JP2014134481A - 物理量センサー、電子機器、及び移動体 - Google Patents
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Abstract
【課題】可動電極と固定電極との当接による破損を抑制した物理量センサーを提供する。
【解決手段】可動錘と、可動錘の変位する第１方向と交差する第２方向に可動錘から延設されている可動電極部と、可動電極部と間隙ｄ１を置いて設けられている固定電極部と、可動錘の第１方向の端部に対向して設けられている固定部と、を備え、可動錘の端部には、固定部に対向する位置に凹部が設けられ、固定部には、可動錘に向かって第１方向に延伸する第１ストッパー部が設けられ、第１ストッパー部の先端が凹部に挿入され、且つ、先端と可動錘との間隙ｄ２は、間隙ｄ１よりも狭いことを特徴とする。
【選択図】図２
【解決手段】可動錘と、可動錘の変位する第１方向と交差する第２方向に可動錘から延設されている可動電極部と、可動電極部と間隙ｄ１を置いて設けられている固定電極部と、可動錘の第１方向の端部に対向して設けられている固定部と、を備え、可動錘の端部には、固定部に対向する位置に凹部が設けられ、固定部には、可動錘に向かって第１方向に延伸する第１ストッパー部が設けられ、第１ストッパー部の先端が凹部に挿入され、且つ、先端と可動錘との間隙ｄ２は、間隙ｄ１よりも狭いことを特徴とする。
【選択図】図２
Description
本発明は、物理量センサー、電子機器、及び移動体に関するものである。
従来から、加速度や角速度等の物理量を検出する物理量センサーとして、固定電極と、固定電極に対して間隙をもって並んで設けられるとともに、一定方向に変位可能な可動錘に設けられた可動電極と、を有する構造の物理量センサーが知られている。
この様な物理量センサーは、可動錘の変位に伴い、固定電極と、可動錘に設けられた可動電極との間隙が変化し、その間隙の変化によって、固定電極と、可動電極との間に生じる静電容量の変化を検出することで、加速度、角速度等の物理量の変化を検出している。
例えば、特許文献１には、可動錘を支持する多角形を構成する様に折り曲げられた梁部の内側に、可動錘の変位を規制するストッパー部が設けられ、可動電極と固定電極との付着や破損を防止する構造の物理量センサーが開示されている。
この様な物理量センサーは、可動錘の変位に伴い、固定電極と、可動錘に設けられた可動電極との間隙が変化し、その間隙の変化によって、固定電極と、可動電極との間に生じる静電容量の変化を検出することで、加速度、角速度等の物理量の変化を検出している。
例えば、特許文献１には、可動錘を支持する多角形を構成する様に折り曲げられた梁部の内側に、可動錘の変位を規制するストッパー部が設けられ、可動電極と固定電極との付着や破損を防止する構造の物理量センサーが開示されている。
しかしながら、多角形を構成する様に折り曲げられた梁部の内側にストッパー部が設けられているため、梁部が大きくなることから物理量センサーの小型化に影響を及ぼす虞があった。
本発明は、上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態、又は適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本適用例に係る物理量センサーは、可動錘と、可動錘の変位する第１方向と交差する第２方向に可動錘から延設されている可動電極部と、可動電極部と間隙ｄ１を置いて設けられている固定電極部と、可動錘の第１方向の端部に対向して設けられている固定部と、を備え、可動錘の端部には、固定部に対向する位置に凹部が設けられ、固定部には、可動錘に向かって第１方向に延伸する第１ストッパー部が設けられ、第１ストッパー部の先端が凹部に挿入され、且つ、先端と可動錘との間隙ｄ２は、間隙ｄ１よりも狭いことを特徴とする。
本適用例に係る物理量センサーは、可動錘と、可動錘の変位する第１方向と交差する第２方向に可動錘から延設されている可動電極部と、可動電極部と間隙ｄ１を置いて設けられている固定電極部と、可動錘の第１方向の端部に対向して設けられている固定部と、を備え、可動錘の端部には、固定部に対向する位置に凹部が設けられ、固定部には、可動錘に向かって第１方向に延伸する第１ストッパー部が設けられ、第１ストッパー部の先端が凹部に挿入され、且つ、先端と可動錘との間隙ｄ２は、間隙ｄ１よりも狭いことを特徴とする。
この様な物理量センサーによれば、可動電極部と、可動電極部と間隙ｄ１を置いて固定電極部と、が設けられ、間隙ｄ１よりも狭い間隙ｄ２をもって第１ストッパー部の先端が可動錘に設けられた凹部に挿入（緩挿）されている。これにより、可動錘が第１ストッパー部の延伸する第１方向に変位した場合に、固定電極部と可動電極部とが当接する前に、第１ストッパー部の先端と可動錘に設けられた凹部が当接することで、固定電極部と可動電極部の当接を抑制することができる。また、可動錘に設けられた凹部に第１ストッパー部に緩挿されているため、物理量センサーの大きさを変えること無く第１ストッパー部を設けることができる。
従って、可動錘が過度に変位した際に、固定電極と可動電極とが当接（衝突）することで破損することを抑制し、小型化を成し得た物理量センサーを得ることができる。
従って、可動錘が過度に変位した際に、固定電極と可動電極とが当接（衝突）することで破損することを抑制し、小型化を成し得た物理量センサーを得ることができる。
［適用例２］
上記適用例に係る物理量センサーは、凹部には、第２方向に延設されている第１突起を備えることが好ましい。
上記適用例に係る物理量センサーは、凹部には、第２方向に延設されている第１突起を備えることが好ましい。
この様な物理量センサーによれば、第１ストッパー部が緩挿される凹部の内面に第１ストッパー部の延伸方向と交差する第２方向に第１ストッパーと対向して突出する第１突起が設けられている。これにより、可動錘が第２方向に変位した場合に第１ストッパー部と第１突起とが当接することで、第１ストッパー部と可動錘との接触面積を少なくすることができ、第１ストッパー部と凹部が直接当接する場合と比べて当接による衝撃を緩和することができる。
従って、可動錘が第２方向に過度に変位した際においても、固定電極部と可動電極部とが当接（衝突）することによって破損することを抑制することができる。
従って、可動錘が第２方向に過度に変位した際においても、固定電極部と可動電極部とが当接（衝突）することによって破損することを抑制することができる。
［適用例３］
上記適用例に係る物理量センサーの第１ストッパー部には、第２方向に延設されている第２ストッパー部が設けられていることが好ましい。
上記適用例に係る物理量センサーの第１ストッパー部には、第２方向に延設されている第２ストッパー部が設けられていることが好ましい。
この様な物理量センサーによれば、凹部に緩挿されている第１ストッパー部には、第２方向に延伸する第２ストッパー部が設けられている。
これにより、可動錘が第２方向に変位した場合に可動錘に設けられた凹部と、第２ストッパー部とが当接することで、第１ストッパー部及び第２ストッパー部と可動錘との接触面積を少なくすることができ、第１ストッパー部と凹部が直接当接する場合と比べて当接による衝撃を緩和することができる。
従って、可動錘が第２方向に過度に変位した際においても、固定電極部と可動電極部とが当接（衝突）することによって破損することを抑制することができる。
これにより、可動錘が第２方向に変位した場合に可動錘に設けられた凹部と、第２ストッパー部とが当接することで、第１ストッパー部及び第２ストッパー部と可動錘との接触面積を少なくすることができ、第１ストッパー部と凹部が直接当接する場合と比べて当接による衝撃を緩和することができる。
従って、可動錘が第２方向に過度に変位した際においても、固定電極部と可動電極部とが当接（衝突）することによって破損することを抑制することができる。
［適用例４］
上記適用例に係る物理量センサーの第２ストッパー部には、第１方向延設されている第２突起が設けられていることが好ましい。
上記適用例に係る物理量センサーの第２ストッパー部には、第１方向延設されている第２突起が設けられていることが好ましい。
この様な物理量センサーによれば、凹部に緩挿されている第１ストッパー部と交差する第２ストッパー部には、第１方向に第２突起が設けられている。
これにより、可動錘が第１方向に変位した場合に第２ストッパー部に設けられた第２突起と可動錘とが当接することで、第１ストッパー部及び第２ストッパー部と可動錘との接触面積を少なくすることができる。また、可動錘が第１方向に変位した場合に第２ストッパー部と凹部が直接当接する場合と比べて当接による衝撃を緩和することができる。
従って、可動錘が第１方向に過度に変位した際に、固定電極部と可動電極部とが当接（衝突）することによる破損を抑制するとともに、第１ストッパー部及び第２ストッパー部の破損を抑制する事ができる。
これにより、可動錘が第１方向に変位した場合に第２ストッパー部に設けられた第２突起と可動錘とが当接することで、第１ストッパー部及び第２ストッパー部と可動錘との接触面積を少なくすることができる。また、可動錘が第１方向に変位した場合に第２ストッパー部と凹部が直接当接する場合と比べて当接による衝撃を緩和することができる。
従って、可動錘が第１方向に過度に変位した際に、固定電極部と可動電極部とが当接（衝突）することによる破損を抑制するとともに、第１ストッパー部及び第２ストッパー部の破損を抑制する事ができる。
［適用例５］
上記適用例に係る物理量センサーは、可動錘には、第２ストッパー部と対向する位置に第３突起が設けられていることが好ましい。
上記適用例に係る物理量センサーは、可動錘には、第２ストッパー部と対向する位置に第３突起が設けられていることが好ましい。
この様な物理量センサーによれば、可動錘には第２ストッパー部が緩挿されている凹部に第２ストッパー部と対向して突出する第３突起が設けられている。
これにより、可動錘が第１方向に変位した場合に可動錘に設けられた第３突起と第２ストッパー部とが当接することで、第１ストッパー部及び第２ストッパー部と可動錘との接触面積を少なくすることができる。また、可動錘が第１方向に変位した場合に第２ストッパー部と凹部が直接当接する場合と比べて当接による衝撃を緩和することができる。
従って、可動錘が第１方向に過度に変位した際に、固定電極部と可動電極部とが当接（衝突）することによる破損を抑制するとともに、第１ストッパー部及び第２ストッパー部の破損を抑制する事ができる。
これにより、可動錘が第１方向に変位した場合に可動錘に設けられた第３突起と第２ストッパー部とが当接することで、第１ストッパー部及び第２ストッパー部と可動錘との接触面積を少なくすることができる。また、可動錘が第１方向に変位した場合に第２ストッパー部と凹部が直接当接する場合と比べて当接による衝撃を緩和することができる。
従って、可動錘が第１方向に過度に変位した際に、固定電極部と可動電極部とが当接（衝突）することによる破損を抑制するとともに、第１ストッパー部及び第２ストッパー部の破損を抑制する事ができる。
［適用例６］
本適用例に係る電子機器は、上述したいずれかの物理量センサーを搭載していることを特徴とする。
本適用例に係る電子機器は、上述したいずれかの物理量センサーを搭載していることを特徴とする。
この様な電子機器によれば、上述したいずれかの物理量センサーを搭載することで、電子機器に衝撃が与えられた場合でも、物理量センサーの破損を抑制し、継続して物理量を検出できるため、信頼度の高い電子機器を得ることができる。
［適用例７］
本適用例に係る移動体は、上述したいずれかの物理量センサーを搭載していることを特徴とする。
本適用例に係る移動体は、上述したいずれかの物理量センサーを搭載していることを特徴とする。
この様な移動体によれば、上述したいずれかの物理量センサーを搭載することで、移動体からの衝撃による物理量センサーの破損を抑制し、継続して物理量を検出できるため、信頼度の高い移動体を得ることができる。
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際の構成要素とは適宜に異ならせて記載する場合がある。
（第１実施形態）
第１実施形態に係る物理量センサーについて、図１から図４を用いて説明する。
図１は、第１実施形態に係る物理量センサーの概略を示す斜視図である。図２は、図１に示す物理量センサーの概略を示す平面図である。図３は、図２中の線分Ａ−Ａ’で示す部分の断面を模式的に示す物理量センサーの断面図である。図４は、図１及び図２で示すストッパー部の部分拡大図である。説明の便宜のため、図２では、蓋体の図示を省略している。また、図１から図４では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示し、Ｚ軸は、基板と蓋体とが重なる厚み方向を示す軸である。
第１実施形態に係る物理量センサーについて、図１から図４を用いて説明する。
図１は、第１実施形態に係る物理量センサーの概略を示す斜視図である。図２は、図１に示す物理量センサーの概略を示す平面図である。図３は、図２中の線分Ａ−Ａ’で示す部分の断面を模式的に示す物理量センサーの断面図である。図４は、図１及び図２で示すストッパー部の部分拡大図である。説明の便宜のため、図２では、蓋体の図示を省略している。また、図１から図４では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示し、Ｚ軸は、基板と蓋体とが重なる厚み方向を示す軸である。
（物理量センサーの構造）
図１に示す物理量センサー１ａは、基板２と、当該基板２に接続（接合）して支持された素子片３と、素子片３に電気的に接続された導体パターン４を有する。以下、物理量センサー１ａを構成する各部を順次詳細に説明する。
図１に示す物理量センサー１ａは、基板２と、当該基板２に接続（接合）して支持された素子片３と、素子片３に電気的に接続された導体パターン４を有する。以下、物理量センサー１ａを構成する各部を順次詳細に説明する。
（基板）
基板２は、素子片３を支持するために設けられている。基板２は、板状をなし、その主面となる第１面２ａには、空洞部２１が設けられている。この空洞部２１は、基板２を第１面２ａ側から平面視したときに、後述する素子片３を構成する可動錘３３、可動電極部３６，３７、及び梁部３４，３５を内包する様に設けられている。また、空洞部２１は、内底２１ａを有する。この様な空洞部２１は、素子片３の可動錘３３、可動電極部３６，３７、及び梁部３４，３５が基板２に接触することを抑制する空間、換言すると、逃げ部を構成する。これにより、素子片３の可動錘３３の変位を許容することができる。
なお、この空間は、空洞部２１（凹部）に代えて、基板２をその厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通する開口部として設けても良い。また、本実施形態おいて、空洞部２１を第１面２ａ側から平面視したときの形状は、矩形をなしているが、これに限定されるものではない。
基板２は、素子片３を支持するために設けられている。基板２は、板状をなし、その主面となる第１面２ａには、空洞部２１が設けられている。この空洞部２１は、基板２を第１面２ａ側から平面視したときに、後述する素子片３を構成する可動錘３３、可動電極部３６，３７、及び梁部３４，３５を内包する様に設けられている。また、空洞部２１は、内底２１ａを有する。この様な空洞部２１は、素子片３の可動錘３３、可動電極部３６，３７、及び梁部３４，３５が基板２に接触することを抑制する空間、換言すると、逃げ部を構成する。これにより、素子片３の可動錘３３の変位を許容することができる。
なお、この空間は、空洞部２１（凹部）に代えて、基板２をその厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通する開口部として設けても良い。また、本実施形態おいて、空洞部２１を第１面２ａ側から平面視したときの形状は、矩形をなしているが、これに限定されるものではない。
また、基板２の第１面２ａには、前述した空洞部２１の外側に、配線溝部２２，２３，２４が設けられている。この配線溝部２２，２３，２４は、第１面２ａ側から平面視した場合に、導体パターン４に対応した形状をなしている。
この様な基板２を構成する材料としては、例えば、シリコン、ガラス等の材料を用いることが好ましい。また、素子片３がシリコン材料を主材料として構成されている場合、基板２は、ホウ珪酸ガラスを用いるとより好ましい。
なお、基板２の構成材料は、素子片３の構成材料との線膨張率の差ができるだけ小さいことが好ましい。例えば、基板２にホウ珪酸ガラスを、素子片３にシリコンを用いることで、基板２と、素子片３との線膨張率の差が少なくなり、熱膨張による歪みを抑制することができる。
なお、基板２の構成材料は、素子片３の構成材料との線膨張率の差ができるだけ小さいことが好ましい。例えば、基板２にホウ珪酸ガラスを、素子片３にシリコンを用いることで、基板２と、素子片３との線膨張率の差が少なくなり、熱膨張による歪みを抑制することができる。
（素子片）
素子片３は、固定部３１，３２と、可動錘３３と、梁部３４，３５と、可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９と、で構成されている。
このような素子片３は、例えば、加速度や角速度等の物理量の変化に応じて、可動錘３３及び可動電極部３６，３７が、梁部３４，３５を弾性変形させながら、図２に示す矢印ａの方向、即ち、Ｘ軸方向（＋Ｘ軸方向、又は−Ｘ軸方向）に変位する。このような変位に伴って、可動電極部３６と固定電極部３８との間の間隙、及び可動電極部３７と固定電極部３９との間の間隙がそれぞれ変化する。即ち、このような変位に伴って、可動電極部３６と固定電極部３８との間の静電容量、及び可動電極部３７と固定電極部３９との間の静電容量の大きさがそれぞれ変化する。
従って、これらの静電容量に基づいて、加速度や角速度等の物理量を検出することできる。
素子片３は、固定部３１，３２と、可動錘３３と、梁部３４，３５と、可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９と、で構成されている。
このような素子片３は、例えば、加速度や角速度等の物理量の変化に応じて、可動錘３３及び可動電極部３６，３７が、梁部３４，３５を弾性変形させながら、図２に示す矢印ａの方向、即ち、Ｘ軸方向（＋Ｘ軸方向、又は−Ｘ軸方向）に変位する。このような変位に伴って、可動電極部３６と固定電極部３８との間の間隙、及び可動電極部３７と固定電極部３９との間の間隙がそれぞれ変化する。即ち、このような変位に伴って、可動電極部３６と固定電極部３８との間の静電容量、及び可動電極部３７と固定電極部３９との間の静電容量の大きさがそれぞれ変化する。
従って、これらの静電容量に基づいて、加速度や角速度等の物理量を検出することできる。
この固定部３１，３２、可動錘３３、梁部３４，３５、及び可動電極部３６，３７は、一体的に形成して設けられている。固定部３１，３２は、それぞれ、前述した基板２の第１面２ａに接続されている。具体的には、固定部３１は、基板２の第１面２ａの空洞部２１に対して−Ｘ軸方向側の部分に接続されている。また、固定部３２は、基板２の第１面２ａの空洞部２１に対して＋Ｘ軸方向側の部分に接続されている。また、固定部３１，３２は、第１面２ａ側から平面視した場合に、それぞれ、空洞部２１の外周縁を跨ぐように設けられている。
本実施形態の物理量センサー１ａには、可動錘３３の変位を規制するストッパー部６０が設けられている。
ストッパー部６０には、可動錘３３の変位する方向である矢印ａ（図２参照）で示すＸ軸方向（＋Ｘ軸方向）である第１方向に向かって固定部３１から延伸する第１ストッパー部６２と、可動錘３３の一端に固定部３１と対向する開口を有する凹部６５が設けられている。なお、ストッパー部６０については後述する。
ストッパー部６０には、可動錘３３の変位する方向である矢印ａ（図２参照）で示すＸ軸方向（＋Ｘ軸方向）である第１方向に向かって固定部３１から延伸する第１ストッパー部６２と、可動錘３３の一端に固定部３１と対向する開口を有する凹部６５が設けられている。なお、ストッパー部６０については後述する。
なお、固定部３１，３２の位置及び形状等は、梁部３４，３５や導体パターン４等の位置及び形状等に応じて決められるものであり、上述したものに限定されない。
（可動錘）
可動錘３３は、２つの固定部３１，３２の間に設けられている。本実施形態において可動錘３３は、Ｘ軸方向に延びる長手形状をなしている。なお、可動錘３３の形状は、素子片３を構成する各部の形状、大きさ等に応じて決められるものであり、上述したものに限定されない。
可動錘３３は、２つの固定部３１，３２の間に設けられている。本実施形態において可動錘３３は、Ｘ軸方向に延びる長手形状をなしている。なお、可動錘３３の形状は、素子片３を構成する各部の形状、大きさ等に応じて決められるものであり、上述したものに限定されない。
この様な可動錘３３は、固定部３１に対して梁部３４を介して連結されるとともに、固定部３２に対して梁部３５を介して連結されている。より具体的には、可動錘３３の−Ｘ軸方向側の端部が梁部３４を介して固定部３１に連結されるとともに、可動錘３３の＋Ｘ軸方向の端部が梁部３５を介して固定部３２に連結されている。
この梁部３４，３５は、固定部３１，３２に対して可動錘３３が可動できる様に連結されている。
この梁部３４，３５は、固定部３１，３２に対して可動錘３３が可動できる様に連結されている。
梁部３４は、複数の梁３４１，３４２で構成されている。梁３４１、３４２は、それぞれ、Ｙ軸方向に蛇行しながらＸ軸方向に延びる形状をなしている。
同様に、梁部３５は、Ｙ軸方向に蛇行しながらＸ軸方向に延びる形状をなす複数の梁３５１，３５２で構成されている。
本実施形態において梁部３４，３５は、主に図２において矢印ａで示す＋Ｘ軸方向及び−Ｘ軸方向に可動錘３３が変位（可動）し得る様に構成されている。
同様に、梁部３５は、Ｙ軸方向に蛇行しながらＸ軸方向に延びる形状をなす複数の梁３５１，３５２で構成されている。
本実施形態において梁部３４，３５は、主に図２において矢印ａで示す＋Ｘ軸方向及び−Ｘ軸方向に可動錘３３が変位（可動）し得る様に構成されている。
（可動電極部）
基板２に対してＸ軸方向に変位し得る様に支持された可動錘３３の幅方向である＋Ｙ軸方向側には、可動電極部３６が設けられ、反対側となる−Ｙ軸方向側には、可動電極部３７が設けられている。可動電極部３６は、可動錘３３から＋Ｙ軸方向に突出し、櫛歯状をなす様に並んで設けられている。同様に、可動電極部３７は、可動錘３３から−Ｙ軸方向に突出し、櫛歯状をなす様に並んで設けられている。
基板２に対してＸ軸方向に変位し得る様に支持された可動錘３３の幅方向である＋Ｙ軸方向側には、可動電極部３６が設けられ、反対側となる−Ｙ軸方向側には、可動電極部３７が設けられている。可動電極部３６は、可動錘３３から＋Ｙ軸方向に突出し、櫛歯状をなす様に並んで設けられている。同様に、可動電極部３７は、可動錘３３から−Ｙ軸方向に突出し、櫛歯状をなす様に並んで設けられている。
このように複数の可動電極部３６及び複数の可動電極部３７は、それぞれ、可動錘３３が可動するＸ軸方向（図２において示す矢印ａの方向）に並んで設けられている。換言すると、複数の可動電極部３６，３７は、可動錘３３変位する方向となるＸ軸方向に沿って並んで、かつ、変位する方向と交差するＹ軸方向の両側に延伸する様に設けられている。
これにより、可動錘３３の変位に応じて後述する固定電極部３８と、可動電極部３６，３７との間に生じる静電容量を変化させることができる。
これにより、可動錘３３の変位に応じて後述する固定電極部３８と、可動電極部３６，３７との間に生じる静電容量を変化させることができる。
（固定電極部）
固定電極部３８は、前述した可動電極部３６に対して間隙ｄ１を置いて噛み合う櫛歯状をなすように設けられている。例えば、固定電極３８１，３８２は、それぞれ可動電極部３６と間隙ｄ１を置いて設けられている。
固定電極部３９は、前述した固定電極部３８と同様に、可動電極部３７に対して間隙ｄ１を置いて噛み合う櫛歯状をなすように設けられている。例えば、固定電極３９１，３９２は、それぞれ可動電極部３７と間隙ｄ１を置いて設けられている。
固定電極部３８は、前述した可動電極部３６に対して間隙ｄ１を置いて噛み合う櫛歯状をなすように設けられている。例えば、固定電極３８１，３８２は、それぞれ可動電極部３６と間隙ｄ１を置いて設けられている。
固定電極部３９は、前述した固定電極部３８と同様に、可動電極部３７に対して間隙ｄ１を置いて噛み合う櫛歯状をなすように設けられている。例えば、固定電極３９１，３９２は、それぞれ可動電極部３７と間隙ｄ１を置いて設けられている。
このような固定電極部３８は、可動錘３３とは反対側の端部が基板２の第１面２ａの空洞部２１に対して＋Ｙ軸方向側の部分に接続されている。固定電極部３８は、その固定された側の一端を固定端とし、その反対側の自由端が−Ｙ軸方向へ延設されている。
このような固定電極部３９は、可動錘３３とは反対側の端部が基板２の第１面２ａの空洞部２１に対して−Ｙ軸方向側の部分に接続されている。固定電極部３９は、その固定された側の一端を固定端とし、その反対側の自由端が＋Ｙ軸方向へ延設されている。
ここで、ストッパー部６０について詳述する。
本実施形態の物理量センサー１ａには、可動錘３３の変位を規制するストッパー部６０が設けられている。ストッパー部６０は、第１ストッパー部６２と、凹部６５から構成されている。
本実施形態の物理量センサー１ａには、可動錘３３の変位を規制するストッパー部６０が設けられている。ストッパー部６０は、第１ストッパー部６２と、凹部６５から構成されている。
ストッパー部６０には、固定部３１から可動錘３３に向かう第１方向（＋Ｘ軸方向）に延伸する第１ストッパー部６２が設けられている。また、ストッパー部６０には、可動錘３３の−Ｘ軸方向側の一端に固定部３１と対向する開口を有する凹部６５が設けられている。
ストッパー部６０は、第１ストッパー部６２が第１方向（Ｘ軸方向）、かつ可動錘３３に設けられた凹部６５に向かって延伸して凹部６５に挿入（緩挿）されている。なお、第１ストッパー部６２は、先端６２ａと可動錘３３の間に間隙ｄ２を置いて凹部６５に緩挿されている。
ストッパー部６０は、可動錘３３が過度に変位した場合に、並んで配設されている可動電極部３６と固定電極部３８、及び可動電極部３７と固定電極部３９が相互に接触することによる破損を抑制するために設けられている。また、ストッパー部６０は、可動電極部３６と固定電極部３８、及び可動電極部３７と固定電極部３９が相互に接触することで生じる貼り付き（スティッキング）や、ショート（短絡）を抑制するために設けられている。
そこで、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、が接触する前に、第１ストッパー部６２（先端６２ａ）と、可動錘３３と、を当接させることが求められる。
よって、可動電極部３６，３７と、固定電極部３８との間隙ｄ１より、先端６２ａと可動錘３３との間隙ｄ２が狭くなる様に第１ストッパー部６２は設けられている。即ち、間隙ｄ１及び間隙ｄ２の広さの関係が、間隙ｄ１＜間隙ｄ２となる様に第１ストッパー部６２が固定部３１から延設されている。
よって、可動電極部３６，３７と、固定電極部３８との間隙ｄ１より、先端６２ａと可動錘３３との間隙ｄ２が狭くなる様に第１ストッパー部６２は設けられている。即ち、間隙ｄ１及び間隙ｄ２の広さの関係が、間隙ｄ１＜間隙ｄ２となる様に第１ストッパー部６２が固定部３１から延設されている。
これにより物理量センサー１ａは、固定電極部３８，３９と可動電極部３６，３７とが接触する前に第１ストッパー部６２と、可動錘３３と、が当接し、可動錘３３の過度な変位を抑制することができる。
（導体パターン）
導体パターン４は、前述した基板２の第１面２ａ上に設けられている。
導体パターン４は、配線４１，４２，４３と、電極４４，４５，４６とで構成されている。
導体パターン４は、前述した基板２の第１面２ａ上に設けられている。
導体パターン４は、配線４１，４２，４３と、電極４４，４５，４６とで構成されている。
配線４１は、前述した基板２の空洞部２１の外側に設けられ、空洞部２１の外周に沿うように形成されている。そして、配線４１の一端は、基板２の第１面２ａの外周縁（基板２の第１面２ａ上の蓋体５の外側の部分）上において、電極４４に接続されている。
このような配線４１は、複数の固定電極部３８，３９のうち、例えば、第１固定電極としての固定電極３８１、及び第３固定電極としての固定電極３９１に電気的に接続されている。
このような配線４１は、複数の固定電極部３８，３９のうち、例えば、第１固定電極としての固定電極３８１、及び第３固定電極としての固定電極３９１に電気的に接続されている。
配線４２は、前述した配線４１の外側に沿って設けられている。そして、配線４２の一端は、基板２の第１面２ａの外周縁（基板２の第１面２ａ上の蓋体５の外側の部分）上において、電極４５に接続されている。
このような配線４２は、複数の固定電極部３８，３９のうち、例えば、第２固定電極としての固定電極３８２、及び第４固定電極としての固定電極３９２に電気的に接続されている。
このような配線４２は、複数の固定電極部３８，３９のうち、例えば、第２固定電極としての固定電極３８２、及び第４固定電極としての固定電極３９２に電気的に接続されている。
配線４３は、基板２上の固定部３１から基板２の第１面２ａ上の外周部（基板２上の蓋体５の外側の部分）に延設されている。そして、固定部３１とは反対側の配線４３の一端は、基板２の第１面２ａ（基板２上の蓋体５の外側の部分）上において電極４６に接続されている。
また、配線４１は、基板２の第１面２ａに設けられた配線溝部２２（凹部）内に設けられている。また、配線４２は、基板２の第１面２ａに設けられた配線溝部２３（凹部）内に設けられている。また、配線４３は、基板２の第１面２ａに設けられた配線溝部２４（凹部）内に設けられている。
このような配線４１から４３を構成する材料としては、導電性を有するものであれば、特に限定されることはない。例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、又はこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの一種、又は複数を組み合わせて用いることができる。
また、電極４４から４６を構成する材料としては、前述した配線４１から４３と同様に、導電性を有するものであれば、特に限定されることはない。
また、電極４４から４６を構成する材料としては、前述した配線４１から４３と同様に、導電性を有するものであれば、特に限定されることはない。
このような配線４１及び電極４４と、配線４３及び電極４６とにより、配線４１を介して第１固定電極（固定電極３８１）と可動電極部３６との間の静電容量、及び第３固定電極（固定電極３９１）と可動電極部３７との間の静電容量と、を測定することができる。
また、このような配線４２及び電極４５と、と、配線４３及び電極４６とにより、配線４２を介して第２固定電極（固定電極３８２）と可動電極部３６との間の静電容量、及び第４固定電極（固定電極３９２）と可動電極部３７との間の静電容量を測定することができる。
また、このような配線４２及び電極４５と、と、配線４３及び電極４６とにより、配線４２を介して第２固定電極（固定電極３８２）と可動電極部３６との間の静電容量、及び第４固定電極（固定電極３９２）と可動電極部３７との間の静電容量を測定することができる。
（蓋体）
蓋体５は、前述した素子片３を保護するために設けられている。
蓋体５は、板状をなし、その一方の面（下面）にキャビティ５１が設けられている。このキャビティ５１は、素子片３の可動錘３３及び可動電極部３６，３７等の変位を許容するように形成されている。
蓋体５は、前述した素子片３を保護するために設けられている。
蓋体５は、板状をなし、その一方の面（下面）にキャビティ５１が設けられている。このキャビティ５１は、素子片３の可動錘３３及び可動電極部３６，３７等の変位を許容するように形成されている。
そして、蓋体５の下面のキャビティ５１よりも外側の部分は、前述した基板２の第１面２ａに接続されている。
蓋体５と基板２との接続方法としては、特に限定されず、例えば、接着剤を用いた接続方法、陽極接合（接続）法等を用いることができる。
また、蓋体５を構成する材料としては、接続方法に適した材料であれば特に限定されないが、例えば、接着材による接続の場合にはシリコン材料、陽極接合法による接続の場合にはガラス材料等を用いることができる。
蓋体５と基板２との接続方法としては、特に限定されず、例えば、接着剤を用いた接続方法、陽極接合（接続）法等を用いることができる。
また、蓋体５を構成する材料としては、接続方法に適した材料であれば特に限定されないが、例えば、接着材による接続の場合にはシリコン材料、陽極接合法による接続の場合にはガラス材料等を用いることができる。
上述した第１実施形態によれば、以下の効果が得られる。
この様な物理量センサー１ａによれば、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、が並んで設けられた間隙ｄ１よりも狭い間隙ｄ２を置いて第１ストッパー部６２の先端６２ａが可動錘３３に設けられた凹部６５に緩挿されている。
これにより、可動錘３３が第１方向（＋Ｘ軸方向）に変位した場合に、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、が当接する前に先端６２ａと、凹部６５と、が当接することで、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、の当接を抑制することができる。また、可動錘３３に設けられた凹部６５に第１ストッパー部６２が緩挿されているため、物理量センサー１ａの大きさを変えること無く固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、の当接を抑制することができる。
従って、可動錘３３が過度に変位した際に、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、が当接（衝突）によって破損することを抑制し、小型化を成し得た物理量センサー１ａを得ることができる。
この様な物理量センサー１ａによれば、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、が並んで設けられた間隙ｄ１よりも狭い間隙ｄ２を置いて第１ストッパー部６２の先端６２ａが可動錘３３に設けられた凹部６５に緩挿されている。
これにより、可動錘３３が第１方向（＋Ｘ軸方向）に変位した場合に、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、が当接する前に先端６２ａと、凹部６５と、が当接することで、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、の当接を抑制することができる。また、可動錘３３に設けられた凹部６５に第１ストッパー部６２が緩挿されているため、物理量センサー１ａの大きさを変えること無く固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、の当接を抑制することができる。
従って、可動錘３３が過度に変位した際に、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、が当接（衝突）によって破損することを抑制し、小型化を成し得た物理量センサー１ａを得ることができる。
（第２実施形態）
図５は、第２実施形態に係る物理量センサーを模式的に示す平面図である。
図５では、蓋体５の図示を省略している。また、図５では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示し、Ｚ軸は、基板と蓋体とが重なる厚み方向を示す軸である。
第２実施形態に係る物理量センサー１ｂは、複数のストッパー部６０が設けられている点が第１実施形態で説明した物理量センサー１ａとは異なる。その他の構成は、第１実施形態と同様のため、相違点を説明し、同様の部分には同様の符号を示して説明を省略する。
図５は、第２実施形態に係る物理量センサーを模式的に示す平面図である。
図５では、蓋体５の図示を省略している。また、図５では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示し、Ｚ軸は、基板と蓋体とが重なる厚み方向を示す軸である。
第２実施形態に係る物理量センサー１ｂは、複数のストッパー部６０が設けられている点が第１実施形態で説明した物理量センサー１ａとは異なる。その他の構成は、第１実施形態と同様のため、相違点を説明し、同様の部分には同様の符号を示して説明を省略する。
本実施形態の物理量センサー１ｂは、第１実施形態で説明した物理量センサー１ａと同様に、基板２と、当該基板２に接続（接合）して支持された素子片３と、素子片３に電気的に接続された導体パターン４を有する。また、素子片３は、固定部３１，３２と、可動錘３３と、梁部３４，３５と、可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９とで構成されている。
この様な物理量センサー１ｂは、例えば、加速度や角速度等の物理量の変化に応じて、可動錘３３、及び可動電極部３６，３７が、梁部３４，３５を弾性変形させながら、図５に示す矢印ａの方向、即ち、Ｘ軸方向（＋Ｘ軸方向、又は−Ｘ軸方向）に変位する。
本実施形態の物理量センサー１ｂには、可動錘３３の変位を規制する複数のストッパー部６０が設けられている。
ストッパー部６０は、可動錘３３の変位する方向の−Ｘ軸方向側の一端にストッパー部６０Ｌが設けられ、他方、可動錘３３の変位する方向の＋Ｘ軸方向側の一端にストッパー部６０Ｒが設けられている。
ストッパー部６０は、可動錘３３の変位する方向の−Ｘ軸方向側の一端にストッパー部６０Ｌが設けられ、他方、可動錘３３の変位する方向の＋Ｘ軸方向側の一端にストッパー部６０Ｒが設けられている。
ストッパー部６０Ｌは、第１ストッパー部６２Ｌと、凹部６５Ｌとから構成されている。
ストッパー部６０Ｌには、固定部３１から可動錘３３に向かう第１方向（＋Ｘ軸方向）に延伸する第１ストッパー部６２Ｌが設けられている。また、ストッパー部６０Ｌには、可動錘３３の−Ｘ軸方向側の一端に固定部３１と対向する開口を有する凹部６５Ｌが設けられている。
ストッパー部６０Ｌには、固定部３１から可動錘３３に向かう第１方向（＋Ｘ軸方向）に延伸する第１ストッパー部６２Ｌが設けられている。また、ストッパー部６０Ｌには、可動錘３３の−Ｘ軸方向側の一端に固定部３１と対向する開口を有する凹部６５Ｌが設けられている。
ストッパー部６０Ｌは、第１ストッパー部６２Ｌが第１方向（＋Ｘ軸方向）で可動錘３３に設けられた凹部６５Ｌに向かって延伸して凹部６５Ｌに緩挿されている。なお、第１ストッパー部６２Ｌは、先端６２ａと、可動錘３３と、の間に間隙ｄ２を置いて凹部６５Ｌに緩挿されている。
ストッパー部６０Ｒは、第１ストッパー部６２Ｒと、凹部６５Ｒと、から構成されている。
ストッパー部６０Ｌには、固定部３２から可動錘３３に向かう第１方向（−Ｘ軸方向）に延伸する第１ストッパー部６２Ｒが設けられている。また、ストッパー部６０Ｒには、可動錘３３の＋Ｘ軸方向側の一端に固定部３２と対向する開口を有する凹部６５Ｒが設けられている。
ストッパー部６０Ｌには、固定部３２から可動錘３３に向かう第１方向（−Ｘ軸方向）に延伸する第１ストッパー部６２Ｒが設けられている。また、ストッパー部６０Ｒには、可動錘３３の＋Ｘ軸方向側の一端に固定部３２と対向する開口を有する凹部６５Ｒが設けられている。
ストッパー部６０Ｒは、第１ストッパー部６２Ｒが第１方向（−Ｘ軸方向）で可動錘３３に設けられた凹部６５Ｒに向かって延伸して凹部６５Ｒに緩挿されている。なお、第１ストッパー部６２Ｒは、先端６２ａと、可動錘３３と、の間に間隙ｄ２を置いて凹部６５Ｒに緩挿されている。
第１実施形態で上述の通りストッパー部６０は、可動錘３３が過度に変位した場合に、一端が自由端となって並んで配設されている可動電極部３６と固定電極部３８、及び可動電極部３７と固定電極部３９が相互に接触して破損することを抑制するために設けられている。
そこで、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、が接触する前に、第１ストッパー部６２Ｒ，６２Ｌと可動錘３３とを当接させることが求められる。
そこで、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、が接触する前に、第１ストッパー部６２Ｒ，６２Ｌと可動錘３３とを当接させることが求められる。
よって、可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９と、の間隙ｄ１より、先端６２ａと、可動錘３３と、の間隙ｄ２が狭くなる様に第１ストッパー部６２Ｒ，６２Ｌは設けられている。即ち、間隙ｄ１及び間隙ｄ２の広さの関係が、間隙ｄ１＜間隙ｄ２となる様に第１ストッパー部６２Ｒ，６２Ｌが固定部３１，３２から延設されている。
本実施形態の物理量センサー１ｂには、複数のストッパー部６０が設けられているため、可動錘３３が図５に示す矢印ａ（Ｘ軸方向）のいずれの方向に変位したときにも、その可動錘３３の変位を規制することができる。
例えば、＋Ｘ軸方向に可動錘３３が変位した場合には、可動錘３３と、ストッパー部６０Ｒと、が当接する。換言すると、＋Ｘ軸方向に可動錘３３が変位した場合には、第１ストッパー部６２Ｒの先端６２ａと凹部６５Ｒが当接し、可動錘３３の過度な変位を抑制することができる。
また、例えば、−Ｘ軸方向に可動錘３３が変位した場合には、可動錘３３と、ストッパー部６０Ｌと、が当接する。換言すると、−Ｘ軸方向に可動錘３３が変位した場合には、第１ストッパー部６２Ｌの先端６２ａと凹部６５Ｌが当接し、可動錘３３の過度な変位を抑制することができる。
例えば、＋Ｘ軸方向に可動錘３３が変位した場合には、可動錘３３と、ストッパー部６０Ｒと、が当接する。換言すると、＋Ｘ軸方向に可動錘３３が変位した場合には、第１ストッパー部６２Ｒの先端６２ａと凹部６５Ｒが当接し、可動錘３３の過度な変位を抑制することができる。
また、例えば、−Ｘ軸方向に可動錘３３が変位した場合には、可動錘３３と、ストッパー部６０Ｌと、が当接する。換言すると、−Ｘ軸方向に可動錘３３が変位した場合には、第１ストッパー部６２Ｌの先端６２ａと凹部６５Ｌが当接し、可動錘３３の過度な変位を抑制することができる。
これにより物理量センサー１ｂは、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、が接触する前に、可動錘３３と、第１ストッパー部６２Ｒ，６２Ｌと、が当接し、可動錘３３の過度な変位を抑制することができる。
また、凹部６５Ｒ，６５Ｌに第１ストッパー部６２Ｒ，６２Ｌが緩挿されているため、Ｘ軸方向と交差するＹ軸方向に可動錘３３が変位した場合においても、凹部６５Ｒ，６５Ｌに第１ストッパー部６２Ｒ，６２Ｌが当接し、可動錘３３の過度な変位を抑制することができる。
また、凹部６５Ｒ，６５Ｌに第１ストッパー部６２Ｒ，６２Ｌが緩挿されているため、Ｘ軸方向と交差するＹ軸方向に可動錘３３が変位した場合においても、凹部６５Ｒ，６５Ｌに第１ストッパー部６２Ｒ，６２Ｌが当接し、可動錘３３の過度な変位を抑制することができる。
その他の点は、第１実施形態で説明をした物理量センサー１ａと同様のため、説明を省略する。
上述した第２実施形態によれば、以下の効果が得られる。
この様な物理量センサー１ｂによれば、可動錘３３のＸ軸方向の両端にそれぞれストッパー部６０が設けられているため、＋Ｘ軸方向、及び−Ｘ軸方向のいずれの方向に可動錘３３が変位した場合でも、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、の当接を抑制することができる。また、可動錘３３に設けられた凹部６５Ｒ，６５Ｌに第１ストッパー部６２Ｒ，６２Ｌが緩挿されているため、物理量センサー１ｂの大きさを変えること無く固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、の当接を抑制することができる。
従って、可動錘３３が過度に変位した際に、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、が当接（衝突）によって破損することを抑制し、小型化を成し得た物理量センサー１ｂを得ることができる。
この様な物理量センサー１ｂによれば、可動錘３３のＸ軸方向の両端にそれぞれストッパー部６０が設けられているため、＋Ｘ軸方向、及び−Ｘ軸方向のいずれの方向に可動錘３３が変位した場合でも、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、の当接を抑制することができる。また、可動錘３３に設けられた凹部６５Ｒ，６５Ｌに第１ストッパー部６２Ｒ，６２Ｌが緩挿されているため、物理量センサー１ｂの大きさを変えること無く固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、の当接を抑制することができる。
従って、可動錘３３が過度に変位した際に、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、が当接（衝突）によって破損することを抑制し、小型化を成し得た物理量センサー１ｂを得ることができる。
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。ここで、上述した実施形態と同一の構成部位については、同一の符号を付して重複する説明は省略している。
（変形例１）
図６（ａ）は、変形例１に係る物理量センサーのストッパー部を部分的に拡大した拡大図である。
変形例１に係る物理量センサー１ｃは、各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に固定電極部３８，３９と、固定電極部３８，３９に対して間隙ｄ１を置いて可動錘３３に設けられた可動電極部３６，３７と、が設けられている。また、変形例１に係る物理量センサー１ｃには、ストッパー部１６０が設けられている。
変形例１に係る物理量センサーは１ｃ、ストッパー部１６０の構造が上述した物理量センサー１ａ，１ｂと異なる。
変形例１に係る物理量センサー１ｃの説明においては、ストッパー部１６０の部分を説明し、その他の構成部位等については説明及び図示を省略する。
図６（ａ）は、変形例１に係る物理量センサーのストッパー部を部分的に拡大した拡大図である。
変形例１に係る物理量センサー１ｃは、各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に固定電極部３８，３９と、固定電極部３８，３９に対して間隙ｄ１を置いて可動錘３３に設けられた可動電極部３６，３７と、が設けられている。また、変形例１に係る物理量センサー１ｃには、ストッパー部１６０が設けられている。
変形例１に係る物理量センサーは１ｃ、ストッパー部１６０の構造が上述した物理量センサー１ａ，１ｂと異なる。
変形例１に係る物理量センサー１ｃの説明においては、ストッパー部１６０の部分を説明し、その他の構成部位等については説明及び図示を省略する。
ストッパー部１６０は、固定部３１から第１方向（＋Ｘ軸方向）に延伸する第１ストッパー部１６２と、可動錘３３の一端に固定部３１と対向する開口を有する凹部１６５と、が設けられている。第１ストッパー部１６２は、第１実施形態で説明をした物理量センサー１ａのストッパー部６０と同様に先端１６２ａと、可動錘３３と、の間に間隙ｄ２を置いて凹部１６５に緩挿されている。
ストッパー部１６０には、第１ストッパー部１６２が緩挿される凹部１６５の内面に第１ストッパー部１６２の延伸する第１方向と交差する第２方向に突出する第１突起としての突起１７０が設けられている。
ストッパー部１６０には、第１ストッパー部１６２が緩挿される凹部１６５の内面に第１ストッパー部１６２の延伸する第１方向と交差する第２方向に突出する第１突起としての突起１７０が設けられている。
これにより、可動錘３３がＹ軸方向に変位した場合にストッパー部１６０は、凹部１６５に緩挿されている第１ストッパー部１６２と、凹部１６５に設けられた突起１７０と、が当接するため、接触面積を小さくし、接触による衝撃によって可動錘３３と、当該ストッパー部１６０と、の破損を抑制することができる。
また、可動錘３３がＸ軸方向に変位した場合は各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に、凹部１６５と、凹部１６５に緩挿されている第１ストッパー部１６２（先端１６２ａ）と、が当接するため、固定電極部３８，３９と、固定電極部３８，３９と、の接触及び破損を抑制することができる。
なお、本変形例１において突起１７０は、凹部１６５の内面に向かって対向する様に設けられているが、これに限定されることなく、凹部１６５の内面に向かって互い違いに向かい合って設けられても良い。また、突起１７０を設ける個数は、特に限定されるものでない。また、突起１７０の長さ（Ｙ軸方向）及び幅（Ｘ軸方向）は、特に限定されるものでなく、第１ストッパー部１６２との間に間隙を置いて設けられていれば良い。
その他のストッパー部１６０の構成は、各実施形態で説明した物理量センサー１ａ，１ｂと同様のため、説明を省略する。
その他のストッパー部１６０の構成は、各実施形態で説明した物理量センサー１ａ，１ｂと同様のため、説明を省略する。
（変形例２）
図６（ｂ）は、変形例２に係る物理量センサーのストッパー部を部分的に拡大した拡大図である。
変形例２に係る物理量センサー１ｄは、各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に固定電極部３８，３９と、固定電極部３８，３９に対して間隙ｄ１を置いて可動錘３３に設けられた可動電極部３６，３７と、が設けられている。また、変形例２に係る物理量センサー１ｄには、ストッパー部２６０が設けられている。
変形例２に係る物理量センサー１ｄは、ストッパー部２６０の構造が上述した物理量センサー１ａ，１ｂと異なる。
変形例２に係る物理量センサー１ｄの説明においては、ストッパー部２６０の部分を説明し、その他の構成部位等については説明及び図示を省略する。
図６（ｂ）は、変形例２に係る物理量センサーのストッパー部を部分的に拡大した拡大図である。
変形例２に係る物理量センサー１ｄは、各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に固定電極部３８，３９と、固定電極部３８，３９に対して間隙ｄ１を置いて可動錘３３に設けられた可動電極部３６，３７と、が設けられている。また、変形例２に係る物理量センサー１ｄには、ストッパー部２６０が設けられている。
変形例２に係る物理量センサー１ｄは、ストッパー部２６０の構造が上述した物理量センサー１ａ，１ｂと異なる。
変形例２に係る物理量センサー１ｄの説明においては、ストッパー部２６０の部分を説明し、その他の構成部位等については説明及び図示を省略する。
ストッパー部２６０は、固定部３１から第１方向（＋Ｘ軸方向）に延伸する第１ストッパー部２６２と、第１ストッパー部２６２と交差する第２方向に延伸し、可動錘３３と間隙ｄ３を置いて設けられる第２ストッパー部２６３と、が設けられている。また、ストッパー部２６０には、可動錘３３の一端に固定部３１と対向する開口を有する凹部２６５が設けられている。
なお、第１ストッパー部２６２は、第１実施形態で説明した物理量センサー１ａのストッパー部６０と同様に先端２６２ａと可動錘３３との間に間隙ｄ２を置いて凹部２６５に緩挿されている。
なお、第１ストッパー部２６２は、第１実施形態で説明した物理量センサー１ａのストッパー部６０と同様に先端２６２ａと可動錘３３との間に間隙ｄ２を置いて凹部２６５に緩挿されている。
これにより、可動錘３３がＹ軸方向に変位した場合に、凹部２６５と、凹部２６５に緩挿されている第２ストッパー部２６３の先端２６３ａが当接する。これによって、凹部２６５と、第１ストッパー部２６２と、の接触面積を小さくすることができ、接触による衝撃によって可動錘３３と、ストッパー部２６０と、の破損を抑制することができる。
また、可動錘３３がＸ軸方向に変位した場合は各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に、凹部２６５と、凹部２６５に緩挿されている第１ストッパー部２６２（先端２６２ａ）と、が当接するため、固定電極部３８，３９と、固定電極部３８，３９と、の接触及び破損を抑制することができる。
なお、本変形例２において第２ストッパー部２６３は、第１ストッパー部２６２の先端２６２ａから第２方向に延設されている。第２ストッパー部２６３は、これに限定されること無く、当該第２ストッパー部２６３の先端２６３ａから延伸する仮想線上に凹部２６５が設けられていれば第１ストッパー部２６２のいずれかの部位から第２方向に延設されても良い。
これにより、Ｙ軸方向に可動錘３３が変位したときに、凹部２６５にストッパー部２６０（第２ストッパー部２６３）を当接させることができる。
これにより、Ｙ軸方向に可動錘３３が変位したときに、凹部２６５にストッパー部２６０（第２ストッパー部２６３）を当接させることができる。
その他のストッパー部２６０の構成は、各実施形態で説明した物理量センサー１ａ，１ｂと同様のため、説明を省略する。
（変形例３）
図６（ｃ）は、変形例３に係る物理量センサーのストッパー部を部分的に拡大した拡大図である。
変形例３に係る物理量センサー１ｅは、各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に固定電極部３８，３９と、固定電極部３８，３９に対して間隙ｄ１を置いて可動錘３３に設けられた可動電極部３６，３７と、が設けられている。また、変形例３に係る物理量センサー１ｅには、ストッパー部３６０が設けられている。
変形例３に係る物理量センサー１ｅは、ストッパー部３６０の構造が上述した物理量センサー１ａ，１ｂと異なる。
変形例３に係る物理量センサー１ｅの説明においては、ストッパー部３６０の部分を説明し、その他の構成部位等については説明及び図示を省略する。
図６（ｃ）は、変形例３に係る物理量センサーのストッパー部を部分的に拡大した拡大図である。
変形例３に係る物理量センサー１ｅは、各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に固定電極部３８，３９と、固定電極部３８，３９に対して間隙ｄ１を置いて可動錘３３に設けられた可動電極部３６，３７と、が設けられている。また、変形例３に係る物理量センサー１ｅには、ストッパー部３６０が設けられている。
変形例３に係る物理量センサー１ｅは、ストッパー部３６０の構造が上述した物理量センサー１ａ，１ｂと異なる。
変形例３に係る物理量センサー１ｅの説明においては、ストッパー部３６０の部分を説明し、その他の構成部位等については説明及び図示を省略する。
ストッパー部３６０は、固定部３１から第１方向（＋Ｘ軸方向）に延伸する第１ストッパー部３６２と、第１ストッパー部３６２と交差する第２方向に延伸し可動錘３３と間隙ｄ３を置いて設けられている第２ストッパー部３６３と、が設けられている。
第２ストッパー部３６３には、第２突起としての突起３７１が第１方向（＋Ｘ軸方向）で可動錘３３と対向する様に突出して設けられている。また、ストッパー部３６０には、可動錘３３の一端に固定部３１と対向する開口を有する凹部３６５が設けられている。
なお、ストッパー部３６０は、突起３７１と、可動錘３３と、の間に間隙ｄ３０２を置いて凹部３６５に緩挿されている。
また、突起３７１と、可動錘３３と、の間の間隙ｄ３０２は、図示を省略する固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、の間隙ｄ１より狭く設けられている。
第２ストッパー部３６３には、第２突起としての突起３７１が第１方向（＋Ｘ軸方向）で可動錘３３と対向する様に突出して設けられている。また、ストッパー部３６０には、可動錘３３の一端に固定部３１と対向する開口を有する凹部３６５が設けられている。
なお、ストッパー部３６０は、突起３７１と、可動錘３３と、の間に間隙ｄ３０２を置いて凹部３６５に緩挿されている。
また、突起３７１と、可動錘３３と、の間の間隙ｄ３０２は、図示を省略する固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、の間隙ｄ１より狭く設けられている。
これにより、可動錘３３がＸ軸方向に変位した場合に、凹部３６５と、第２ストッパー部３６３に設けられた突起３７１と、が当接することで、第２ストッパー部３６３と、凹部３６５と、の接触面積を小さくすることができ、接触による衝撃によって可動錘３３と、ストッパー部３６０と、の破損を抑制することができる。
また、可動錘３３がＹ軸方向に変位した場合には、凹部３６５と、第２ストッパー部３６３（先端３６３ａ）と、が当接し、可動錘３３が過度に変位することを抑制することができる。
なお、本変形例３において突起３７１は、第２ストッパー部３６３に１つ設けられているが、これに限定されることなく、複数の突起３７１を設けても良い。また、突起３７１は、可動錘３３に向かって突出していれば、設けられる位置は特に限定されるものでない。
その他のストッパー部３６０の構成は、各実施形態で説明した物理量センサー１ａ，１ｂと同様のため、説明を省略する。
（変形例４）
図６（ｄ）は、変形例４に係る物理量センサーのストッパー部を部分的に拡大した拡大図である。
変形例４に係る物理量センサー１ｆは、上述した各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に固定電極部３８，３９と、固定電極部３８，３９に対して間隙ｄ１を置いて可動錘３３に設けられた可動電極部３６，３７と、が設けられている。また、変形例４に係る物理量センサー１ｆには、ストッパー部４６０が設けられている。
変形例４に係る物理量センサー１ｆは、ストッパー部４６０の構造が上述した物理量センサー１ａ，１ｂと異なる。変形例４に係る物理量センサー１ｆの説明においては、ストッパー部４６０の部分を説明し、その他の構成部位等については説明及び図示を省略する。
図６（ｄ）は、変形例４に係る物理量センサーのストッパー部を部分的に拡大した拡大図である。
変形例４に係る物理量センサー１ｆは、上述した各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に固定電極部３８，３９と、固定電極部３８，３９に対して間隙ｄ１を置いて可動錘３３に設けられた可動電極部３６，３７と、が設けられている。また、変形例４に係る物理量センサー１ｆには、ストッパー部４６０が設けられている。
変形例４に係る物理量センサー１ｆは、ストッパー部４６０の構造が上述した物理量センサー１ａ，１ｂと異なる。変形例４に係る物理量センサー１ｆの説明においては、ストッパー部４６０の部分を説明し、その他の構成部位等については説明及び図示を省略する。
ストッパー部４６０は、固定部３１から第１方向（＋Ｘ軸方向）に延伸する第１ストッパー部４６２と、第１ストッパー部４６２と交差する第２方向に延伸し可動錘３３と間隙ｄ３を置いて設けられている第２ストッパー部４６３と、が設けられている。また、ストッパー部４６０は、可動錘３３の一端に固定部３１と対向する開口を有する凹部４６５が設けられている。なお、第１ストッパー部４６２は、可動錘３３と間隙ｄ３を置いて、また、可動錘３３に設けられた突起４７２と間隙ｄ４０２を置いて凹部４６５に緩挿されている。
凹部４６５には、第３突起としての突起４７２が第１方向（−Ｘ軸方向）、かつ第２ストッパー部４６３と対向する様に突出させて設けられている。また、突起４７２と、第２ストッパー部４６３と、の間の間隙ｄ４０２は、図示を省略する可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９と、の間隙ｄ１より狭く設けられている。
凹部４６５には、第３突起としての突起４７２が第１方向（−Ｘ軸方向）、かつ第２ストッパー部４６３と対向する様に突出させて設けられている。また、突起４７２と、第２ストッパー部４６３と、の間の間隙ｄ４０２は、図示を省略する可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９と、の間隙ｄ１より狭く設けられている。
これにより、可動錘３３がＹ軸方向に変位した場合に、凹部４６５と、凹部４６５に緩挿されている第２ストッパー部４６３の先端４６３ａと、が当接することで、ストッパー部４６０と、凹部４６５と、の接触面積を小さくすることができる。
また、可動錘３３がＸ軸方向に変位した場合に、第２ストッパー部４６３と、突起４７２と、が当接することで、ストッパー部４６０と、凹部４６５と、の接触面積を小さくすることができる。よって、接触による衝撃によって可動錘３３とストッパー部４６０の破損を抑制することができる。
また、可動錘３３がＸ軸方向に変位した場合に、第２ストッパー部４６３と、突起４７２と、が当接することで、ストッパー部４６０と、凹部４６５と、の接触面積を小さくすることができる。よって、接触による衝撃によって可動錘３３とストッパー部４６０の破損を抑制することができる。
なお、本変形例４において突起４７２は、凹部４６５に１つ設けられているが、これに限定されることなく、複数の突起４７２を設けても良い。また、突起４７２は、第２ストッパー部４６３に向かって突出していれば設けられる位置は特に限定されるものでない。
その他のストッパー部４６０の構成は、各実施形態で説明した物理量センサー１ａ，１ｂと同様のため、説明を省略する。
なお、上述した各変形例において可動錘３３の−Ｘ軸方向側の一端である固定部３１側にストッパー部が設けられる一例を示したが、これに限定されることなく、可動錘３３の＋Ｘ軸方向側の一端である固定部３２側に各ストッパー部（１６０，２６０，３６０，４６０）を設けても良い。また、第２実施形態で示した物理量センサー１ｂの様に、可動錘３３のＸ軸方向の両端側にそれぞれ各ストッパー部（１６０，２６０，３６０，４６０）を設けても良い。
また、上述した変形例１と、変形例２乃至４とを組み合わせてストッパー部を構成しても良い。
例えば、変形例１で示すストッパー部１６０に、変形例２に示す第１ストッパー部２６２の先端２６２ａに第２ストッパー部２６３を設けても良い。
例えば、変形例３に示す第２ストッパー部３６３に突起３７１を設けても良い。また、第２ストッパー部３６３には、突起１７０と対向する様に突起３７１を設けても良い。これにより、＋Ｘ軸方向と−Ｘ軸方向との両方向の可動錘３３の変位を規制することができる。
例えば、変形例４に示す様に凹部４６５に突起４７２を設けても良い。
例えば、変形例１で示すストッパー部１６０に、変形例２に示す第１ストッパー部２６２の先端２６２ａに第２ストッパー部２６３を設けても良い。
例えば、変形例３に示す第２ストッパー部３６３に突起３７１を設けても良い。また、第２ストッパー部３６３には、突起１７０と対向する様に突起３７１を設けても良い。これにより、＋Ｘ軸方向と−Ｘ軸方向との両方向の可動錘３３の変位を規制することができる。
例えば、変形例４に示す様に凹部４６５に突起４７２を設けても良い。
また、上述した実施形態及び変形例において、各ストッパー部の先端、及び各突起は、円弧を描く形状や、錐形状としても良い。各ストッパー部及び各突起は、先端が円弧を描く形状や、錘形状であることにより、可動錘３３との接触面積を小さくすることができ、可動錘３３と当接した際の衝撃を緩和し、破損を抑制することができる。
また、上述した実施形態及び変形例において、固定部３１、もしくは固定部３２から延伸する第１ストッパー部６２は、固定部３１，３２から先端６２ａに向かって幅が狭く設けられても良い。第１ストッパー部６２は、先端６２ａに向かって幅が狭く設けられることにより、可動錘３３との接触面積を小さくすることができ、可動錘３３と当接した際の衝撃を緩和し、破損を抑制することができる。また、第１ストッパー部６２は、先端６２ａと比べて、固定部３１，３２から延伸する基部の部分の幅が広いため、第１ストッパー部６２の強度を増すことができる。よって、第１ストッパー部６２は、可動錘３３と当接した際の破損を抑制することができる。
また、第１ストッパー部６２から延伸する第２ストッパー部６３についても先端６３ａに向かって幅が狭く設けられても良い。第２ストッパー部６３は、先端６３ａに向かって幅が狭く設けられることにより、可動錘３３との接触面積を小さくすることができ、可動錘３３と当接した際の衝撃を緩和し、破損を抑制することができる。また、第２ストッパー部６３は、先端６３ａと比べて、固定部３１，３２から延伸する基部の部分の幅が広いため、第２ストッパー部６３の強度を増すことができる。よって、第２ストッパー部６３は、可動錘３３と当接した際の破損を抑制することができる。
また、第１ストッパー部６２から延伸する第２ストッパー部６３についても先端６３ａに向かって幅が狭く設けられても良い。第２ストッパー部６３は、先端６３ａに向かって幅が狭く設けられることにより、可動錘３３との接触面積を小さくすることができ、可動錘３３と当接した際の衝撃を緩和し、破損を抑制することができる。また、第２ストッパー部６３は、先端６３ａと比べて、固定部３１，３２から延伸する基部の部分の幅が広いため、第２ストッパー部６３の強度を増すことができる。よって、第２ストッパー部６３は、可動錘３３と当接した際の破損を抑制することができる。
（実施例）
次いで、本発明の一実施形態又は変形例に係る物理量センサー１ａから１ｆ（以下、総括して物理量センサー１と称する。）のいずれかを適用した実施例について、図７から図１０を参照しながら説明する。
次いで、本発明の一実施形態又は変形例に係る物理量センサー１ａから１ｆ（以下、総括して物理量センサー１と称する。）のいずれかを適用した実施例について、図７から図１０を参照しながら説明する。
［電子機器］
先ず、本発明の一実施形態に係る物理量センサー１を適用した電子機器について、図７から図９を参照しながら説明する。
先ず、本発明の一実施形態に係る物理量センサー１を適用した電子機器について、図７から図９を参照しながら説明する。
図７は、本発明の一実施形態に係る物理量センサーを備える電子機器としてのノート型（又はモバイル型）のパーソナルコンピューターの構成の概略を示す斜視図である。この図において、ノート型パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなノート型パーソナルコンピューター１１００には、そのノート型パーソナルコンピューター１１００に加えられる加速度等を検知して表示ユニット１１０６に加速度等を表示するための加速度センサー等として機能する物理量センサー１が内蔵されている。
図８は、本発明の一実施形態に係る物理量センサーを備える電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成の概略を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、携帯電話機１２００に加えられる加速度等を検知して、当該携帯電話機１２００の操作を補助するための加速度センサー等として機能する物理量センサー１が内蔵されている。
図９は、本発明の一実施形態に係る物理量センサー１を備える電子機器としてのデジタルスチールカメラの構成の概略を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３０８が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３０８は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部１３０８に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３１０に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２には液晶ディスプレイ１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３１０に格納された撮像信号が、液晶ディスプレイ１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、その落下からデジタルスチールカメラ１３００を保護する機能を動作させるため、落下による加速度を検知する加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されている。
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３０８が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３０８は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部１３０８に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３１０に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２には液晶ディスプレイ１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３１０に格納された撮像信号が、液晶ディスプレイ１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、その落下からデジタルスチールカメラ１３００を保護する機能を動作させるため、落下による加速度を検知する加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されている。
なお、本発明の一実施形態に係る物理量センサー１は、図７のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図８の携帯電話機、図９のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。
［移動体］
図１０は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１５００は本発明に係る物理量センサー１を備える。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１５００には、当該自動車１５００の加速度を検知する物理量センサー１を内蔵してエンジンの出力を制御する電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic Control Unit）１５０８が車体１５０７に搭載されている。また、物理量センサー１は、他にも、車体姿勢制御ユニット、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）に広く適用できる。
図１０は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１５００は本発明に係る物理量センサー１を備える。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１５００には、当該自動車１５００の加速度を検知する物理量センサー１を内蔵してエンジンの出力を制御する電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic Control Unit）１５０８が車体１５０７に搭載されている。また、物理量センサー１は、他にも、車体姿勢制御ユニット、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）に広く適用できる。
１ａ，１ｂ…物理量センサー、２…基板、２ａ…第１面、３…素子片、４…導体パターン、５…蓋体、２１…空洞部、２１ａ…内底、２２，２３，２４…配線溝部、３１，３２…固定部、３３…可動錘、３４，３５…梁部、３６，３７…可動電極部、３８，３９…固定電極部、４１，４２，４３…配線、４４，４５，４６…電極、５１…キャビティ、６０、１６０，２６０，３６０，４６０…ストッパー部、６２、１６２，２６２，３６２，４６２…第１ストッパー部、６２ａ，１６２ａ，２６２ａ，３６２ａ，４６２ａ…先端、２６３，３６３，４６３…第２ストッパー部、６５、１６５，２６５，３６５，４６５…凹部、３４１、３４２…梁、ｄ１，ｄ２、ｄ３，ｄ３０２，ｄ４０２…間隙、１１００…パーソナルコンピューター、１２００…携帯電話機、１３００…デジタルスチールカメラ、１５００…自動車。
配線４３は、基板２上の固定部３１から基板２の第１面２ａ上の外周縁（基板２上の蓋体５の外側の部分）に延設されている。そして、固定部３１とは反対側の配線４３の一端は、基板２の第１面２ａ（基板２上の蓋体５の外側の部分）上において電極４６に接続されている。
ストッパー部６０Ｒは、第１ストッパー部６２Ｒと、凹部６５Ｒと、から構成されている。
ストッパー部６０Ｒには、固定部３２から可動錘３３に向かう第１方向（−Ｘ軸方向）に延伸する第１ストッパー部６２Ｒが設けられている。また、ストッパー部６０Ｒには、可動錘３３の＋Ｘ軸方向側の一端に固定部３２と対向する開口を有する凹部６５Ｒが設けられている。
ストッパー部６０Ｒには、固定部３２から可動錘３３に向かう第１方向（−Ｘ軸方向）に延伸する第１ストッパー部６２Ｒが設けられている。また、ストッパー部６０Ｒには、可動錘３３の＋Ｘ軸方向側の一端に固定部３２と対向する開口を有する凹部６５Ｒが設けられている。
（変形例１）
図６（ａ）は、変形例１に係る物理量センサーのストッパー部を部分的に拡大した拡大図である。
変形例１に係る物理量センサー１ｃは、各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に固定電極部３８，３９と、固定電極部３８，３９に対して間隙ｄ１を置いて可動錘３３に設けられた可動電極部３６，３７と、が設けられている。また、変形例１に係る物理量センサー１ｃには、ストッパー部１６０が設けられている。
変形例１に係る物理量センサー１ｃは、ストッパー部１６０の構造が上述した物理量センサー１ａ，１ｂと異なる。
変形例１に係る物理量センサー１ｃの説明においては、ストッパー部１６０の部分を説明し、その他の構成部位等については説明及び図示を省略する。
図６（ａ）は、変形例１に係る物理量センサーのストッパー部を部分的に拡大した拡大図である。
変形例１に係る物理量センサー１ｃは、各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に固定電極部３８，３９と、固定電極部３８，３９に対して間隙ｄ１を置いて可動錘３３に設けられた可動電極部３６，３７と、が設けられている。また、変形例１に係る物理量センサー１ｃには、ストッパー部１６０が設けられている。
変形例１に係る物理量センサー１ｃは、ストッパー部１６０の構造が上述した物理量センサー１ａ，１ｂと異なる。
変形例１に係る物理量センサー１ｃの説明においては、ストッパー部１６０の部分を説明し、その他の構成部位等については説明及び図示を省略する。
また、可動錘３３がＸ軸方向に変位した場合は各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に、凹部１６５と、凹部１６５に緩挿されている第１ストッパー部１６２（先端１６２ａ）と、が当接するため、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、の接触及び破損を抑制することができる。
また、可動錘３３がＸ軸方向に変位した場合は各実施形態で説明をした物理量センサー１ａ，１ｂと同様に、凹部２６５と、凹部２６５に緩挿されている第１ストッパー部２６２（先端２６２ａ）と、が当接するため、固定電極部３８，３９と、可動電極部３６，３７と、の接触及び破損を抑制することができる。
また、上述した実施形態及び変形例において、各ストッパー部の先端、及び各突起は、円弧を描く形状や、錐形状としても良い。各ストッパー部及び各突起は、先端が円弧を描く形状や、錐形状であることにより、可動錘３３との接触面積を小さくすることができ、可動錘３３と当接した際の衝撃を緩和し、破損を抑制することができる。
Claims (7)
- 可動錘と、
前記可動錘の変位する第１方向と交差する第２方向に前記可動錘から延設されている可動電極部と、
前記可動電極部と間隙ｄ１を置いて設けられている固定電極部と、
前記可動錘の前記第１方向の端部に対向して設けられている固定部と、を備え、
前記可動錘の前記端部には、前記固定部に対向する位置に凹部が設けられ、
前記固定部には、前記可動錘に向かって前記第１方向に延伸する第１ストッパー部が設けられ、
前記第１ストッパー部の先端が前記凹部に挿入され、且つ、前記先端と前記可動錘との間隙ｄ２は、前記間隙ｄ１よりも狭いことを特徴とする物理量センサー。 - 請求項１に記載の物理量センサーにおいて、
前記凹部には、前記第２方向に延設されている第１突起を備えること、を特徴とする物理量センサー。 - 請求項１又は請求項２に記載の物理量センサーにおいて、
前記第１ストッパー部には、前記第２方向に延設されている第２ストッパー部が設けられていること、を特徴とする物理量センサー。 - 請求項３に記載の物理量センサーにおいて、
前記第２ストッパー部には、前記第１方向に延設されている第２突起が設けられていること、を特徴とする物理量センサー。 - 請求項３に記載の物理量センサーにおいて、
前記可動錘には、前記第２ストッパー部と対向する位置に第３突起が設けられていること、を特徴とする物理量センサー。 - 請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載した物理量センサーを搭載したことを特徴とする電子機器。
- 請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載した物理量センサーを搭載したことを特徴とする移動体。
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