JP2011100100A - 光走査装置、画像形成装置および画像投影装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カンチレバーの端部の厚み方向に曲線をつけ、カンチレバーの固定端部が最も厚い厚さ分布をもたせる。これにより、引っ張り応力の集中が緩和される。カンチレバーと捩り梁を同一のSi基板に形成し、捩り梁の板厚をSi基板と同じ厚さとし、カンチレバーはそれよりも薄く形成する。
【選択図】図10
Description
本発明の目的は、共振周波数のばらつきの発生を抑制しつつ、折れ難いカンチレバーと、捩り回転時にカンチレバーが折れ難く、大きい振れ角が実現可能な光走査装置、画像形成装置および画像投影装置を提供することにある。
・酸化膜により、エッチングのムラの発生を抑制し、エッチングによる捩り梁部分の板厚のばらつきの発生を抑制することができるので、ミラーの振動のばらつきを抑えることができ、
・捩り梁部分の板厚に比べてカンチレバーの部分の板厚を薄くすることにより、カンチレバーが変位しやすくなるので、ミラー部のより大きな振れ角を実現することができ、
・応力が集中するカンチレバーと捩り梁の連結部を酸化膜から離すことにより、異種材料(酸化膜)が介在しないために、カンチレバーが折れ難くなる。これにより、共振周波数のばらつきが小さく、振れ角が大きい光走査装置が得られる。
2 カンチレバー
3 PZT
4 ミラー
5 リブ
6 フレーム
7 上部Pad電極
8 下部Pad電極
Claims (5)
- 光源からの光ビームを、捩り梁を介して揺動させて偏向するミラー面を有するミラー質量部と、前記ミラー質量部を支持する捩り梁と、前記捩り梁に捩りトルクを与えるカンチレバーが、Si基板+酸化膜+Si基板の3層構成からなる光走査装置において、前記カンチレバーと前記捩り梁は同一のSi基板に形成され、前記カンチレバーは前記捩り梁よりも板厚が薄いことを特徴とする光走査装置。
- 前記カンチレバーは、固定される端部が最も厚い厚さ分布を有することを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
- 前記カンチレバーの固定端部と中央部は、曲線的な厚さの分布で接続されていることを特徴とする請求項2記載の光走査装置。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光走査装置と、前記光走査装置によって静電像が形成される感光体と、前記静電像をトナーで顕像化する現像手段と、前記顕像化されたトナー像を記録紙に転写する転写手段とを有することを特徴とする画像形成装置。
- 光源と、光源からの発散光を略平行光とするコリメート光学系と、前記光源からの光出力を画像信号に応じて変調する変調器と、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光走査装置を有することを特徴とする画像投影装置。
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