JP2016177075A - 光偏向装置、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置および画像読取装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態の光偏向装置は、ミラーと、前記ミラーを支持する基板と、前記基板の前記ミラーの反射面とは反対面に設けられたリブと、を備えたミラー支持部と、前記ミラー支持部に連結したトーションバーと、前記トーションバーをねじり変形させて前記ミラー支持部を回転駆動させる駆動手段と、を備えている。前記リブの裾部は、前記基板側に向かって傾斜する傾斜部を備えている。
【選択図】図7
Description
図1は、第1の実施形態にかかる光偏向装置1の斜視図である。図1に示すように、光偏向装置1は、光を反射させるミラー13を有するミラー支持部10を備えている。このミラー支持部10の一方の端部には、ミラー支持部10を回転(揺動)可能に支持する第1弾性支持部材としての第1トーションバースプリング20aが接続されており、他方の端部には、第2弾性支持部材としての第2トーションバースプリング20bが接続されている。
図7は、第2の実施形態にかかるミラー支持部210の構造を示す斜視図である。図7に示すように、ミラー支持部210においては、Si基板101上に、SiO2膜102が形成されており、さらにその上に、第2の実施形態にかかるリブ211が形成されている。尚、リブ211は第1の実施形態と同様にシリコンで形成される。
図10は、第3の実施形態にかかるミラー支持部310の構造を示す斜視図である。第3の実施形態にかかるミラー支持部310は、第2の実施形態においてリブ211の下部以外に積層されているSiO2膜102(図7、図8参照)を除去し、ミラー支持部310のエッジEをSi基板101の1層構造としている。また、第3の実施形態では、リブ211の下部に残ったSiO2膜を、リブ構造の一部として用いている。
第4の実施形態では、画像形成装置の光走査装置(光書き込みユニット)に、上述した光偏向装置1を備えた例について説明する。尚、光偏向装置1は、第1〜第3の実施形態で説明したミラー支持部10、210、310のうちいずれか1つを備える。
第5の実施形態では、画像投影装置において、2軸方向に光を偏向する光偏向装置1dを備えた例について説明する。尚、光偏向装置1dは、2軸方向に光を偏向する点を除いては上述の光偏向装置1と同様の構成を有し、第1〜第3の実施形態で説明したミラー支持部10、210、310のうちいずれか1つを備えている。
第6の実施形態では、画像読取装置として機能するバーコードリーダにおいて、上述した光偏向装置1を備えた例について説明する。尚、光偏向装置1は、第1〜第3の実施形態で説明したミラー支持部10、210、310のうちいずれか1つを備えている。
実施例1では、図5、図6にて上述した第1の実施形態にかかるミラー支持部10の製造例について説明する。図20は、実施例1におけるミラー支持部の製造工程を示した図である。
実施例2では、図7、図8にて上述した第2の実施形態にかかるミラー支持部210の製造例について説明する。図21は、実施例2におけるミラー支持部の製造工程を示した図である。
実施例3では、図10、図11にて上述した第3の実施形態にかかるミラー支持部310の製造例について説明する。図22は、実施例3におけるミラー支持部310の製造工程を示した図である。
10、210、310 ミラー支持部
11、211、311 リブ
11c 垂直部
11d、211d 傾斜部
13 ミラー
101 Si基板
102、3102 SiO2膜
103 Si膜
104 SOI基板
105 レジストパターン
1001 光走査装置
4000 画像形成装置
5000 画像投影装置
6000 バーコードリーダ
E エッジ
Claims (10)
- ミラーと、前記ミラーを支持する基板と、前記基板の前記ミラーの反射面とは反対面に設けられたリブと、を備えたミラー支持部と、
前記ミラー支持部に連結したトーションバーと、
前記トーションバーをねじり変形させて前記ミラー支持部を回転駆動させる駆動手段と、を備え、
前記リブの裾部は、前記基板側に向かって傾斜する傾斜部を備えている、光偏向装置。 - 前記リブの先端部は、前記基板に対して垂直に切り立つ垂直部を備えている、請求項1に記載の光偏向装置。
- 前記傾斜部の縁は、前記ミラー支持部のエッジより内側に設けられ、
前記ミラー支持部のエッジにおける前記ミラー支持部の断面構造は、前記基板と、当該基板上に設けられた絶縁層との2層構造となっており、
前記リブが設けられている箇所の前記ミラー支持部の断面構造は、前記基板と、前記絶縁層と、当該絶縁層上に設けられた前記リブの構成材との3層構造となっている、
請求項1または2に記載の光偏向装置。 - 前記傾斜部の縁は、前記ミラー支持部のエッジまで延びており、
前記ミラー支持部の断面構造は、当該ミラー支持部の全面にわたって、前記基板と、当該基板上に設けられた絶縁層と、当該絶縁層上に設けられた前記リブの構成材との3層構造となっている、請求項1または2に記載の光偏向装置。 - 前記傾斜部の縁は、前記ミラー支持部のエッジより内側に設けられ、
前記ミラー支持部のエッジにおける前記ミラー支持部の断面構造は、前記基板による1層構造となっており、
前記リブが設けられている箇所の前記ミラー支持部の断面構造は、前記基板と、当該基板上に設けられた絶縁層と、当該絶縁層上に設けられた前記リブの構成材との3層構造となっている、
請求項1または2に記載の光偏向装置。 - 前記リブの前記傾斜部は、高密度プラズマを用いたドライエッチングにより形成されている、請求項1ないし5のいずれか1つに記載の光偏向装置。
- 請求項1ないし6のいずれか1つに記載の光偏向装置を備えた光走査装置。
- 請求項1ないし6のいずれか1つに記載の光偏向装置を備えた画像形成装置。
- 請求項1ないし6のいずれか1つに記載の光偏向装置を備えた画像投影装置。
- 請求項1ないし6のいずれか1つに記載の光偏向装置を備えた画像読取装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110398795A (zh) * | 2018-04-17 | 2019-11-01 | 通快激光有限责任公司 | 扫描镜、扫描装置和照射装置 |
CN111381360A (zh) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 三美电机株式会社 | 光扫描装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11305162A (ja) * | 1998-04-27 | 1999-11-05 | Olympus Optical Co Ltd | 光スキャナ |
JP2002182136A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-26 | Olympus Optical Co Ltd | 光偏向器用のミラー揺動体 |
JP2007183662A (ja) * | 2007-02-19 | 2007-07-19 | Fujitsu Ltd | マイクロミラー素子およびその製造方法 |
US20090040636A1 (en) * | 2007-08-09 | 2009-02-12 | Lucent Technologies Inc. | Tapered reinforcing struts for micromachined structures |
JP2009222900A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Ricoh Co Ltd | 捩り梁、光走査装置および画像形成装置 |
JP2011100100A (ja) * | 2009-10-08 | 2011-05-19 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置、画像形成装置および画像投影装置 |
JP2013202711A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Toyota Central R&D Labs Inc | Memsデバイス |
JP2014182189A (ja) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
JP2015029179A (ja) * | 2013-07-30 | 2015-02-12 | アイホン株式会社 | インターホンシステム |
JP2016151681A (ja) * | 2015-02-18 | 2016-08-22 | 株式会社Jvcケンウッド | Mems光スキャナ |
-
2015
- 2015-03-19 JP JP2015056448A patent/JP6520263B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11305162A (ja) * | 1998-04-27 | 1999-11-05 | Olympus Optical Co Ltd | 光スキャナ |
JP2002182136A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-26 | Olympus Optical Co Ltd | 光偏向器用のミラー揺動体 |
JP2007183662A (ja) * | 2007-02-19 | 2007-07-19 | Fujitsu Ltd | マイクロミラー素子およびその製造方法 |
US20090040636A1 (en) * | 2007-08-09 | 2009-02-12 | Lucent Technologies Inc. | Tapered reinforcing struts for micromachined structures |
JP2009222900A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Ricoh Co Ltd | 捩り梁、光走査装置および画像形成装置 |
JP2011100100A (ja) * | 2009-10-08 | 2011-05-19 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置、画像形成装置および画像投影装置 |
JP2013202711A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Toyota Central R&D Labs Inc | Memsデバイス |
JP2014182189A (ja) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
JP2015029179A (ja) * | 2013-07-30 | 2015-02-12 | アイホン株式会社 | インターホンシステム |
JP2016151681A (ja) * | 2015-02-18 | 2016-08-22 | 株式会社Jvcケンウッド | Mems光スキャナ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110398795A (zh) * | 2018-04-17 | 2019-11-01 | 通快激光有限责任公司 | 扫描镜、扫描装置和照射装置 |
CN110398795B (zh) * | 2018-04-17 | 2023-08-22 | 通快激光有限责任公司 | 扫描镜、扫描装置和照射装置 |
CN111381360A (zh) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 三美电机株式会社 | 光扫描装置 |
JP2020106642A (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-09 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
JP7227464B2 (ja) | 2018-12-27 | 2023-02-22 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
CN111381360B (zh) * | 2018-12-27 | 2024-01-09 | 三美电机株式会社 | 光扫描装置 |
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