JP6524367B1 - 光学デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
[光モジュールの構成]
[光学デバイスの構成]
[可動ミラーの詳細な構成]
[作用及び効果]
Claims (11)
- 主面を有するベースと、
光学機能部を有する可動部と、
前記ベースと前記可動部との間に接続され、前記可動部が前記主面に垂直な所定方向に沿って移動可能となるように前記可動部を支持する第1弾性支持部及び第2弾性支持部と、を備え、
前記可動部は、本体部と、前記所定方向から見た場合に前記本体部から所定の間隔を空けて前記本体部を囲む枠部と、前記本体部と前記枠部とを互いに連結する複数の連結部と、を有し、
前記第1弾性支持部は、前記枠部に接続された一対の第1捩り支持部を有し、
前記第2弾性支持部は、前記枠部に接続された一対の第2捩り支持部を有し、
前記本体部は、前記光学機能部が設けられた中央部と、外縁部と、を含み、
前記外縁部は、前記所定方向における前記外縁部の厚さが前記所定方向における前記中央部の厚さよりも厚くなるように形成された第1梁部を含み、
前記枠部は、前記所定方向における前記枠部の厚さが前記所定方向における前記中央部の厚さよりも厚くなるように形成された第2梁部を含み、
前記複数の連結部のそれぞれの幅は、前記間隔よりも大きく、且つ、前記枠部における前記複数の連結部のそれぞれとの接続位置から前記一対の第1捩り支持部のそれぞれ及び前記一対の第2捩り支持部のそれぞれとの接続位置のいずれまでの距離よりも小さい、光学デバイス。 - 前記枠部において、前記複数の連結部のそれぞれとの接続位置は、前記一対の第1捩り支持部のそれぞれとの接続位置と、前記一対の第2捩り支持部のそれぞれとの接続位置との間に位置する、請求項1に記載の光学デバイス。
- 前記枠部において、前記複数の連結部のそれぞれとの接続位置は、前記一対の第1捩り支持部のそれぞれとの接続位置の間、又は、前記一対の第2捩り支持部のそれぞれとの接続位置の間に位置する、請求項1に記載の光学デバイス。
- 前記複数の連結部は、前記所定方向から見た場合に、前記本体部の中心に関して互いに点対称に配置されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学デバイス。
- 前記複数の連結部のそれぞれの幅は、前記枠部における前記複数の連結部のそれぞれとの接続位置から前記一対の第1捩り支持部のそれぞれ及び前記一対の第2捩り支持部のそれぞれとの接続位置のいずれまでの距離の1/3倍よりも小さい、請求項1〜4のいずれか一項に記載の光学デバイス。
- 前記複数の連結部のそれぞれの幅は、前記所定方向から見た場合における前記第1梁部の内縁から前記枠部の外縁までの距離よりも小さい、請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学デバイス。
- 前記本体部及び前記光学機能部は、前記所定方向から見た場合に円形状を呈しており、
前記複数の連結部のそれぞれは、前記所定方向から見た場合に、当該連結部の中心及び前記本体部の中心を通る直線に垂直で且つ前記光学機能部の外縁に接する直線と交差しないように、設けられている、請求項1〜6のいずれか一項に記載の光学デバイス。 - 前記複数の連結部のそれぞれは、前記所定方向における前記複数の連結部のそれぞれの厚さが前記所定方向における前記中央部の厚さよりも厚くなるように形成された第3梁部を含み、
前記第3梁部は、前記第1梁部及び前記第2梁部に接続されている、請求項1〜7のいずれか一項に記載の光学デバイス。 - 前記一対の第1捩り支持部のそれぞれ及び前記一対の第2捩り支持部のそれぞれは、前記所定方向に垂直な第2方向に沿って延在しており、
前記所定方向から見た場合に、
前記枠部と前記一対の第1捩り支持部の一方との接続位置、及び前記本体部の中心を通る直線と、前記第2方向に垂直で且つ前記本体部の中心を通る軸線とが成す角度、
前記枠部と前記一対の第1捩り支持部の他方との接続位置、及び前記本体部の中心を通る直線と前記軸線とが成す角度、
前記枠部と前記一対の第2捩り支持部の一方との接続位置、及び前記本体部の中心を通る直線と前記軸線とが成す角度、並びに、
前記枠部と前記一対の第2捩り支持部の他方との接続位置、及び前記本体部の中心を通る直線と前記軸線とが成す角度は、いずれも、60度以下である、請求項2に記載の光学デバイス。 - 前記一対の第1捩り支持部のそれぞれ及び前記一対の第2捩り支持部のそれぞれは、前記所定方向に垂直な第2方向に沿って延在しており、
前記所定方向から見た場合に、
前記枠部と前記一対の第1捩り支持部の一方との接続位置、及び前記本体部の中心を通る直線と、前記第2方向に垂直で且つ前記本体部の中心を通る軸線とが成す角度、
前記枠部と前記一対の第1捩り支持部の他方との接続位置、及び前記本体部の中心を通る直線と前記軸線とが成す角度、
前記枠部と前記一対の第2捩り支持部の一方との接続位置、及び前記本体部の中心を通る直線と前記軸線とが成す角度、並びに、
前記枠部と前記一対の第2捩り支持部の他方との接続位置、及び前記本体部の中心を通る直線と前記軸線とが成す角度は、いずれも、30度以上70度以下である、請求項3に記載の光学デバイス。 - 前記第1弾性支持部は、前記一対の第1捩り支持部にそれぞれ接続された一対の第1レバーと、前記一対の第1レバーと前記ベースとの間にそれぞれ接続された一対の第3捩り支持部と、を更に有し、
前記第2弾性支持部は、前記一対の第2捩り支持部にそれぞれ接続された一対の第2レバーと、前記一対の第2レバーと前記ベースとの間にそれぞれ接続された一対の第4捩り支持部と、を更に有する、請求項1〜10のいずれか一項に記載の光学デバイス。
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