JP2004191416A - 光走査装置および画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】シリコンマイクロマシニングによる振動ミラーを偏向器に用いた方式において、振動ミラーが動作時に変形しても、被走査面上において均一なスポット径が得られるようにし、濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる光走査装置および画像形成装置を得る。
【解決手段】発光源と、発光源からの光ビームを所定の収束状態または発散状態に変換する第1の結像光学系と、ねじり梁を回転軸として往復振動し、上記光ビームを走査する振動ミラーと、振動ミラーで走査された光ビームを被走査面上に結像する第2の結像光学系とを有する光走査装置において、振動ミラーの動的変形に応じて、上記光ビームの結像位置を被走査面から変化させる。第1の結像光学系は、光ビームの収束状態または発散状態を周期的に可変する結像位置可変手段を備えている。
【選択図】 図3
【解決手段】発光源と、発光源からの光ビームを所定の収束状態または発散状態に変換する第1の結像光学系と、ねじり梁を回転軸として往復振動し、上記光ビームを走査する振動ミラーと、振動ミラーで走査された光ビームを被走査面上に結像する第2の結像光学系とを有する光走査装置において、振動ミラーの動的変形に応じて、上記光ビームの結像位置を被走査面から変化させる。第1の結像光学系は、光ビームの収束状態または発散状態を周期的に可変する結像位置可変手段を備えている。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はデジタル複写機、レーザプリンタ等の画像形成装置に用いられる光走査装置およびこの光走査装置を用いた画像形成装置に関するもので、光走査型のバーコード読み取り装置や3次元形状計測装置等へも応用が可能なものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の光走査装置においては、光ビームを走査する偏向器として一般的にはポリゴンミラーやガルバノミラーが用いられる。しかし、より解像度の高い画像と高速プリントを達成するには、上記ポリゴンミラーなどの回転速度をさらに高速にしなければならず、これによって軸受の耐久性や風損による発熱、騒音が課題となり、高速走査に限界がある。
【0003】
これに対し、近年シリコンマイクロマシニングを利用した光偏向器の研究がすすめられている。これは、シリコン(以下「Si」という)基板で振動ミラーとそれを軸支するねじり梁とを一体形成し、静電力などを駆動源としてねじり梁をねじりながら振動ミラーを振動させ光ビームを偏向する方式である(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。この方式によれば、共振を利用して振動ミラーを往復振動させるので、高速動作が可能であるにもかかわらず、騒音が低いという利点がある。さらに振動ミラーを回転する駆動力も小さくて済むので消費電力も低く抑えられる利点がある。
【0004】
一方、偏向後に結像光学系を用いない光走査装置が提案されており、かかる光走査装置において、振動ミラーの回転動作に応じてレンズ群の一部を光軸方向に移動する例が知られている(例えば、特許文献3参照)。
【0005】
【特許文献1】
特許第2924200号公報
【特許文献2】
特許第3011144号公報
【特許文献3】
特開平7−13092号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように共振を利用して振動ミラーを駆動する方式においては、低騒音で、消費電力の少ない画像形成装置を実現できるという利点がある。しかしその反面、振動ミラー自体は100μm以下の薄い基板からなり、基板端部にいくほど振動時の空気抵抗によるトルクが反回転方向に働くため、基板全体がS字状に変形する。この変形は振動ミラーの振れ角が大きくなるに従い大きくなり、凹面の深さまたは凸面の高さが増えるので、走査方向の画像端にいくほど結像位置、いわゆるピント位置が被走査面からずれることになる。そのため、被走査面上において走査方向の画像端にいくほどビームスポット径がブロードに拡がって、画像濃度が低下し、主走査方向に濃度むらを生じてしまうという問題があった。
【0007】
特に、振動ミラーを高速に駆動するには、言いかえれば、共振周波数を上げ、かつ所定の振れ角を確保するには、基板の軽量化による慣性モーメントの低減が必須であり、慣性モーメントの低減が実現されない限り、上記のような振動動作時の振動ミラーの変形は避けられない。
【0008】
本発明は、シリコンマイクロマシニングによる振動ミラーを偏向器に用いた方式において、以下に述べるような光走査装置および画像形成装置を提供することを目的とする。
請求項1〜8記載の発明は、振動ミラーが動作時に変形しても、被走査面上において均一なスポット径が得られるようにし、濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる光走査装置を提供することを目的とする。
【0009】
請求項9記載の発明は、請求項1〜8記載の光走査装置を画像形成装置に適用することにより、濃度むらのない高品位な画像を形成することができる画像形成装置を得ることを目的とする。
【0010】
請求項10、11記載の発明は、特開2001−228428号公報で提案されているような複数の光走査装置を平行に配列し、画像を主走査方向に分割して繋ぎ合わせる方式において、各々の繋ぎ目を目立ち難くすることにより、形成される画像の品質を高めることができる画像形成装置を得ることを目的とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明にかかる光走査装置および画像形成装置の実施の形態について説明する。
図3は実施例における光走査装置に用いる振動ミラーモジュールの詳細図を示す。振動ミラーモジュール200は、焼結金属等で成形された支持基板201に複数の振動モード、実施例では2つの振動モードを有する振動ミラー202が装着されている。振動ミラーモジュール200は、キャップ状に成形されたカバー205により密封され、カバー205の開口に配備されたガラス窓204を通じて光ビームが入出射されるように構成されている。振動ミラーモジュール200の基板は、2枚のSi(シリコン)基板206、207を、絶縁膜を介して接合することによって構成されている。第1のSi基板206は厚さ60μmで、エッチングにより周縁部を貫通することによって、振動ミラー202を固定枠210から分離して形成するとともに、一対のねじり梁208を残すことによって、この一対のねじり梁208を回転軸として振動ミラー202を軸支している。一対のねじり梁208は、振動ミラー202の振動に伴う主走査方向に、かつ、振動ミラー202の両側に、互いに平行に配列されている。
【0012】
一対のねじり梁208は振動ミラー202の長手方向中央に振動ミラー202を挟んで振動ミラー202と一体に形成され、振動ミラー202の長手方向両端部には櫛歯状の凹凸203が形成され、これに対向する固定枠210の両端縁部にも櫛歯状の凹凸209が形成されている。この相対向する櫛歯状の凹凸203、209は互いに噛み合うようにして、かつ、相互間に微小な間隙をおいて対向している。振動ミラー202の表面、および固定枠210に形成した凹凸209の部分には、銅(Au)等の金属被膜が蒸着され、振動ミラー203の両端の凹凸203は第1、第2の可動電極、対向する固定枠210の凹凸209部は第1、第2の固定電極となっている。第1、第2の固定電極に電圧を印加すると、これに対向する振動ミラー202の可動電極との間で静電力を生じ、ねじり梁208、209をねじりながら微小角回転され、周期的にパルス状の電圧を印加することで往復振動するように構成されている。したがって、上記固定電極と可動電極とで振動ミラーの駆動手段を構成している。
【0013】
また、一対のねじり梁208の幅と長さを、振動される部分すなわち振動ミラー202固有の共振周波数に合わせて設計すれば、共振周波数と等しいパルス状の電圧を印加することにより振動ミラー202が励振され、振幅を拡大することができる。こうすることによって、上記可動電極と固定電極との間に印可する電流は微小な電流で済み、消費電力を低減することができる。ただし、上記した共振周波数からわずかにずれるだけで振幅が低減してしまうため、後述するように同期検知信号により振幅を検出し、固定電極に印加する駆動電圧の周波数を共振振動数の変化に追従するように可変制御するとよい。
なお、電極を櫛歯状の凹凸としているのは、外周長をできるだけ長くして電極長をかせぐためで、低電圧でより大きい静電トルクが得られるように配慮している。
【0014】
いま、振動ミラー202の、縦寸法を2a、横寸法を2b、厚さをdとし、ねじり梁208の長さをL、幅をcとすると、Siの密度ρ、材料定数Gを用いて、
慣性モーメントI=(4abρd/3)・a^2
バネ定数K=(G/2L)・{cd(c^2+d^2)/12}
となり、共振振動数fは、
f=(1/2π)・(K/I)^1/2
=(1/2π)・{Gcd(c^2+d^2)/24LI}^1/2
となる。ここで、梁の長さLと振れ角θは比例関係にあるため、
θ=A/I・f^2、 (Aは定数)
で表され、振れ角θは慣性モーメントIに反比例する。共振振動数fを高めるには慣性モーメントを低減する必要があり、そうしなければ振れ角θが小さくなってしまう。
そこで、実施例では振動ミラー裏側219の基板厚dを格子状に残し、それ以外をd/10以下の厚さまでエッチングにより肉抜きすることで、慣性モーメントを約1/5に低減している。
【0015】
一方、空気の誘電率をε、電極長さをH、印加電圧をV、電極間距離をδとすると、
電極間の静電力F=εHV^2/2δ
となり、
振れ角θ=B・F/I、 (Bは定数)
と表すことができ、電極長さHが長いほど振れ角θが大きくなる。したがって、図3に示す実施例のように、電極を櫛歯状とすることで、櫛歯数nに対して2n倍の駆動トルクを得ることができる。
反面、振動ミラー202の速度υ、面積Eに対して、空気の密度ηとすると、
空気の粘性抵抗P=C・ηυ^2・E^3、 (Cは定数)
が振動ミラー202の回転に対抗して働くため、図3に示すように、カバー205で密封し減圧状態に保持するのが好ましい。実施例では非蒸発型ゲッタを同梱し、外部からの加熱で活性化させ、振動ミラーモジュール200の内部を1torr以下としている。
【0016】
第2の基板207は280μmのSi基板からなり、中央部を貫通して第1のSi基板206の支持部に絶縁層を挟んで接合され、振動ミラー202の揺動空間を形成している。第2の基板207の上方には2枚のSi基板により構成した対向ミラーチップ216、215が架橋するよう接着されている。第2の基板216は結晶面方位<111>から、第1の基板215は結晶面方位<110>から、それぞれ約9°スライス角度を傾けたウエハを用い、エッチングにより<111>面を露出させ、基板面よりそれぞれ9°、26.3°傾けた傾斜面を形成して切り出され、この面が接合面となり、同面と連続した基板面に金属被膜が蒸着されて反射面となっている。2枚の対向ミラーチップ216、215は、それぞれの反射面217、218を、開口部を挟み、屋根状に144.7°の角度をなすように対で配備した構成となっている。
【0017】
図4は上記振動ミラーモジュール200の副走査断面のレイアウトを示す。図4において、発光源である半導体レーザ401から射出した光ビームは、後述するようにカップリングレンズ402、シリンダミラー403を介して、振動ミラー202に対し前記ねじり梁を含む副走査断面内で、法線に対して副走査方向に約20°傾けて、対向ミラーチップ216、215間の開口部214より入射される。入射された光ビームは振動ミラー202で反射されて第1のミラーチップ215の反射面217に向かい、この反射面217で反射された光ビームは振動ミラー202に戻される。振動ミラー202で反射された光ビームは開口部214を超えて第2の反射面218に入射され、この反射面218と振動ミラー202との間で反射されながら3往復する。このように、光ビームは振動ミラー202とミラーチップ216との間で3往復しながら反射位置が副走査方向に移動し、第1のミラーチップ215との間での反射も含めて、振動ミラー202で合計5回反射されたあと、開口部214から斜め方向に射出される。
【0018】
実施例ではこのように複数回反射を繰り返すことで、振動ミラー202の小さい振れ角で大きな走査角が得られるようにしている。いま、振動ミラー202での総反射回数をN、振れ角をαとすると、走査角θは2Nαで表すことができるので、実施例ではN=5、α=5°であるから、最大走査角は50°となり、ポリゴンミラーと同等の走査角を得ることができる。
【0019】
前述のように、振動ミラー202の共振を利用することで、振動ミラー202を駆動するための印加電圧は微小で済み、発熱も少ないが、上式から明らかなように走査速度乃至は記録速度、つまり共振周波数が速くなるに従ってトーションバー形のねじり梁208のばね定数を高める必要があり、ばね定数が高くなると振れ角がとれなくなってしまう。そこで、上記したように、振動ミラー201に対する対向ミラーである一対のミラーチップ215、126を設けることで走査角を拡大し、記録速度によらず必要十分な走査角が得られるようにしている。
また、一対のミラーチップ215、126はこれを屋根状に配置して反射面217、218を斜めに配置し、振動ミラー202への副走査方向での入射角度が繰り返し反射される毎に正負(右向き、左向き)に振り分けられるようにすることで、斜入射に伴う被走査面での走査線の曲がりを抑え、直線性を維持するとともに、光軸と直交する面内での光束の回転が射出時にはもとの姿勢に戻るようにして、結像性能の劣化が起きないように配慮している。
【0020】
上記基板206、207は絶縁基板213上に積み重ねて接合され、さらに、絶縁基板213とともに支持基板201に固定される。絶縁基板213は中央部を貫通して振動ミラー202の揺動空間が形成され、第1の基板206に配備された固定電極と導通するパッド部213を備えている。リード端子212は絶縁材を介して支持基板201を貫通して挿入され、上側に突出したリード端子212の端部と上記パッド部213とがワイヤーボンディングによって結線されて、封止された内部と外部との間の電気配線がなされている。前記カバー205は、その開口縁部が支持基板201の外周に設けられた段差部にはめ込まれ、光ビームの射出開口にはガラス窓204がカバー内部から接合されている。図3において、符号220は前記ゲッタを入れる窪みであり、この窪み220はその上に絶縁基板213が接合されて封止されている。
【0021】
図7は、振れ角α1、α2(α1<α2)に対するミラー面の様子を、トーションバーからなる前記ねじり梁208に直交する断面において示した図である。振動ミラー202とねじり梁208とは一体的に形成されているため、共振源であるねじり梁208の近傍には正弦波振動に応じて回転トルクが働く。反面、振動ミラー202の端部は正弦波振動に応じて周速が変化しても慣性によって反回転方向にトルクが発生し、かつ、空気抵抗が働くため、図示するようにミラー端部が遅れるようにS字状に面うねりが発生し、振れ角が大きくなるほど面うねりが大きくなる。なお、空気抵抗については、上記したように減圧封止することで低減することが可能である。
【0022】
実施例の場合、光ビームを振動ミラー202の反射面で複数回反射させるため、反射される毎に、振動ミラー202の中央部から端部(図7では左方向)に光ビームの中心が移動する。面うねりは最大±0.5μm程度で、その凹面鏡の効果により光ビームの結像位置が約1mm被走査面よりも手前側に結像してしまう。これを前述のカップリングレンズ402(図4参照)の移動により補正するには、カップリングレンズ402を約5μm光源側に近づけてやればよく、微小量振動させることで対応できる。
なお、上記実施例においては振動ミラー202を静電力によって駆動する方式としたが、圧電素子を用いて励振する方式、あるいは振動ミラー202に薄膜コイルを形成し電磁力を発生して駆動する方式などを採用することができる。また、いずれの駆動方式をとるにせよ、上記のような問題が生じるので、この場合も上記のようにカップリングレンズ402を微小量振動させるなどの対応策をとる。
【0023】
図1、図2は、これまで説明してきた振動ミラー202とその駆動機構を有してなる光偏向器を採用した、本発明にかかる光走査装置の実施の形態を示す。また、図6は光源ユニット100の例を示す分解斜視図および副走査方向の断面である。図6において、光源である半導体レーザ601は、ホルダ部材602の貫通孔603に、後述するハウジング106への当接面とは反対側から貫通孔603と同軸に圧入されている。ホルダ部材602の上記ハウジング106への当接面側には貫通孔603と同軸に円筒部609が一体に形成され、その内径に沿って、円筒状に巻かれた電磁コイル604が装着されている。符号606はカップリングレンズを示している。カップリングレンズ606は、発光源からの光ビームを所定の収束状態または発散状態に変換する第1の結像光学系を構成するもので、中空円筒状のレンズセル607の前端大径部内周側に接着固定されている。レンズセル607は小径の後端部が電磁コイル604の中央部に挿入されている。
【0024】
レンズセル607の外周側にはコイルスプリング608が挿入され、電磁コイル604の前端面とレンズセル607の上記大径部の後端面との間に圧縮されて介在している。レンズセル607は、ホルダ部材602の円筒部609の入口側に挿入されて保持され、ホルダ部材602の前端に形成されている突起に外周部が係合し、上記スプリング608の付勢力によるレンズセル607の移動限界を画するようになっている。上記ホルダ部材602の円筒部609の入口はアパーチャを兼ねたキャップ608で封止され、所定の光束径の光ビームが射出される。
【0025】
レンズセル607は金属で形成され、電磁コイル604に電流を流すとスプリング608の弾力に抗してこれを圧縮しながらレンズセル607が電磁コイル604に吸引され、この電流量を制御することで、発光源からカップリングレンズ606に至る距離を自在に可変することができる。このことからわかるとおり、電磁コイル604は、カップリングレンズ606を光軸方向に往復移動させて、被走査面上における結像位置を移動させる結像位置可変手段を構成している。
図8は、振動ミラー202の振幅に対するカップリングレンズの変位を示す。実施例では電磁コイル604に所定のバイアス電流をかけることで初期位置をセットし、交流電流を印加することで、レンズセル607が円筒部605の内径に沿って往復移動するようにしている。
【0026】
図1、図2に示す実施例の場合、3つの光源ユニット100を用いているが、全ての光源ユニット100は同一構成である。各光源ユニット100について走査中央部における結像位置が被走査面において一致するように、前記対向電極203,209(図3参照)間に流す電流の下レベルを設定し、走査端における結像位置が被走査面より所定量オーバーとなるように上記電流の上レベルを設定する。なお、各光源ユニット100からの光ビームによる走査線の、互いに隣接する境界でのビームスポット径が合うように、走査始端と走査終端との被走査面からのずらし量は等しく、振動ミラー202の振れ角に比例するよう対称に設定している。
【0027】
各光源ユニット100は円筒部609を備え、この円筒部609が図2に示すようにハウジング106の嵌合孔107に嵌合され、各光源ユニット100の鍔状のベース部分がハウジング106の取り付け面108に当接されネジで固定されている。ハウジング106は、上記取り付け面108と対向する反対側の面が斜面109となっていて、この斜面109には、上記嵌合孔107と対向する位置に開口131が形成されている。各開口131には副走査方向に凹面の曲率を有するシリンダミラー136がそのミラー面を覗かせるように外側から当接されている。各シリンダミラー136は、上記斜面109の開口131から斜面109に沿って、同面内での回転方向と副走査方向とを合わせて、かつ、光束の主走査方向が後述する走査レンズの焦線方向と合うように、さらに、走査位置が揃うように位置決めされ接着固定されている。
【0028】
光源ユニット100より射出した光ビームは、シリンダミラー136に入射され、副走査方向において振動ミラー202面で集束する集束光束として、振動ミラーモジュール200のガラス窓130から振動ミラーモジュール200に入射される。複数の振動ミラーモジュール200(実施例の場合3つ)は、前記ねじり梁208の方向が各々平行となるように均等間隔で同一のプリント基板112上に実装され、ハウジング106の下側開口をふさぐように基板112上面を当接させてネジ固定されている。
【0029】
被走査面において各振動ミラーモジュールの走査線は、被走査面(感光体)の移動方向と直交する方向から所定角度(β)、実施例では走査終端側が走査開始側に対して2〜3°傾くように配置され、隣接する光走査手段との走査線が平行になるように実装される。プリント基板112には発光源である半導体レーザの駆動回路、振動ミラー202の駆動回路を構成する電子部品、および同期検知センサ113が実装されており、振動ミラーモジュール200はその支持基板の底面をプリント基板112の面に突き当て、下側に突出したリード端子をスルーホールに通して半田付けすることで回路接続がなされ、コネクタ114を介して外部回路との配線がなされている。一端をプリント基板112に結線されたケーブル115は発光源である半導体レーザのリード端子と接続されている。
【0030】
ハウジング106はある程度剛性が確保できるガラス繊維強化樹脂やアルミダイキャスト等からなり、ハウジング106内部には、第2の結像光学系である結像手段を構成する第1の走査レンズ116と第2の走査レンズ117を、主走査方向に配列して接合する接合面118が形成されている。この接合面118に各レンズ116,117の副走査方向基準面を当接した際に、振動ミラーモジュール200から射出した光ビームと副走査方向の光軸高さが合うように、各レンズ116,117が配備されている。具体的には、各第1の走査レンズ116は副走査方向各面の中央に突出され主走査方向の位置決めを行う突起120と、第1面側両端に光軸方向の突き当てを行う平押面119を備え、各接合面118に一体に形成された切欠122に上記突起120が係合させられ、各接合面118に形成された突起対121に平押面119が突き当てられて、各々相対的な配置を合わせて支持されている。
【0031】
一方、第2の走査レンズ117は、主走査方向に連結された形態で樹脂にて一体的に形成され、枠体122に収められている。枠体122の第2面側中央部に突起123が一体に形成されていて、この突起123が上記接合面118に一体に形成された切欠125に係合し、枠体122の第1面側両端部124が上記突起対126に突き当てられて支持されている。
【0032】
例えば、PINフォトダイオードからなる前記同期検知センサ113は、隣接する振動ミラーモジュール200で共用する中間位置と両端位置に配置され、各光走査モジュール200の走査開始側と走査終端側とでビームが検出できるように計4箇所に実装されている。第2の走査レンズ117の第2面側には、各レンズの走査領域間にV字状のミラー部128が形成され、また、走査領域に開口部129が形成された高輝アルミ板127が配備され、上記ミラー部128によって反射された光ビームが各々の同期検知センサ113へ導かれるように、隣接する走査開始側と走査終端側に対応した反射面が向かい合って配置されている。
実施例では、上記終端検知信号と走査開始端の同期検知信号との時間差を計測して振動ミラーの振幅を検出すると同時に、走査開始端の同期検知信号を基に、前述の光源ユニット100の電磁コイル604(図6参照)に印加するタイミングを合わせるように構成している。
【0033】
図2に示す符号138はハウジング106の斜面109側を覆うカバーを示す。このカバー138は光ビームが通過するスリット状の開口139を上端天井部に有し、ハウジング106上面を密閉するようにネジ止めされている。上記高輝アルミ板127は第2の走査レンズ117とカバー138との間に挟み込まれて支持され、高輝アルミ板127で反射された光ビームは、再度走査レンズ117を通過してハウジング106内に戻される。
上記のように構成された光走査装置は、ハウジング106の主走査端に形成された鍔部129に設けられた基準ピン132により、プリンタ等の画像形成装置本体のフレームに位置決めされ、上面が基準面に取付けられてネジ固定されている。なお、実施例では、3つの光走査装置を配列しているが、配列数はいくつであっても同様である。
【0034】
図5は、これまで説明してきた光走査装置をプリンタに適用した例を示すもので、単一の光走査装置500によって1色ずつ画像形成され、転写ベルト501を4回転して回転毎に色重ねがなされるカラーレーザプリンタの例を示している。図5において、転写ベルト501は駆動ローラと2本の従動ローラとで支持され、各色に対応したトナーを補給する現像手段としての現像ローラ502およびトナーホッパ503は回転支持体509上に一体的に配備されて1/4ずつ回転しながら、像担持体としての感光体ドラム504に対向するように構成されている。画像は、転写ベルト501の幅方向の端部に形成されたレジストマークを検出するセンサ505の信号をトリガとして、副走査方向の書出しタイミングはかって記録される。この画像記録は、上記光走査装置500によって光走査されることにより感光体ドラム504に静電潜像として記録される。この静電潜像は現像部にてトナーが載せられることによってトナー像として顕像化され、このトナー像は転写ベルト501に転写される。転写された後の感光体ドラム504の残トナーは、混色しないようにクリーニング部508で掻き取られ備蓄される。これらの動作を各色毎に行うことで、転写ベルト501に順次画像が重ねられていく。
【0035】
プリンタの下部には給紙トレイ507が配置されていて、給紙トレイ507から給紙コロ506により用紙が供給されるように構成されている。用紙は4色目の画像形成にタイミングを合わせてレジストローラ510により送り出され、転写手段511にて、転写ベルト501に重ねられて形成されている4色のトナー像が同時に用紙に転写される。転写されたトナー像を保持した用紙は定着ローラ512により定着され、排紙トレイ514に排出される。
【0036】
光走査装置500は、上記したように複数の光走査手段の走査線をつなぎ合わせて1ラインを形成する。1ラインの総ドット数Lを3分割し、画像始端から各々1〜L1、L1+1〜L2、L2+1〜Lドットを割り当てて印字する。実施例では各走査領域が像担持体としての感光体ドラム上で数mm重なるようにオーバーラップ領域を設け、割り当てる画素数L1、L2を固定せず、各色で異なるようにしている。こうすることで、同一ラインを構成する各色の走査線の継ぎ目が重ならないようにすることができ、走査領域の境界をより目立ち難くしている。
【0037】
画像データは、上記したように主走査方向に3分割され、各光走査手段毎にビットマップメモリに保存され、各振動ミラーモジュール200に共通の駆動周波数fdにより決定される副走査ピッチに応じてラスター展開がなされ、ラインデータとしてバッファに保存される。保存されたラインデータは各同期検知信号をトリガとして読み出され画像記録が行われる。
【0038】
図8は、振動ミラー202の駆動制御回路例を示すブロック図である。駆動パルス生成部601は、プログラマブル分周器と、PLL回路とを有してなる。プログラマブル分周器は、基準クロックを分周し、図8に示すように振動ミラーの1/2周期に1回、かつ最大振幅時から水平となるまでの期間のみに電圧パルスが印加されるように、共振周波数F0(=1/T0)の2倍の周波数で、デューティが50%以下のパルス列(T<T0/4)を生成する。上記PLL回路は、上記パルス列に所定の位相遅れδを生じさせて駆動周波数fdとし、これを振動ミラー駆動部602に与えて振動ミラー駆動部602を駆動するように構成されている。振動ミラー駆動部602の駆動同時に、光源ユニットの電磁コイル駆動部603には、振動ミラーの1/2周期で走査角θ0の位置に振幅の谷部が合うように位相を合わせて電流が印加される。
【0039】
振動ミラーは走査角θ0を起点として−θ0に達するまでの往期間の内、θs〜−θsの期間(0<θs<θ)、同一方向の走査時のみ画像記録を行い、走査角−θ0から+θ0の復期間には画像記録を行わない。言い換えれば、駆動周波数fdの1周期毎に画像記録を行う。ちなみにθs/θ0=0.7とした。
また、電源投入時、および待機状態から起動する際には、プログラマブル分周器で連続的に分周比を変えることで駆動周波数fdを高周波側から可変して励振し、上記したように走査始端と走査終端とに配備したセンサで時間差を計測し、振幅演算部604で振幅を検出するように構成されており、あらかじめ設定された時間になったことをもって共振振動帯域であることを判断する。このチェックを起動時以外にも定期時間毎にかけるようにすれば、経時においても振れ角の安定性をより向上することができる。
【0040】
上記した実施例では、図6に示すように、カップリングレンズ606の位置を周期的に光軸方向に可変することで、被走査面上における結像位置を主走査方向に沿って変化させているが、他の方法によっても可能である。別の結像位置可変手段の例として特開平7−49460号公報に開示されている可変焦点ミラーや、特開平10−269599号公報に開示されている可変焦点レンズなどを利用することができる。
【0041】
図10は可変焦点ミラーの一例で、Si基板701の上(図では下面)に酸化膜703を介して多結晶シリコン薄膜702を堆積させ、反対面からダイヤフラムを形成して、枠部を架橋する薄膜状のミラー面を形成している。図中上側がミラー面で金属被膜が蒸着されている。図10(b)は主走査方向の断面を示す。ガラス基体704の凹部には電極705が形成され、上記ミラーの裏面を数μmのギャップを介して対向させて貼り合わされることにより構成されている。電極705に電圧を印加するとミラー面中央は静電力によって吸引され、円筒凹面状にたわませることができ、可変焦点ミラーとして作用する。すなわち、曲率が周期的に変化する光学素子を構成している。
このような結像位置可変手段は、発光源から振動ミラーに至る光路中に配備することで、上記カップリングレンズを往復移動する例と同様な効果が得られる。
【0042】
ところで、振動ミラーは共振振動されるため、図8に示すようにsin波状に走査角θが変化する。
θ=θ0・sin2πfd・T、 −1/4fd<t<1/4fd
一方、被走査面である感光体ドラム面では均一間隔で主走査ドットを印字する必要があり、上記した第2の結像光学系である走査レンズの結像特性は、単位走査角あたりの走査距離dH/dθがsin−1θ/θ0に比例するように、つまり、画像中央で遅く周辺に行くに従って連続的にかつ加速度的に速くなるように光線の向きを補正しなければならず、走査レンズ中央部から周辺部にかけて結像点を遠ざけるようパワー配分を行う必要がある。しかし、同時に、図11に示すように、設計時においてあらかじめ振動ミラーの動的変形に伴う主走査方向の結像位置のずれを見込み、その分だけ像面湾曲が変化するようパワー配分を行うこともでき、上記した結像位置可変手段を用いるのと同様に、振動ミラーの動作時の変形に対処できる。図11(a)が副走査断面、図11(b)が主走査断面である。実施例では、主走査方向の結像位置だけが走査角に応じて正弦波状にオーバー側にずれるように変化し、周辺部では副走査方向と主走査との結像位置の差が大きくなっている。
【0043】
なお、互いに隣接する光走査部による走査境界部におけるスポット径dが等しくなるように、+像高、−像高でずらし量が対称になるよう設計しているが、これに限らず、レンズの曲率を非対称に形成することは可能であから、ずらし量を非対称としても一向に構わない。
【0044】
【発明の効果】
請求項1記載の発明は、発光源と、発光源からの光ビームを所定の収束状態または発散状態に変換する第1の結像光学系と、ねじり梁を回転軸として往復振動し、上記光ビームを走査する振動ミラーと、振動ミラーで走査された光ビームを被走査面上に結像する第2の結像手段とを有する光走査装置において、上記振動ミラーの動的変形に応じて、光ビームの結像位置を被走査面から変化させるようにした。これにより、マイクロマシンプロセスにより作製した振動ミラーを用いても動的変形による結像位置を補正することができるので、走査周辺部においても中央部と同等の均一なビームスポット径が得られ、画像濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる。また、振動ミラーをより軽量化できるので、駆動トルクが低減されるうえ、高速動作にも適合でき省電力で高速な光走査装置を提供できる。
【0045】
請求項2記載の発明によれば、上記振動ミラーの振れ角に対応して、少なくとも主走査方向における上記光ビームの結像位置を被走査面から変化させることにより、振動ミラーの振幅にタイミングを合わせて結像位置を可変できるので、各走査位置に対応して確実に結像位置が補正でき、主走査に沿って均一なビームスポット径が得られ、画像濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる。
【0046】
請求項3記載の発明によれば、上記第1の結像光学系には、上記光ビームの収束状態または発散状態を周期的に可変する結像位置可変手段を備えることにより、振動ミラーの正弦波振動に追従して各走査角での結像位置を効果的に補正することができるので、主走査に沿って均一なビームスポット径が得られ、画像濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる。
【0047】
請求項4記載の発明によれば、上記結像位置可変手段は、光軸方向に往復移動する光学素子を上記第1の結像光学系に備えることにより、各走査角での結像位置を確実に可変することができ、振動ミラー毎の動的変形のばらつきに対して柔軟に適応することができる。
【0048】
請求項5記載の発明によれば、上記結像位置可変手段は、曲率が周期的に変化する光学素子を上記第1の結像光学系に備えることにより、各走査角での結像位置を確実に可変することができ、振動ミラー毎の動的変形のばらつきに対して柔軟に適応することができる。
【0049】
請求項6記載の発明は、上記第2の結像光学系は、上記光ビームの結像位置が走査中央から走査端にかけて被走査面からずれるように、主走査方向に沿って収束力が連続的に変化するようにした。これにより、特別に補正機構を設けなくても、振動ミラーの正弦波振動に追従して各走査角での結像位置を効果的に補正することができるので、主走査方向に沿って均一なビームスポット径が得られ、画像濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる。
【0050】
請求項7記載の発明は、上記振動ミラーで走査された光ビームを検出する検出手段を備え、その検出信号と同期して上記光ビームの結像位置を変化させるように構成した。これにより、振動ミラーに印加される駆動信号と実際の振幅との間に位相差があっても、振動ミラーの振れ角に確実に同期して補正を行うことができるので、主走査方向に沿って均一なビームスポット径が得られ、画像濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる。
【0051】
請求項8記載の発明は、上記振動ミラーの駆動周波数を振動ミラー固有の共振振動数に応じて可変する振動ミラー駆動手段備えるとともに、上記駆動周波数に応じて、上記光ビームの結像位置を変化させる周期を可変するように構成した。これにより、振動ミラーの共振周波数がばね定数の温度特性等により経時的に変化し、ビームスポットの移動速度が変わっても、その変化に対応して結像位置を可変する周期を容易に合わせることができるので、画像濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる。また、振動ミラーの共振周波数を追従することで、常に振幅が最大となるように保つことができるので、印加電流等のマージンを最小限とすることができ、省電力化できる利点もある。
【0052】
請求項9記載の発明は、発光源、画像情報に応じて発光源を変調する光源駆動手段、ねじり梁を回転軸として共振振動し光源手段からの光ビームを走査する振動ミラー、を有する光走査装置と、この光走査装置によって静電画像が形成される像担持体と、上記静電画像をトナーで顕像化する現像手段と、顕像化されたトナー像を記録紙に転写する転写手段と、を有する画像形成装置であって、上記振動ミラーで走査された光ビームの結像位置を、振動ミラーの動的変形に応じて可変しつつ、画像記録を行うように構成した。こうすることにより、振動ミラーの動的変形が生じても結像位置を補正することができ、像担持体上において主走査方向に沿って均一な露光電位分布が得られ、画像濃度むらのない高品位な画像を得ることができる。
【0053】
請求項10記載の発明は、発光源と、画像情報に応じて発光源を変調する光源駆動手段と、ねじり梁を回転軸として共振振動し、光源手段からの光ビームを走査する振動ミラーと、を有する光走査装置を複数備え、主走査方向に各々の走査領域を連結して画像記録を行う画像形成装置であって、上記振動ミラーで走査された光ビームの結像位置を、振動ミラーの動的変形に応じて可変しつつ、画像記録を行うようにした。これにより、走査領域の分割に伴って目立ちやすくなる周期的に生じる帯状の濃度むらを、各走査領域の露光電位分布を均一化することで低減することができ、高品位な画像を得ることができる。
【0054】
請求項11記載の発明は、隣接する光走査装置の連結位置におけるスポット径が略同一となるように、上記結像位置を可変するようにした。これにより、露光電位分布の差があると走査領域間の継ぎ目が最も判別し易い境界部においても露光電位分布の差をなくすことができるので、露光電位分布の差あっても判別し難い離隔部間の露光電位分布の差があっても、画像濃度むらのない高品位な画像を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる光走査装置の実施の形態を示す分解斜視図である。
【図2】同上実施の形態を反対側から見た分解斜視図である。
【図3】本発明にかかる光走査装置に用いることができる振動ミラーモジュールの例を示す分解斜視図である。
【図4】同上振動ミラーモジュールの正面断面図である。
【図5】本発明かかる光走査装置を有する画像形成装置の実施形態を模式的に示す正面図である。
【図6】本発明に適用可能な光源ユニットの例を示すもので、(a)は分解斜視図、(b)は副走査方向の断面図である。
【図7】振動ミラーの振れ角α1、α2に対するミラー面の様子をトーションバーからなるねじり梁に直交する断面において示す線図である。
【図8】駆動パルスとこの駆動パルスによって駆動される振動ミラーの振幅とこの振幅に対するカップリングレンズの変位の関係を示すタイミングチャートである。
【図9】上記振動ミラーモジュールにおける可動ミラーの駆動制御回路の例を示すブロック図である。
【図10】可焦点ミラーの一例を示すもので、(a)は分解斜視図、(b)は主走査方向の断面図である。
【図11】第2の結像光学系のパワー配分例を示すもので、(a)は副走査方向の断面図、(b)は主走査方向の断面図である。
【符号の説明】
101 発光源としての半導体レーザ
113 検出手段としての同期検知センサ
116 第2の結像光学系を構成する第1走査レンズ
117 第2の結像光学系を構成する第2走査レンズ
200 振動ミラーモジュール
202 振動ミラー
208 ねじり梁
500 光走査装置
502 現像手段としての現像ローラ
504 像担持体
511 転写手段
602 振動ミラー駆動部
604 結像位置可変手段としての電磁コイル
606 第1の結像光学系としてのカップリングレンズ
【発明の属する技術分野】
本発明はデジタル複写機、レーザプリンタ等の画像形成装置に用いられる光走査装置およびこの光走査装置を用いた画像形成装置に関するもので、光走査型のバーコード読み取り装置や3次元形状計測装置等へも応用が可能なものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の光走査装置においては、光ビームを走査する偏向器として一般的にはポリゴンミラーやガルバノミラーが用いられる。しかし、より解像度の高い画像と高速プリントを達成するには、上記ポリゴンミラーなどの回転速度をさらに高速にしなければならず、これによって軸受の耐久性や風損による発熱、騒音が課題となり、高速走査に限界がある。
【0003】
これに対し、近年シリコンマイクロマシニングを利用した光偏向器の研究がすすめられている。これは、シリコン(以下「Si」という)基板で振動ミラーとそれを軸支するねじり梁とを一体形成し、静電力などを駆動源としてねじり梁をねじりながら振動ミラーを振動させ光ビームを偏向する方式である(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。この方式によれば、共振を利用して振動ミラーを往復振動させるので、高速動作が可能であるにもかかわらず、騒音が低いという利点がある。さらに振動ミラーを回転する駆動力も小さくて済むので消費電力も低く抑えられる利点がある。
【0004】
一方、偏向後に結像光学系を用いない光走査装置が提案されており、かかる光走査装置において、振動ミラーの回転動作に応じてレンズ群の一部を光軸方向に移動する例が知られている(例えば、特許文献3参照)。
【0005】
【特許文献1】
特許第2924200号公報
【特許文献2】
特許第3011144号公報
【特許文献3】
特開平7−13092号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように共振を利用して振動ミラーを駆動する方式においては、低騒音で、消費電力の少ない画像形成装置を実現できるという利点がある。しかしその反面、振動ミラー自体は100μm以下の薄い基板からなり、基板端部にいくほど振動時の空気抵抗によるトルクが反回転方向に働くため、基板全体がS字状に変形する。この変形は振動ミラーの振れ角が大きくなるに従い大きくなり、凹面の深さまたは凸面の高さが増えるので、走査方向の画像端にいくほど結像位置、いわゆるピント位置が被走査面からずれることになる。そのため、被走査面上において走査方向の画像端にいくほどビームスポット径がブロードに拡がって、画像濃度が低下し、主走査方向に濃度むらを生じてしまうという問題があった。
【0007】
特に、振動ミラーを高速に駆動するには、言いかえれば、共振周波数を上げ、かつ所定の振れ角を確保するには、基板の軽量化による慣性モーメントの低減が必須であり、慣性モーメントの低減が実現されない限り、上記のような振動動作時の振動ミラーの変形は避けられない。
【0008】
本発明は、シリコンマイクロマシニングによる振動ミラーを偏向器に用いた方式において、以下に述べるような光走査装置および画像形成装置を提供することを目的とする。
請求項1〜8記載の発明は、振動ミラーが動作時に変形しても、被走査面上において均一なスポット径が得られるようにし、濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる光走査装置を提供することを目的とする。
【0009】
請求項9記載の発明は、請求項1〜8記載の光走査装置を画像形成装置に適用することにより、濃度むらのない高品位な画像を形成することができる画像形成装置を得ることを目的とする。
【0010】
請求項10、11記載の発明は、特開2001−228428号公報で提案されているような複数の光走査装置を平行に配列し、画像を主走査方向に分割して繋ぎ合わせる方式において、各々の繋ぎ目を目立ち難くすることにより、形成される画像の品質を高めることができる画像形成装置を得ることを目的とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明にかかる光走査装置および画像形成装置の実施の形態について説明する。
図3は実施例における光走査装置に用いる振動ミラーモジュールの詳細図を示す。振動ミラーモジュール200は、焼結金属等で成形された支持基板201に複数の振動モード、実施例では2つの振動モードを有する振動ミラー202が装着されている。振動ミラーモジュール200は、キャップ状に成形されたカバー205により密封され、カバー205の開口に配備されたガラス窓204を通じて光ビームが入出射されるように構成されている。振動ミラーモジュール200の基板は、2枚のSi(シリコン)基板206、207を、絶縁膜を介して接合することによって構成されている。第1のSi基板206は厚さ60μmで、エッチングにより周縁部を貫通することによって、振動ミラー202を固定枠210から分離して形成するとともに、一対のねじり梁208を残すことによって、この一対のねじり梁208を回転軸として振動ミラー202を軸支している。一対のねじり梁208は、振動ミラー202の振動に伴う主走査方向に、かつ、振動ミラー202の両側に、互いに平行に配列されている。
【0012】
一対のねじり梁208は振動ミラー202の長手方向中央に振動ミラー202を挟んで振動ミラー202と一体に形成され、振動ミラー202の長手方向両端部には櫛歯状の凹凸203が形成され、これに対向する固定枠210の両端縁部にも櫛歯状の凹凸209が形成されている。この相対向する櫛歯状の凹凸203、209は互いに噛み合うようにして、かつ、相互間に微小な間隙をおいて対向している。振動ミラー202の表面、および固定枠210に形成した凹凸209の部分には、銅(Au)等の金属被膜が蒸着され、振動ミラー203の両端の凹凸203は第1、第2の可動電極、対向する固定枠210の凹凸209部は第1、第2の固定電極となっている。第1、第2の固定電極に電圧を印加すると、これに対向する振動ミラー202の可動電極との間で静電力を生じ、ねじり梁208、209をねじりながら微小角回転され、周期的にパルス状の電圧を印加することで往復振動するように構成されている。したがって、上記固定電極と可動電極とで振動ミラーの駆動手段を構成している。
【0013】
また、一対のねじり梁208の幅と長さを、振動される部分すなわち振動ミラー202固有の共振周波数に合わせて設計すれば、共振周波数と等しいパルス状の電圧を印加することにより振動ミラー202が励振され、振幅を拡大することができる。こうすることによって、上記可動電極と固定電極との間に印可する電流は微小な電流で済み、消費電力を低減することができる。ただし、上記した共振周波数からわずかにずれるだけで振幅が低減してしまうため、後述するように同期検知信号により振幅を検出し、固定電極に印加する駆動電圧の周波数を共振振動数の変化に追従するように可変制御するとよい。
なお、電極を櫛歯状の凹凸としているのは、外周長をできるだけ長くして電極長をかせぐためで、低電圧でより大きい静電トルクが得られるように配慮している。
【0014】
いま、振動ミラー202の、縦寸法を2a、横寸法を2b、厚さをdとし、ねじり梁208の長さをL、幅をcとすると、Siの密度ρ、材料定数Gを用いて、
慣性モーメントI=(4abρd/3)・a^2
バネ定数K=(G/2L)・{cd(c^2+d^2)/12}
となり、共振振動数fは、
f=(1/2π)・(K/I)^1/2
=(1/2π)・{Gcd(c^2+d^2)/24LI}^1/2
となる。ここで、梁の長さLと振れ角θは比例関係にあるため、
θ=A/I・f^2、 (Aは定数)
で表され、振れ角θは慣性モーメントIに反比例する。共振振動数fを高めるには慣性モーメントを低減する必要があり、そうしなければ振れ角θが小さくなってしまう。
そこで、実施例では振動ミラー裏側219の基板厚dを格子状に残し、それ以外をd/10以下の厚さまでエッチングにより肉抜きすることで、慣性モーメントを約1/5に低減している。
【0015】
一方、空気の誘電率をε、電極長さをH、印加電圧をV、電極間距離をδとすると、
電極間の静電力F=εHV^2/2δ
となり、
振れ角θ=B・F/I、 (Bは定数)
と表すことができ、電極長さHが長いほど振れ角θが大きくなる。したがって、図3に示す実施例のように、電極を櫛歯状とすることで、櫛歯数nに対して2n倍の駆動トルクを得ることができる。
反面、振動ミラー202の速度υ、面積Eに対して、空気の密度ηとすると、
空気の粘性抵抗P=C・ηυ^2・E^3、 (Cは定数)
が振動ミラー202の回転に対抗して働くため、図3に示すように、カバー205で密封し減圧状態に保持するのが好ましい。実施例では非蒸発型ゲッタを同梱し、外部からの加熱で活性化させ、振動ミラーモジュール200の内部を1torr以下としている。
【0016】
第2の基板207は280μmのSi基板からなり、中央部を貫通して第1のSi基板206の支持部に絶縁層を挟んで接合され、振動ミラー202の揺動空間を形成している。第2の基板207の上方には2枚のSi基板により構成した対向ミラーチップ216、215が架橋するよう接着されている。第2の基板216は結晶面方位<111>から、第1の基板215は結晶面方位<110>から、それぞれ約9°スライス角度を傾けたウエハを用い、エッチングにより<111>面を露出させ、基板面よりそれぞれ9°、26.3°傾けた傾斜面を形成して切り出され、この面が接合面となり、同面と連続した基板面に金属被膜が蒸着されて反射面となっている。2枚の対向ミラーチップ216、215は、それぞれの反射面217、218を、開口部を挟み、屋根状に144.7°の角度をなすように対で配備した構成となっている。
【0017】
図4は上記振動ミラーモジュール200の副走査断面のレイアウトを示す。図4において、発光源である半導体レーザ401から射出した光ビームは、後述するようにカップリングレンズ402、シリンダミラー403を介して、振動ミラー202に対し前記ねじり梁を含む副走査断面内で、法線に対して副走査方向に約20°傾けて、対向ミラーチップ216、215間の開口部214より入射される。入射された光ビームは振動ミラー202で反射されて第1のミラーチップ215の反射面217に向かい、この反射面217で反射された光ビームは振動ミラー202に戻される。振動ミラー202で反射された光ビームは開口部214を超えて第2の反射面218に入射され、この反射面218と振動ミラー202との間で反射されながら3往復する。このように、光ビームは振動ミラー202とミラーチップ216との間で3往復しながら反射位置が副走査方向に移動し、第1のミラーチップ215との間での反射も含めて、振動ミラー202で合計5回反射されたあと、開口部214から斜め方向に射出される。
【0018】
実施例ではこのように複数回反射を繰り返すことで、振動ミラー202の小さい振れ角で大きな走査角が得られるようにしている。いま、振動ミラー202での総反射回数をN、振れ角をαとすると、走査角θは2Nαで表すことができるので、実施例ではN=5、α=5°であるから、最大走査角は50°となり、ポリゴンミラーと同等の走査角を得ることができる。
【0019】
前述のように、振動ミラー202の共振を利用することで、振動ミラー202を駆動するための印加電圧は微小で済み、発熱も少ないが、上式から明らかなように走査速度乃至は記録速度、つまり共振周波数が速くなるに従ってトーションバー形のねじり梁208のばね定数を高める必要があり、ばね定数が高くなると振れ角がとれなくなってしまう。そこで、上記したように、振動ミラー201に対する対向ミラーである一対のミラーチップ215、126を設けることで走査角を拡大し、記録速度によらず必要十分な走査角が得られるようにしている。
また、一対のミラーチップ215、126はこれを屋根状に配置して反射面217、218を斜めに配置し、振動ミラー202への副走査方向での入射角度が繰り返し反射される毎に正負(右向き、左向き)に振り分けられるようにすることで、斜入射に伴う被走査面での走査線の曲がりを抑え、直線性を維持するとともに、光軸と直交する面内での光束の回転が射出時にはもとの姿勢に戻るようにして、結像性能の劣化が起きないように配慮している。
【0020】
上記基板206、207は絶縁基板213上に積み重ねて接合され、さらに、絶縁基板213とともに支持基板201に固定される。絶縁基板213は中央部を貫通して振動ミラー202の揺動空間が形成され、第1の基板206に配備された固定電極と導通するパッド部213を備えている。リード端子212は絶縁材を介して支持基板201を貫通して挿入され、上側に突出したリード端子212の端部と上記パッド部213とがワイヤーボンディングによって結線されて、封止された内部と外部との間の電気配線がなされている。前記カバー205は、その開口縁部が支持基板201の外周に設けられた段差部にはめ込まれ、光ビームの射出開口にはガラス窓204がカバー内部から接合されている。図3において、符号220は前記ゲッタを入れる窪みであり、この窪み220はその上に絶縁基板213が接合されて封止されている。
【0021】
図7は、振れ角α1、α2(α1<α2)に対するミラー面の様子を、トーションバーからなる前記ねじり梁208に直交する断面において示した図である。振動ミラー202とねじり梁208とは一体的に形成されているため、共振源であるねじり梁208の近傍には正弦波振動に応じて回転トルクが働く。反面、振動ミラー202の端部は正弦波振動に応じて周速が変化しても慣性によって反回転方向にトルクが発生し、かつ、空気抵抗が働くため、図示するようにミラー端部が遅れるようにS字状に面うねりが発生し、振れ角が大きくなるほど面うねりが大きくなる。なお、空気抵抗については、上記したように減圧封止することで低減することが可能である。
【0022】
実施例の場合、光ビームを振動ミラー202の反射面で複数回反射させるため、反射される毎に、振動ミラー202の中央部から端部(図7では左方向)に光ビームの中心が移動する。面うねりは最大±0.5μm程度で、その凹面鏡の効果により光ビームの結像位置が約1mm被走査面よりも手前側に結像してしまう。これを前述のカップリングレンズ402(図4参照)の移動により補正するには、カップリングレンズ402を約5μm光源側に近づけてやればよく、微小量振動させることで対応できる。
なお、上記実施例においては振動ミラー202を静電力によって駆動する方式としたが、圧電素子を用いて励振する方式、あるいは振動ミラー202に薄膜コイルを形成し電磁力を発生して駆動する方式などを採用することができる。また、いずれの駆動方式をとるにせよ、上記のような問題が生じるので、この場合も上記のようにカップリングレンズ402を微小量振動させるなどの対応策をとる。
【0023】
図1、図2は、これまで説明してきた振動ミラー202とその駆動機構を有してなる光偏向器を採用した、本発明にかかる光走査装置の実施の形態を示す。また、図6は光源ユニット100の例を示す分解斜視図および副走査方向の断面である。図6において、光源である半導体レーザ601は、ホルダ部材602の貫通孔603に、後述するハウジング106への当接面とは反対側から貫通孔603と同軸に圧入されている。ホルダ部材602の上記ハウジング106への当接面側には貫通孔603と同軸に円筒部609が一体に形成され、その内径に沿って、円筒状に巻かれた電磁コイル604が装着されている。符号606はカップリングレンズを示している。カップリングレンズ606は、発光源からの光ビームを所定の収束状態または発散状態に変換する第1の結像光学系を構成するもので、中空円筒状のレンズセル607の前端大径部内周側に接着固定されている。レンズセル607は小径の後端部が電磁コイル604の中央部に挿入されている。
【0024】
レンズセル607の外周側にはコイルスプリング608が挿入され、電磁コイル604の前端面とレンズセル607の上記大径部の後端面との間に圧縮されて介在している。レンズセル607は、ホルダ部材602の円筒部609の入口側に挿入されて保持され、ホルダ部材602の前端に形成されている突起に外周部が係合し、上記スプリング608の付勢力によるレンズセル607の移動限界を画するようになっている。上記ホルダ部材602の円筒部609の入口はアパーチャを兼ねたキャップ608で封止され、所定の光束径の光ビームが射出される。
【0025】
レンズセル607は金属で形成され、電磁コイル604に電流を流すとスプリング608の弾力に抗してこれを圧縮しながらレンズセル607が電磁コイル604に吸引され、この電流量を制御することで、発光源からカップリングレンズ606に至る距離を自在に可変することができる。このことからわかるとおり、電磁コイル604は、カップリングレンズ606を光軸方向に往復移動させて、被走査面上における結像位置を移動させる結像位置可変手段を構成している。
図8は、振動ミラー202の振幅に対するカップリングレンズの変位を示す。実施例では電磁コイル604に所定のバイアス電流をかけることで初期位置をセットし、交流電流を印加することで、レンズセル607が円筒部605の内径に沿って往復移動するようにしている。
【0026】
図1、図2に示す実施例の場合、3つの光源ユニット100を用いているが、全ての光源ユニット100は同一構成である。各光源ユニット100について走査中央部における結像位置が被走査面において一致するように、前記対向電極203,209(図3参照)間に流す電流の下レベルを設定し、走査端における結像位置が被走査面より所定量オーバーとなるように上記電流の上レベルを設定する。なお、各光源ユニット100からの光ビームによる走査線の、互いに隣接する境界でのビームスポット径が合うように、走査始端と走査終端との被走査面からのずらし量は等しく、振動ミラー202の振れ角に比例するよう対称に設定している。
【0027】
各光源ユニット100は円筒部609を備え、この円筒部609が図2に示すようにハウジング106の嵌合孔107に嵌合され、各光源ユニット100の鍔状のベース部分がハウジング106の取り付け面108に当接されネジで固定されている。ハウジング106は、上記取り付け面108と対向する反対側の面が斜面109となっていて、この斜面109には、上記嵌合孔107と対向する位置に開口131が形成されている。各開口131には副走査方向に凹面の曲率を有するシリンダミラー136がそのミラー面を覗かせるように外側から当接されている。各シリンダミラー136は、上記斜面109の開口131から斜面109に沿って、同面内での回転方向と副走査方向とを合わせて、かつ、光束の主走査方向が後述する走査レンズの焦線方向と合うように、さらに、走査位置が揃うように位置決めされ接着固定されている。
【0028】
光源ユニット100より射出した光ビームは、シリンダミラー136に入射され、副走査方向において振動ミラー202面で集束する集束光束として、振動ミラーモジュール200のガラス窓130から振動ミラーモジュール200に入射される。複数の振動ミラーモジュール200(実施例の場合3つ)は、前記ねじり梁208の方向が各々平行となるように均等間隔で同一のプリント基板112上に実装され、ハウジング106の下側開口をふさぐように基板112上面を当接させてネジ固定されている。
【0029】
被走査面において各振動ミラーモジュールの走査線は、被走査面(感光体)の移動方向と直交する方向から所定角度(β)、実施例では走査終端側が走査開始側に対して2〜3°傾くように配置され、隣接する光走査手段との走査線が平行になるように実装される。プリント基板112には発光源である半導体レーザの駆動回路、振動ミラー202の駆動回路を構成する電子部品、および同期検知センサ113が実装されており、振動ミラーモジュール200はその支持基板の底面をプリント基板112の面に突き当て、下側に突出したリード端子をスルーホールに通して半田付けすることで回路接続がなされ、コネクタ114を介して外部回路との配線がなされている。一端をプリント基板112に結線されたケーブル115は発光源である半導体レーザのリード端子と接続されている。
【0030】
ハウジング106はある程度剛性が確保できるガラス繊維強化樹脂やアルミダイキャスト等からなり、ハウジング106内部には、第2の結像光学系である結像手段を構成する第1の走査レンズ116と第2の走査レンズ117を、主走査方向に配列して接合する接合面118が形成されている。この接合面118に各レンズ116,117の副走査方向基準面を当接した際に、振動ミラーモジュール200から射出した光ビームと副走査方向の光軸高さが合うように、各レンズ116,117が配備されている。具体的には、各第1の走査レンズ116は副走査方向各面の中央に突出され主走査方向の位置決めを行う突起120と、第1面側両端に光軸方向の突き当てを行う平押面119を備え、各接合面118に一体に形成された切欠122に上記突起120が係合させられ、各接合面118に形成された突起対121に平押面119が突き当てられて、各々相対的な配置を合わせて支持されている。
【0031】
一方、第2の走査レンズ117は、主走査方向に連結された形態で樹脂にて一体的に形成され、枠体122に収められている。枠体122の第2面側中央部に突起123が一体に形成されていて、この突起123が上記接合面118に一体に形成された切欠125に係合し、枠体122の第1面側両端部124が上記突起対126に突き当てられて支持されている。
【0032】
例えば、PINフォトダイオードからなる前記同期検知センサ113は、隣接する振動ミラーモジュール200で共用する中間位置と両端位置に配置され、各光走査モジュール200の走査開始側と走査終端側とでビームが検出できるように計4箇所に実装されている。第2の走査レンズ117の第2面側には、各レンズの走査領域間にV字状のミラー部128が形成され、また、走査領域に開口部129が形成された高輝アルミ板127が配備され、上記ミラー部128によって反射された光ビームが各々の同期検知センサ113へ導かれるように、隣接する走査開始側と走査終端側に対応した反射面が向かい合って配置されている。
実施例では、上記終端検知信号と走査開始端の同期検知信号との時間差を計測して振動ミラーの振幅を検出すると同時に、走査開始端の同期検知信号を基に、前述の光源ユニット100の電磁コイル604(図6参照)に印加するタイミングを合わせるように構成している。
【0033】
図2に示す符号138はハウジング106の斜面109側を覆うカバーを示す。このカバー138は光ビームが通過するスリット状の開口139を上端天井部に有し、ハウジング106上面を密閉するようにネジ止めされている。上記高輝アルミ板127は第2の走査レンズ117とカバー138との間に挟み込まれて支持され、高輝アルミ板127で反射された光ビームは、再度走査レンズ117を通過してハウジング106内に戻される。
上記のように構成された光走査装置は、ハウジング106の主走査端に形成された鍔部129に設けられた基準ピン132により、プリンタ等の画像形成装置本体のフレームに位置決めされ、上面が基準面に取付けられてネジ固定されている。なお、実施例では、3つの光走査装置を配列しているが、配列数はいくつであっても同様である。
【0034】
図5は、これまで説明してきた光走査装置をプリンタに適用した例を示すもので、単一の光走査装置500によって1色ずつ画像形成され、転写ベルト501を4回転して回転毎に色重ねがなされるカラーレーザプリンタの例を示している。図5において、転写ベルト501は駆動ローラと2本の従動ローラとで支持され、各色に対応したトナーを補給する現像手段としての現像ローラ502およびトナーホッパ503は回転支持体509上に一体的に配備されて1/4ずつ回転しながら、像担持体としての感光体ドラム504に対向するように構成されている。画像は、転写ベルト501の幅方向の端部に形成されたレジストマークを検出するセンサ505の信号をトリガとして、副走査方向の書出しタイミングはかって記録される。この画像記録は、上記光走査装置500によって光走査されることにより感光体ドラム504に静電潜像として記録される。この静電潜像は現像部にてトナーが載せられることによってトナー像として顕像化され、このトナー像は転写ベルト501に転写される。転写された後の感光体ドラム504の残トナーは、混色しないようにクリーニング部508で掻き取られ備蓄される。これらの動作を各色毎に行うことで、転写ベルト501に順次画像が重ねられていく。
【0035】
プリンタの下部には給紙トレイ507が配置されていて、給紙トレイ507から給紙コロ506により用紙が供給されるように構成されている。用紙は4色目の画像形成にタイミングを合わせてレジストローラ510により送り出され、転写手段511にて、転写ベルト501に重ねられて形成されている4色のトナー像が同時に用紙に転写される。転写されたトナー像を保持した用紙は定着ローラ512により定着され、排紙トレイ514に排出される。
【0036】
光走査装置500は、上記したように複数の光走査手段の走査線をつなぎ合わせて1ラインを形成する。1ラインの総ドット数Lを3分割し、画像始端から各々1〜L1、L1+1〜L2、L2+1〜Lドットを割り当てて印字する。実施例では各走査領域が像担持体としての感光体ドラム上で数mm重なるようにオーバーラップ領域を設け、割り当てる画素数L1、L2を固定せず、各色で異なるようにしている。こうすることで、同一ラインを構成する各色の走査線の継ぎ目が重ならないようにすることができ、走査領域の境界をより目立ち難くしている。
【0037】
画像データは、上記したように主走査方向に3分割され、各光走査手段毎にビットマップメモリに保存され、各振動ミラーモジュール200に共通の駆動周波数fdにより決定される副走査ピッチに応じてラスター展開がなされ、ラインデータとしてバッファに保存される。保存されたラインデータは各同期検知信号をトリガとして読み出され画像記録が行われる。
【0038】
図8は、振動ミラー202の駆動制御回路例を示すブロック図である。駆動パルス生成部601は、プログラマブル分周器と、PLL回路とを有してなる。プログラマブル分周器は、基準クロックを分周し、図8に示すように振動ミラーの1/2周期に1回、かつ最大振幅時から水平となるまでの期間のみに電圧パルスが印加されるように、共振周波数F0(=1/T0)の2倍の周波数で、デューティが50%以下のパルス列(T<T0/4)を生成する。上記PLL回路は、上記パルス列に所定の位相遅れδを生じさせて駆動周波数fdとし、これを振動ミラー駆動部602に与えて振動ミラー駆動部602を駆動するように構成されている。振動ミラー駆動部602の駆動同時に、光源ユニットの電磁コイル駆動部603には、振動ミラーの1/2周期で走査角θ0の位置に振幅の谷部が合うように位相を合わせて電流が印加される。
【0039】
振動ミラーは走査角θ0を起点として−θ0に達するまでの往期間の内、θs〜−θsの期間(0<θs<θ)、同一方向の走査時のみ画像記録を行い、走査角−θ0から+θ0の復期間には画像記録を行わない。言い換えれば、駆動周波数fdの1周期毎に画像記録を行う。ちなみにθs/θ0=0.7とした。
また、電源投入時、および待機状態から起動する際には、プログラマブル分周器で連続的に分周比を変えることで駆動周波数fdを高周波側から可変して励振し、上記したように走査始端と走査終端とに配備したセンサで時間差を計測し、振幅演算部604で振幅を検出するように構成されており、あらかじめ設定された時間になったことをもって共振振動帯域であることを判断する。このチェックを起動時以外にも定期時間毎にかけるようにすれば、経時においても振れ角の安定性をより向上することができる。
【0040】
上記した実施例では、図6に示すように、カップリングレンズ606の位置を周期的に光軸方向に可変することで、被走査面上における結像位置を主走査方向に沿って変化させているが、他の方法によっても可能である。別の結像位置可変手段の例として特開平7−49460号公報に開示されている可変焦点ミラーや、特開平10−269599号公報に開示されている可変焦点レンズなどを利用することができる。
【0041】
図10は可変焦点ミラーの一例で、Si基板701の上(図では下面)に酸化膜703を介して多結晶シリコン薄膜702を堆積させ、反対面からダイヤフラムを形成して、枠部を架橋する薄膜状のミラー面を形成している。図中上側がミラー面で金属被膜が蒸着されている。図10(b)は主走査方向の断面を示す。ガラス基体704の凹部には電極705が形成され、上記ミラーの裏面を数μmのギャップを介して対向させて貼り合わされることにより構成されている。電極705に電圧を印加するとミラー面中央は静電力によって吸引され、円筒凹面状にたわませることができ、可変焦点ミラーとして作用する。すなわち、曲率が周期的に変化する光学素子を構成している。
このような結像位置可変手段は、発光源から振動ミラーに至る光路中に配備することで、上記カップリングレンズを往復移動する例と同様な効果が得られる。
【0042】
ところで、振動ミラーは共振振動されるため、図8に示すようにsin波状に走査角θが変化する。
θ=θ0・sin2πfd・T、 −1/4fd<t<1/4fd
一方、被走査面である感光体ドラム面では均一間隔で主走査ドットを印字する必要があり、上記した第2の結像光学系である走査レンズの結像特性は、単位走査角あたりの走査距離dH/dθがsin−1θ/θ0に比例するように、つまり、画像中央で遅く周辺に行くに従って連続的にかつ加速度的に速くなるように光線の向きを補正しなければならず、走査レンズ中央部から周辺部にかけて結像点を遠ざけるようパワー配分を行う必要がある。しかし、同時に、図11に示すように、設計時においてあらかじめ振動ミラーの動的変形に伴う主走査方向の結像位置のずれを見込み、その分だけ像面湾曲が変化するようパワー配分を行うこともでき、上記した結像位置可変手段を用いるのと同様に、振動ミラーの動作時の変形に対処できる。図11(a)が副走査断面、図11(b)が主走査断面である。実施例では、主走査方向の結像位置だけが走査角に応じて正弦波状にオーバー側にずれるように変化し、周辺部では副走査方向と主走査との結像位置の差が大きくなっている。
【0043】
なお、互いに隣接する光走査部による走査境界部におけるスポット径dが等しくなるように、+像高、−像高でずらし量が対称になるよう設計しているが、これに限らず、レンズの曲率を非対称に形成することは可能であから、ずらし量を非対称としても一向に構わない。
【0044】
【発明の効果】
請求項1記載の発明は、発光源と、発光源からの光ビームを所定の収束状態または発散状態に変換する第1の結像光学系と、ねじり梁を回転軸として往復振動し、上記光ビームを走査する振動ミラーと、振動ミラーで走査された光ビームを被走査面上に結像する第2の結像手段とを有する光走査装置において、上記振動ミラーの動的変形に応じて、光ビームの結像位置を被走査面から変化させるようにした。これにより、マイクロマシンプロセスにより作製した振動ミラーを用いても動的変形による結像位置を補正することができるので、走査周辺部においても中央部と同等の均一なビームスポット径が得られ、画像濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる。また、振動ミラーをより軽量化できるので、駆動トルクが低減されるうえ、高速動作にも適合でき省電力で高速な光走査装置を提供できる。
【0045】
請求項2記載の発明によれば、上記振動ミラーの振れ角に対応して、少なくとも主走査方向における上記光ビームの結像位置を被走査面から変化させることにより、振動ミラーの振幅にタイミングを合わせて結像位置を可変できるので、各走査位置に対応して確実に結像位置が補正でき、主走査に沿って均一なビームスポット径が得られ、画像濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる。
【0046】
請求項3記載の発明によれば、上記第1の結像光学系には、上記光ビームの収束状態または発散状態を周期的に可変する結像位置可変手段を備えることにより、振動ミラーの正弦波振動に追従して各走査角での結像位置を効果的に補正することができるので、主走査に沿って均一なビームスポット径が得られ、画像濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる。
【0047】
請求項4記載の発明によれば、上記結像位置可変手段は、光軸方向に往復移動する光学素子を上記第1の結像光学系に備えることにより、各走査角での結像位置を確実に可変することができ、振動ミラー毎の動的変形のばらつきに対して柔軟に適応することができる。
【0048】
請求項5記載の発明によれば、上記結像位置可変手段は、曲率が周期的に変化する光学素子を上記第1の結像光学系に備えることにより、各走査角での結像位置を確実に可変することができ、振動ミラー毎の動的変形のばらつきに対して柔軟に適応することができる。
【0049】
請求項6記載の発明は、上記第2の結像光学系は、上記光ビームの結像位置が走査中央から走査端にかけて被走査面からずれるように、主走査方向に沿って収束力が連続的に変化するようにした。これにより、特別に補正機構を設けなくても、振動ミラーの正弦波振動に追従して各走査角での結像位置を効果的に補正することができるので、主走査方向に沿って均一なビームスポット径が得られ、画像濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる。
【0050】
請求項7記載の発明は、上記振動ミラーで走査された光ビームを検出する検出手段を備え、その検出信号と同期して上記光ビームの結像位置を変化させるように構成した。これにより、振動ミラーに印加される駆動信号と実際の振幅との間に位相差があっても、振動ミラーの振れ角に確実に同期して補正を行うことができるので、主走査方向に沿って均一なビームスポット径が得られ、画像濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる。
【0051】
請求項8記載の発明は、上記振動ミラーの駆動周波数を振動ミラー固有の共振振動数に応じて可変する振動ミラー駆動手段備えるとともに、上記駆動周波数に応じて、上記光ビームの結像位置を変化させる周期を可変するように構成した。これにより、振動ミラーの共振周波数がばね定数の温度特性等により経時的に変化し、ビームスポットの移動速度が変わっても、その変化に対応して結像位置を可変する周期を容易に合わせることができるので、画像濃度むらのない高品位な画像記録を行うことができる。また、振動ミラーの共振周波数を追従することで、常に振幅が最大となるように保つことができるので、印加電流等のマージンを最小限とすることができ、省電力化できる利点もある。
【0052】
請求項9記載の発明は、発光源、画像情報に応じて発光源を変調する光源駆動手段、ねじり梁を回転軸として共振振動し光源手段からの光ビームを走査する振動ミラー、を有する光走査装置と、この光走査装置によって静電画像が形成される像担持体と、上記静電画像をトナーで顕像化する現像手段と、顕像化されたトナー像を記録紙に転写する転写手段と、を有する画像形成装置であって、上記振動ミラーで走査された光ビームの結像位置を、振動ミラーの動的変形に応じて可変しつつ、画像記録を行うように構成した。こうすることにより、振動ミラーの動的変形が生じても結像位置を補正することができ、像担持体上において主走査方向に沿って均一な露光電位分布が得られ、画像濃度むらのない高品位な画像を得ることができる。
【0053】
請求項10記載の発明は、発光源と、画像情報に応じて発光源を変調する光源駆動手段と、ねじり梁を回転軸として共振振動し、光源手段からの光ビームを走査する振動ミラーと、を有する光走査装置を複数備え、主走査方向に各々の走査領域を連結して画像記録を行う画像形成装置であって、上記振動ミラーで走査された光ビームの結像位置を、振動ミラーの動的変形に応じて可変しつつ、画像記録を行うようにした。これにより、走査領域の分割に伴って目立ちやすくなる周期的に生じる帯状の濃度むらを、各走査領域の露光電位分布を均一化することで低減することができ、高品位な画像を得ることができる。
【0054】
請求項11記載の発明は、隣接する光走査装置の連結位置におけるスポット径が略同一となるように、上記結像位置を可変するようにした。これにより、露光電位分布の差があると走査領域間の継ぎ目が最も判別し易い境界部においても露光電位分布の差をなくすことができるので、露光電位分布の差あっても判別し難い離隔部間の露光電位分布の差があっても、画像濃度むらのない高品位な画像を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる光走査装置の実施の形態を示す分解斜視図である。
【図2】同上実施の形態を反対側から見た分解斜視図である。
【図3】本発明にかかる光走査装置に用いることができる振動ミラーモジュールの例を示す分解斜視図である。
【図4】同上振動ミラーモジュールの正面断面図である。
【図5】本発明かかる光走査装置を有する画像形成装置の実施形態を模式的に示す正面図である。
【図6】本発明に適用可能な光源ユニットの例を示すもので、(a)は分解斜視図、(b)は副走査方向の断面図である。
【図7】振動ミラーの振れ角α1、α2に対するミラー面の様子をトーションバーからなるねじり梁に直交する断面において示す線図である。
【図8】駆動パルスとこの駆動パルスによって駆動される振動ミラーの振幅とこの振幅に対するカップリングレンズの変位の関係を示すタイミングチャートである。
【図9】上記振動ミラーモジュールにおける可動ミラーの駆動制御回路の例を示すブロック図である。
【図10】可焦点ミラーの一例を示すもので、(a)は分解斜視図、(b)は主走査方向の断面図である。
【図11】第2の結像光学系のパワー配分例を示すもので、(a)は副走査方向の断面図、(b)は主走査方向の断面図である。
【符号の説明】
101 発光源としての半導体レーザ
113 検出手段としての同期検知センサ
116 第2の結像光学系を構成する第1走査レンズ
117 第2の結像光学系を構成する第2走査レンズ
200 振動ミラーモジュール
202 振動ミラー
208 ねじり梁
500 光走査装置
502 現像手段としての現像ローラ
504 像担持体
511 転写手段
602 振動ミラー駆動部
604 結像位置可変手段としての電磁コイル
606 第1の結像光学系としてのカップリングレンズ
Claims (11)
- 発光源と、発光源からの光ビームを所定の収束状態または発散状態に変換する第1の結像光学系と、ねじり梁を回転軸として往復振動し、上記光ビームを走査する振動ミラーと、振動ミラーで走査された光ビームを被走査面上に結像する第2の結像光学系とを有する光走査装置において、
上記振動ミラーの動的変形に応じて、上記光ビームの結像位置を被走査面から変化させることを特徴とする光走査装置。 - 上記振動ミラーの振れ角に対応して、少なくとも主走査方向における上記光ビームの結像位置を被走査面から変化させることを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
- 上記第1の結像光学系は、上記光ビームの収束状態または発散状態を周期的に可変する結像位置可変手段を備えていることを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
- 上記結像位置可変手段は、光軸方向に往復移動する光学素子を、上記第1の結像光学系に備えていることを特徴とする請求項3記載の光走査装置。
- 上記結像位置可変手段は、曲率が周期的に変化する光学素子を、上記第1の結像光学系に備えていることを特徴とする請求項3記載の光走査装置。
- 上記第2の結像光学系は、上記光ビームの結像位置が走査中央から走査端にかけて被走査面からずれるように、主走査方向に沿って収束力が連続的に変化するものであることを特徴とする請求項2記載の光走査装置。
- 上記振動ミラーで走査された光ビームを検出する検出手段を備え、この検出手段による検出信号と同期して結像位置可変手段が上記光ビームの結像位置を変化させることを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
- 上記振動ミラーの駆動周波数を振動ミラー固有の共振振動数に応じて可変する振動ミラー駆動手段を備え、この振動ミラー駆動手段は、上記駆動周波数に応じて、上記光ビームの結像位置を変化させる周期を可変することを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
- 発光源、画像情報に応じて発光源を変調する光源駆動手段、ねじり梁を回転軸として共振振動し発光源からの光ビームを走査する振動ミラーを有する光走査装置と、この光走査装置で光ビームが走査されることによって静電画像が形成される像担持体と、この像担持体の静電画像をトナーで顕像化する現像手段と、顕像化されたトナー像を記録紙に転写する転写手段とを有する画像形成装置であって、
上記振動ミラーで走査された光ビームの結像位置を、振動ミラーの動的変形に応じて可変しつつ、画像記録を行うことを特徴とする画像形成装置。 - 発光源と、画像情報に応じて発光源を変調する光源駆動手段と、ねじり梁を回転軸として共振振動し発光源からの光ビームを走査する振動ミラーとを有する光走査装置を複数備え、主走査方向に各々の走査領域を連結して画像記録を行う画像形成装置であって、
上記振動ミラーで走査された光ビームの結像位置を、振動ミラーの動的変形に応じて可変しつつ画像記録を行うことを特徴とする画像形成装置。 - 隣接する光走査装置の上記連結位置におけるスポット径が略同一となるように、上記結像位置を可変することを特徴とする請求項10記載の画像形成装置。
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