JP2014137456A - 振動ミラー素子およびプロジェクタ機能を有する電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】表面電荷の流出に起因して電圧降下が生じた状態での電圧値が検出用電極によって検出されてしまうのを抑制することが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、ミラー部１と、圧電体１７の上面１７ａに接触するように形成され、電圧を印加して圧電体１７を変形させることによりミラー部１を駆動する際の圧電体１７の変形量を検出するための検出用電極１９を含む駆動部１３ａ（１３ｂ）と、圧電体１７の上面１７ａ上に形成された絶縁層２０と、絶縁層２０の上面２０ａ上に形成されるとともに検出用電極１９に接続され、駆動部１３ａ（１３ｂ）の外部領域となる支持部６０の辺部６０ａ（６０ｂ）にまで延びる引き出し用配線２１とを備える。
【選択図】図６

Description

この発明は、振動ミラー素子およびプロジェクタ機能を有する電子機器に関し、特に、圧電体の変形量を検出するための検出用電極を含む駆動部を備えた振動ミラー素子およびプロジェクタ機能を有する電子機器に関する。

従来、圧電体の変形量を検出するための検出用電極を含む駆動部を備えた振動ミラー素子が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、略円形状のミラー部と、自由端がミラー部に接続されるとともに固定端が固定枠に接続されたカンチレバー（片持ち梁）状の弾性部とを備えた１軸用の光スキャナ（振動ミラー素子）が開示されている。上記特許文献１に記載の光スキャナでは、弾性部の所定位置に上部電極および下部電極に挟み込まれた状態の圧電体が形成されている。なお、１つの圧電体に対して２組の上部電極および下部電極が設けられており、一方側の上部電極および下部電極間に電圧が印加されて圧電体が駆動される一方、圧電体の変形に伴う電極間の電位差が他方側の上部電極および下部電極を用いて検出されるように構成されている。また、上部電極および下部電極は、弾性部から若干の距離を有して固定枠まで延びており、電源用の外部配線および変位検出用回路からの配線が、固定枠の部分で上部電極および下部電極にそれぞれワイヤボンディングされるように構成されている。

特開２００９−１６３１５４号公報

上記特許文献１に記載の光スキャナでは、ミラー部を１軸回りに揺動させる構成を意図しているので、変位検出用回路からの配線などを固定枠の部分で上部電極および下部電極に接続することが可能であると考えられる。一方、ミラー部を互いに直交する２軸回りに揺動させる光スキャナ（振動ミラー素子）の場合、素子の中央部に配置されミラー部を第１軸回りに揺動させる第１軸用駆動部の変形量（電位差）を検出する上部および下部電極（検出用電極）については、検出用電極を第１軸用駆動部のみならずミラー部を第２軸回りに揺動させる第２軸用駆動部よりも外側の固定枠領域にまで引き出す必要がある。この場合、検出用電極の引き出し用配線は、パターニングなどによって圧電体上の検出用電極と同じ層に形成されて外部に引き出される。

しかしながら、圧電体（誘電体）を挟んで検出用電極のみならず上下の引き出し用配線の部分も互いに対向する場合、圧電体の変形に伴って検出用電極の部分に帯電した表面電荷が圧電体の影響を受けて引き出し用配線に流出（拡散）しやすくなる。このため、検出用電極においては圧電体の変形に応じた量の表面電荷が発生していても、表面電荷の引き出し用配線への流出に起因して電圧降下が生じた状態の電圧値（電位差）が検出用電極によって検出されてしまうという問題点がある。また、検出用電極が本来検出すべき大きさの電圧値よりも小さい電圧値が実際に検出されるため、圧電体の変形量を精度よく検出することができないという問題点もある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、表面電荷の流出に起因して電圧降下が生じた状態での電圧値が検出用電極によって検出されてしまうのを抑制することが可能な振動ミラー素子およびプロジェクタ機能を有する電子機器を提供することである。

課題を解決するための手段および発明の効果

この発明の第１の局面による振動ミラー素子は、ミラー部と、圧電体の上面に接触するように形成され、電圧を印加して圧電体を変形させることによりミラー部を駆動する際の圧電体の変形量を検出するための検出用電極を含む駆動部と、圧電体の上面上に形成された絶縁層と、絶縁層の上面上に形成されるとともに検出用電極に接続され、駆動部の外部領域にまで延びる第１引き出し用配線とを備える。

この発明の第１の局面による振動ミラー素子では、上記のように、圧電体の上面上に形成された絶縁層と、絶縁層の上面上に形成されるとともに検出用電極に接続され、駆動部の外部領域にまで延びる第１引き出し用配線とを備えることによって、検出用電極に接続された第１引き出し用配線を、検出用電極が形成された圧電体の上面に接触することなく圧電体から離間した絶縁層の上面に沿わせて駆動部の外部領域に引き出すことができる。これにより、圧電体の変形量（圧電効果によって生じる電圧値）は、第１引き出し用配線の長さに関係なく検出用電極の部分のみを圧電体の上面に接触させた状態で検出用電極を介して検出される。この際、第１引き出し用配線は絶縁層を介して圧電体から離間しているので、検出用電極の部分に生じる表面電荷が第１引き出し用配線の下層側にも配置された圧電体の影響を受けて第１引き出し用配線へ流出（拡散）することが抑制される。この結果、表面電荷の流出に起因して電圧降下が生じた状態での電圧値が検出用電極によって検出されてしまうのを抑制することができる。また、検出用電極の部分で検出された電圧値は電圧降下を極力起こさない状態で検出されるので、圧電体（駆動部）の変形量を精度よく検出することができる。

上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、絶縁層は、圧電体の上面上に検出用電極を覆うように形成されており、第１引き出し用配線は、検出用電極に対応する部分の絶縁層を厚み方向に貫通する孔部を介して検出用電極に接続されている。このように構成すれば、絶縁層を厚み方向に貫通する孔部を介して、絶縁層の上面上に形成され絶縁層の上面に沿って延びる第１引き出し用配線を、絶縁層よりも下層に位置する検出用電極に容易に接続することができる。

上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、駆動部は、駆動時に撓み変形するように構成され、絶縁層は、撓み変形可能な樹脂からなる。このように構成すれば、撓み変形可能な樹脂からなる絶縁層が圧電体の上面上に形成されるので、圧電体を含む駆動部が屈曲変形（撓み変形）した場合であっても絶縁層が駆動部の変形の抵抗になることを抑制することができる。

上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、駆動部は、圧電体の上面に接触するように形成され、電圧を印加して圧電体を撓み変形させてミラー部を駆動するための駆動用電極をさらに含み、絶縁層の上面上に形成されるとともに駆動部の駆動用電極に接続され、駆動部の外部領域にまで延びる第２引き出し用配線をさらに備える。このように構成すれば、駆動用電極に接続された第２引き出し用配線についても、駆動用電極が形成された圧電体の上面に接触することなく圧電体から離間した絶縁層の上面上を延びて駆動部の外部領域に引き出すことができる。すなわち、第１引き出し用配線のみならず第２引き出し用配線も同様に駆動部から遠方の外部領域に引き出されるので、振動ミラー素子では行いにくいリード線（外部配線）のワイヤボンディングを駆動部近傍の位置において行わなくてもよい。したがって、ワイヤボンディングに起因して駆動部が損傷するのを確実に回避することができる。

上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、絶縁層は、圧電体の上面の検出用電極を含む一部の領域を覆うように形成されている。このように構成すれば、圧電体の全表面（上面）のうちの検出用電極が形成された一部の領域にのみ絶縁層が形成されるので、その分、絶縁層が有する応力は圧電体の撓み変形に大きく影響しない。これにより、圧電体の変形力が絶縁層の応力に起因して減少するのを効果的に抑制することができる。

上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、検出用電極は、所定の方向に延びる細長い形状を有し、第１引き出し用配線の配線長さは、検出用電極の長手方向の長さよりも大きい。このように、検出用電極から検出用電極の長手方向の長さよりも大きい（長い）配線距離に亘って引き出された第１引き出し用配線を介して圧電体の変形量（圧電効果によって生じる電圧値）を検出する場合においても、第１引き出し用配線が圧電体から離間した絶縁層の上面に沿って延びるので、配線距離の長い（配線面積の大きい）第１引き出し用配線に対して検出用電極の部分に生じる表面電荷の流出は抑制される。したがって、配線距離の長い第１引き出し用配線を用いても、検出用電極の部分で検出された電圧値を、電圧降下を極力起こさない状態で検出することができるとともに、圧電体（駆動部）の変形量を精度よく検出することができる。

上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、駆動部は、ミラー部を第１軸線回りに駆動する第１駆動部と、ミラー部を第１軸線と略直交する第２軸線回りに駆動する第２駆動部とを含み、絶縁層は、第１駆動部と第２駆動部とに亘って圧電体の上面上に形成されており、第１引き出し用配線は、第１駆動部の検出用電極から引き出されるとともに第１駆動部に対応する絶縁層の上面上と第２駆動部に対応する絶縁層の上面上とをこの順に引き回されて第２駆動部の外部領域まで引き出されている。このように構成すれば、第１引き出し用配線が第２駆動部を介して外部領域に引き出される場合であっても、第１駆動部の部分と同様に第１引き出し用配線と第２駆動部の圧電体との間にも絶縁層が挟まれているので、第１駆動部の検出用電極の部分に生じる表面電荷が第２駆動部の圧電体の影響を受けて第１引き出し用配線へ流出（拡散）することが抑制される。したがって、第１駆動部と第２駆動部とによってミラー部を２軸（第１軸線および第２軸線）回りに揺動させる振動ミラー素子においても、表面電荷の流出に起因して電圧降下が生じた状態での電圧値が検出用電極によって検出されてしまうのを有効に抑制することができる。

この発明の第２の局面によるプロジェクタ機能を有する電子機器は、レーザ光を発するレーザ光発生部と、入力された映像を解析して、画素情報を認識する制御部と、レーザ光を走査する振動ミラー素子とを備え、振動ミラー素子は、ミラー部と、圧電体の上面に接触するように形成され、電圧を印加して圧電体を変形させることによりミラー部を駆動する際に圧電体の変形量を検出するための検出用電極を含む駆動部と、圧電体の上面上に形成された絶縁層と、絶縁層の上面上に形成されるとともに駆動部の検出用電極に接続され、駆動部の外部領域にまで延びる引き出し用配線とを含む。

この発明の第２の局面によるプロジェクタ機能を有する電子機器では、上記のように、振動ミラー素子が、圧電体の上面上に形成された絶縁層と、絶縁層の上面上に形成されるとともに検出用電極に接続され、駆動部の外部領域にまで延びる引き出し用配線とを含むことによって、検出用電極に接続された引き出し用配線を、検出用電極が形成された圧電体の上面に接触することなく圧電体から離間した絶縁層の上面に沿わせて駆動部の外部領域に引き出すことができる。これにより、圧電体の変形量（圧電効果によって生じる電圧値）は、引き出し用配線の長さに関係なく検出用電極の部分のみを圧電体の上面に接触させた状態で検出用電極を介して検出される。この際、引き出し用配線は絶縁層を介して圧電体から離間しているので、検出用電極の部分に生じる表面電荷が引き出し用配線の下層側にも配置された圧電体の影響を受けて引き出し用配線へ流出（拡散）することが抑制される。この結果、振動ミラー素子においては、表面電荷の流出に起因して電圧降下が生じた状態での電圧値が検出用電極によって検出されてしまうのを抑制することができる。また、検出用電極の部分で検出された電圧値は電圧降下を極力起こさない状態で検出されるので、圧電体（駆動部）の変形量を精度よく検出することができる。したがって、圧電体の変形量が精度よく検出された状況下で振動ミラー素子が駆動制御されるので、プロジェクタ機能を有する電子機器においては、レーザ光が正確に走査された状態の映像を投影することができる。

本発明によれば、上記のように、表面電荷の流出に起因して電圧降下が生じた状態での電圧値が検出用電極によって検出されてしまうのを抑制することができる。

本発明の一実施形態による振動ミラー素子の全体構成を示した上面図である。 図１に示した振動ミラー素子における水平駆動部の部分を拡大した上面図である。 図２に示した水平駆動部において引き出し用配線および絶縁層を取り除いた状態を示した図である。 図３に示した構成に対して貫通孔を有する絶縁層を形成した状態での水平駆動部の構造を示した図である。 図２における５００−５００線に沿った断面図である。 図２における５１０−５１０線に沿った断面図である。 本発明の一実施形態による振動ミラー素子が組み込まれた携帯型プロジェクタのブロック図である。

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

まず、図１〜図７を参照して、本発明の一実施形態による振動ミラー素子１００および携帯型プロジェクタ１６０の構成について説明する。なお、以下では、まず、振動ミラー素子１００（図１参照）の構成について説明し、その後、振動ミラー素子１００を用いて携帯型プロジェクタ１６０（図７参照）を構成した例について説明する。なお、携帯型プロジェクタ１６０は、本発明の「プロジェクタ機能を有する電子機器」の一例である。

本発明の一実施形態による振動ミラー素子１００は、図１に示すように、外形が略円形状に形成されるとともに光を反射するミラー部１と、ミラー部１を軸線２００（Ｙ軸）回りに揺動させる水平駆動ユニット１０と、ミラー部１を含む水平駆動ユニット１０全体を軸線３００（Ｘ軸）回りに揺動させる一対の垂直駆動ユニット５１および５２とを備えている。ここで、水平駆動ユニット１０は、ミラー部１による反射光を図示しないスクリーンなどの表示領域における横方向（水平方向）に走査させる役割を担う。また、垂直駆動ユニット５１および５２は、水平方向に走査される反射光を水平方向一走査毎に縦方向（垂直方向）に順次移動させる役割を担う。なお、水平駆動ユニット１０は、本発明の「第１駆動部」の一例であり、垂直駆動ユニット５１および５２は、本発明の「第２駆動部」の一例である。また、軸線２００および軸線３００は、それぞれ、本発明の「第１軸線」および「第２軸線」の一例である。

また、振動ミラー素子１００は、水平駆動ユニット１０全体を揺動可能に支持する支持部３０と、垂直駆動ユニット５１および５２をＸ−Ｙ平面内で揺動可能に支持する支持部６０とをさらに備えている。また、ミラー部１を含む水平駆動ユニット１０と、垂直駆動ユニット５１および５２とは、後述するＳｉ（Ｓｉ基板）からなる基部１５により一体的な構造を有して形成されている。

また、支持部３０は、図１に示すように、水平駆動ユニット１０の外周部を４辺で取り囲む枠体形状を有している。そして、支持部３０は、軸線３００に沿って一方側（Ｘ１側）の辺部３０ａが垂直駆動ユニット５１に接続されるとともに、他方側（Ｘ２側）の辺部３０ｂが垂直駆動ユニット５２に接続されている。また、支持部３０の内側に配置された水平駆動ユニット１０は、軸線３００上に形成された後述する接続部３１ａおよび３１ｂを介して支持部３０の辺部３０ａおよび３０ｂにそれぞれ接続されている。

また、支持部６０は、軸線３００に沿ってＸ１側からＸ２側に向かって垂直駆動ユニット５１、支持部３０（水平駆動ユニット１０）および垂直駆動ユニット５２の順に配置された領域の外周部を４辺で取り囲む枠体形状を有している。そして、垂直駆動ユニット５１の端部５１ａは、支持部６０の軸線２００に沿った一方側（Ｙ１側）の辺部６０ａに接続されるとともに、垂直駆動ユニット５２の端部５２ａは、支持部６０の軸線２００に沿った他方側（Ｙ２側）の辺部６０ｂに接続されている。

これにより、振動ミラー素子１００では、水平駆動ユニット１０を所定の駆動パターンで駆動（揺動）させるとともに、垂直駆動ユニット５１および５２を所定のパターンで駆動させることにより、ミラー部１が中心点Ｐを中心としてＸ−Ｙ平面に対して自在に傾斜されるように構成されている。そして、このミラー部１の傾斜により、光源部１３０（図７参照）から出射されミラー部１により反射された反射光が２軸方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に走査されるように構成されている。なお、水平駆動ユニット１０、垂直駆動ユニット５１および垂直駆動ユニット５２には、誘電体（強誘電体）であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電体１７がそれぞれ組み込まれており、所定のパターンに制御された電圧を圧電体１７に印加することによって各駆動部の圧電体１７が屈曲変形するとともにミラー部１のＸ−Ｙ平面に対する傾きが制御されている。

また、水平駆動ユニット１０は、図２に示すように、軸線２００（Ｙ軸）上でミラー部１を揺動可能に連結するトーションバー１１ａおよび１１ｂと、トーションバー１１ａおよび１１ｂの各々に接続される撓み変形可能な平行バー１２ａ（Ｙ１側）および平行バー１２ｂ（Ｙ２側）と、平行バー１２ａおよび１２ｂの両端部（Ｘ１側およびＸ２側）にそれぞれ接続される駆動部１３ａおよび１３ｂとを含んでいる。ここで、駆動部１３ａと駆動部１３ｂとは、軸線２００を対称軸として略対称な形状および構造を有している。また、駆動部１３ａおよび１３ｂは、圧電体１７（図５参照）に電圧が印加されることによって各々が撓み変形するように構成されている。なお、図５に示すように、圧電体１７は、膜厚方向（Ｚ方向）に分極されており、電圧が印加されると極性に応じて上面１７ａ側または下面１７ｂ側がＹ方向に伸縮変形を起こす圧電素子である。すなわち、圧電体１７は、圧電体１７に印加される電圧の極性（正負）を制御することによって、上面１７ａ側が下面１７ｂ側に対して収縮したり反対に下面１７ｂ側が上面１７ａ側に対して収縮したりする性質を有している。なお、駆動部１３ａおよび１３ｂは、本発明の「第１駆動部」の一例である。

したがって、駆動部１３ａの圧電体１７および駆動部１３ｂの圧電体１７に各々電圧が印加されて駆動部１３ａおよび１３ｂが所定のパターンで駆動（変形）した場合に、その変位が駆動部１３ａおよび１３ｂを繋ぐ平行バー１２ａおよび１２ｂに伝えられ、さらにトーションバー１１ａおよび１１ｂを軸線２００回りにねじり変形させることにより、ミラー部１が支持部３０に対して相対的に軸線２００を回動軸としてＡ１方向およびＡ２方向に揺動されるように構成されている。この際、ミラー部１は、共振作用によって平行バー１２ａおよび１２ｂの傾斜角度以上の傾斜角度を有してＡ１方向およびＡ２方向に傾斜しながら揺動される。また、駆動部１３ａは軸線３００上において固定端となる接続部３１ａを介して支持部３０の辺部３０ａ（Ｘ１側）に接続されるとともに、駆動部１３ｂは軸線３００上において固定端となる接続部３１ｂを介して支持部３０の辺部３０ｂ（Ｘ２側）に接続されている。

また、図１に示すように、水平駆動ユニット１０のＸ１側に配置された垂直駆動ユニット５１は、固定端となる端部５１ａが支持部６０の辺部６０ａ（Ｙ１側）に接続されるとともに端部５１ｂが支持部３０の接続部３１ａに接続される駆動部５１ｃを含んでいる。また、駆動部５１ｃは、各々がＹ方向に直線状に延びる５つの変形部５１ｄを有しており、各々の変形部５１ｄは、長手方向の端部領域（Ｙ１側またはＹ２側）において互いに接続された構造を有している。したがって、駆動部５１ｃは、全体として、支持部６０の辺部６０ａに接続される端部５１ａを起点として、５つの変形部５１ｄが順次接続された状態でＸ−Ｙ平面内をＹ方向に沿って往復蛇行しながら延びるとともに、端部５１ｂが支持部３０の接続部３１ａに接続されている。なお、図示はしないが、各々の変形部５１ｄには圧電体１７が設けられている。したがって、駆動部５１ｃ（垂直駆動ユニット５１）においては、所定のパターンに制御された電圧が各々の圧電体１７に印加されることにより、５つの変形部５１ｄが互いに独立して変形（駆動）されるように構成されている。なお、駆動部５１ｃは、本発明の「第２駆動部」の一例である。

また、水平駆動ユニット１０のＸ２側に配置された垂直駆動ユニット５２は、固定端となる端部５２ａが支持部６０の辺部６０ｂに接続されるとともに端部５２ｂが支持部３０の接続部３１ｂに接続される駆動部５２ｃを含んでいる。この駆動部５２ｃについても駆動部５１ｃと同様の構造を有している。すなわち、駆動部５２ｃについても５つの変形部５２ｄが順次接続された状態でＸ−Ｙ平面内をＹ方向に沿って往復蛇行した形状を有している。また、駆動部５２ｃ（垂直駆動ユニット５２）においても、所定のパターンに制御された電圧が各々の圧電体１７に印加されることにより、５つの変形部５２ｄが互いに独立して変形（駆動）されるように構成されている。なお、駆動部５２ｃは、本発明の「第２駆動部」の一例である。

また、図１に示すように、垂直駆動ユニット５１と垂直駆動ユニット５２とは、互いに、ミラー部１の中心点Ｐを中心として略点対称形状を有している。すなわち、垂直駆動ユニット５１の駆動部５１ｃは、ミラー部１の中心Ｒを中心として１８０度回転されることによって、垂直駆動ユニット５２の駆動部５２ｃと略重なる関係にある。

そして、駆動部５１ｃおよび５２ｃは、個々の圧電体１７（図５参照）に電圧が印加されることによって各々が撓み変形するように構成されている。これにより、駆動部５１ｃおよび５２ｃが所定のパターンで駆動（変形）された場合に、その変位が支持部３０に伝えられて支持部３０が軸線３００回りに揺動される。これにより、ミラー部１は、支持部６０（Ｘ−Ｙ平面）に対して相対的に軸線３００を回動軸としてＢ１方向およびＢ２方向に揺動されるように構成されている。

なお、水平駆動ユニット１０は、約３０ｋＨｚの周波数で駆動され、ミラー部１とトーションバー１１ａおよび１１ｂとを共振させるように構成されている。一方、垂直駆動部５０は、約６０Ｈｚの周波数で駆動され、ミラー部１とトーションバー１１ａおよび１１ｂとを共振させないように構成されている。また、支持部６０は、駆動部５１ｃおよび５２ｃに電圧が印加された場合でも変形しないように構成されている。

次に、圧電体１７が組み込まれた駆動部の詳細な構造について説明する。以下では、水平駆動ユニット１０を例にとって駆動部１３ａ（１３ｂ）の断面構造について説明する。

具体的には、図５および図６に示すように、水平駆動ユニット１０における一方側の駆動部１３ａは、基部１５と、基部１５の上面（Ｚ１側）上に形成された下部電極１６と、下部電極１６の上面（Ｚ１側）上に形成された圧電体１７と、圧電体１７の上面１７ａ（Ｚ１側）上に形成された駆動用電極１８（図５参照）と、上面１７ａ（Ｚ１側）上の駆動用電極１８とは別な領域に形成された検出用電極１９とを含んでいる。ここで、基部１５は、Ｓｉ基板からなり、約１０μｍ以上約１００μｍ以下の厚み（Ｚ方向）を有する。また、下部電極１６は、ＰｔまたはＣｒ−Ａｕ合金からなり、約０．０１μｍ以上約０．５μｍ以下の厚み（Ｚ方向）を有する。また、ＰＺＴからなる圧電体１７は、約１μｍ以上約５μｍ以下の厚み（Ｚ方向）を有する。また、駆動用電極１８および検出用電極１９は、ＰｔまたはＣｒ−Ａｕ合金からなり、共に、約０．０１μｍ以上約０．５μｍ以下の厚み（Ｚ方向）を有する。

また、駆動用電極１８（図５参照）は、圧電体１７の上面１７ａに接触するように形成され、下部電極１６との間に電圧を印加して圧電体１７を変形させるために設けられている。一方、検出用電極１９（図６参照）は、圧電体１７の上面１７ａに接触するように形成され、ミラー部１を駆動する際の圧電体１７の変形に伴う下部電極１６との間の電位差（電圧）を検出するために設けられている。

ここで、本実施形態では、図５に示すように、駆動部１３ａには、圧電体１７の上面１７ａ上に絶縁層２０が形成されている。詳細に説明すると、絶縁層２０は、撓み変形が可能で、かつ、誘電率が比較的小さいポリイミド樹脂からなる。また、絶縁層２０は、約１μｍ以上約３０μｍ以下の厚みを有しており、スピンコートによって圧電体１７の上面１７ａ上に塗布されることで形成される。また、絶縁層２０は、圧電体１７の駆動用電極１８および検出用電極１９が形成されていない上面１７ａと、駆動用電極１８および検出用電極１９の上面とを覆うように形成されている。そして、駆動部１３ａには、絶縁層２０の上面２０ａ上に配置されるとともに検出用電極１９に接続される引き出し用配線２１が形成されている。引き出し用配線２１は、検出用電極１９と同様にＰｔまたはＣｒ−Ａｕ合金からなり、約０．０１μｍ以上約０．５μｍ以下の厚みを有している。なお、引き出し用配線２１は、本発明の「第１引き出し用配線」の一例である。

また、本実施形態では、絶縁層２０は、圧電体１７の上面１７ａ上に検出用電極１９を覆うように形成されており、引き出し用配線２１は、検出用電極１９に対応する部分の絶縁層２０を厚み方向に貫通する貫通孔２０ｂを介して検出用電極１９に接続されている。このような貫通孔２０ｂは、圧電体１７の上面１７ａ上に塗布されて形成された絶縁層２０に対してフォトリソフグラフィを用いて検出用電極１９を覆う部分に形成される。また、貫通孔２０ｂは、上面２０ａ側の開口面積（開口直径）よりも検出用電極１９との境界部２０ｃ（接触部）における開口面積（開口直径）が小さくなるようなテーパ状の内側面２０ｄを有している。これは、露光によって貫通孔２０ｂが形成された後にキュア（焼成）された絶縁層２０が上面２０ａ側で若干収縮することによって上面２０ａ側の開口が境界部２０ｃ側の開口よりも広がるので、結果として内側面２０ｄが滑らかなスロープ（傾斜）形状に形成されるためである。また、引き出し用配線２１については、絶縁層２０上に配線パターンがスパッタリングなどを用いて形成される。この際、金属材料が貫通孔２０ｂ内に堆積（積層）されることによって、引き出し用配線２１が検出用電極１９に接続される。なお、貫通孔２０ｂは、本発明の「孔部」の一例である。

また、本実施形態では、図５に示すように、駆動部１３ａには、絶縁層２０の上面２０ａ上に配置されるとともに貫通孔２０ｂを介して駆動用電極１８に接続される引き出し用配線２２が引き出し用配線２１とは別に形成されている。また、引き出し用配線２２は、駆動用電極１８と同様にＰｔまたはＣｒ−Ａｕ合金からなり、約０．０１μｍ以上約０．５μｍ以下の厚みを有する。なお、引き出し用配線２２は、本発明の「第２引き出し用配線」の一例である。

ここで、駆動部１３ａ（図２参照）の層構造を平面的に見た場合、まず、図３に示すように、圧電体１７の平面形状（上面１７ａの形状）の殆どの部分を覆うようにして駆動用電極１８が形成されている。そして、一部が屈曲する隙間部２３を隔てて駆動用電極１８が形成されていない圧電体１７の上面１７ａ上に細長い形状を有する検出用電極１９が形成されている。なお、図３においては、圧電体１７は、隙間部２３のみから露出している。また、圧電体１７の奥側（紙面奥側）には圧電体１７の平面形状と同一の平面形状を有するように形成された下部電極１６（図５参照）および基部１５（図５参照）がこの順に形成されている。

そして、図４に示すように、駆動部１３ａの所定領域を覆うようにして絶縁層２０が形成されている。この場合、本実施形態では、絶縁層２０は、圧電体１７の上面１７ａの検出用電極１９が形成された一部の領域と、圧電体１７の上面１７ａの駆動用電極１８が形成された一部の領域とを共に覆うとともに、軸線３００上に形成された接続部３１ａ（Ｘ１側）から駆動部１３ａの外側の支持部３０の辺部３０ａ（Ｘ１側）を横断して垂直駆動ユニット５１（駆動部５１ｃ）の端部５１ｂにまで延びるように形成されている。なお、図４では駆動部５１ｃの端部５１ｂまでの構造しか図示されていないが、図１に示すように、絶縁層２０は、駆動部５１ｃの端部５１ｂからさらに５つの変形部５１ｄ上（紙面手前側）を順次経由して駆動部５１ｃの端部５１ａと支持部６０の辺部６０ａとの接続領域にまで延びるように形成されている。

また、絶縁層２０には、検出用電極１９に対応する部分の絶縁層２０を厚み方向に貫通する上述の貫通孔２０ｂが形成されるとともに、駆動用電極１８に対応する部分の絶縁層２０を厚み方向に貫通する貫通孔２０ｅ（図５参照）が形成されている。ここで、貫通孔２０ｂのＹ２側に隣接する貫通孔２０ｅも貫通孔２０ｂと同様の方法で形成される。したがって、図４に示すように、貫通孔２０ｂの内側には駆動用電極１８の上面が露出するとともに、貫通孔２０ｅの内側には検出用電極１９の上面が露出している。そして、図２に示すように、上述した引き出し用配線２１が、貫通孔２０ｂを介して検出用電極１９に接続されるとともに、引き出し用配線２２が、貫通孔２０ｅを介して駆動用電極１８に接続されている。

また、本実施形態では、図１に示すように、引き出し用配線２１は、駆動部１３ａの検出用電極１９に接続されるとともに検出用電極１９から引き出されて垂直駆動ユニット５１（Ｘ１側）を構成する駆動部５１ｃ（圧電体１７）の上面上に形成された絶縁層２０の上面２０ａ上を経由して支持部６０の辺部６０ａにまで延びて引き出されている。すなわち、引き出し用配線２１は、駆動部１３ａの部分から接続部３１ａを介して支持部３０の辺部３０ａを横断し、絶縁層２０に沿って駆動部５１ｃとともに往復蛇行しながら支持部６０の辺部６０ａに達するように連続的に形成されている。したがって、引き出し用配線２１の配線長さ（総延長距離）は、検出用電極１９の長手方向（Ｙ方向）の長さよりも大きい。なお、支持部６０の辺部６０ａは、本発明の「外部領域」の一例である。

また、引き出し用配線２２の構造ついても引き出し用配線２１と同様であり、引き出し用配線２２は、駆動部１３ａの検出用電極１９に接続されるとともに駆動用電極１８から引き出されて垂直駆動ユニット５１の圧電体１７の上面上に形成された絶縁層２０の上面２０ａ上を経由して支持部６０の辺部６０ａにまで延びて引き出されている。すなわち、引き出し用配線２２も、駆動部１３ａの部分から接続部３１ａを介して支持部３０の辺部３０ａを横断し、絶縁層２０に沿って駆動部５１ｃとともに往復蛇行しながら支持部６０の辺部６０ａに達するように連続的に形成されている。なお、引き出し用配線２１および２２には、ぞれぞれ、ワイヤボンド部２１ａおよび２２ａが形成されている。また、ワイヤボンド部２１ａおよび２２ａには、図示しない変位検出部のリード線（電気配線）が接続可能であるように構成されている。

なお、上記では駆動部１３ａの断面構造について説明したが、水平駆動ユニット１０を構成する駆動部１３ｂ（図２参照）についても駆動部１３ａと同様に構成されている。したがって、振動ミラー素子１００においては、引き出し用配線２１および２２が絶縁層２０の上面２０ａ上を並進するようにして駆動部１３ａおよび１３ｂの各々から引き出された後、垂直駆動ユニット５１および５２上の各々の絶縁層２０の上面２０ａに沿って支持部６０の辺部６０ａおよび６０ｂまで延びるように構成されている。なお、支持部６０の辺部６０ｂは、本発明の「外部領域」の一例である。

また、詳細な断面構造については図示を省略しているが、図１に示すように、垂直駆動ユニット５１の駆動部５１ｃ（Ｘ１側）を構成している５つの変形部５１ｄ、および、垂直駆動ユニット５２の駆動部５２ｃ（Ｘ２側）を構成している５つの変形部５２ｄの各々についても、水平駆動ユニット１０を構成する駆動部１３ａおよび１３ｂの断面構造と略同様の断面構造を有するように構成されている。すなわち、変形部５１ｄには、基部１５の上面上に下部電極１６、圧電体１７、駆動用電極１８および検出用電極１９が図５に示した積層構造を有して形成されている。そして、圧電体１７の上面１７ａ上に形成された絶縁層２０を挟んで変形部５１ｄ用の駆動用電極１８および検出用電極１９からの引き出し用配線（図示せず）が形成されている。振動ミラー素子１００においては、全ての変形部５１ｄおよび５２ｄがこのような断面構造を有しており、駆動用電極１８および検出用電極１９からの引き出し用配線は、絶縁層２０の上面２０ａ上を経由して支持部６０にまで延びて引き出されるように構成されている。

また、本実施形態では、振動ミラー素子１００は、携帯型プロジェクタ１６０に組み込まれるように構成されている。具体的には、図７に示すように、携帯型プロジェクタ１６０は、レーザ光を走査する振動ミラー素子１００と、端子部１１０を介して外部から入力された映像を解析して、画素情報を認識する制御部１２０と、光源部１３０として、赤色レーザ光を出射する赤色ＬＤ（レーザダイオード）部１３１と、青色レーザ光を出射する青色ＬＤ部１３２と、緑色レーザ光を出射する緑色ＬＤ部１３３と、制御部１２０において認識された画素情報に基づいて、赤色ＬＤ部１３１、青色ＬＤ部１３２および緑色ＬＤ部１３３の発するレーザ光の階調を制御するレーザ光制御部１４０と、駆動中の振動ミラー素子１００における各駆動部の変位を検出するための変位検出部１５０とを備えている。なお、赤色ＬＤ部１３１、青色ＬＤ部１３２および緑色ＬＤ部１３３は、本発明の「レーザ光発生部」の一例である。

したがって、携帯型プロジェクタ１６０の動作時においては、ミラー部１が２軸回り（Ｘ軸およびＹ軸回り）に揺動する際の各駆動部（駆動部１３ａ、駆動部１３ｂ、駆動部５１ｃおよび駆動部５２ｃ）における圧電体１７の変形量が変位検出部１５０により検出されながら振動ミラー素子１００（図１参照）の動作制御が行われて、携帯型プロジェクタ１６０から図示しないスクリーンなどの表示領域に対してレーザ光が２次元的に走査される。この際、各駆動部からの引き出し用配線（駆動部１３ａおよび駆動部１３ｂにおいては引き出し用配線２１（図１参照））は、圧電体１７から離間した絶縁層２０の上面２０ａに沿って配置されているので、検出用電極１９（図５参照）の部分に生じる表面電荷が引き出し用配線２１へ流出（拡散）することが大幅に抑制される。これにより、検出用電極１９の部分で検出された電圧値が電圧降下を起こすことなく変位検出部１５０において検出されるので、各駆動部（駆動部１３ａ、駆動部１３ｂ、駆動部５１ｃおよび駆動部５２ｃ）における圧電体１７の変形量が精度よく検出された状態で振動ミラー素子１００の動作制御に反映される。

本実施形態では、上記のように、圧電体１７の上面１７ａ上に形成された絶縁層２０と、絶縁層２０の上面２０ａ上に形成されるとともに検出用電極１９に接続され、駆動部１３ａおよび１３ｂの外部領域（支持部６０の辺部６０ａおよび６０ｂ）にまで延びる引き出し用配線２１とを備えることによって、検出用電極１９に接続された引き出し用配線２１を、検出用電極１９が形成された圧電体１７の上面１７ａに接触することなく圧電体１７から離間した絶縁層２０の上面２０ａに沿わせて駆動部１３ａおよび１３ｂの外部領域に引き出すことができる。これにより、圧電体１７の変形量（圧電効果によって生じる電圧値）は、引き出し用配線２１の長さに関係なく検出用電極１９の部分のみを圧電体１７の上面１７ａに接触させた状態で検出用電極１９を介して検出される。この際、引き出し用配線２１は絶縁層２０を介して圧電体１７から離間しているので、検出用電極１９の部分に生じる表面電荷が引き出し用配線２１の下層側（Ｚ２側）にも配置された圧電体１７の影響を受けて引き出し用配線２１へ流出（拡散）することが抑制される。この結果、表面電荷の流出に起因して電圧降下が生じた状態での電圧値が検出用電極１９によって検出されてしまうのを抑制することができる。また、検出用電極１９の部分で検出された電圧値は電圧降下を極力起こさない状態で検出されるので、駆動部１３ａにおける圧電体１７および駆動部１３ｂにおける圧電体１７の各々の変形量を精度よく検出することができる。

また、本実施形態では、絶縁層２０は、圧電体１７の上面１７ａ上に検出用電極１９を覆うように形成されており、引き出し用配線２１は、検出用電極１９に対応する部分の絶縁層２０を厚み方向に貫通する貫通孔２０ｂを介して検出用電極１９に接続されている。これにより、絶縁層２０に設けられた貫通孔２０ｂを介して、絶縁層２０の上面２０ａ上に形成され上面２０ａに沿って延びる引き出し用配線２１を、絶縁層２０よりも下層に位置する検出用電極１９に容易に接続することができる。

また、本実施形態では、駆動部１３ａおよび１３ｂは、駆動時に撓み変形するように構成されており、絶縁層２０は、撓み変形可能な樹脂からなる。これにより、撓み変形可能な樹脂からなる絶縁層２０が駆動部１３ａおよび１３ｂの各々の圧電体１７の上面１７ａ上に形成されるので、圧電体１７が屈曲変形（撓み変形）した場合であっても絶縁層２０が駆動部１３ａおよび１３ｂの各々の変形の抵抗になることを抑制することができる。また、樹脂として誘電率の比較的小さいポリイミド樹脂を用いることによって、引き出し用配線２１がポリイミド樹脂よりも下層の圧電体１７の表面電荷の影響を受けるのをより効果的に抑制することができる。

また、本実施形態では、駆動部１３ａ（１３ｂ）は、圧電体１７の上面１７ａに接触するように形成されるとともに電圧を印加して圧電体１７を撓み変形させてミラー部１を駆動するための駆動用電極１８を含む。そして、振動ミラー素子１００では、絶縁層２０の上面２０ａ上に形成されるとともに駆動部１３ａ（１３ｂ）の駆動用電極１８に接続され、駆動部１３ａ（１３ｂ）の外部領域（辺部６０ａおよび６０ｂ）にまで延びる引き出し用配線２２をさらに備える。これにより、駆動用電極１８に接続された引き出し用配線２２についても、駆動用電極１８が形成された圧電体１７の上面１７ａに接触することなく圧電体１７から離間した絶縁層２０の上面２０ａ上を延びて外部領域（支持部６０の辺部６０ａおよび６０ｂ）に引き出すことができる。すなわち、引き出し用配線２１のみならず引き出し用配線２２も同様に駆動部１３ａ（１３ｂ）から遠方の外部領域に引き出されるので、振動ミラー素子１００では行いにくいリード線（外部配線）のワイヤボンディングを駆動部１３ａ（１３ｂ）近傍の位置において行わなくてもよい。したがって、ワイヤボンディングに起因して水平駆動ユニット１０（駆動部１３ａおよび１３ｂ）が損傷するのを確実に回避することができる。

また、本実施形態では、絶縁層２０は、圧電体１７の上面１７ａの検出用電極１９の部分を含む一部の領域を覆うように形成されている。これにより、圧電体１７の全表面（上面１７ａ）のうちの検出用電極１９が形成された一部の領域にのみ絶縁層２０が形成されるので、その分、絶縁層２０が有する応力は圧電体１７の撓み変形に大きく影響しない。これにより、圧電体１７の変形力が絶縁層２０の応力に起因して減少するのを効果的に抑制することができる。

また、本実施形態では、検出用電極１９は、所定の方向（Ｙ方向）に延びる細長い形状を有し、引き出し用配線２１の配線長さ（総延長距離）は、検出用電極１９の長手方向（Ｙ方向）の長さよりも大きい。このように、検出用電極１９から検出用電極１９の長手方向の長さよりも大きい（長い）配線距離に亘って引き出された引き出し用配線２１を介して圧電体１７（駆動部１３ａおよび１３ｂ）の変形量を検出する場合においても、引き出し用配線２１が圧電体１７から離間した絶縁層２０の上面２０ａに沿って延びるので、配線距離の長い（配線面積の大きい）引き出し用配線２１に対して検出用電極１９の部分に生じる表面電荷の流出は大幅に抑制される。したがって、配線距離の長い引き出し用配線２１を用いても、検出用電極１９の部分で検出された電圧値を、電圧降下を極力起こさない状態で容易に検出することができるとともに、圧電体１７（駆動部１３ａおよび１３ｂ）の変形量を精度よく検出することができる。

また、本実施形態では、ミラー部１を軸線２００回りに駆動する水平駆動ユニット１０と、ミラー部１を軸線２００と略直交する軸線３００回りに駆動する垂直駆動ユニット５１および５２とを含み、引き出し用配線２１は、水平駆動ユニット１０の検出用電極１９に接続されるとともに検出用電極１９から引き出されて垂直駆動ユニット５１および５２の圧電体１７の上面上に形成された絶縁層２０の上面上を経由して外部に引き出されている。これにより、引き出し用配線２１が垂直駆動ユニット５１および５２を介して外部に引き出される場合であっても、引き出し用配線２１と垂直駆動ユニット５１および５２の圧電体１７との間にも絶縁層２０が挟まれているので、水平駆動ユニット１０の検出用電極１９の部分に生じる表面電荷が垂直駆動ユニット５１および５２の圧電体（誘電体）の影響を受けて引き出し用配線２１へ流出（拡散）することが大幅に抑制される。したがって、水平駆動ユニット１０と垂直駆動ユニット５１および５２とによってミラー部１を２軸（軸線２００および軸線３００）回りに揺動させる振動ミラー素子１００においても、表面電荷の流出に起因して電圧降下が生じた状態での電圧値が検出用電極によって検出されてしまうのを有効に抑制することができる。

また、本実施形態では、振動ミラー素子１００を携帯型プロジェクタ１６０に適用することによって、圧電体１７の変形量が精度よく検出された状況下で振動ミラー素子１００が制御部１２０により駆動制御されるので、光源部１３０からのレーザ光が正確に走査された状態の映像をスクリーンなどの表示領域に投影することができる。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記実施形態では、ポリイミド樹脂を用いて絶縁層２０を構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、誘電率が小さく、かつ、撓み変形が可能な樹脂であれば、たとえば、ウレタン樹脂などを用いて絶縁層２０を形成してもよい。

また、上記実施形態では、Ｓｉ基板により基部１５を構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、ステンレス材などの金属材料を用いて基部１５を構成してもよい。

また、上記実施形態では、ＰｔまたはＣｒ−Ａｕ合金を用いて検出用電極１９を構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、上記以外に、たとえば、Ａｌ、ＣｕまたはＡｕなどの導電性を有する金属材料を用いて検出用電極１９を構成してもよい。

また、上記実施形態では、検出用電極１９と同様にＰｔまたはＣｒ−Ａｕ合金を用いて引き出し用配線２１を構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、上記以外に、たとえば、Ａｌ、ＣｕまたはＡｕなどの導電性を有する金属材料を用いて引き出し用配線２１を構成してもよい。

また、上記実施形態では、圧電体１７がチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、ＰＺＴ以外の鉛、チタンおよびジルコニウムを主成分とした酸化物からなる圧電材料や、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、チタン酸ジルコン酸ランタン酸鉛（（Ｐｂ、Ｌａ）（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ_３）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ_３）、ニオブ酸ナトリウム（ＮａＮｂＯ_３）などの圧電材料を用いて圧電体１７を構成してもよい。

また、上記実施形態では、圧電体１７の下面１７ｂ上に配置された下部電極１６を駆動部１３ａ（１３ｂ）の略全面に形成するとともに、圧電体１７の上面１７ａ上に配置された電極を、駆動用電極１８と検出用電極１９とに分割した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、圧電体１７の上面１７ａ上に配置された電極を駆動部１３ａ（１３ｂ）の略全面に形成するとともに、圧電体１７の下面１７ｂ上に配置された電極を、駆動用電極１８と検出用電極１９とに分割してもよい。

また、上記実施形態では、振動ミラー素子１００が、水平駆動ユニット１０および垂直駆動ユニット５１（５２）を含むことによって、２次元（Ｘ−Ｙ平面）に光を走査するように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、水平駆動ユニット１０のみからなり垂直駆動ユニット５１（５２）を有しない構成にすることによって、振動ミラー素子を１次元にのみ光を走査するように構成してもよい。

１ ミラー部
１０ 水平駆動ユニット（第１駆動部）
１３ａ、１３ｂ 駆動部（第１駆動部）
１７ 圧電体
１７ａ 上面
１８ 駆動用電極
１９ 検出用電極
２０ 絶縁層
２０ａ 上面
２０ｂ 貫通孔（孔部）
２１ 引き出し用配線（第１引き出し用配線、引き出し用配線）
２２ 引き出し用配線（第２引き出し用配線、引き出し用配線）
５１、５２ 垂直駆動ユニット（第２駆動部）
５１ｃ、５２ｃ 駆動部（第２駆動部）
６０ａ、６０ｂ 辺部（外部領域）
１００ 振動ミラー素子
１２０ 制御部
１３１ 赤色ＬＤ部（レーザ光発生部）
１３２ 青色ＬＤ部（レーザ光発生部）
１３３ 緑色ＬＤ部（レーザ光発生部）
１６０ 携帯型プロジェクタ（プロジェクタ機能を有する電子機器）
２００ 軸線（第１軸線）
３００ 軸線（第２軸線）

Claims (8)

1. ミラー部と、
   圧電体の上面に接触するように形成され、電圧を印加して前記圧電体を変形させることにより前記ミラー部を駆動する際の前記圧電体の変形量を検出するための検出用電極を含む駆動部と、
   前記圧電体の上面上に形成された絶縁層と、
   前記絶縁層の上面上に形成されるとともに前記検出用電極に接続され、前記駆動部の外部領域にまで延びる第１引き出し用配線とを備える、振動ミラー素子。
2. 前記絶縁層は、前記圧電体の上面上に前記検出用電極を覆うように形成されており、
   前記第１引き出し用配線は、前記検出用電極に対応する部分の前記絶縁層を厚み方向に貫通する孔部を介して前記検出用電極に接続されている、請求項１に記載の振動ミラー素子。
3. 前記駆動部は、駆動時に撓み変形するように構成され、
   前記絶縁層は、撓み変形可能な樹脂からなる、請求項１または２に記載の振動ミラー素子。
4. 前記駆動部は、前記圧電体の上面に接触するように形成され、電圧を印加して前記圧電体を撓み変形させて前記ミラー部を駆動するための駆動用電極をさらに含み、
   前記絶縁層の上面上に形成されるとともに前記駆動部の前記駆動用電極に接続され、前記駆動部の前記外部領域にまで延びる第２引き出し用配線をさらに備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
5. 前記絶縁層は、前記圧電体の上面の前記検出用電極を含む一部の領域を覆うように形成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
6. 前記検出用電極は、所定の方向に延びる細長い形状を有し、
   前記第１引き出し用配線の配線長さは、前記検出用電極の長手方向の長さよりも大きい、請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
7. 前記駆動部は、前記ミラー部を第１軸線回りに揺動する第１駆動部と、前記ミラー部を前記第１軸線と略直交する第２軸線回りに揺動する第２駆動部とを含み、
   前記絶縁層は、前記第１駆動部と前記第２駆動部とに亘って前記圧電体の上面上に形成されており、
   前記第１引き出し用配線は、前記第１駆動部の前記検出用電極から引き出されるとともに前記第１駆動部に対応する前記絶縁層の上面上と前記第２駆動部に対応する前記絶縁層の上面上とをこの順に引き回されて前記第２駆動部の外部領域まで引き出されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
8. レーザ光を発するレーザ光発生部と、
   入力された映像を解析して、画素情報を認識する制御部と、
   前記レーザ光を走査する振動ミラー素子とを備え、
   前記振動ミラー素子は、
   ミラー部と、
   圧電体の上面に接触するように形成され、電圧を印加して前記圧電体を変形させることにより前記ミラー部を駆動する際の前記圧電体の変形量を検出するための検出用電極を含む駆動部と、
   前記圧電体の上面上に形成された絶縁層と、
   前記絶縁層の上面上に形成されるとともに前記駆動部の前記検出用電極に接続され、前記駆動部の外部領域にまで延びる引き出し用配線とを含む、プロジェクタ機能を有する電子機器。

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