、固定部１１ｄの傾斜角度も角度θ１で傾斜している。なお、固定部１１ｄの傾斜角度とは、可動部１４の表面１４ａに沿う面と、固定部１１ｄの表面１１０ｃとの間の角度である。

（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

第１実施形態では、上記のように、振動素子１は、可動部１４と、第１端部１１１ａおよび第２端部１１１ｂを各々が有する一対の支持梁部１１ａと、一対の支持梁部１１ａの各々の第１端部１１１ａを支持する支持部１１ｂと、可動部１４を揺動可能に支持するトーション梁部１１ｃと、を含む金属製の基板１１と、支持部１１ｂに設けられ、可動部１４を揺動させる板波を発生させる駆動源１２と、基板１１を保持する保持部材１３と、を備え、一対の支持梁部１１ａの各々の第２端部１１１ｂには、保持部材１３に固定される固定部１１ｄが設けられており、固定部１１ｄは、保持部材１３に対する傾きが調整されることにより、一対の支持梁部１１ａの各々が、トーション梁部１１ｃが延びる第１方向においてトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を印加した状態で保持部材１３に固定されている。

これにより、保持部材１３に対する固定部１１ｄの固定の仕方を調整することにより、トーション梁部１１ｃに対して張力を印加するための部材を成膜により支持梁部１１ａに設けることなく、トーション梁部１１ｃに対して第１方向において可動部１４から離れる方向に張力を印加（付与）することができる。その結果、トーション梁部１１ｃに成膜を行うことなく、トーション部に対して張力を印加することが可能となるので、トーション梁部１１ｃに対して製造工程が複雑化する成膜により張力を印加する部材を形成する構成と比較して、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部１４に揺動以外の変位が生じることを抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、固定部１１ｄは、互いに反対方向にねじられることにより、保持部材１３に対する傾きが調整された状態で固定されているか、または、一対の支持梁部１１ａが互いに反対方向に曲げられることにより、固定面内における保持部材１３に対する固定位置が調整された状態で固定されている。これにより、固定部１１ｄが互いに反対方向にねじられることにより、支持梁部１１ａが互いに反対方向にねじられるため、支持梁部１１ａを介してトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を容易に印加することができる。その結果、支持梁部１１ａを介してトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を容易に印加することが可能となるので、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部１４に揺動以外の変位が生じることを容易に抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、固定部１１ｄは、固定部１１ｄのうち、第１方向（Ｘ方向）において可動部１４に近い側の第１部分１１０ａが、可動部１４の裏面１４ｂ側から表面１４ａ側に向かう方向（Ｚ１方向）に回転するようにねじられた状態で保持部材１３に固定されている。これにより、固定部１１ｄの第１部分１１０ａを可動部１４の裏面１４ｂ側から表面１４ａ側に向かう方向にねじることにより、容易に、かつ、確実に、第１方向において可動部１４から離れる方向の張力をトーション梁部１１ｃに対して印加することができる。その結果、支持梁部１１ａを介してトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を容易に、かつ、確実に印加することが可能となるので、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部１４に揺動以外の変位が生じることをより一層容易に抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、固定部１１ｄがねじられた状態で保持部材１３に固定される場合において、保持部材１３は、固定部１１ｄと当接する当接面１５ａを有する当接部１５を含み、当接面１５ａは、第１方向（Ｘ方向）において可動部１４に近い側の第１当接部分１５ｂと、第１方向において可動部１４から遠い側の第２当接部分１５ｃとが、可動部１４の表面１４ａと直交する第２方向（Ｚ方向）において互いに異なる位置となるように傾斜している。これにより、当接面１５ａを容易に傾斜させることが可能となるので、固定部１１ｄを当接面１５ａに当接させた状態で固定することにより、固定部１１ｄがねじられる方向を容易に反対方向にすることができる。その結果、第１方向において、一対の支持梁部１１ａがトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を印加した状態となるように、固定部１１ｄを保持部材１３に対して容易に固定することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、固定部１１ｄは、トーション梁部１１ｃのうち、可動部１４に接続されている端部を可動部１４の表面１４ａ側に突出する方向に支持梁部１１ａがねじられた状態で保持部材１３に固定されている。これにより、トーション梁部１１ｃに対して、第１方向において可動部１４から離れる方向の張力に加えて、可動部１４の表面１４ａ側に対して張力を印加することができる。その結果、たとえば、可動部１４の表面１４ａを垂直方向の上向きに配置した場合には、可動部１４の表面１４ａ側に対して印加された張力により、可動部１４の自重によって生じる可動部１４の沈み込みを抑制することが可能となるので、可動部１４の揺動以外の変位をより一層抑制することができる。

［第２実施形態］
図８および図９を参照して、第２実施形態について説明する。第２実施形態による振動素子１０１（図８参照）は、保持部材１３の代わりに保持部材１３０を備える点で、上記第１実施形態による振動素子１と異なる。なお、図中において、上記第１実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。

図８に示すように、第２実施形態による振動素子１０１は、保持部材１３０を備える。保持部材１３０は、上記第１実施形態による当接部１５のかわりに、保持部材１３とは別体で設けられた当接部材１５０を含む。当接部材１５０は、金属製、または、樹脂製の柱状形状を有する部材である。第２実施形態では、当接部材１５０は、金属製である。当接部材１５０は、固定部１１ｄと当接する当接面１５０ａを有している。

また、第２実施形態では、振動素子１０１は、当接面１５０ａの傾斜角度を調整可能な固定角度調整機構１６を備える。なお、図８に示すように、第２実施形態では、当接部材１５０および固定角度調整機構１６は、保持部材１３０のＹ２方向側で、かつ、Ｘ１方向側に１つと、Ｘ２方向側に１つとの、合計２つ設けられている。

固定角度調整機構１６は、ねじ部材１６ａを含む。固定角度調整機構１６は、ねじ部材１６ａを緩めることにより、当接部材１５０を、軸線Ａｘ周りの回転方向に回転させることが可能なように構成されている。また、固定角度調整機構１６は、当接部材１５０を軸線Ａｘ周りの回転方向に回転させた後、ねじ部材１６ａを締めることにより、当接面１５０ａの傾斜角度を固定することが可能なように構成されている。

図９は、当接部材１５０をＹ２方向側から見た模式図である。図９に示すように、第２実施形態では、固定角度調整機構１６によって、当接部材１５０の傾斜角度を角度θ２で傾斜させた状態で固定されている。具体的には、当接面１５０ａは、第１当接部分１５０ｂが第２当接部分１５０ｃよりも、Ｚ１方向側に位置するように傾斜している。なお、図９に示す例では、Ｘ２方向側の当接部材１５０および固定角度調整機構１６を図示しているが、Ｘ１方向側の当接部材１５０および固定角度調整機構１６も、同様の構成である。

なお、第２実施形態による振動素子１０１のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、上記のように、当接部は、保持部材１３とは別体で設けられた当接部材１５０を含み、当接面１５０ａの傾斜角度を調整可能な固定角度調整機構１６をさらに備える。これにより、当接面１５０ａの傾斜角度を調整することにより、保持部材１３に対する固定部１１ｄの傾きを容易に調整することができる。その結果、トーション梁部１１ｃに対して印加される張力の大きさを容易に調整することができる。

なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

［第３実施形態］
図１０および図１１を参照して、第２実施形態について説明する。第３実施形態による振動素子２０１（図１０参照）は、保持部材１３の代わりに保持部材２３０を備える点、および、第１スペーサ部材１７をさらに備えるで、上記第１実施形態による振動素子１とは異なる。なお、図中において、上記第１実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。

図１０に示すように、振動素子２０１は、第１スペーサ部材１７と、補助スペーサ部材１８と、ねじ部材１９と、ワッシャー部材２０と、保持部材２３０と、を備える。保持部材２３０は、当接部２５０を備える。当接部２５０は、当接面２５０ａを有している。当接面１５ａが傾斜している上記第１実施形態による当接部１５とは異なり、第３実施形態による当接面２５０ａは、傾斜していない。

図１１は、Ｘ１方向側およびＸ２方向側の当接部２５０のうち、Ｘ２方向側の当接部２５０を拡大した模式図である。図１１に示すように、第１スペーサ部材１７は、可動部１４の表面１４ａと直交する第２方向（Ｚ方向）において、固定部１１ｄと当接面１５ａとの間の位置に設けられている。図１１に示す例では、第１スペーサ部材１７は、第１方向（Ｘ方向）のうち、可動部１４に近い側（Ｘ１方向側）に設けられている。

また、補助スペーサ部材１８は、第１方向において、第１スペーサ部材１７とは反対側に設けられている。また、補助スペーサ部材１８は、第２方向（Ｚ方向）において、Ｚ２方向側で固定部１１ｄと当接しており、Ｚ１方向側でワッシャー部材２０と当接している。

ねじ部材１９は、当接部２５０に設けられてねじ孔（図示せず）に締結されることにより、固定部１１ｄを固定するように構成されている。具体的には、ねじ部材１９は、ワッシャー部材２０、第１スペーサ部材１７、および、補助スペーサ部材１８によって、固定部１１ｄを傾けた状態で固定部１１ｄを保持部材２３０に固定している。

ワッシャー部材２０は、第２方向（Ｚ方向）において、補助スペーサ部材１８およびねじ部材１９の間に設けられている。

図１１に示す例は、Ｘ１方向側およびＸ２方向側の当接部２５０のうち、Ｘ２方向側の当接部２５０に固定される固定部１１ｄであるが、Ｘ１方向側の当接部２５０に固定される固定部１１ｄも、Ｘ１方向側の当接部２５０に固定される固定部１１ｄと同様の構成である。すなわち、Ｘ１方向側の第１スペーサ部材１７は、Ｘ２方向側で、かつ、Ｚ方向において、固定部１１ｄと当接面１５ａとの間の位置に設けられている。これにより、固定部１１ｄの第１部分１１０ａと、第２部分１１０ｂとが、第２方向（Ｚ方向）において、互いに異なる位置となるように傾斜した状態で、固定部１１ｄが保持部材２３０（当接部２５０）に固定される。第３実施形態では、上記第１実施形態と同様に、固定部１１ｄは、第１部分１１０ａが、第２部分１１０ｂよりも、Ｚ１方向側となるように傾斜した状態で、保持部材２３０に固定される。

なお、第３実施形態による振動素子２０１のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

（第３実施形態の効果）
第３実施形態では、上記のように、固定部１１ｄがねじられた状態で保持部材１３に固定される場合において、保持部材１３は、固定部１１ｄと当接する当接面１５ａを有する当接部２５０を含み、可動部１４の表面１４ａと直交する第２方向（Ｚ方向）において、固定部１１ｄと当接面２５０ａとの間の位置に設けられた第１スペーサ部材１７をさらに備え、固定部１１ｄは、第１スペーサ部材１７によって、保持部材２３０に対する傾きが調整された状態で、保持部材２３０に固定されている。これにより、第１スペーサ部材１７によって固定部１１ｄを保持部材２３０に対して傾けることができる。その結果、当接面２５０ａを傾斜させることなく、固定部１１ｄを保持部材２３０に対して容易に傾けることができる。

なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

［第４実施形態］
図１２を参照して、第４実施形態について説明する。保持部材１３に対する固定部１１ｄの傾きを調整した状態で固定部１１ｄを保持部材１３に固定する上記第１実施形態とは異なり、第４実施形態による振動素子３０１では、固定部１１ｄは、基板１１の表面に沿う固定面内における保持部材１３に対する固定位置が調整された状態で保持部材１３に固定されている。なお、図中において、上記第１実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。

第４実施形態では、固定部１１ｄは、基板１１の表面に沿う固定面内における保持部材１３に対する固定位置が調整されることにより、一対の支持梁部１１ａの各々が、トーション梁部１１ｃが延びる第１方向においてトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を印加した状態で保持部材１３に固定されている。具体的には、固定部１１ｄは、一対の支持梁部１１ａの第１端部１１１ａ同士の間の距離Ｄ１よりも、一対の支持梁部１１ａの第２端部１１１ｂ同士の間の距離Ｄ２のほうが大きくなるように一対の支持梁部１１ａが曲げられた状態で保持部材１３に固定されている。

図１２に示すように、第４実施形態では、固定部１１ｄが一対の支持梁部１１ａの第１端部１１１ａ同士の間の距離Ｄ１よりも、一対の支持梁部１１ａの第２端部１１１ｂ同士の間の距離Ｄ２のほうが大きくなるように一対の支持梁部１１ａが曲げられた状態で保持部材１３に固定されているので、一対の支持梁部１１ａの各々が外側に開かれた状態で固定される。なお、図１２に示す例では、説明の便宜のため、距離Ｄ１と距離Ｄ２との差異を強調して模式的に図示している。

具体的には、Ｘ１方向側の支持梁部１１ａは、矢印４２ａに示す方向に開かれる。そのため、Ｘ１方向側の支持梁部１１ａを介して、トーション梁部１１ｃに矢印４２ａの方向の張力が印加される。また、Ｘ２方向側の支持梁部１１ａは、矢印４２ｂに示す方向に開かれる。そのため、Ｘ２方向側の支持梁部１１ａを介して、トーション梁部１１ｃに矢印４２ｂの方向の張力が印加される。

なお、第４実施形態による振動素子３０１のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

（第４実施形態の効果）
第４実施形態では、上記のように、振動素子１は、光を反射する可動部１４と、第１端部１１１ａおよび第２端部１１１ｂを各々が有する一対の支持梁部１１ａと、一対の支持梁部１１ａの各々の第１端部１１１ａを支持する支持部１１ｂと、可動部１４を揺動可能に支持するトーション梁部１１ｃと、を含む金属製の基板１１と、支持部１１ｂに設けられ、可動部１４を揺動させる板波を発生させる駆動源１２と、基板１１を保持する保持部材１３と、を備え、一対の支持梁部１１ａの各々の第２端部１１１ｂには、保持部材１３に固定される固定部１１ｄが設けられており、固定部１１ｄは、基板１１の表面に沿う固定面内における保持部材１３に対する固定位置が調整されることにより、一対の支持梁部１１ａの各々が、トーション梁部１１ｃが延びる第１方向においてトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を印加した状態で保持部材１３に固定されている。これにより、一対の支持梁部１１ａが反対方向に曲げられることにより、支持梁部１１ａを介してトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向（第１方向）に張力を容易に印加することができる。その結果、支持梁部１１ａを介してトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を容易に印加することが可能となるので、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部１４が変位することを容易に抑制することができる。

また、第４実施形態では、上記のように、一対の支持梁部１１ａが互いに反対方向に曲げられることにより、固定面内における保持部材１３に対する固定位置が調整された状態で固定されている。これにより、上記第１実施形態による振動素子１と同様に、支持梁部１１ａを介してトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を容易に印加することが可能となるので、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部１４が変位することを容易に抑制することができる。

また、第４実施形態では、上記のように、固定部１１ｄは、一対の支持梁部１１ａの第１端部１１１ａ同士の間の距離Ｄ１よりも、一対の支持梁部１１ａの第２端部１１１ｂ同士の間の距離Ｄ２のほうが大きくなるように一対の支持梁部１１ａが曲げられた状態で保持部材１３に固定されている。これにより、上記第１実施形態による振動素子１と同様に、支持梁部１１ａを介してトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を容易に、かつ、確実に印加することが可能となるので、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部１４が変位することをより一層容易に抑制することができる。

なお、第４実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

［第５実施形態］
図１３および図１４を参照して、第５実施形態について説明する。第５実施形態による振動素子４０１（図１３参照）は、保持部材１３の代わりに保持部材３３０を備える点で、上記第１実施形態による振動素子１とは異なる。なお、図中において、上記第１実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。

第５実施形態では、振動素子４０１は、保持部材３３０を備える。また、第５実施形態では、固定部１１ｄは、固定面内における固定の向きが調整されることにより、一対の支持梁部１１ａの各々が、トーション梁部１１ｃが延びる第１方向においてトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を印加した状態で保持部材１３に固定されている。また、第５実施形態では、一対の固定部１１ｄの一方を固定する第１ねじ部材２２ａ、および、一対の固定部１１ｄの他方を固定する第２ねじ部材２２ｂを含む。

図１３に示すように、保持部材３３０には、第１ねじ部材２２ａが締結される第１ねじ孔２１ａ、および、第２ねじ部材２２ｂが締結される第２ねじ孔２１ｂが設けられている。第１ねじ孔２１ａおよび第２ねじ孔２１ｂは、第１ねじ部材２２ａを締め付けた際に一方の固定部１１ｄを介して一対の支持梁部１１ａの一方に印加される力、および、第２ねじ部材２２ｂを締め付けた際に他方の固定部１１ｄを介して一対の支持梁部１１ａの他方に印加される力の各々が、第１方向（Ｘ方向）において、可動部１４から離れる方向となるように構成されている。図１３に示す例では、第１ねじ孔２１ａおよび第２ねじ孔２１ｂは、第１ねじ部材２２ａの締め付け方向および第２ねじ部材２２ｂの締め付け方向が互いに異なるように構成されている。具体的には、第１ねじ孔２１ａには、矢印４３ａに示す方向にねじ孔が形成されている。矢印４３ａに示す方向は、可動部１４の表面１４ａ（図２参照）側（Ｚ１方向側）から見た場合に、時計回りとなる方向である。また、第２ねじ孔２１ｂには、矢印４３ｂに示す方向にねじ孔が形成されている。矢印４３ｂに示す方向は、可動部１４の表面１４ａ（図２参照）側（Ｚ１方向側）からＺ２方向に向いて見た場合に、反時計回りとなる方向である。

図１４に示すように、固定部１１ｄの各々は、第１ねじ部材２２ａおよび第２ねじ部材２２ｂによって、保持部材３３０に固定される。第１ねじ部材２２ａは、第１ねじ孔２１ａに締結される。したがって、第１ねじ部材２２ａの締め付け方向（締め付けトルクが作用する方向）は、矢印４３ａに示す方向となる。そのため、Ｘ１方向側の固定部１１ｄは、矢印４３ａに示す方向に回転した向きで保持部材３３０に固定される。言い換えると、Ｘ１方向側の固定部１１ｄは、第１ねじ部材２２ａの締め付けに伴って、矢印４３ａに示す方向に回転しつつ保持部材１３に固定される。Ｘ１向側の固定部１１ｄが矢印４３ａに示すよう方向に回転しつつ保持部材３３０に固定されるため、Ｘ１方向側の支持梁部１１ａは、Ｘ１方向側に位置がずれる。これにより、Ｘ１方向側の支持梁部１１ａには、矢印４４ａに示す方向に力が生じる。したがって、Ｘ１方向側のトーション梁部１１ｃには、矢印４４ａに示す方向に張力が印加される。

また、第２ねじ部材２２ｂは、第２ねじ孔２１ｂに締結される。したがって、第２ねじ部材２２ｂの締め付け方向は、矢印４３ｂに示す方向となる。そのため、Ｘ２方向側の固定部１１ｄは、矢印４３ｂに示す方向に回転した向きで保持部材３３０に固定される。言い換えると、Ｘ２向側の固定部１１ｄは、第２ねじ部材２２ｂの締め付けに伴って、矢印４３ｂに示す方向に回転しつつ保持部材３３０に固定される。Ｘ２向側の固定部１１ｄが矢印４３ｂに示すよう方向に回転しつつ保持部材３３０に固定されるため、Ｘ２方向側の支持梁部１１ａは、Ｘ２方向側に位置がずれる。これにより、Ｘ２方向側の支持梁部１１ａには、矢印４４ｂに示す方向に力が生じる。したがって、Ｘ２方向側のトーション梁部１１ｃには、矢印４４ｂに示す方向に張力が印加される。

なお、第５実施形態による振動素子４０１のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

（第５実施形態の効果）
第５実施形態では、上記のように、振動素子４０１は、光を反射する可動部１４と、第１端部１１１ａおよび第２端部１１１ｂを各々が有する一対の支持梁部１１ａと、一対の支持梁部１１ａの各々の第１端部１１１ａを支持する支持部１１ｂと、可動部１４を揺動可能に支持するトーション梁部１１ｃと、を含む金属製の基板１１と、支持部１１ｂに設けられ、可動部１４を揺動させる板波を発生させる駆動源１２と、基板１１を保持する保持部材３３０と、を備え、一対の支持梁部１１ａの各々の第２端部１１１ｂには、保持部材３３０に固定される固定部１１ｄが設けられており、固定部１１ｄは、固定面内における固定の向きが調整されることにより、一対の支持梁部１１ａの各々が、トーション梁部１１ｃが延びる第１方向においてトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を印加した状態で保持部材３３０に固定されている。これにより、上記第１実施形態による振動素子１と同様に、第５実施形態による振動素子４０１においても、製造工程が複雑化することを抑制しつつ、可動部１４が変位することを抑制することができる。

また、第５実施形態では、上記のように、一対の固定部１１ｄの一方を固定する第１ねじ部材２２ａ、および、一対の固定部１１ｄの他方を固定する第２ねじ部材２２ｂを含み、保持部材３３０には、第１ねじ部材２２ａが締結される第１ねじ孔２１ａ、および、第２ねじ部材２２ｂが締結される第２ねじ孔２１ｂが設けられており、第１ねじ孔２１ａおよび第２ねじ孔２１ｂは、第１ねじ部材２２ａを締め付けた際に一方の固定部１１ｄを介して一対の支持梁部１１ａの一方に印加される力と、第２ねじ部材２２ｂを締め付けた際に他方の固定部１１ｄを介して一対の支持梁部１１ａの他方に印加される力とが、第１方向（Ｘ方向）において、可動部１４から離れる方向となるように構成されている。

これにより、第１ねじ部材２２ａおよび第２ねじ部材２２ｂによって一対の固定部１１ｄの各々を固定することにより、一対の支持梁部１１ａの各々に、第１方向（Ｘ方向）において可動部１４から離れる方向の力が印加されるので、一対の支持梁部１１ａの各々位置を、第１方向（Ｘ方向）において、可動部１４から離れる位置に容易に変化させることができる。その結果、支持梁部１１ａを介してトーション梁部１１ｃに対して、第１方向において可動部１４から離れる方向の張力を容易に印加することができる。また、第１ねじ部材２２ａおよび第２ねじ部材２２ｂの締め付け具合（ねじ部材の角度）を調整することにより、固定面内における固定部１１ｄが固定される方向を容易に調整することができる。その結果、固定部１１ｄが固定される方向が調整されることにより、固定面内における一対の支持梁部１１ａの位置を容易に変化させることが可能となるので、支持梁部１１ａを介してトーション梁部１１ｃに対して印加する張力を容易に調整することができる。

なお、第５実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

たとえば、上記第２実施形態では、固定角度調整機構１６によって当接部材１５０が保持部材１３０に直接設けられる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図１５に示す第２実施形態の変形例による振動素子１０２のように、第２スペーサ部材２３をさらに備えていてもよい。

第２実施形態の変形例では、当接部１５は、第２スペーサ部材２３によって、支持梁部１１ａが延びる方向（Ｙ方向）における固定部１１ｄの固定位置を調整可能に構成されている。

図１６に示すように、第２スペーサ部材２３は、平板形状を有している。また、第２スペーサ部材２３には、Ｘ方向に延びる切欠２３ａが設けられている。図１６に示す第２スペーサ部材２３は、Ｘ２方向側の当接部材２５と保持部材１３０との間に設けられるため、切欠２３ａは、Ｘ１方向側に設けられている。なお、図示はしていないが、Ｘ１方向側に設けられる第２スペーサ部材２３には、Ｘ２方向側に切欠２３ａが設けられる。切欠２３ａがねじ部材１６ａに嵌まることにより、当接部材２５と保持部材１３０との間に設けられる。

第２実施形態の変形例では、上記のように、支持梁部１１ａが延びる方向において、当接部（当接部材１５０）と保持部材１３０との間に配置される第２スペーサ部材２３をさらに備え、当接部は、第２スペーサ部材２３によって、支持梁部１１ａが延びる方向（Ｙ方向）における固定部１１ｄの固定位置を調整可能に構成されている。これにより、支持梁部１１ａが延びる方向において固定部１１ｄの固定位置を調整することが可能となるので、基板１１および保持部材１３に生じる製造時の公差が生じた場合でも、組み立て時における固定部１１ｄの固定位置の誤差を低減することができる。その結果、振動素子１０２を容易に製造することができる。

また、上記第４実施形態では、固定部１１ｄに貫通孔３０が設けられる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図１７に示す第４実施形態の変形例の振動素子３０２のように、固定部１１ｄに貫通孔３０の代わりに、固定位置調整部２４が設けられていてもよい。

図１７に示すように、固定位置調整部２４は、固定部１１ｄの厚み方向（Ｚ方向）において固定部１１ｄを貫通するとともに、第１方向（Ｘ方向）に沿って延びるように構成されている。また、図１８に示すように、固定部１１ｄは、固定位置調整部２４に挿通された固定部材２６によって、固定面内における位置調整が行われた状態で保持部材１３に固定されている。なお、固定部材２６は、たとえば、ねじ部材を含む。

第４実施形態の変形例では、上記のように、支持梁部１１ａが曲げられた状態で保持部材１３に固定されている場合において、固定部１１ｄは、固定部１１ｄの厚み方向（Ｚ方向）において固定部１１ｄを貫通するとともに、第１方向（Ｘ方向）に沿って延びる固定位置調整部２４を有しており、固定部１１ｄは、固定位置調整部２４に挿通された固定部材２６によって、固定面内における位置調整が行われた状態で保持部材１３に固定されている。これにより、固定位置調整部２４が第１方向に延びているため、固定部１１ｄを保持部材１３に固定する際の第１方向における第２端部１１１ｂ同士の間の距離Ｄ２（図１２参照）を容易に調整することができる。その結果、支持梁部１１ａを介してトーション梁部１１ｃに対して印加する張力の大きさを容易に調整することができる。

また、上記第１実施形態では、固定部１１ｄが、第１方向（Ｘ方向）において可動部１４に近い側の第１部分１１０ａが、可動部１４の裏面１４ｂ側から表面１４ａ側に向かう方向（Ｚ１方向）に回転するようにねじられた状態で固定される構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、固定部１１ｄは、固定部１１ｄのうち、第１方向において可動部１４から遠い側の第２部分１１０ｂが、可動部１４の表面１４ａ側から裏面１４ｂ側に向かう方向（Ｚ２方向）に回転するようにねじられた状態で保持部材１３に固定されていてもよい。

また、上記第１〜第５実施形態では、トーション梁部１１ｃの端部のうち、可動部１４に接続されている端部を可動部１４の表面１４ａ側に突出する方向に支持梁部１１ａがねじられた状態で保持部材１３に固定されている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、可動部１４に接続されている端部を可動部１４の表面１４ａ側に突出する方向に支持梁部１１ａがねじられていなくてもよい。

また、上記第１〜第５実施形態では、当接部１５または当接部材１５０が複数設けられる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、当接部１５または当接部材１５０は、一体的に構成され、保持部材のＸ１方向側およびＸ２方向側において、当接面を有していればよい。

また、上記第１〜第５実施形態では、固定部１１ｄがねじ部材によって保持部材１３に固定される構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、固定部１１ｄは、接着剤などによって保持部材１３に固定されていてもよい。固定部１１ｄは、保持部材１３に対する傾き、基板１１の表面に沿う固定面内における保持部材１３に対する固定位置、および、固定面内における固定の向きのいずれかが調整されることにより、一対の支持梁部１１ａの各々が、トーション梁部１１ｃが延びる第１方向においてトーション梁部１１ｃに対して可動部１４から離れる方向に張力を印加した状態で保持部材１３に固定されていれば、固定部１１ｄの固定方はどのような方法であってもよい。

また、上記第１〜第３実施形態では、固定部１１ｄの第１部分１１０ａが、第２部分１１０ｂよりもＺ１方向側に配置される構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、第１部分１１０ａが、第２部分１１０ｂよりも、Ｚ２方向側に配置されるように構成されていてもよい。

また、上記第３実施形態では、第１スペーサ部材１７が、第１方向（Ｘ方向）において、補助スペーサ部材１８よりも可動部１４に近い側に配置される構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、第１スペーサ部材１７は、第１方向において、補助スペーサ部材１８よりも可動部１４から遠い側に配置されてもよい。

また、上記第３実施形態では、第１スペーサ部材１７と、補助スペーサ部材１８とを備える構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、補助スペーサ部材１８を備えなくてもよい。しかしながら、補助スペーサ部材１８を設けない構成の場合、固定部１１ｄをねじ部材で固定する場合に、安定して固定することができない。したがって、固定部１１ｄをねじ部材で固定する場合には、補助スペーサ部材１８を設ける方が好ましい。または、補助スペーサ部材１８を設けない構成の場合、固定部１１ｄを接着剤などによって固定することが好ましい。

また、上記第１〜第５実施形態では、可動部１４に配置する部材として、ミラー１０を用いる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、可動部１４にレンズを配置してもよい。

また、上記第１〜第５実施形態では、可動部１４に配置する部材として、ミラー１０を用いる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、可動部１４に発光素子を配置してもよい。

また、上記第１〜第５実施形態では、可動部１４に配置する部材として、ミラー１０を用いる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、可動部１４に受光素子を配置してもよい。また、可動部１４に発光素子と受光素子との双方を配置してもよい。

また、上記第１〜第５実施形態では、可動部１４に配置する部材として、ミラー１０を用いる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、可動部１４に気体またはガスに反応する酵素を配置してもよい。

１、１０１、１０２、２０１、３０１、３０２、４０１ 振動素子
２ 光源
１１ 基板
１１ａ 一対の支持梁部
１１ｂ 支持部
１１ｃ トーション梁部
１１ｄ 固定部
１２ 駆動源
１３、１３０、２３０、３３０ 保持部材
１４ 可動部
１４ａ 可動部の表面
１４ｂ 可動部の裏面
１５ 当接部
１５ａ、１５０ａ、２５０ａ 当接面
１６ 固定角度調整機構
１７ 第１スペーサ部材
２１ａ 第１ねじ孔
２１ｂ 第２ねじ孔
２２ａ 第１ねじ部材
２２ｂ 第２ねじ部材
２３ 第２スペーサ部材
２４ 固定位置調整部
２５、１５０ 当接部材
２６ 固定部材
１１０ａ 第１部分
１１０ｂ 第２部分
１１１ａ 第１端部
１１１ｂ 第２端部

Claims (10)

1. 可動部と、
   第１端部および第２端部を各々が有する一対の支持梁部と、前記一対の支持梁部の各々の前記第１端部を支持する支持部と、前記可動部を揺動可能に支持するトーション梁部と、を含む金属製の基板と、
   前記支持部に設けられ、前記可動部を揺動させる板波を発生させる駆動源と、
   前記基板を保持する保持部材と、を備え、
   前記一対の支持梁部の各々の前記第２端部には、前記保持部材に固定される固定部が設けられており、
   前記固定部は、前記保持部材に対する傾き、前記基板の表面に沿う固定面内における前記保持部材に対する固定位置、および、前記固定面内における固定の向きのいずれかが調整されることにより、前記一対の支持梁部の各々が、前記トーション梁部が延びる第１方向において前記トーション梁部に対して前記可動部から離れる方向に張力を印加した状態で前記保持部材に固定されている、振動素子。
2. 前記固定部は、互いに反対方向にねじられることにより、前記保持部材に対する傾きが調整された状態で固定されているか、または、前記一対の支持梁部が互いに反対方向に曲げられることにより、前記固定面内における前記保持部材に対する固定位置が調整された状態で固定されている、請求項１に記載の振動素子。
3. 前記固定部は、
   前記固定部の前記第１方向における部分のうち、前記可動部に近い側の第１部分が、前記可動部の裏面側から表面側に向かう方向に回転するようにねじられた状態、または、前記固定部の前記第１方向における部分のうち、前記可動部から遠い側の第２部分が、前記可動部の表面側から裏面側に向かう方向に回転するようにねじられた状態で前記保持部材に固定されているか、または、
   前記一対の支持梁部の前記第１端部同士の間の距離よりも、前記一対の支持梁部の前記第２端部同士の間の距離のほうが大きくなるように前記一対の支持梁部が曲げられた状態で前記保持部材に固定されている、請求項２に記載の振動素子。
4. 前記固定部がねじられた状態で前記保持部材に固定される場合において、
   前記保持部材は、前記固定部と当接する当接面を有する当接部を含み、
   前記当接面は、前記第１方向において前記可動部に近い側の第１当接部分と、前記第１方向において前記可動部から遠い側の第２当接部分とが、前記可動部の表面と直交する第２方向において互いに異なる位置となるように傾斜している、請求項３に記載の振動素子。
5. 前記当接部は、前記保持部材とは別体で設けられた当接部材を含み、
   前記当接面の傾斜角度を調整可能な固定角度調整機構をさらに備える、請求項４に記載の振動素子。
6. 前記固定部がねじられた状態で前記保持部材に固定される場合において、
   前記保持部材は、前記固定部と当接する当接面を有する当接部を含み、
   前記可動部の表面と直交する第２方向において、前記固定部と前記当接面との間の位置に設けられた第１スペーサ部材をさらに備え、
   前記固定部は、前記第１スペーサ部材によって、前記保持部材に対する傾きが調整された状態で、前記保持部材に固定されている、請求項３に記載の振動素子。
7. 
   前記固定部は、前記トーション梁部のうち、前記可動部に接続されている端部を前記可動部の表面側に突出する方向に前記支持梁部がねじられた状態で前記保持部材に固定されている、請求項４〜６のいずれか１項に記載の振動素子。
8. 前記支持梁部が延びる方向において、前記当接部と前記保持部材との間に配置される第２スペーサ部材をさらに備え、
   前記当接部は、前記第２スペーサ部材によって、前記支持梁部が延びる方向における前記固定部の固定位置を調整可能に構成されている、請求項４〜７のいずれか１項に記載の振動素子。
9. 前記支持梁部が曲げられた状態で前記保持部材に固定されている場合において、
   前記固定部は、前記固定部の厚み方向において前記固定部を貫通するとともに、前記第１方向に沿って延びる固定位置調整部を有しており、
   前記固定部は、前記固定位置調整部に挿通された固定部材によって、前記固定面内における位置調整が行われた状態で前記保持部材に固定されている、請求項３に記載の振動素子。
10. 一対の前記固定部の一方を固定する第１ねじ部材、および、一対の前記固定部の他方を固定する第２ねじ部材を含み、
    前記保持部材には、前記第１ねじ部材が締結される第１ねじ孔、および、前記第２ねじ部材が締結される第２ねじ孔が設けられており、
    前記第１ねじ孔および前記第２ねじ孔は、前記第１ねじ部材を締め付けた際に前記一方の固定部を介して前記一対の支持梁部の一方に印加される力、および、前記第２ねじ部材を締め付けた際に前記他方の固定部を介して前記一対の支持梁部の他方に印加される力の各々が、前記第１方向において、前記可動部から離れる方向となるように構成されている、請求項３に記載の振動素子。

Images