JP2014235260A - 光走査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光走査部5は、振動板10と、振動板10に支持されて光ビームを反射させる反射面30aを有するミラー部30と、振動板10を振動させるための第1駆動機構と、ミラー部30の反射面30aで反射された光ビームの焦点距離を調整するための第2駆動機構とを備える。第2駆動機構は、通電されたミラー駆動コイル41とミラー静磁界発生部42の静磁界との相互作用としての吸引反発力によってミラー部30を変形させるように構成されている。駆動制御部6は、反射面30aの曲率半径が光ビームの焦点距離に応じた目標値となるように、ミラー部30を変形させるための変形駆動電流をミラー駆動コイル41に供給する。このため、ミラー駆動コイル41に変形駆動電流を供給すると吸引反発力によって直ちにミラー部30を変形させることができる。
【選択図】図3
Description
この種の光走査装置は、様々な分野に適用することが可能であり、車両分野に適用する場合、例えば車両の周辺の障害物等を検知するためのレーダ光の照射に用いられたり、車両のフロントガラス等に画像を表示するための映像光の照射に用いられたりする。
即ち、第1駆動機構は、ミラー静磁界発生部に離間して配置されて振動板に作用する方向に静磁界を発生するメイン静磁界発生部と、振動板においてメイン静磁界発生部に対向する位置に少なくとも一部が敷設されたメイン駆動コイルとを有し、通電されたメイン駆動コイルとメイン静磁界発生部の静磁界との相互作用によって該振動板を振動させるように構成されており、駆動制御手段は、メイン駆動コイルに対する電流制御を行う。
また、駆動制御手段は、振動板の振幅が光ビームの走査領域に応じた目標値となるように、振動板に周期的加振力を与えるための電流(以下「振動駆動電流」という)をメイン駆動コイルに供給してもよい。
図1に示すように、本実施形態の光走査装置1は、発光部2と、入力部3と、発光制御部4と、光走査部5と、駆動制御部6と、データ記憶部7とを備えて構成される。
次に、本実施形態の実施例1としての光走査部5について図面と共に説明する。
図3(a)に示すように、本実施例1の光走査部5において、振動板10は、矩形状に形成されており、ミラー部30を支持する中央部100と、中央部100から左右方向(図中のX方向)にそれぞれ張り出した張出部110a,110bとを有し、張出部110a,110bのX方向における端辺の中央部が第1梁部11を介して振動可能に固定部50に支持されている。なお、固定部50は、例えば枠状に形成されたものであり、振動板10をその両側から第1梁部11を介して支持している。
次に、本実施形態の実施例2としての光走査部5について図面と共に説明する。なお、本実施例2の光走査部5は、実施例1における以下の課題に鑑みてなされたものである。即ち、実施例1において、光ビームを走査させながら光ビームの焦点距離の調整を行う際には、ミラー部30に振動板10が引っ張られて変位してしまうことを抑制するための電流(以下「変位駆動電流」という)に重畳して、前記した振動駆動電流や傾斜駆動電流をメイン駆動コイル21に供給する必要がある。しかしながら、メイン駆動コイル21に、光ビームの走査に必要な信号(振動駆動電流や傾斜駆動電流)に、これとは別の信号(変位駆動電流)を重畳させることは、光ビームの走査(スキャン動作)に悪影響を与える可能性を否定できない。
次に、本実施形態の実施例3としての光走査部5について図面と共に説明する。なお、実施例1および実施例2においては、ミラー部30が振動板10に固定されていることにより、光ビームの走査方向が1方向(Y方向)となる構成であったのに対し、本実施例3の光走査部5は、光ビームの走査方向が2方向(XY方向)となる構成である点だけが異なる。
次に、本実施形態の実施例4としての光走査部5について図面と共に説明する。なお、実施例3においては、光走査部5が2自由度捻り振動子となる構成であったのに対し、本実施例4の光走査部5は、光走査部5が3自由度捻り振動子となる構成である点だけが異なる。
次に、本実施形態の実施例5としての光走査部5について図面と共に説明する。なお、実施例1〜4においては、振動板10が矩形状である構成であったのに対し、本実施例5の光走査部5は、光走査部5がH形状である構成である点だけが異なる。但し、ミラー部30は、実施例1〜2と同様、振動板10の中央部100に固定されているものとする。
次に、本実施形態の実施例6としての光走査部5について図面と共に説明する。なお、実施例5においては、ミラー部30が振動板10に固定されていることにより、光ビームの走査方向が1方向(Y方向)となる構成であったのに対し、本実施例6の光走査部5は、光ビームの走査方向が2方向(XY方向)となる構成である点だけが異なる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、様々な態様にて実施することが可能である。
Claims (8)
- 光ビームを走査する光走査装置(1)であって、
固定部に第1梁部(11)を介して振動可能に支持された振動板(10)と、
前記振動板に支持されて前記光ビームを反射させる反射面(30a)を有するミラー部(30)と、
前記振動板を振動させるための第1駆動機構(20)と、
前記反射面で反射された前記光ビームの焦点距離を調整するための第2駆動機構(40)と、
前記第1駆動機構および前記第2駆動機構を駆動制御する駆動制御手段(6)と、
を備え、
前記第2駆動機構は、
前記反射面に対する裏面側で前記ミラー部に対向配置され、該ミラー部の裏面に対する垂直方向に静磁界を発生するミラー静磁界発生部(42)と、
前記反射面に対する裏面側で前記ミラー部に敷設され、通電により前記ミラー静磁界発生部の静磁界と同一方向または反対方向の磁界を発生するミラー駆動コイル(41)と、
を有し、通電された前記ミラー駆動コイルと前記ミラー静磁界発生部の静磁界との相互作用としての吸引反発力によって前記ミラー部を変形させるように構成されており、
前記駆動制御手段は、前記反射面の曲率半径が前記光ビームの焦点距離に応じた目標値となるように、前記ミラー部を変形させるための変形駆動電流を前記ミラー駆動コイルに供給することを特徴とする光走査装置。 - 前記ミラー静磁界発生部は、当該ミラー静磁界発生部の静磁界が前記振動板における前記ミラー部の近接部(120)に対しても作用する大きさに形成されており、
前記第1駆動機構は、前記振動板における前記近接部に敷設され、通電により前記ミラー駆動コイルに発生する磁界とは反対方向の磁界を発生するサブ駆動コイル(61)を有し、通電された前記サブ駆動コイルと前記ミラー静磁界発生部の静磁界との相互作用としての吸引反発力によって、前記ミラー部の変形に伴って前記振動板が変位しようとする方向とは逆向きの力を前記振動板に与えるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。 - 前記第1駆動機構は、
前記ミラー静磁界発生部に離間して配置され、前記振動板に作用する方向に静磁界を発生するメイン静磁界発生部(22)と、
前記振動板において前記メイン静磁界発生部に対向する位置に少なくとも一部が敷設されたメイン駆動コイル(21)と、
を有し、通電された前記メイン駆動コイルと前記メイン静磁界発生部の静磁界との相互作用によって該振動板を振動させるように構成されており、
前記駆動制御手段は、前記メイン駆動コイルに対する電流制御を行うことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光走査装置。 - 前記駆動制御手段は、前記振動板の振幅が前記光ビームの走査領域に応じた目標値となるように、該振動板に周期的加振力を与えるための振動駆動電流を前記メイン駆動コイルに供給することを特徴とする請求項3に記載の光走査装置。
- 前記振動板は、矩形状に形成されており、
前記メイン静磁界発生部は、前記振動板の板面に対する平行方向に静磁界を発生し、
前記第1駆動機構は、通電された前記メイン駆動コイルと前記メイン静磁界発生部の静磁界との相互作用としてのローレンツ力によって前記振動板を振動させることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の光走査装置。 - 前記振動板は、H形状に形成されており、
前記メイン静磁界発生部は、前記振動板の板面に対する垂直方向に静磁界を発生し、
前記メイン駆動コイルは、通電により前記メイン静磁界発生部の静磁界と同一方向または反対方向の磁界を発生し、
前記第1駆動機構は、通電された前記メイン駆動コイルと前記メイン静磁界発生部の静磁界との相互作用としての吸引反発力によって前記振動板を振動させるように構成されていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の光走査装置。 - 前記ミラー部は、前記振動板に第2梁部(12)を介して振動可能に支持されており、
前記駆動制御手段は、前記第1梁部を回転軸として前記振動板を振動させるための第1振動駆動電流と、前記第2梁部を回転軸として前記ミラー部を振動させるための第2振動駆動電流とを前記メイン駆動コイルに供給することを特徴とする請求項3ないし請求項6のいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記ミラー部と前記振動板との間に配置された内ジンバル(60)を備え、
前記内ジンバルは、前記振動板に第2梁部(12)を介して振動可能に支持されており、
前記ミラー部は、前記内ジンバルに第3梁部(13)を介して振動可能に支持されており、
前記駆動制御手段は、前記ミラー部、前記内ジンバルおよび前記振動板からなる振動系を同時に励振するための前記振動駆動電流を前記メイン駆動コイルに供給することを特徴とする請求項3ないし請求項6のいずれか1項に記載の光走査装置。
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