JP2014182189A - 光偏向器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光偏向器1は、ミラー部2を挟んで対向するように配置された1対のミアンダ型アクチュエータ4a,4bにより、ミラー部2を軸線周りに駆動するように構成される。各ミアンダ型アクチュエータ4a,4bは、端部が隣り合うように並んで配置されて圧電駆動により湾曲変形を行う複数のカンチレバー11a〜11dと、隣り合うカンチレバー11a〜11dの端部に対して折り返すように機械的に連結すると共にミラー部2の両側で対称位置に設定された折返し部12a〜12cとを有する。1対のミアンダ型アクチュエータ4a,4bにおいて対称位置に設定された折返し部のうち少なくとも1対の折返し部12cが連結梁15で連結されている。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- 反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を挟んで対向するように配置された1対の圧電アクチュエータとを備え、各圧電アクチュエータの一端が前記ミラー部に連結され、該1対の圧電アクチュエータにより前記ミラー部を第1軸線の周りに駆動するように構成された光偏向器であって、
前記各圧電アクチュエータは、端部が隣り合うように並んで配置されて圧電駆動により湾曲変形を行う複数の圧電カンチレバーと、隣り合う圧電カンチレバーの端部に対して折り返すように機械的に連結すると共に前記ミラー部の両側で対称位置に設定された折返し部とを有し、
前記1対の圧電アクチュエータにおいて前記対称位置に設定された折返し部のうち少なくとも1対の折返し部が連結梁で連結されていることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1記載の光偏向器において、
前記連結梁は、前記ミラー部に最も近い1対の折返し部を連結していることを特徴とする光偏向器。 - 請求項2記載の光偏向器において、
折返し部の複数の対のうち、前記第1軸線に対して直交する方向において前記ミラー部に対して前記連結梁で連結された折返し部とは反対側にある対の折返し部が別の連結梁で連結されていることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の光偏向器において、
前記ミラー部と前記圧電アクチュエータとの間に介在し前記圧電アクチュエータの先端部が外周側に結合する可動支持枠と、
前記可動支持枠と前記ミラー部との間に介在して前記ミラー部を前記第1軸線とは直角の第2軸線の周りに揺動させる内側アクチュエータとを備えることを特徴とする光偏向器。
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