JP2006003376A - 光学反射ミラー - Google Patents
光学反射ミラー Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006003376A JP2006003376A JP2004176386A JP2004176386A JP2006003376A JP 2006003376 A JP2006003376 A JP 2006003376A JP 2004176386 A JP2004176386 A JP 2004176386A JP 2004176386 A JP2004176386 A JP 2004176386A JP 2006003376 A JP2006003376 A JP 2006003376A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sic
- composite material
- surface roughness
- mirror
- reflection mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
【解決手段】 Siマトリックス中にSiC強化材が複合されたSiC−Si複合材料からなる基板の表面に直接に反射膜を形成してなる光学反射ミラーであって、前記SiC−Si複合材料中のSiCの含有率が60〜90体積%であり、かつ、前記基板の表面粗さRaが10nm以下であることを特徴とする光学反射ミラー。さらに、前記SiC−Si複合材料組織中のSiマトリックス相幅の平均値が1μm以下であり、かつ、SiC強化材の平均粒径が3μm以下であることが好ましい。
【選択図】 なし
Description
すなわち、半導体ウェハ、マスク及びレチクル等の基板を、高精度で高速移動し、位置決めできるステージは、軽量であり、高速化による負荷に耐えるようにヤング率の高いSiC系セラミックスが用いられているため、該ステージに搭載される位置決め用ミラーも、環境変化に左右されずに高い位置決め精度を付与するために、ステージ基材と同じ熱伝導率、及び熱膨張係数を有するSiC系セラミックが用いられていた。
例えば、このようなステージ位置決め用ミラーとして、SiC系セラミックスからなる基板上に、反射膜を蒸着して光学反射ミラーを作製する技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
(2)前記SiC−Si複合材料組織中のSiマトリックス相幅の平均値が1μm以下であり、かつ、SiC強化材の平均粒径が3μm以下であることを特徴とする(1)記載の光学反射ミラー。
本発明で、Siマトリックス中にSiC強化材が複合されたSiC−Si複合材料からなる基板の表面に直接に反射膜を形成してなる光学反射ミラーであって、前記SiC−Si複合材料中のSiCの含有率が60〜90体積%であり、かつ、前記基板の表面粗さRaが10nm以下であることを特徴とする光学反射ミラーを提案している。
このようにして測定したSiマトリックス相幅の平均値が1μm以下とした理由は、Siマトリックス相幅の平均値が1μmを超えて大きいと、Siマトリックス相が選択的に研磨されて、SiC−Si複合材料からなる基板の表面粗さRaが10nm以下とならないからである。
さらに、これにより得られた鏡面上に、例えばAlを直接蒸着して反射膜を形成すれば、本発明の光学反射ミラーを得ることができる。なお、ステージに設置する場合、ミラー面と垂直の基準面を設けても良く、これも本発明に包含される。
平均粒径0.7μmのSiC粉末(スタルク製、UF−10)に焼結助剤としてホウ素を0.3重量%添加した。SiC粉末に対し黒鉛換算で3重量%のカーボンブラック粉末(三菱化学製、MA−200RB)を水、及び乳化剤(サンノプコ製、SNディスパーサント5047)とともに混合することにより黒鉛エマルジョン液を作製した。この液に前述のSiC原料粉末を添加、混合した後乾燥、成形し、アルゴン雰囲気中1900℃で焼結した。
次に、複合材料の比重をアルキメデス法により測定したところ、3.02とSiC焼結体(比重:3.2)よりも軽かった。
また、SiC−Si複合材料を3×4×40mmに加工し、共振法によりヤング率を測定したところ、350GPaであった。さらに試料を3×4×20mmに加工し、レーザー干渉式の熱膨張率測定装置にて23℃における熱膨張係数を測定したところ、2.35(ppm/K)であり、同試料をφ5×1mmに加工して、レーザーフラッシュ式の熱伝導率測定装置にて熱伝導率を測定したところ、100(W/m・K)とSiCと同等の熱物性が得られた。
SiC強化材の平均粒径が3.5μmとなるようにした以外は実施例1と同様にしてSiC−Si複合材料を作成し、得られたSiC−Si複合材料組織中のSiマトリックス相幅の平均値を測定した結果、その値は1.5μmであった。
この複合材料から実施例1と同様にして、10t×□50mmのSiC−Si複合材料を研削、ダイヤ研磨した後に接触式の表面粗さ測定器により表面粗さを測定したところ、表面粗さRaは15nmと大きかった。次に、研磨面に反射膜としてAlを膜厚130nm、保護膜としてSiO2を200nm蒸着し、He−Neレーザー光の波長633nmにて反射率を測定したところ、反射率は70%と低かった。
Claims (2)
- Siマトリックス中にSiC強化材が複合されたSiC−Si複合材料からなる基板の表面に直接に反射膜を形成してなる光学反射ミラーであって、前記SiC−Si複合材料中のSiCの含有率が60〜90体積%であり、かつ、前記基板の表面粗さRaが10nm以下であることを特徴とする光学反射ミラー。
- 前記SiC−Si複合材料組織中のSiマトリックス相幅の平均値が1μm以下であり、かつ、SiC強化材の平均粒径が3μm以下であることを特徴とする請求項1記載の光学反射ミラー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004176386A JP2006003376A (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 光学反射ミラー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004176386A JP2006003376A (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 光学反射ミラー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006003376A true JP2006003376A (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=35771857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004176386A Pending JP2006003376A (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 光学反射ミラー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006003376A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007230822A (ja) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Taiheiyo Cement Corp | レンズ成形用金型及びその製造方法 |
JP2012144389A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Taiheiyo Cement Corp | SiC/Si複合材料 |
JP2012224523A (ja) * | 2011-04-21 | 2012-11-15 | Taiheiyo Cement Corp | SiC/Si複合材料 |
JP2017147407A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | 日本特殊陶業株式会社 | 位置決めステージ用のテーブルおよびこれを用いた位置決め方法 |
WO2022049818A1 (ja) * | 2020-09-07 | 2022-03-10 | 日本碍子株式会社 | 耐火材 |
-
2004
- 2004-06-15 JP JP2004176386A patent/JP2006003376A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007230822A (ja) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Taiheiyo Cement Corp | レンズ成形用金型及びその製造方法 |
JP2012144389A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Taiheiyo Cement Corp | SiC/Si複合材料 |
JP2012224523A (ja) * | 2011-04-21 | 2012-11-15 | Taiheiyo Cement Corp | SiC/Si複合材料 |
JP2017147407A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | 日本特殊陶業株式会社 | 位置決めステージ用のテーブルおよびこれを用いた位置決め方法 |
WO2022049818A1 (ja) * | 2020-09-07 | 2022-03-10 | 日本碍子株式会社 | 耐火材 |
JPWO2022049818A1 (ja) * | 2020-09-07 | 2022-03-10 | ||
JP7167367B2 (ja) | 2020-09-07 | 2022-11-08 | 日本碍子株式会社 | 耐火材 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2012053312A1 (ja) | コーディエライト質焼結体 | |
KR101595693B1 (ko) | 반도체용 복합 기판의 핸들 기판 | |
KR20160120719A (ko) | 반도체용 복합 기판의 핸들 기판 및 반도체용 복합 기판 | |
KR102188440B1 (ko) | 반도체용 복합 기판의 핸들 기판 | |
TWI570091B (zh) | Modular stone sintered body, its preparation method and composite substrate | |
CN107226692B (zh) | 堇青石质烧结体、其制法及复合基板 | |
JP4718397B2 (ja) | 真空吸着装置の製造方法 | |
EP2871668A1 (en) | Handle substrate for compound substrate for use with semiconductor | |
JP2006003376A (ja) | 光学反射ミラー | |
JPH11343168A (ja) | 低熱膨張黒色セラミックス及びその製造方法、並びに半導体製造装置用部材 | |
TW200940478A (en) | Method for producing polycrystal transparent ceramic substrate, and method for producing spinel substrate | |
JP5681481B2 (ja) | 緻密質−多孔質接合体 | |
JP4761948B2 (ja) | 炭化珪素質焼結及びそれを用いた半導体製造装置用部品 | |
JP2001237303A (ja) | ウェハ用真空チャックおよびその製造方法 | |
JPH08316283A (ja) | ダミーウエハー | |
JP4446611B2 (ja) | 黒色低熱膨張セラミックスおよび露光装置用部材 | |
JP3147977B2 (ja) | 炭化珪素焼結体製反射ミラー用基板とその製造方法 | |
Ealey et al. | Polishability of CERAFORM silicon carbide | |
JP2005099638A (ja) | ガルバノミラー及びこれを用いた映像プロジェクタ装置 | |
JP4708891B2 (ja) | 光学反射ミラー | |
JP4568979B2 (ja) | コーディエライト緻密焼結体及びその製造法 | |
JP2005114805A (ja) | 光学系ミラー | |
JPH11194206A (ja) | ミラー | |
JP2015051921A (ja) | コーディエライト質焼結体 | |
JP2003292372A (ja) | セラミックス焼結体及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070205 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090915 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091112 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100302 |