JP6597099B2 - 物理量センサー、電子機器および移動体 - Google Patents
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Description
前記基板と対向して配置されている可動板と、
前記可動板を支持している支持部と、
前記可動板を前記基板に対して前記基板の厚さ方向に変位可能とするように、前記可動板と前記支持部とを連結している弾性変形可能な梁部と、
前記可動板と前記支持部との間に位置し、前記可動板の面内方向への変位を規制する第1規制部と、を有することを特徴とする。
これにより、第1規制部によって可動板の変位が規制されるため、可動板の支持部への衝突や、梁部の過度な変形を防ぐことができ、優れた機械的強度を有する物理量センサーが得られる。
これにより、第1規制部の配置が容易となる。また、例えば、第1規制部を可動板と一体形成することが可能となる。
前記第1規制部は、前記可動板の角部に設けられていることが好ましい。
これにより、可動板と支持部との接触を効果的に低減することができる。また、可動板の角部は、衝撃によって欠けたり、破損したりし易い箇所であるため、このような箇所を第1規制部で保護することで、可動板を効果的に保護することができる。
これにより、可動板と支持部とが接触し難くなる。
これにより、第1規制部の配置が容易となる。また、例えば、第1規制部を支持部と一体形成することが可能となる。
これにより、第1規制部を可動板や支持部と非接触で配置することができる。そのため、第1規制部が可動板や支持部の変位に影響を与えることがない。
前記梁部は、前記第1可動板と前記支持部とを連結している第1梁部と、前記第2可動板と前記支持部とを連結している第2梁部と、を有し、
前記第1可動板と前記第2可動板との間に位置し、前記第1可動板および前記第2可動板の面内方向への変位を規制する第2規制部を有することが好ましい。
これにより、第1可動板と第2可動板との接触を防ぐことができる。
これにより、第2規制部の配置が容易となる。
これにより、機械的強度に優れ、高い信頼性を有する電子機器が得られる。
これにより、機械的強度に優れ、高い信頼性を有する電子機器が得られる。
まず、本発明の第1実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
次に、本発明の第2実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
次に、本発明の第3実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図11は、本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
図14は、本発明の移動体を適用した自動車を示す斜視図である。
Claims (9)
- 基板と、
前記基板と対向して配置されている可動板と、
前記可動板を支持している支持部と、
前記可動板を前記基板に対して前記基板の厚さ方向に変位可能とするように、前記可動板と前記支持部とを連結している弾性変形可能な梁部と、
前記可動板と前記支持部との間に位置し、前記可動板の面内方向への変位を規制する第1規制部と、を有し、
前記可動板は、回動軸まわりに傾倒することで前記厚さ方向に変位し、前記回動軸に沿う方向の幅が前記回動軸から離間する方向に沿って漸減する部分を有していることを特徴とする物理量センサー。 - 前記第1規制部は、前記可動板に設けられている請求項1に記載の物理量センサー。
- 前記可動板は、平面視で矩形状をなし、
前記第1規制部は、前記可動板の角部に設けられている請求項2に記載の物理量センサー。 - 前記第1規制部は、前記支持部に設けられている請求項1に記載の物理量センサー。
- 前記第1規制部は、前記基板に設けられている請求項1に記載の物理量センサー。
- 基板と、
前記基板と対向して配置されている可動板と、
前記可動板を支持している支持部と、
前記可動板を前記基板に対して前記基板の厚さ方向に変位可能とするように、前記可動板と前記支持部とを連結している弾性変形可能な梁部と、
前記可動板と前記支持部との間に位置し、前記可動板の面内方向への変位を規制する第1規制部と、を有し、
前記可動板は、互いに並設されている第1可動板と、第2可動板と、を有し、
前記梁部は、前記第1可動板と前記支持部とを連結している第1梁部と、前記第2可動板と前記支持部とを連結している第2梁部と、を有し、
前記第1可動板と前記第2可動板との間に位置し、前記第1可動板および前記第2可動板の面内方向への変位を規制する第2規制部を有することを特徴とする物理量センサー。 - 前記第2規制部は、前記基板に設けられている請求項6に記載の物理量センサー。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の物理量センサーを有することを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の物理量センサーを有することを特徴とする移動体。
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