JP5267370B2 - 光スキャナ - Google Patents
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Description
前記基板部と一体形成された前記捻れ梁部が捻れ振動し、前記ミラー部が揺動することで、前記反射面に入射した光束を反射して、走査することを特徴とするものである。
以下、本発明の一実施形態について図面を用いて詳細に説明する。図1は、光スキャナ1の外観を示す図である。図2は、図1に示した光スキャナ1のA−A線に従う断面図である。図3は、図1に示した光スキャナ1のB−B線に従う断面図である。ただし、図1、及び図2には、光スキャナ1とともに駆動制御部30が示されているが、駆動制御部30はどの位置に配置されていてもよい。そのため、駆動制御部30の位置関係は、図1と図2とで厳密に対応付けられていない。図1に示すように、光スキャナ1は、ミラー部2と、捻れ梁部3と、揺動板4aと、固定枠4bと、駆動部5L、5Rとを備える。ミラー部2と、捻れ梁部3と、揺動板4aと、固定枠4bと、駆動部5L、5Rとは、図2、図3に示すベース台20上に設置される。なお、図1に示したB−B線は、図3に示したミラー部2の揺動軸線AX2と略一致しており、ミラー部2は、揺動軸線AX2回りに揺動する。
図面を用いて、本実施形態に係る光スキャナ1の製造方法について、詳細に説明する。
図面を用いて光スキャナ1の動作について説明する。
表、及び図面を用いて、ミラー部2の反射面8に生じる動的歪みに関するシミュレーションによる解析結果を示す。一般的に、揺動部材の動的歪みDDは、比例定数Ctと、揺動部材の揺動時の共振周波数ωと、光学振れ角θと、揺動部材の静止時の端部と中心との距離MLと、揺動部材の厚みTDと、揺動部材の密度ρと、ヤング率Eとを用いて数式1により定義される。本実施形態において、ミラー部2が揺動部材に相当する。なお、数式1に示すように、動的歪みDDは、共振周波数ωと光学振れ角θとに依存し、変化する。補強部7に用いられる部材や補強部7の厚さを変えることによって、共振周波数ωと光学振れ角θとは当然変化する。しかし、今回のように補強部7に用いられる部材や補強部7の厚さを変えて、各々の場合の解析結果を比較する場合、共振周波数ωと光学振れ角θとを同一条件下におき、比較する必要がある。以下に示す解析結果は、全て共振周波数ω=3216(Hz)、光学振れ角θ=34(deg)と設定した際の動的歪みDDに関する解析結果である。また、シミュレーションに際しては、図5に示したミラー部2のみをモデルとして揺動させており、図1等に示したような光スキャナ1全体をモデルとして揺動させていない。しかし、動的歪みDDは、数式1に示すように、ミラー部2の大きさ、物性、揺動時の共振周波数ω、光学振れ角θのみに依存するものであるため、図1等に示した光スキャナ全体をモデルとしてシミュレーションを行っても今回行った解析結果と同じ結果が得られる。また、実測の場合も同様である。表1は、シミュレーションに際して用いた基板部6、及び補強部7の材料の、密度ρとヤング率Eと比率ρ/Eとを示す。
DD=Ct・ω2θ・(ML5/TD2)・(ρ/E)
表4、及び図7を用いて、ミラー部2の反射面8に生じる静的歪みに対する実験結果を示す。なお、図7において、基板部6、及び補強部7の「表」「裏」とは、各々、基板部6、及び補強部7の「Z軸の正の側」「Z軸の負の側」を指す。図4Aに示すSA5において、基板部6よりもヤング率の高い補強部7の裏面URに接着剤BNを塗布し、補強部7の裏面URを基板部6の表面FBに接着する際、図7に示すように、基板部6の裏面UBに静的歪みが生じる。基板部6の裏面UBに静的歪みが生じるのは、接着剤BNが固化する際に、基板部6の表面FBが、図7に示すように、基板部6よりもヤング率の高い補強部7と接着剤BNとに押し出されて、変形し、基板部6の裏面UBが歪むためである。
本実施形態に係る光スキャナ1、及び駆動制御部30は、特開2008−83603号公報に開示されているように、レーザプリンタや網膜走査ディスプレイ等の画像表示装置に適用可能である。光スキャナ1がこれらの装置に適用される場合、光スキャナ1は画像を形成するための画像光を走査する偏向素子として用いられる。本実施形態に係る光スキャナ1が用いられることにより、高精度の走査が可能となり、高画質な画像が形成可能となる。
本実施形態において、補強部7の裏面URが、基板部6の表面FBに接着され、反射面8が補強部7の表面FRに形成されることで、ミラー部2が形成されていたがこれに限らず、図8に示すように、反射面8を補強部7の裏面URに形成し、基板部6の表面FBに反射面8を接着することで、ミラー部2を形成してもよい。この場合、補強部7は光を透過する物性を有する必要があるため、サファイア、ルビー及びダイアモンド等の透過性を有する低密度、且つ高ヤング率な材料が補強部7に用いられる必要がある。この場合、光スキャナ1は、補強部7に入射して補強部7を透過し、反射面8に入射した光束を反射して走査する。この場合においても、反射面8に生ずる動的歪み、静的歪みの値は、本実施形態における動的歪み、静的歪みの値と同じ小さな値となり、光スキャナ1は高精度な走査が可能である。
2 ミラー部
3 捻れ梁部
4a 揺動板
4b 固定枠
5L、5R 駆動部
6 基板部
7 補強部
8 反射面
FB 基板部6の表面
UB 基板部6の裏面
FR 補強部7の表面
UR 補強部7の裏面
Claims (9)
- 基板部と、前記基板部の表裏両面のうちの一方の面である接着面に接着されて設けられ、入射した光束を反射する反射部とを有するミラー部と、
前記ミラー部に連結され、前記基板部と同一の材料で前記基板部と一体形成され、捻れ振動可能な捻れ梁部と、を備え、
前記反射部は、補強部と反射面とを備え、
前記補強部は、前記基板部の密度ρ1より低い密度ρ2であり、且つ前記基板部のヤング率E1より高いヤング率E2であり、比率ρ2/E2が1.0×10 -8 (s 2 m -2 )以下である材料により形成され、
前記反射面は、前記補強部の表裏両面のうちの一方の面である設置面に設けられ、前記入射した光束を反射し、
前記基板部と一体形成された前記捻れ梁部が捻れ振動し、前記ミラー部が揺動することで、前記反射面に入射した光束を反射して、走査することを特徴とする光スキャナ。 - 前記補強部の表裏両面のうちの設置面の反対側の面である非設置面は、前記基板部の前記接着面に接着されることを特徴とする請求項1に記載の光スキャナ。
- 前記補強部は、アルミナ、サファイア、ルビー、炭化ケイ素、及びダイアモンドのいずれかにより形成されたことを特徴とする請求項1または2に記載の光スキャナ。
- 前記反射面に垂直な方向における前記補強部の厚みは、前記基板部の厚みの5倍以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光スキャナ。
- 前記捻れ梁部は、前記基板部の両側に連結することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光スキャナ。
- 前記反射面は、前記基板部の前記接着面に接着され、
前記補強部は、光を透過することのできる材料で形成され、
前記基板部と一体形成された前記捻れ梁部が捻れ振動し、前記ミラー部が揺動することで、前記補強部に入射して前記補強部を透過し、前記反射面に入射した光束を反射して、走査することを特徴とする請求項1に記載の光スキャナ。 - 前記補強部は、サファイア、ルビー、及びダイアモンドのいずれかにより形成されたことを特徴とする請求項6に記載の光スキャナ。
- 前記反射面に垂直な方向における前記補強部の厚みは、前記基板部の厚みの5倍以下であることを特徴とする請求項6または7のいずれかに記載の光スキャナ。
- 前記捻れ梁部は、前記基板部の両側に連結することを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載の光スキャナ。
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