JP2005099638A - ガルバノミラー及びこれを用いた映像プロジェクタ装置 - Google Patents
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Abstract
高速回転により反射面に歪みの生じることがない、比剛性が高く、反射面が平滑な面精度を有して、広い範囲の可視光領域において均一に高い反射率を有し、結露の発生することのないガルバノミラーおよび映像プロジェクタ装置を提供する。
【解決手段】
表面ボイド率が0.1%以下の多結晶セラミックス体を有する基材の表面に、順次、銀もしくは金からなる反射層と、フッ化物もしくは酸化物からなる透明保護層を積層してなり、全体の厚みが1mm以下であることをガルバノミラーとする。
そして、上記基材が、多結晶セラミックス体からなる基材の表面に、ガラス転移点が600℃以下である低融点ガラスのグレーズ層を形成してなることが好ましい。
【選択図】図1
Description
多結晶セラミックス体は純度99.5%アルミナ、コージライト、アルティックを用い、実施例4〜6は、ガラス転移温度450℃の低融点ガラスを用いてグレーズ層を形成した。
2:基材
3:グレーズ層
4:基材の表面
5:反射層
6:透明保護層
7:反射面
8:回転軸
20:映像プロジェクタ装置
Claims (6)
- 表面ボイド率が0.1%以下の多結晶セラミックス体を有する基材表面に、銀もしくは金からなる反射層と、該反射層表面にフッ化物もしくは酸化物からなる透明保護層を積層してなり、全体の厚みが1mm以下であることを特徴とするガルバノミラー。
- 上記基材は、多結晶セラミックス体からなる基材の表面に、ガラス転移点が600℃以下である低融点ガラスのグレーズ層を形成してなることを特徴とする請求項1記載のガルバノミラー。
- 前記多結晶セラミックス体は、比剛性(E/ρ)5.0×109mm以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載のガルバノミラー。
- 前記多結晶セラミックス体は、熱伝導率40W/m・K以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のガルバノミラー。
- 前記多結晶セラミックス体は、吸水率5%以上の多孔質体であることを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載のガルバノミラー。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のガルバノミラーを具備したことを特徴とする映像プロジェクタ装置。
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