JP2013080068A - 光走査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ミラー反射面10を有するミラー部40〜43を両側からトーションバー50により支持し、該トーションバー50を軸Xとして揺動させ、前記ミラー反射面10で反射する光を走査させる光走査装置であって、
前記ミラー部40〜43は、前記ミラー反射面10の中心を通り前記軸Xと垂直な垂直軸Yと前記ミラー反射面10の端部との交点と前記トーションバー50との間に前記トーションバー50のねじれ運動により発生する応力を緩和する応力緩和領域20、22〜24を有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
前記ミラー部(40〜43)は、前記ミラー反射面(10)の中心を通り前記軸(X)と垂直な垂直軸(Y)と前記ミラー反射面(10)の端部との交点と前記トーションバー(50)との間に前記トーションバー(50)のねじれ運動により発生する応力を緩和する応力緩和領域(20、22〜24)を有することを特徴とする。
該水平駆動梁(70)は、周囲を囲み、前記リブ(11)と同じ厚さを有する可動枠(80)に連結され、
該可動枠(80)には、前記水平駆動梁(70)と同じ厚さを有する肉抜き部(81)が設けられてもよい。
該垂直駆動手段(110)は、前記軸(X)と平行に配置された複数の矩形の梁に各々駆動源(91)が設けられた複数の垂直駆動梁(90)を有し、
該垂直駆動梁(90)は、一端が内側にある該垂直駆動梁(90)又は前記可動枠(80)の一端に連結され、他端が外側にある該垂直駆動梁(90)の一端又は前記垂直駆動手段を支持するフレーム(120)に連結されて全体として蛇行するように連結され、
前記垂直駆動手段(110)は、前記垂直駆動梁(90)を偶数含む構成であってもよい。
11、101 リブ
20、22〜24 応力緩和領域
21 端部
30〜38 スリット
40〜43 ミラー部
50 トーションバー
60、100 連結部
70 水平駆動梁
71、91 駆動源
80 可動枠
81 肉抜き部
82 厚肉部
90 垂直駆動梁
110 垂直駆動部
120 フレーム
130 端子
140 配線
Claims (16)
- ミラー反射面を有するミラー部を両側からトーションバーにより支持し、該トーションバーを軸として揺動させ、前記ミラー反射面で反射する光を走査させる光走査装置であって、
前記ミラー部は、前記ミラー反射面の中心を通り前記軸と垂直な垂直軸と前記ミラー反射面の端部との交点と前記トーションバーとの間に前記トーションバーのねじれ運動により発生する応力を緩和する応力緩和領域を有することを特徴とする光走査装置。 - 前記応力緩和領域は、前記トーションバーから前記ミラー反射面に向かって末広がりの平面形状を有することを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
- 前記応力緩和領域の端部は角部を含まないことを特徴とする請求項1又は2に記載の光走査装置。
- 前記応力緩和領域は、スリットを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光走査装置。
- 前記スリットは、前記軸に関して対称となるように配置されたことを特徴とする請求項4に記載の光走査装置。
- 前記スリットは、複数であることを特徴とする請求項4又は5に記載の光走査装置。
- 前記スリットは、偶数であることを特徴とする請求項6に記載の光走査装置。
- 前記スリットは、円弧状の形状を有することを特徴とする請求項4乃至8のいずれか一項に記載の光走査装置。
- 前記ミラー反射面の裏面には、リブが形成されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光走査装置。
- 前記スリットは、前記リブと離間して設けられたことを特徴とする請求項9に記載の光走査装置。
- 前記トーションバーは、前記ミラー部の周囲に設けられ、前記ミラー部を前記軸周りに揺動させる駆動源を有する水平駆動梁に連結され、
該水平駆動梁は、周囲を囲み、前記リブと同じ厚さを有する可動枠に連結され、
該可動枠には、前記駆動梁と同じ厚さを有する肉抜き部が設けられたことを特徴とする請求項9又は10に記載の光走査装置。 - 前記肉抜き部は、前記軸の延在方向と一致する領域にのみ設けられたことを特徴とする請求項11に記載の光走査装置。
- 前記肉抜き部は窪みであり、前記可動枠に複数設けられたことを特徴とする請求項11又は12に記載の光走査装置。
- 前記窪みは略三角形状であり、前記窪みが形成されない前記リブと同じ厚さを有する部分が前記可動枠に沿ってジグザグ形状をなすように、頂点の向きが前記可動枠に沿って交互に配置されたことを特徴とする請求項13に記載の光走査装置。
- 前記可動枠は、前記可動枠を両側から支持し、前記可動枠を前記軸と垂直な前記垂直軸周りに揺動させる垂直駆動手段に連結され、
該垂直駆動手段は、前記軸と平行に配置された複数の矩形の梁に各々駆動源が設けられた複数の垂直駆動梁を有し、
該垂直駆動梁は、一端が内側にある該垂直駆動梁又は前記可動枠の一端に連結され、他端が外側にある該垂直駆動梁の一端又は前記垂直駆動手段を支持するフレームに連結されて全体として蛇行するように連結され、
前記垂直駆動手段は、前記垂直駆動梁を偶数含むことを特徴とする請求項11乃至14のいずれか一項に記載の光走査装置。 - 前記駆動源は、圧電素子であることを特徴とする請求項1乃至15のいずれか一項に記載の光走査装置。
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