JP2016009050A - 光偏向器 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、1軸型光偏向器1を示す斜視図である。光偏向器1は、矩形状のミラー部2と、ミラー部2を包囲する矩形枠3とを、中心を同一に揃えて備えている。
図3は、作動停止時の2軸型光偏向器51の斜視図である。光偏向器51は、円板状のミラー部52と、ミラー部52を包囲して支持する内枠部55と、内枠部55を包囲して支持する外枠部60とを、中心点を同一に揃えて、備えている。
Claims (4)
- 線対称な形状を有し、光を反射するミラー部と、
前記ミラー部を包囲して支持する枠部と、
ミアンダパターン配列で直列に連結する複数の圧電カンチレバーを有し、前記ミラー部と前記枠部との間に介在して、前記ミラー部の対称線を回転軸線としてその回りに前記ミラー部を往復回動させる圧電アクチュエータとを備え、
前記複数の圧電カンチレバーのうち前記ミラー部に隣り合う第1圧電カンチレバーは、第1半部と第2半部とからなり、
前記第1半部は、前記対称線から前記第1圧電カンチレバーと前記第1圧電カンチレバーに隣り合う第2圧電カンチレバーとを連結する折返し部まで延在し、
前記第2半部は、前記対称線から前記折返し部と反対側に延在し、
前記第2半部が前記第1半部より重くなるように形成されていることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1記載の光偏向器であって、
前記第2半部に錘を付加することにより、又は前記第1半部に切欠きを設けることにより、前記第2半部が前記第1半部より重くなるように形成されていることを特徴とする光偏向器。 - 光を反射するミラー部と、
線対称な形状を有し、前記ミラー部を包囲して支持する内枠部と、
前記内枠部を包囲して支持する外枠部と、
前記ミラー部の第1回転軸線上で、一端部が前記ミラー部と連結し、他端部が前記内枠部と連結する1対のトーションバーと、
前記ミラー部と内枠部との間に介在して、前記トーションバーを前記第1回転軸線の回りに往復回動させる内側圧電アクチュエータと、
ミアンダパターン配列で直列に連結する複数の圧電カンチレバーを有し、前記内枠部と前記外枠部との間に介在し、前記第1回転軸線に直交する前記内枠部の対称線を第2回転軸線としてその回りに前記内枠部を往復回動させる外側圧電アクチュエータとを備え、
前記複数の圧電カンチレバーのうち前記内枠部に隣り合う第1圧電カンチレバーは、第1半部と第2半部とからなり、
前記第1半部は、前記対称線から前記第1圧電カンチレバーと前記第1圧電カンチレバーに隣り合う第2圧電カンチレバーを連結する折返し部まで延在し、
前記第2半部は、前記対称線から前記折返し部と反対側に延在し、
前記第2半部が前記第1半部より重くなるように形成されていることを特徴とする光偏向器。 - 請求項3記載の光偏向器であって、
前記第2半部に錘を付加することにより、又は前記第1半部に切欠きを設けることにより、前記第2半部が前記第1半部より重くなるように形成されていることを特徴とする光偏向器。
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