JPWO2018088291A1 - 可動反射素子 - Google Patents
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Abstract
Description
平板状の固定枠と、
反射面を有し、前記固定枠との間に隙間が空くように前記固定枠の枠内に配置され一方の面に鏡面が形成された揺動部と、
前記固定枠と前記揺動部とを連結し、第1の方向に沿って延びた部分、又は前記第1の方向に交差する第2の方向に沿って延びた部分に、伸縮可能に構成された圧電素子が形成された、可撓性のある一対の部材であり、その部材のそれぞれが、前記第2の方向における前記揺動部の両側に配置され、前記圧電素子の伸縮により変形して第1の回転軸を中心に前記固定枠に対して前記揺動部を揺動させる第1のアクチュエータ部と、
を備え、
前記第1のアクチュエータ部は、
前記圧電素子が形成されており、一端が前記固定枠の内辺に接続し、前記固定枠と前記揺動部との隙間を前記第1の方向に沿って、前記一端から前記揺動部の外辺の中点を超えて直線状に延びる第1のアーム始端部と、
一端が前記揺動部の外辺の中点と接続され、前記第1のアーム始端部と平行に延びる第1のアーム終端部と、
前記第2の方向に沿って延びる第1のアーム連結部と、前記第1のアーム始端部と平行に延び前記圧電素子が形成された第1のアーム伸長部とが交互に連結されてつづら折りに形成され、前記アーム始端部の他端と前記アーム終端部の他端との間を連結する第1のアーム中継部と、
を備える。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
前記固定枠との間に隙間が空くように前記固定枠の枠内に配置され前記第1のアクチュエータと連結する平板状の可動枠と、
反射面を有し、前記可動枠との間に隙間が空くように前記可動枠の枠内に配置された平板状の鏡面部と、
前記可動枠と前記鏡面部とを連結し、前記第1の方向に沿って延びた部分、又は前記第2の方向に沿って延びた部分に、伸縮可能に構成された圧電素子が形成された、可撓性のある一対の部材であり、その部材のそれぞれが、前記第1の方向における前記鏡面部の両側に配置され、前記圧電素子の伸縮により変形して前記第1の回転軸に交差する第2の回転軸を中心に前記可動枠に対して前記鏡面部を揺動させる第2のアクチュエータ部と、
を備える、
こととしてもよい。
前記圧電素子が形成されており、一端が前記可動枠の内辺に接続し、前記可動枠と前記鏡面部との隙間を前記第2の方向に沿って、前記一端から前記鏡面部の外辺の中点を超えて直線状に延びる第2のアーム始端部と、
一端が前記鏡面部の外辺の中点と接続され、前記第2のアーム始端部と平行に延びる第2のアーム終端部と、
前記第1の方向に沿って延びる第2のアーム連結部と、前記第2のアーム始端部と平行に延び前記圧電素子が形成された第2のアーム伸長部とが交互に連結されてつづら折りに形成され、前記第2のアーム始端部の他端と前記第2のアーム終端部の他端との間を連結する第2のアーム中継部と、
を備える、
こととしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
前記第2のアクチュエータ部のそれぞれが、前記鏡面部を中心として2回回転対称に配置され、
前記第1のアーム始端部の一端から他端へ向かう向きと、前記第2のアーム始端部の一端から他端へ向かう向きとが、前記鏡面部を中心とする回転方向に関して同じである、
こととしてもよい。
前記第2のアクチュエータ部のそれぞれが、前記鏡面部を中心として2回回転対称に配置され、
前記第1のアーム始端部の一端から他端へ向かう向きと、前記第2のアーム始端部の一端から他端へ向かう向きとが、前記鏡面部を中心とする回転方向に関して逆向きである、
こととしてもよい。
前記第2のアクチュエータ部の変位を検出する第2の検出用電極と、
の少なくとも一方を備え、
前記第1の検出用電極は、前記第1のアクチュエータ部と前記固定枠とが接続する部分に設けられ、
前記第2の検出用電極は、前記第2のアクチュエータ部と前記可動枠とが接続する部分に設けられている、
こととしてもよい。
こととしてもよい。
まず、本発明の実施の形態1について説明する。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
前記固定枠との間に隙間が空くように前記固定枠の枠内に配置され前記第1のアクチュエータ部と連結する平板状の可動枠と、
反射面を有し、前記可動枠との間に隙間が空くように前記可動枠の枠内に配置された平板状の鏡面部と、
前記可動枠と前記鏡面部とを連結し、前記第1の方向に沿って延びた部分、又は前記第2の方向に沿って延びた部分に、伸縮可能に構成された圧電素子が形成された、可撓性のある一対の部材であり、その部材のそれぞれが、前記第1の方向における前記鏡面部の両側に配置され、前記圧電素子の伸縮により変形して前記第1の回転軸に交差する第2の回転軸を中心に前記可動枠に対して前記鏡面部を揺動させる第2のアクチュエータ部と、
を備える、
こととしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
Claims (11)
- 平板状の固定枠と、
反射面を有し、前記固定枠との間に隙間が空くように前記固定枠の枠内に配置され一方の面に鏡面が形成された揺動部と、
前記固定枠と前記揺動部とを連結し、第1の方向に沿って延びた部分、又は前記第1の方向に交差する第2の方向に沿って延びた部分に、伸縮可能に構成された圧電素子が形成された、可撓性のある一対の部材であり、その部材のそれぞれが、前記第2の方向における前記揺動部の両側に配置され、前記圧電素子の伸縮により変形して第1の回転軸を中心に前記固定枠に対して前記揺動部を揺動させる第1のアクチュエータ部と、
を備え、
前記第1のアクチュエータ部は、
前記圧電素子が形成されており、一端が前記固定枠の内辺に接続し、前記固定枠と前記揺動部との隙間を前記第1の方向に沿って、前記一端から前記揺動部の外辺の中点を超えて直線状に延びる第1のアーム始端部と、
一端が前記揺動部の外辺の中点と接続され、前記第1のアーム始端部と平行に延びる第1のアーム終端部と、
前記第2の方向に沿って延びる第1のアーム連結部と、前記第1のアーム始端部と平行に延び前記圧電素子が形成された第1のアーム伸長部とが交互に連結されてつづら折りに形成され、前記アーム始端部の他端と前記アーム終端部の他端との間を連結する第1のアーム中継部と、
を備える可動反射素子。 - 前記第1のアクチュエータには、前記第1の方向に沿って延びた部分に、前記第1の方向に沿って伸縮する前記圧電素子が形成されている、
請求項1に記載の可動反射素子。 - 前記第1のアクチュエータには、前記第2の方向に沿って延びた部分に、前記第2の方向に沿って伸縮する前記圧電素子が形成されている、
請求項2に記載の可動反射素子。 - 前記揺動部は、
前記固定枠との間に隙間が空くように前記固定枠の枠内に配置され前記第1のアクチュエータと連結する平板状の可動枠と、
反射面を有し、前記可動枠との間に隙間が空くように前記可動枠の枠内に配置された平板状の鏡面部と、
前記可動枠と前記鏡面部とを連結し、前記第1の方向に沿って延びた部分、又は前記第2の方向に沿って延びた部分に、伸縮可能に構成された圧電素子が形成された、可撓性のある一対の部材であり、その部材のそれぞれが、前記第1の方向における前記鏡面部の両側に配置され、前記圧電素子の伸縮により変形して前記第1の回転軸に交差する第2の回転軸を中心に前記可動枠に対して前記鏡面部を揺動させる第2のアクチュエータ部と、
を備える、
請求項1から3のいずれか一項に記載の可動反射素子。 - 前記第2のアクチュエータ部は、
前記圧電素子が形成されており、一端が前記可動枠の内辺に接続し、前記可動枠と前記鏡面部との隙間を前記第2の方向に沿って、前記一端から前記鏡面部の外辺の中点を超えて直線状に延びる第2のアーム始端部と、
一端が前記鏡面部の外辺の中点と接続され、前記第2のアーム始端部と平行に延びる第2のアーム終端部と、
前記第1の方向に沿って延びる第2のアーム連結部と、前記第2のアーム始端部と平行に延び前記圧電素子が形成された第2のアーム伸長部とが交互に連結されてつづら折りに形成され、前記第2のアーム始端部の他端と前記第2のアーム終端部の他端との間を連結する第2のアーム中継部と、
を備える、
請求項4に記載の可動反射素子。 - 前記第2のアクチュエータには、前記第2の方向に沿って延びた部分に、前記第2の方向に沿って伸縮する前記圧電素子が形成されている、
請求項4又は5に記載の可動反射素子。 - 前記第2のアクチュエータには、前記第1の方向に沿って延びた部分に、前記第1の方向に沿って伸縮する前記圧電素子が形成されている、
請求項6に記載の可動反射素子。 - 前記第1のアクチュエータ部のそれぞれが、前記鏡面部を中心として2回回転対称に配置され、
前記第2のアクチュエータ部のそれぞれが、前記鏡面部を中心として2回回転対称に配置され、
前記第1のアーム始端部の一端から他端へ向かう向きと、前記第2のアーム始端部の一端から他端へ向かう向きとが、前記鏡面部を中心とする回転方向に関して同じである、
請求項5から7のいずれか一項に記載の可動反射素子。 - 前記第1のアクチュエータ部のそれぞれが、前記鏡面部を中心として2回回転対称に配置され、
前記第2のアクチュエータ部のそれぞれが、前記鏡面部を中心として2回回転対称に配置され、
前記第1のアーム始端部の一端から他端へ向かう向きと、前記第2のアーム始端部の一端から他端へ向かう向きとが、前記鏡面部を中心とする回転方向に関して逆向きである、
請求項5から7のいずれか一項に記載の可動反射素子。 - 前記第1のアクチュエータ部の変位を検出する第1の検出用電極と、
前記第2のアクチュエータ部の変位を検出する第2の検出用電極と、
の少なくとも一方を備え、
前記第1の検出用電極は、前記第1のアクチュエータ部と前記固定枠とが接続する部分に設けられ、
前記第2の検出用電極は、前記第2のアクチュエータ部と前記可動枠とが接続する部分に設けられている、
請求項5から7のいずれか一項に記載の可動反射素子。 - 前記揺動部に重りが取り付けられている、
請求項1から10のいずれか一項に記載の可動反射素子。
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