JP2008191619A - 光走査装置及び網膜走査型画像表示装置 - Google Patents

Abstract

【課題】揺動軸をなす支持部を介して内部揺動部に安定して電力を供給することができるとともに、内部揺動部が破損した場合にも揺動部を容易に交換可能な構造にした。
【解決手段】振動ミラー部１０を備える第１揺動部と、第１揺動部を保持する保持部５と、該保持部５を軸支し該保持部５の揺動軸をなす支持部４ａ、４ｂと、該支持部４ａ、４ｂを支持する枠部３ａ、３ｂと、を備える第２揺動部からなる光走査装置１であって、該
保持部５と該支持部４ａ、４ｂとは別体に構成され、該支持部４ａ、４ｂは導電性材料からなり、該第１揺動部は該支持部４ａ、４ｂを介して供給される電力により駆動される。
【選択図】図１

Description

本発明は、レーザープリンタや投影型表示装置に用いられる光スキャナー用の光走査装置に関する。特に、振動体に設けた反射ミラーを揺動させることにより反射光を走査する光走査装置に関する。

従来から、投影型表示装置等においては画像信号により変調されたレーザー光を走査して投映像を形成するための光走査装置が知られている。この種の光走査装置の光走査部として、例えば回転多面鏡（ポリゴンミラー）や振動駆動型反射鏡（ガルバノミラー）が用いられている。回転多面鏡を使用する場合は、高速回転する回転多面鏡に画像信号により変調されたレーザー光を照射して、その反射光を走査し、記録媒体が形成された回転ドラムに走査されたレーザー光を照射して潜像を書き込み、これを紙等に転写する。また、振動駆動型反射鏡を使用する画像表示装置においては、振動ミラーを圧電体や静電気力等により高速振動を行い、画像信号により変調されたレーザー光をこの振動ミラーに照射し、反射光をスクリーンや網膜に照射して、画像表示装置とする。振動駆動型反射鏡は回転多面鏡と比較して駆動部を小型化することができ、軽量小型の光走査装置に適する。

図７は、２軸プレーナ型ガルバノミラーの振動板１００を示す斜視図である（例えば特許文献１を参照）。シリコン基板１０１の内側には、外側可動板１０２Ａと内側可動板１０２Ｂが形成されている。外側可動板１０２Ａは外側トーションバー１０３Ａにより軸支され、シリコン基板１０１により保持されている。内側可動板１０２Ｂは内側トーションバー１０３Ｂにより軸支され、外側可動板１０２Ａにより保持されている。外側可動板１０２Ａ、内側可動板１０２Ｂ、外側トーションバー１０３Ａ及び内側トーションバー１０３Ｂはシリコン基板１０１と共に一体的に形成されている。これらの各構造要素は、シリコン基板のフォトリソグラフィ工程及びエッチング工程により同時に形成される。

シリコン基板１０１には外側電極端子１０５Ａと内側電極端子１０５Ｂが形成されている。外側可動板１０２Ａの表面には銅薄膜からなる外側配線１０６Ａが形成され、外側トーションバー１０３Ａを介して接続されている。内側可動板１０２Ｂには、入射光を反射して走査するために反射面１０４が形成されている。内側可動板１０２Ｂの外延部には銅薄膜からなる内側配線１０６Ｂが形成され、内側トーションバー１０３Ｂ、外側可動板１０２Ａ及び外側トーションバー１０３Ａを介して内側電極端子１０５Ｂに接続されている。更に、シリコン基板１０１の側方には図示しない永久磁石が設置されており、静磁界を発生させている。

内側電極端子１０５Ｂに交番電流を流すことにより、磁気力により内側可動板はＸＸ’軸を中心として特定の共振周波数において揺動を行う。また、外側電極端子１０５Ａに交番電流を流すことにより、電磁気力により外側可動板はＹＹ’軸を中心として上記内側可動板１０２Ｂと異なる周期の特定の共振周波数において、揺動を行う。内側可動板は外側可動板と比較して慣性モーメントが小さいために、揺動の共振周波数が高くなる。このガルバノミラーを投影表示装置に適用する場合は、ＸＸ’軸を中心とした揺動により反射される反射光束を水平走査用に、ＹＹ’軸を中心とした揺動により反射される反射光束を垂直走査用に利用することができる。
特開平８−１８６９７５号公報

図７に示した光走査装置では、内側可動板１０２Ｂと外側可動板１０２Ａとは一体的に形成される。そして、外側可動板１０２Ａ及び内部可動板１０２Ｂの駆動用の電力を外側トーションバー１０３Ａ上の配線を通して供給する必要があった。しかしながら、トーションバーは捻じれ振動を行うために配線の切断による故障が発生する場合があった。また、内側可動板１０２Ｂに電力を供給するために、内側トーションバー１０３Ｂ上の配線を経由して電力を供給しているが、内側トーションバー１０３Ｂ上の配線が切断等により故障した場合には、振動板を半導体基板に一体的に構成しているために、故障の部分のみを交換することができず、光走査装置全体を交換する必要があった。

本発明は上記課題を解決するために以下の手段を講じた。

請求項１に係る発明においては、振動ミラー部を備える第１揺動部と、前記第１揺動部を保持する保持部と、前記保持部を軸支し前記保持部の揺動軸をなす支持部と、前記支持部を支持する枠部と、を備える第２揺動部からなる光走査装置であって、前記保持部と前記支持部とは別体に構成され、前記支持部は導電性材料からなり、前記第１揺動部は前記支持部を介して供給される電力により駆動されることを特徴とする光走査装置とした。

請求項２に係る発明においては、前記第１揺動部と前記第２揺動部とは別体に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の光走査装置とした。

請求項３に係る発明においては、前記支持部は弾性を有するトーションバーにより構成されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光走査装置とした。

請求項４に係る発明においては、前記枠部は前記支持部の内部応力を調節するための内部応力調節部を備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の光走査装置とした。

請求項５に係る発明においては、前記支持部は前記枠部に回転自在に支持されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光走査装置とした。

請求項６に係る発明においては、前記第１揺動部の揺動軸と前記第２揺動部の揺動軸とは互いに直交することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の光走査装置とした。

請求項７に係る発明においては、前記支持部は前記保持部に嵌合して連結されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の光走査装置とした。

請求項８に係る発明においては、前記枠部はベース基板に固定され、前記ベース基板は前記保持部の揺動を検出するための検出手段を備えていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の光走査装置とした。

請求項９に係る発明においては、請求項１〜８のいずれか１項に記載の光走査装置を備え、画像信号に応じて変調された光束を前記光走査装置により走査して網膜上に投影表示する網膜走査型画像表示装置とした。

請求項１の光走査装置によれば、振動ミラー部を備える第１揺動部と、第１揺動部を保持する保持部と、その保持部を軸支し当該保持部の揺動軸をなす支持部と、この支持部を支持する枠部とを備える第２揺動軸からなる光走査装置であり、保持部と支持部とは別体に構成されており、さらに支持部は導電性材料からなり、かつ、第１揺動部は支持部を介して供給される電力により駆動されるようにした。これにより、支持部において捻じれ振動による断線故障が発生し難いこと、及び、第１揺動部が故障した場合でも、支持部から保持部を取り外して交換して修理を行うことができるので、装置全体を交換する必要がない、という利点を有する。

請求項２の光走査装置によれば、第１揺動部と第２揺動部とは別体に構成した。これにより、第１揺動部が故障した場合でも、保持部から第１揺動部を取り外して修理や交換を容易に行うことができる、という利点を有する。

請求項３の光走査装置によれば、支持部は弾性を有するトーションバーにより構成されている。支持部をトーションバーとすることにより、保持部の初期位置を最初に設定しておけば、外力により変位が起きた場合でも、外力の印加が停止すればトーションバーの持つ弾性力により初期位置へ自動的に保持部位地が戻る。このため後に当該保持部の初期の位置を調整する必要がない、という利点を有する。

請求項４の光走査装置によれば、枠部は支持部の内部応力を調節するための内部応力調節部を備えている。これにより、支持部のネジレ弾性定数を調整することができるので、主に保持部および支持部により構成される構造体の共振周波数を調節することが可能となり、制御における共振現象の影響を回避するための調節が容易となる、という利点を有する。

請求項５の光走査装置によれば、支持部は回転自在に枠部に支持されている。これにより、第２揺動部をある周波数で、所望の角度変化パターンに沿って揺動を行う場合に、制御における共振現象による揺動のむらを防止することができる、という利点を有する。

請求項６の光走査装置によれば、第１揺動部の揺動軸方向と第２揺動部の揺動軸方向は直交するようにした。これにより、互いに直交する方向の２次元光走査が可能となり、２次元の画像表示を行うことができる、という利点を有する。

請求項７の光走査装置によれば、支持部は保持部に嵌合するように連結されている。これにより、保持部及び第１揺動部の交換を容易に行うことができる、という利点を有する。

請求項８の光走査装置によれば、枠部はベース基板に固定されており、このベース基板は保持部の揺動を検出するための検出手段を備えている。これにより得られる揺動状態をフィードバックして制御を行うことで、保持部の揺動、即ち第２揺動部の揺動を高精度で制御することができる、という利点を有する。

請求項９の網膜走査型画像表示装置によれば、上記請求項１〜７のいずれかに記載の光走査装置を使用することにより、支持部において捻じれ振動による断線故障が発生し難いこと、及び、第１揺動部が故障した場合でも、支持部から保持部を取り外して交換して修理を行うことができるので、光装置全体を交換する必要がなく製造コストを低減することができるとともに、製品寿命を長くできる、という利点を有する。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る光走査装置１を表す外観図であり、図２は、中心線ＹＹ’を含む縦断面図である。

図１及び図２において、反射面が形成された振動ミラー部１０と、この振動ミラー部１０を保持する内側支持部９と、内側支持部９が固定されている内側枠部８と、この内側枠部８を固定して揺動空間を構成する台座部７により第１揺動部が構成されている。この第１揺動部には、図示しない圧電振動体が内側枠部８に固定されている。振動ミラー部１０は、前記圧電振動体を駆動エネルギー源として、内側支持部９を揺動軸として、即ち中心線ＸＸ’を中心として揺動を行う。

また、第１揺動部を保持する保持部５と、保持部５を軸支する２つの支持部４ａ、４ｂと、これらの支持部４ａ、４ｂを支持する２つの枠部３ａ、３ｂと、保持部５の底部に設置されたマグネット６により第２揺動部が構成されている。更に、枠部３ａ、３ｂは絶縁体からなるベース基板２の上に離間して固定されている。ベース基板２の上であり、マグネット６の直下には、マグネット６に磁界に伴う力を作用させるための、電磁石として働く平面コイル１１ａ、１１ｂが形成されている。第２揺動部は、支持部４ａ、４ｂを揺動軸として、即ち中心線ＸＸ’と直交する中心線ＹＹ’を揺動軸として揺動を行う。従って、振動ミラー部１０に入射して反射される反射光束は、振動ミラー部１０により反射されて互いに直交する中心線ＹＹ’方向と中心線ＸＸ’方向に走査される。

支持部４ａ、４ｂは、金属からなり、弾性を有する棒状部材により構成されている。支持部４ａの一端１２ａが接続される保持部５の側壁部には、６角形の凹部が形成されている。支持部４ａの一端１２ａは、軸方向に対する断面がＴ字状であり、軸方向に対して直角方向の断面が６角形を有している。この一端１２ａに６角形状の支持部４ａを保持部５の内側から外側に向けて挿入することにより、支持部４ａの一端１２ａの６画形状と保持部５の側壁部の６角形の凹部とが嵌合して、支持部４ａ、４ｂと保持部５とが連結されている。従って、支持部４ａ、４ｂと保持部５とは取り外し可能に連結され、かつ保持部５と支持部４ａ、４ｂが実質一体的に回転する。

更に、前記弾性棒状部材からなる支持部４ａ、４ｂの他端１９は枠部３ａ、３ｂの側壁に沿ってベース基板２を貫通している。従って、支持部４ａ、４ｂは保持部と枠部上端までの領域において、前記揺動軸周りのねじり運動に対し弾性を持つトーションバーとして働く。支持部４ａ、４ｂの他端１９にはネジ溝が切ってあり、ナット２０により固定されている。支持部４ａ、４ｂはナット２０により支持部４ａ、４ｂの内部応力を調節することができる。従って、支持部４ａ、４ｂの他端１９とナット２０はトーションバーを構成する支持部４ａ、４ｂの内部応力調節部として機能する。また、光走査装置１を作成後に保持部５が水平となるようにセットする必要があるが、一度水平出しを行うことにより、使用時に都度水平出しを行う必要がなくなる。

ベース基板２及び保持部２は絶縁体からなる。そして、支持部４ａ、４ｂの他端１９が貫通する貫通口及びその周辺には電極端子１３ａ、１３ｂが形成され、支持部４ａ、４ｂと電気的に導通している。ベース基板２上の電極１３ａは配線を介して電極端子１５ａに、電極１３ｂは配線を介して電極端子１５ｂにそれぞれ接続している。支持部４ａ、４ｂの一端１２ａ、１２ｂが嵌合する保持部５の側壁にはそれぞれ電極端子２１ａ、２１ｂが形成され、支持部４ａ、４ｂと導通している。更に、電極端子２１ａ、２１ｂは第１揺動部の振動ミラー部１０を駆動するための図示しない駆動源に電気的に接続されている。従って、２つの電極端子１５ａ、１５ｂに第１揺動部を駆動するための電力を供給することにより、２つのトーションバーを構成する支持部４ａ、４ｂを介して振動ミラー部１０を揺動させるための電力を供給することができる。

また、ベース基板２の上には平面コイル１１ａ、１１ｂが形成され、これらの平面コイル１１ａ、１１ｂに電力を供給するための電極端子１６ａ、１６ｂ及び電極端子１６ｃ、１６ｄが形成されている。電極端子１６ａ、１６ｂ及び電極端子１６ｃ、１６ｄに交番電流を与えることにより平面コイル１１ａ、１１ｂから誘導磁界が発生し、マグネット６にローレンツ力が働いて、保持部５は支持部４ａ、４ｂ（ＹＹ’）を揺動軸として揺動を行う。

更に、一方の支持部４ａの保持部５側には放射状にスリットが切られたスリット板１７が設置され、ベース基板２にはこのスリット板１７を挟むようにして発光ダイオード及び受光ダイオードから成る光検出部１８が設置され、保持部５の揺動を検出するための検出手段を構成している。保持部５が支持部４ａ、４ｂを揺動軸として揺動を行うことにより、スリット板１７の図示しないスリット部が発光ダイオードにより発光された光を遮断又は通過させ、この遮断又は通過した光を受光ダイオードにより検出して揺動の角速度及び角度情報を得る。第２揺動部の揺動を制御する制御回路はこの角速度及び角度データに基づき、第２揺動部の揺動をフィードバック制御する。

なお、上記実施の形態においては、トーションバーを構成する支持部４ａ、４ｂと保持部５の側壁部との連結を６角形の一端１２ａとこれに嵌合する凹部により行っているが、この形状に限定されず、例えば四角形や他の形状をすることができる。また、枠部３ａ、３ｂから成る板をベース基板２に立設して構成したが、これを保持部５を取り囲む形状としてもよい。また、保持部５の揺動を検出する検出手段としてスリット板１７と光検出部１８からなるエンコーダとしたが、これに代えて、ベース基板２の表面に平面コイルを形成し、保持部５の下部に設けたマグネット６の磁場変動を検出して揺動の角速度及び角度情報を得るようにしてもよい。また、支持部４ａ、４ｂとしてＬ字型部材に代えて一直線の棒状部材とすることができる。枠部３ａ、３ｂに貫通口を設け、棒状トーションバーの他端を貫通させて枠部３ａ、３ｂの側面から突出させ、突出した他端を枠部３ａ、３ｂに固定するようにしてもよい。この場合にも、固定部には棒状トーションバーの内部応力を調節する内部応力調節部を設ける。また、枠部３ａ、３ｂの貫通口及び貫通口近傍には電極を設けて棒状トーションバーと導通させ、棒状トーションバーを介して第１揺動部に揺動を発生させるための電力を供給することができるようにする。

また、上記実施の形態においては第１揺動部の揺動軸と第２揺動部の揺動軸が直交する場合であるが、これらは必ずしも直交する必要がない。第１揺動部と第２揺動部の揺動軸は、例えば平行であってもよいし、任意の角度に設定することができる。また、上記実施の形態において、保持部５に側壁を設けて第１揺動部を囲うように形成したが、側壁を設けない板状の保持部であってもよい。

図３は、本発明の光走査装置の他の実施の形態を表す断面図である。同一の部分又は同一の機能を有する部分は同一の符号を付した。図１及び図２と異なる部分は、支持部４ａ、４ｂが枠部３ａ、３ｂに設置したベアリング２２ａ、２２ｂにより回転自在に支持されている点である。また、ベアリング２２ａ、２２ｂがはめ込まれた枠部３ａ、３ｂのベアリング２２ａ、２２ｂ近傍の枠部３ａ、３ｂの表面には電極端子１３ａ、１３ｂが形成され、金属からなる支持部４ａ、４ｂに導通する。これにより、支持部４ａ、４ｂを介して第１揺動部を駆動するための電力を供給することができる。支持部４ａ、４ｂを枠部３ａ、３ｂに対して回転自在に設置することにより、支持部４ａ、４ｂの他端２０ａ、２０ｂを固定して設置する場合と比較して、第２揺動部に基本的に共振振動が発生しない。従って、例えば保持部５を一定の角速度で揺動を行う場合などにおいて、駆動信号の共振周波数近傍の周波数成分を含むことにより発生する角速度の異常を防止することができる。なお、支持部４ａ、４ｂは図示しないｅリングによって、揺動軸方向の運動が制限されている。

図４は、本発明の光走査装置１に使用される第１揺動部３０の実施の形態を表す斜視図である。同一の部分及び同一の機能の部分には同一の部号を付した。

第１揺動部３０は、反射面が形成された振動ミラー部１０と、振動ミラー部１０を軸支し、揺動軸をなす内側支持部９と、この内側支持部９を保持する梁部３２と、梁部３２を保持する内側枠部８と、内側枠部８を固定し、揺動空間を構成する台座部７と、梁部３２と内側枠部８とに跨って接着固定されている圧電体３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄとを備えている。振動ミラー部１０と、内側支持部９と、梁部３２と内側枠部８とは、シリコン半導体基板により一体的に形成されている。圧電体３１ａ〜３１ｄの表面と裏面には電極が形成されている。圧電体３１ａ及び圧電体３１ｃの表面と裏面の電極間に交番電流を与える。同時に、圧電体３１ｂ及び圧電体３１ｄの表面と裏面の電極間に上記交番電流と逆極性の交番電流を与える。これにより、梁部３２に振動を伝達し、内側支持部９に捻じれ応力を生じさせて、振動ミラー部１０を揺動させる。これにより、振動ミラー部１０に入射して反射される反射光束を内側支持部９の揺動軸と直交する方向に走査する。

図５は、本発明の光走査装置１に使用される第１揺動部３５の他の実施の形態を表す斜視図である。同一の部分及び同一の機能を表す部分には同一の符号を付した。

図４に示した第１揺動部３０と異なる部分は、梁部が二股形状を有する点である。第１揺動部３５は、振動ミラー部１０と、内側支持部９と、二股に分岐する梁部３２と、梁部３２を保持する内側枠部８と内側枠部８を載置し、揺動空間を構成する内側枠部８と、梁部３２と内側枠部８とに跨って接着固定されている圧電体３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄとから構成されている。圧電体３１ａ〜３１ｄの表面及び裏面には電極が形成され、更に内側枠部８の圧電体３１ａ〜３１ｄの下部にも電極３３ａ〜３３ｄが形成されている。圧電体３１ａ〜３１ｄは導電接着剤により電極３３ａ〜３３ｄに接着固定されている。圧電体３１ａ及び圧電体３１ｃの上面と下面の電極に交番電流を与える。同時に圧電体３１ｂ及び圧電体３１ｄの上面と下面の電極に上記交番電流と逆極性の交番電流を与える。これにより、内側支持部９は捻じれ応力により揺動し、振動ミラー部１０は揺動を行う。

図４及び図５に示した第１揺動部３０、３５は、駆動源としての圧電体３１ａ〜３１ｄにより揺動を行うが、これに限定されない。振動ミラー部１０の底部に電極を設けて、静電気力により振動ミラー部１０に揺動を発生させるようにしてもよい。また、振動ミラー部１０の底部にマグネットを配置し、振動ミラー部１０と対抗する面に平面コイルを形成して、磁気力により振動ミラー部１０に揺動を発生させるようにしてもよいし、逆に振動ミラー部１０の底部にコイルパタンを形成し、対向する面にマグネット配置してもよい。これらいずれの場合にも、振動ミラー部１０は、支持部４ａ、４ｂを介して供給される電力により駆動される。

図６は、本発明に係る網膜走査型画像表示装置４０を表すブロック図であり、上記光走査装置１を用いている。同一の部分又は同一の機能の部分には同一の符号を付した。

図６において、網膜走査型画像表示装置４０は観察者の眼球５８の網膜６０上に映像を直接結像する。青色の光を発光するＢレーザー４７、緑色の光を発光するＧレーザー４８及び赤色に光を発光するＲレーザー４９から出射した映像光はコリメート光学系５０により平行光となり、ダイクロイックミラー５１により合成され、結合光学系５２により集光されて光ファイバー５９に入射される。光ファイバー５９から出射した映像光は集光レンズ５５を介して光走査装置１の振動ミラー部１０に照射される。振動ミラー部１０は２次元走査制御回路５３により駆動されて揺動を行い、反射光束の水平走査及び垂直走査を行う。振動ミラー部１０により走査された映像光は第２のリレー光学系６３を介して眼球５８の網膜６０の上に結像される。

映像信号供給回路４３は映像信号を入力して青（Ｂ）色、緑（Ｇ）色及び赤（Ｒ）色に対応する画像信号をＢレーザー駆動回路４４、Ｇレーザー駆動回路４５及びＲレーザー駆動回路４６のそれぞれに出力する。Ｂレーザー４７はＢレーザー駆動回路４４からの駆動信号に基づいて光強度が変調されたＢ色のレーザー光を出射する。Ｇレーザー４８及びＲレーザー４９も同様に各画像信号に基づいて光強度が変調された各色のレーザー光を出射する。

映像信号供給回路４３は画像信号に同期した同期信号を２次元走査制御回路５３に出力する。水平同期信号回路４１は２次元走査制御回路５３に水平同期信号を出力し、垂直同期信号回路４２は２次元走査制御回路５３に垂直同期信号を出力する。２次元走査制御回路５３は水平同期信号により光走査装置１の第１揺動部の揺動を制御する。この揺動は振動ミラー部１０の共振振動に基づいている。２次元走査制御回路５３は垂直同期信号により光走査装置１の第２揺動部の揺動を制御する。この揺動は、平面コイル１１ａ、１１ｂ及びマグネット６の磁気力により光走査装置１の保持部５を揺動させ、この揺動をスリット板１７及び光検出部１８からなるエンコーダにより検出し、保持部５の傾き角の角速度が略一定となるようにフィードバック制御により行う。フォトセンサー５６は２次元走査制御回路５３により水平走査された光の一部を受光して電気信号に変換し、ＢＤ信号検出回路５７に出力する。ＢＤ信号検出回路５７は水平走査のタイミングを検出して映像信号供給回路４３にタイミング信号を出力し、映像信号供給回路４３は入力したタイミング信号により映像信号の開始タイミングを正確に決定する。

なお、図６においては光走査装置１を網膜走査型画像表示装置４０に適用した例を説明したが、第２のリレー光学系６３を投射レンズ系に変更し、眼球５８に変えて投影スクリーンあるいは建物の壁などとすれば、投射型の光走査型表示装置とすることができる。図６の実施の形態においてはＲＧＢフルカラーの表示装置であるが、例えば１色又は２色のレーザー光源を走査して大画面用の光走査型表示装置を得ることができる。

本発明の実施の形態に係る光走査装置を表す概観図である。 本発明の実施の形態に係る光走査装置の縦断面図である。 本発明の他の実施の形態に係る光走査装置の縦断面図である。 本発明の実施の形態に係る光走査装置に用いられる第１揺動部の斜視図である。 本発明の実施の形態に係る光走査装置に用いられる第１揺動部の斜視図である。 本発明の実施の形態に係る網膜走査型画像表示装置のブロック図である。 従来公知の２軸プレーナ型ガルバノミラーの振動板の斜視図である。

符号の説明

１ 光走査装置
２ ベース板
３ａ、３ｂ 枠部
４ａ、４ｂ 支持部
５ 保持部
６ マグネット
７ 台座部
８ 内側枠部
９ 内側支持部
１０ 振動ミラー部
１１ａ、１１ｂ 平面コイル
１４ 電極
１３ａ、１３ｂ、１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ 電極端子

Claims (9)

1. 振動ミラー部を備える第１揺動部と、前記第１揺動部を保持する保持部と、前記保持部を軸支し前記保持部の揺動軸をなす支持部と、前記支持部を支持する枠部と、を備える第２揺動部からなる光走査装置であって、
   前記保持部と前記支持部とは別体に構成され、
   前記支持部は導電性材料からなり、前記第１揺動部は前記支持部を介して供給される電力により駆動されることを特徴とする光走査装置。
2. 前記第１揺動部と前記第２揺動部とは別体に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
3. 前記支持部は弾性を有するトーションバーにより構成されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光走査装置。
4. 前記枠部は前記支持部の内部応力を調節するための内部応力調節部を備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の光走査装置。
5. 前記支持部は前記枠部に回転自在に支持されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光走査装置。
6. 前記第１揺動部の揺動軸と前記第２揺動部の揺動軸とは互いに直交することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の光走査装置。
7. 前記支持部は前記保持部に嵌合して連結されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の光走査装置。
8. 前記枠部はベース基板に固定され、前記ベース基板は前記保持部の揺動を検出するための検出手段を備えていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の光走査装置。
9. 請求項１〜８のいずれか１項に記載の光走査装置を備え、画像信号に応じて変調された光束を前記光走査装置により走査して網膜上に投影表示する網膜走査型画像表示装置。

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