JP2010054944A - 光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板状の可動部211と、可動部211上に形成され、光を反射する反射膜211aと、可動部211を支持部材に対してX軸周りに揺動可能に支持する軸部材211、213と、可動部211に配置されるリブ211d、211e、211f、211gと、から成る振動系21と、可動部211を支持部材22に対して揺動運動させる駆動手段6と、を備え、リブ211d、211e、211f、211gが、軸部材211、213に対し可動部211の一方の面の慣性モーメントと他方の面の慣性モーメントが等しくなるように、一方及び他方の面のそれぞれに配置されている。
【選択図】図1
Description
かかる構成によれば、可動部の平面形状が、入射する光のスポット形状に合わせた形、例えば、円又は楕円であるので、可動部の慣性モーメントを不必要に増加させることがない。
かかる構成によれば、他方の面のリブが一方の面のリブの裏側に設けられるので、一方の面の慣性モーメントと他方の面の慣性モーメントとを、容易に等しくすることができる。
かかる構成によれば、前述した本発明に係る光学デバイスを備えるので、可動部の重心が振動系の回転軸中心とほぼ一致し、捩れ以外の振動を抑制することができる。これにより、反射した光がぶれたりずれたりするのを防止することができ、優れた描画特性を有する光スキャナを実現することができる。
かかる構成によれば、前述した本発明に係る光スキャナを備えるので、可動部の重心が振動系の回転軸中心とほぼ一致し、捩れ以外の振動を抑制することができる。これにより、反射した光がぶれたりずれたりするのを防止することができ、優れた描画特性を有する画像形成装置を実現することができる。
(光学デバイス)
最初に、図1乃至図4を参照して本発明に係る光学デバイスについて説明する。図1は、本発明に係る光学デバイスの構成を説明する上面図である。図2は、図1に示したA−A線矢視方向断面図である。図3は、図1に示したB−B線矢視方向断面図である。なお、以下の説明では、図1中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」といい、図2中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」といい、図3中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」という。
基体2は、可動部211と、可動部上面に配置されるリブ211d、211eと、可動部下面に配置されるリブ211f、211gと、可動部211を枠状の支持部材22に対してX軸周りに揺動可能に支持する一対の軸部材212、213とから成る振動系21で構成される。
可動部211は、反射膜211aが形成される反射膜支持部214と、反射膜支持部214の外側に接続部211b、211cとを有し、軸部材212、213と接続部211b、211cで連結している。
図2及び図3に示すように、光学デバイス1は、可動部211を支持部材22に対して揺動運動させる駆動手段6とを備える。
駆動手段6は、可動部211の一方の面のリブとして配置される永久磁石211f、211gと、永久磁石211f、211gに対向する位置に配置されるコイル62と、コイル62に所定周波数の交流電流信号を印加する交流電流信号発生器63であって、交流電流信号によりコイル62が発生させる磁界と、永久磁石211f、211gとの間に生じる電磁力により可動部211が揺動運動する。
なお、永久磁石は可動部211の一方の面に配置されていればよく、211f、211gの代わりに、211d、211eの配置でもよいし、すべて永久磁石であってもよい。
また、永久磁石は、軸部材212、213に対して着磁方向が垂直でなくてもよく、角度をなして着磁されていてもよい。
以下、第1のシリコン層100aに可動部211と軸部材212、213と支持部材22を形成し、酸化膜100bと第2のシリコン層100cとから成るリブ211d、211eをSOI基板で一体形成する場合について説明する。
ここで、可動部211と軸部材212、213から成る振動系21と支持部材22が形成される。ただし、酸化膜100bを除去する前なので、振動系21は固定されたままであり、可動することはできない。
支持部材22の形成は第1のシリコン層に限定されず、第1のシリコン層の直下に、後述の工程(図6(j)参照)にて形成した酸化膜100bと第2のシリコン層とで一体形成したものであってもよい。
また、フッ酸によるウェットエッチングにより可動部211と軸部材212、213から成る振動系21がリリースされ、X軸周りに可動することが可能になる。
以上説明したような光学デバイス1は、反射膜211aを備えているため、例えば、レーザープリンタ、バーコードリーダー、走査型共焦点レーザー顕微鏡、イメージング用ディスプレイ等の画像形成装置に備える光スキャナに好適に適用することができる。なお、本発明の光スキャナは、前述した光学デバイス1と同様の構成であるため、その説明を省略する。
次に、図8を参照して本発明に係る画像形成装置について説明する。図8は、本発明に係る光スキャナを備える画像形成装置の一例を示す模式的断面図である。
Claims (13)
- 板状の可動部と、
前記可動部上に形成され、光を反射する反射膜と、
前記可動部を支持部材に対してX軸周りに揺動可能に支持する第1の軸部材と、
前記可動部に配置されるリブと、
から成る振動系と、
前記可動部を前記支持部材に対して揺動運動させる駆動手段と、
を備え、
前記リブが、前記第1の軸部材に対し前記可動部の一方の面の慣性モーメントと他方の面の慣性モーメントが等しくなるように、前記一方及び他方の面のそれぞれに配置されている
ことを特徴とする光学デバイス。 - 前記一方及び他方の面のうち少なくとも1つの面に配置されるリブは、前記第1の軸部材近傍に設けられる
ことを特徴とする請求項1に記載の光学デバイス。 - 前記可動部は、
前記反射膜を形成した反射膜支持部と、前記反射膜支持部の外側に前記第1の軸部材に接続される接続部とを有し、
前記一方及び他方の面のうち少なくとも1つの面に配置されるリブは、前記接続部に設けられる
ことを特徴とする請求項2に記載の光学デバイス。 - 前記可動部の平面形状は、円又は楕円である
ことを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の光学デバイス。 - 前記他方の面に配置されるリブは、前記一方の面に配置されるリブの裏側に設けられる
ことを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の光学デバイス。 - 前記駆動手段は、
少なくとも一方の面の前記リブとして配置される永久磁石と、
前記永久磁石に対向する位置に配置されるコイルと、
前記コイルに所定周波数の交流電流信号を印加する交流電流信号発生器とから成り、
前記交流電流信号により前記コイルが発生させる磁界と前記永久磁石との間に生じる電磁力により、前記可動部を揺動運動させる
ことを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載の光学デバイス。 - 前記永久磁石が、前記第1の軸部材に対して角度をなして着磁されている
ことを特徴とする請求項6に記載の光学デバイス。 - 前記振動系のねじり共振周波数が、前記所定周波数とほぼ一致する
ことを特徴とする請求項6又は7に記載の光学デバイス。 - 前記可動部と前記第1の軸部材と前記支持部材とは、第1のシリコン層と第2のシリコン層とが酸化膜層を介して構成される基板のうち、前記第1のシリコン層から形成され、
前記一方及び他方の面のいずれかの面に配置されるリブは、前記第2のシリコン層及び酸化膜層から形成される
ことを特徴とする請求項1乃至8の何れかに記載の光学デバイス。 - 前記可動部は、前記一方及び他方の面のうち少なくとも1つの面に凹部を有し、
前記一方及び他方の面のうち少なくとも1つの面に配置される前記リブは、前記凹部に嵌合される
ことを特徴とする請求項1乃至9の何れかに記載の光学デバイス。 - 前記支持部材が枠状の平板であり、
前記振動系を前記支持部材に対して前記X軸と直交するY軸方向に揺動可能に支持する第2の軸部材を更に備える
ことを特徴とする請求項1乃至10の何れかに記載の光学デバイス。 - 請求項1乃至11の何れかに記載の光学デバイスを備える
ことを特徴とする光スキャナ。 - 請求項12に記載の光スキャナを備える
ことを特徴とする画像形成装置。
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