JP4522315B2 - スキャンミラー、その製造方法およびレーザ加工機 - Google Patents
スキャンミラー、その製造方法およびレーザ加工機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4522315B2 JP4522315B2 JP2005130845A JP2005130845A JP4522315B2 JP 4522315 B2 JP4522315 B2 JP 4522315B2 JP 2005130845 A JP2005130845 A JP 2005130845A JP 2005130845 A JP2005130845 A JP 2005130845A JP 4522315 B2 JP4522315 B2 JP 4522315B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scan mirror
- metal film
- ceramic material
- expansion coefficient
- linear expansion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 93
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 93
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 45
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 17
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 15
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 12
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 10
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 7
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 5
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 3
- 238000007730 finishing process Methods 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 14
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 2
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017709 Ni Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003267 Ni-Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003262 Ni‐Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052576 carbides based ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Description
Claims (7)
- レーザ加工機用のスキャンミラーにおいて、
セラミックス材料からなるスキャンミラー本体と、
前記スキャンミラー本体の上に、前記セラミックス材料の線膨張係数βに対して0.7β〜1.5βの範囲内の線膨張係数を有する金属膜のみを備えており、
前記金属膜は、前記セラミックス材料に内在する空孔が表面に露出した凹部を埋め込んでいる、スキャンミラー。 - 前記セラミックス材料はB4CまたはSiCであり、前記金属膜はMoまたはZrである、請求項1に記載のスキャンミラー。
- 前記スキャンミラーの背面にリブ構造を備える、請求項1または2のいずれかに記載のスキャンミラー。
- 前記請求項1〜3のいずれかに記載のスキャンミラーを備える、レーザ加工機。
- レーザ加工機用のスキャンミラーの製造方法において、
前記スキャンミラーの本体をセラミックス材料で形成する工程と、
前記セラミックス材料のスキャンミラー本体の表面に、前記セラミックス材料の線膨張係数βに対して0.7β〜1.5βの範囲内の線膨張係数を持つ金属膜のみを形成する工程と、
前記金属膜を、遊離砥粒による研磨およびダイヤモンド切削による切削のうちのいずれかを行なう仕上げ加工工程とを備える、スキャンミラーの製造方法。 - 前記スキャンミラー本体をセラミックス材料で形成する工程において、セラミックス粉末を前記本体の形状に焼結した後、前記焼結された本体の表面を研磨加工する工程を備える、請求項5に記載のスキャンミラーの製造方法。
- 前記セラミックス材料のスキャンミラー本体表面を研磨加工した後、金属膜を形成する前にその本体表面の平面度を測定する工程を備える、請求項6に記載のスキャンミラーの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005130845A JP4522315B2 (ja) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | スキャンミラー、その製造方法およびレーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005130845A JP4522315B2 (ja) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | スキャンミラー、その製造方法およびレーザ加工機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006308836A JP2006308836A (ja) | 2006-11-09 |
JP4522315B2 true JP4522315B2 (ja) | 2010-08-11 |
Family
ID=37475803
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005130845A Expired - Fee Related JP4522315B2 (ja) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | スキャンミラー、その製造方法およびレーザ加工機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4522315B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009024181A1 (en) * | 2007-08-20 | 2009-02-26 | Optosic Ag | Method of manufacturing and processing silicon carbide scanning mirrors |
JP5539628B2 (ja) * | 2008-06-20 | 2014-07-02 | キヤノン電子株式会社 | 光走査用マイクロミラーデバイス、光走査装置、画像形成装置、表示装置および入力装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06281795A (ja) * | 1993-03-30 | 1994-10-07 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 放射光・X線反射用SiCミラーの製造方法 |
JPH09292505A (ja) * | 1996-04-24 | 1997-11-11 | Mitsubishi Materials Corp | 高エネルギ光線用反射鏡 |
JP2001116911A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-04-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学ミラーと光学スキャナーおよびレーザ加工機 |
JP2003109892A (ja) * | 2001-10-02 | 2003-04-11 | Toto Ltd | 露光装置用部材 |
JP2005099638A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Kyocera Corp | ガルバノミラー及びこれを用いた映像プロジェクタ装置 |
JP2005134680A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Mitsubishi Electric Corp | 反射ミラー、導光光学系システム、レーザ加工機、および反射ミラーの製造方法 |
-
2005
- 2005-04-28 JP JP2005130845A patent/JP4522315B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06281795A (ja) * | 1993-03-30 | 1994-10-07 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 放射光・X線反射用SiCミラーの製造方法 |
JPH09292505A (ja) * | 1996-04-24 | 1997-11-11 | Mitsubishi Materials Corp | 高エネルギ光線用反射鏡 |
JP2001116911A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-04-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学ミラーと光学スキャナーおよびレーザ加工機 |
JP2003109892A (ja) * | 2001-10-02 | 2003-04-11 | Toto Ltd | 露光装置用部材 |
JP2005099638A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Kyocera Corp | ガルバノミラー及びこれを用いた映像プロジェクタ装置 |
JP2005134680A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Mitsubishi Electric Corp | 反射ミラー、導光光学系システム、レーザ加工機、および反射ミラーの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006308836A (ja) | 2006-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3648205B2 (ja) | 石油掘削用トリコンビットのインサートチップおよびその製造方法ならびに石油掘削用トリコンビット | |
JP5260309B2 (ja) | 凹形非研磨中間表面を有するセラミック切削インサート及びそのような切削インサートの製造方法 | |
EP3053682B1 (en) | Cutting tool and method for manufacturing cut product using same | |
CN110523985A (zh) | 一种激光选区熔化制备导向叶片的工艺 | |
KR20040032151A (ko) | 스로우 어웨이 팁 | |
JP6509704B2 (ja) | ペリクル枠およびペリクル枠の製造方法 | |
JP2004223700A (ja) | 転写光学面の加工方法、加工機、光学素子成形用型及びダイアモンド工具 | |
JP4522315B2 (ja) | スキャンミラー、その製造方法およびレーザ加工機 | |
US20060218788A1 (en) | Method of manufacturing a hollow blade that includes a recessed tip cap and method of reparing such a blade | |
JP2007181882A (ja) | 転写光学面の加工方法、光学素子用成形金型及び光学素子 | |
FR3074800B1 (fr) | Procede de fabrication de pieces en materiau ceramique par la technique des procedes additifs | |
JP5839289B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP6509603B2 (ja) | ペリクル枠の製造方法 | |
JP5897028B2 (ja) | 全面仕上げプレス加工/全面仕上げ焼結されたカッティングインサート及び当該カッティングインサートの製造方法 | |
EP0619382A1 (en) | Hard sintered tool and manufacturing method thereof | |
CA3099808C (en) | Mirror support for a composite optical mirror and method for its production | |
Baumeister et al. | Replication of LIGA structures using microcasting | |
US20060150684A1 (en) | Composite mold and method for making the same | |
JP4854946B2 (ja) | エンドミル素材及びエンドミル | |
JP2996441B2 (ja) | 歯車型ドレッサの製造方法 | |
US11794257B2 (en) | Cutting insert and cutting tool | |
JP4794163B2 (ja) | スローアウェイチップの製造方法 | |
JP2004268202A (ja) | 小径エンドミル | |
JP5275744B2 (ja) | 切削インサート、窒化珪素切削工具、切削インサートに用いられる窒化珪素焼結体の製造方法 | |
US20070281183A1 (en) | Film formation method, die, and method of manufacturing the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070927 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100223 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100421 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100518 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100525 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4522315 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130604 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |