JP2016085299A - 二軸光偏向器及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
初めに、図1に本発明の実施形態を含む光スキャナモジュール1を示す。光スキャナモジュール1は、超小型プロジェクタ、バーコードリーダ、車載ヘッドアップディスプレイ等に用いられる部品であり、主に二軸光偏向器2、レーザ光源3及び制御装置5から構成される。
図6(a)に、本発明の実施形態を含む第2実施形態の二軸光偏向器2’を示す。
Claims (8)
- 第1軸線周りに揺動可能で入射光を反射するミラー部と、該ミラー部と連結された1対の第1トーションバーと、該第1トーションバーを介して該ミラー部を揺動させる第1駆動部と、該第1駆動部を含む可動枠を該第1軸線と直交する第2軸線周りに揺動させる第2駆動部とを備えた二軸光偏向器であって、
前記第1駆動部は、
前記第1軸線に対して対称となる位置に配置され、前記第1トーションバーと連結された1対の圧電アクチュエータを有し、
前記ミラー部と前記第1トーションバーの構造で決定する共振周波数の交流駆動信号を、前記1対の圧電アクチュエータの一方に正位相、他方に逆位相で供給することにより前記ミラー部を駆動し、
前記第2駆動部は、
前記可動枠及び前記ミラー部の裏面に形成された磁化可能膜と、該磁化可能膜と対向する位置に設置されたコイル配線と、前記第2軸線上で該可動枠の外側を包囲する支持枠と連結された1対の第2トーションバーとで構成され、
前記可動枠の裏面の磁化可能膜は、前記第2軸線又はこれと平行な直線を境界とする2つの領域に区分され、少なくとも一方の領域が着磁され、
前記着磁された磁化可能膜による静磁場と前記コイル配線に交流電流が流れることで発生する交番磁界との相互作用により前記可動枠を駆動し、
前記ミラー部が前記第1駆動部により前記第1軸線周りに共振状態で揺動し、前記可動枠が前記第2駆動部により前記第2軸線周りに非共振状態で揺動することで、入射光による2次元走査を可能とすることを特徴とする二軸光偏向器。 - 請求項1に記載の二軸光偏向器において、
前記ミラー部の裏面の磁化可能膜は、着磁されず該ミラー部の揺動時の面変形を抑制する補強リブとして形成されていることを特徴とする二軸光偏向器。 - 請求項1又は2に記載の二軸光偏向器において、
前記可動枠の裏面の磁化可能膜は、前記第2軸線を境界とする2つの領域で磁性が反転するように着磁されていることを特徴とする二軸光偏向器。 - 請求項1又は2に記載の二軸光偏向器において、
前記可動枠の裏面の着磁された領域は、前記第2軸線を越えて延在していることを特徴とする二軸光偏向器。 - 請求項1〜4の何れか1項に記載の二軸光偏向器において、
前記圧電アクチュエータの圧電膜はチタン酸ジルコン酸鉛であり、前記磁化可能膜はNd-Fe-B系薄膜であることを特徴とする二軸光偏向器。 - 請求項1〜5の何れか1項に記載の二軸光偏向器において、
前記コイル配線は、該二軸光偏向器を実装するパッケージの実装表面の配線と該実装表面の下層に埋設される配線の何れか一方、又は前記両配線の組合せで構成されることを特徴とする二軸光偏向器。 - 第1軸線周りに揺動可能で入射光を反射するミラー部と、該ミラー部と連結された1対の第1トーションバーと、該第1トーションバーを介して該ミラー部を揺動させる第1駆動部と、該第1駆動部を含む可動枠を該第1軸線と直交する第2軸線周りに揺動させる第2駆動部とを備えた二軸光偏向器であって、
前記第1駆動部は、
前記第1軸線に対して対称となる位置に配置され、前記第1トーションバーと連結された1対の圧電アクチュエータを有し、
前記ミラー部と前記第1トーションバーの構造で決定する共振周波数の交流駆動信号を、前記1対の圧電アクチュエータの一方に正位相、他方に逆位相で供給することにより前記ミラー部を駆動し、
前記第2駆動部は、
前記可動枠及び前記ミラー部の裏面に形成された磁化可能膜と、該磁化可能膜と対向し、前記第2軸線と対称の位置に設置された独立した2つのコイル配線と、前記第2軸線上で該可動枠の外側を包囲する支持枠と連結された1対の第2トーションバーとで構成され、
前記可動枠の裏面の磁化可能膜は全面にわたって着磁され、前記2つのコイル配線は交流電流が流れることで発生する交番磁界が互いに逆方向となるように形成され、
前記着磁された磁化可能膜による静磁場と前記交番磁界との相互作用により前記可動枠を駆動し、
前記ミラー部が前記第1駆動部により前記第1軸線周りに共振状態で揺動し、前記可動枠が前記第2駆動部により前記第2軸線周りに非共振状態で揺動することで、入射光による2次元走査を可能とすることを特徴とする二軸光偏向器。 - 第1軸線周りに揺動可能で入射光を反射するミラー部と、該ミラー部と連結された1対の第1トーションバーと、該第1トーションバーを介して該ミラー部を揺動させる第1駆動部と、該第1駆動部を含む可動枠を該第1軸線と直交する第2軸線周りに揺動させる第2駆動部とを備えた二軸光偏向器の製造方法であって、
前記ミラー部を製造するミラー部製造工程と、
前記第1トーションバーを製造する第1トーションバー製造工程と、
前記第1軸線に対して対称となる位置に、前記第1トーションバーと連結される1対の圧電アクチュエータを製造する圧電アクチュエータ製造工程と、
前記第2軸線上で前記可動枠の外側を包囲する支持枠と連結される1対の第2トーションバーを製造する第2トーションバー製造工程と、
前記可動枠及び前記ミラー部の裏面に磁化可能膜を形成する磁化可能膜形成工程と、
前記可動枠の裏面の磁化可能膜に対し、前記第2軸線又はこれと平行な直線を境界とする2つの領域のうち少なくとも一方の領域を着磁する着磁工程と、
前記ミラー部の裏面の磁化可能膜を着磁することなく、補強リブとして形成する補強リブ形成工程とを有することを特徴とする二軸光偏向器の製造方法。
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