JP2013217650A - ジャイロセンサー、及び電子機器 - Google Patents
ジャイロセンサー、及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013217650A JP2013217650A JP2012085489A JP2012085489A JP2013217650A JP 2013217650 A JP2013217650 A JP 2013217650A JP 2012085489 A JP2012085489 A JP 2012085489A JP 2012085489 A JP2012085489 A JP 2012085489A JP 2013217650 A JP2013217650 A JP 2013217650A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass unit
- drive
- electrode
- detection
- gyro sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明のジャイロセンサー10は、検出部(可動質量部36A,36B)を備えた駆動質量部26A,26Bと、前記駆動質量部26A,26Bを第1方向(X軸方向)に振動させる駆動部(可動電極44、固定電極46A,46B)と、を有している。そして、前記駆動質量部26A,26Bは、前記第1方向に沿った側壁を備え、前記駆動質量部26A,26Bの前記側壁と対向する位置に、前記駆動質量部26A,26Bの前記第1方向に交差する方向の変位を検出するための検出電極48が配置されていることを特徴としている。
【選択図】図1
Description
そこで、本発明は、上記問題点に着目し、角速度をより正確に検出可能なジャイロセンサー及び電子機器を提供することを目的とする。
[適用例1]検出部を備えた駆動質量部と、前記駆動質量部を第1方向に振動させる駆動部と、を有し、前記駆動質量部は、前記第1方向に沿った側壁を備え、前記駆動質量部の前記側壁と対向する位置に、前記駆動質量部の前記第1方向に交差する方向の変位を検出するための検出電極が配置されていることを特徴とするジャイロセンサー。
上記構成により、駆動質量部の変位を、各検出電極と駆動質量部との間の静電容量の差分により検出することができるので、駆動質量部の感応性軸方向の変位を高感度に検出することができる。
特に、検出電極を第1梁部の長手方向の両端に配置した場合、各検出電極と駆動質量部との間の静電容量の変化にもとづいて各検出電極に印加する印加電圧を制御することにより、各検出電極の駆動質量部に対する静電引力を制御して駆動質量部の感応性軸方向の振動の振幅を低減することができる。これにより、検出される角速度における、駆動質量部の感応性軸方向の成分を低減することができる。
上記構成により、角速度をより正確に測定可能な電子機器となる。
端子24Hは、導電膜22Hを介して接合配線50Bに電気的に接続される。接合配線50Bは、導電膜22Nを介して、固定電極46Bを電気的に並列に接続している。これにより、端子24Hは、接合配線50B、導電膜22Nを介して固定電極46Bに電気的に接続される。
Claims (8)
- 検出部を備えた駆動質量部と、
前記駆動質量部を第1方向に振動させる駆動部と、を有し、
前記駆動質量部は、前記第1方向に沿った側壁を備え、
前記駆動質量部の前記側壁と対向する位置に、前記駆動質量部の前記第1方向に交差する方向の変位を検出するための検出電極が配置されていることを特徴とするジャイロセンサー。 - 前記検出電極は、前記第1方向に交差する方向に少なくとも一対配置されていることを特徴とする請求項1に記載のジャイロセンサー。
- 前記駆動質量部は、前記第1方向に延びる第1梁部と、前記第1方向に交差する方向に延びる第2梁部と、を備え、
前記検出電極は、前記第1梁部に対向して配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のジャイロセンサー。 - 前記検出電極は、前記第1梁部の長手方向の両端部の少なくとも一方に接近して設けられていることを特徴とする請求項3に記載のジャイロセンサー。
- 前記駆動部は、前記第1方向に沿って前記駆動質量部の前記側壁に複数設けられ、
前記検出電極は、
前記駆動部に隣接して配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載にジャイロセンサー。 - 前記駆動質量部の前記側壁と、前記側壁に対向する前記検出電極の側壁と、からは、電極指がそれぞれ前記振幅方向に並ぶように交互に延出していることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のジャイロセンサー。
- 前記検出電極は、前記駆動質量部の前記側壁に対向する側が幅広となっていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のジャイロセンサー。
- 請求項1乃至7のいずれか1項に記載のジャイロセンサーを搭載したことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012085489A JP6024163B2 (ja) | 2012-04-04 | 2012-04-04 | ジャイロセンサー、及び電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012085489A JP6024163B2 (ja) | 2012-04-04 | 2012-04-04 | ジャイロセンサー、及び電子機器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013217650A true JP2013217650A (ja) | 2013-10-24 |
JP2013217650A5 JP2013217650A5 (ja) | 2015-05-21 |
JP6024163B2 JP6024163B2 (ja) | 2016-11-09 |
Family
ID=49589931
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012085489A Expired - Fee Related JP6024163B2 (ja) | 2012-04-04 | 2012-04-04 | ジャイロセンサー、及び電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6024163B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105424020A (zh) * | 2015-10-30 | 2016-03-23 | 北京自动化控制设备研究所 | 一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构 |
JP2018165696A (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-25 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体 |
JP2019066278A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、電子機器および移動体 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05312576A (ja) * | 1992-05-08 | 1993-11-22 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JPH10103960A (ja) * | 1996-09-25 | 1998-04-24 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度検出装置 |
JPH11190635A (ja) * | 1997-10-16 | 1999-07-13 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 振動式角速度検出器 |
JP2001304866A (ja) * | 2000-04-19 | 2001-10-31 | Murata Mfg Co Ltd | ジャイロ装置及びそのクロストーク低減方法 |
JP2004294405A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-21 | Denso Corp | 角速度センサ装置及びその調整方法 |
US20060162448A1 (en) * | 2004-12-29 | 2006-07-27 | Stmicroelectronics S.R.L. | Micro-electro-mechanical gyroscope having electrically insulated regions |
JP2009098007A (ja) * | 2007-10-17 | 2009-05-07 | Denso Corp | 物理量センサ |
JP2010060372A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Denso Corp | 角速度センサ |
-
2012
- 2012-04-04 JP JP2012085489A patent/JP6024163B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05312576A (ja) * | 1992-05-08 | 1993-11-22 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JPH10103960A (ja) * | 1996-09-25 | 1998-04-24 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度検出装置 |
JPH11190635A (ja) * | 1997-10-16 | 1999-07-13 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 振動式角速度検出器 |
JP2001304866A (ja) * | 2000-04-19 | 2001-10-31 | Murata Mfg Co Ltd | ジャイロ装置及びそのクロストーク低減方法 |
JP2004294405A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-21 | Denso Corp | 角速度センサ装置及びその調整方法 |
US20060162448A1 (en) * | 2004-12-29 | 2006-07-27 | Stmicroelectronics S.R.L. | Micro-electro-mechanical gyroscope having electrically insulated regions |
JP2009098007A (ja) * | 2007-10-17 | 2009-05-07 | Denso Corp | 物理量センサ |
JP2010060372A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Denso Corp | 角速度センサ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105424020A (zh) * | 2015-10-30 | 2016-03-23 | 北京自动化控制设备研究所 | 一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构 |
JP2018165696A (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-25 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体 |
US10823570B2 (en) | 2017-03-28 | 2020-11-03 | Seiko Epson Corporation | Physical quantity sensor, physical quantity sensor device, electronic apparatus, and vehicle |
JP2019066278A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、電子機器および移動体 |
JP7098904B2 (ja) | 2017-09-29 | 2022-07-12 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、電子機器および移動体 |
US11561101B2 (en) | 2017-09-29 | 2023-01-24 | Seiko Epson Corporation | Physical quantity sensor, inertia measurement device, vehicle positioning device, electronic apparatus, and vehicle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6024163B2 (ja) | 2016-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6020793B2 (ja) | 物理量センサーおよび電子機器 | |
US9383383B2 (en) | Physical quantity sensor, manufacturing method thereof, and electronic apparatus | |
JP6338813B2 (ja) | ジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器 | |
JP2013181855A (ja) | 物理量センサーおよび電子機器 | |
JP6623634B2 (ja) | 物理量センサー、電子機器および移動体 | |
US9939268B2 (en) | Physical quantity sensor element, physical quantity sensor, electronic equipment, and movable body | |
US9939270B2 (en) | Physical quantity sensor element, physical quantity sensor, electronic equipment, and movable body | |
JP6024163B2 (ja) | ジャイロセンサー、及び電子機器 | |
JP6812830B2 (ja) | ジャイロセンサー、電子機器、および移動体 | |
JP6056177B2 (ja) | ジャイロセンサー、電子機器 | |
US11953324B2 (en) | Gyro sensor, electronic device, and vehicle | |
JP2014021037A (ja) | Memsデバイス、電子モジュール、電子機器、及び移動体 | |
US9939269B2 (en) | Physical quantity sensor element, physical quantity sensor, electronic equipment, and movable body | |
JP5958688B2 (ja) | ジャイロセンサーおよび電子機器 | |
JP2013213728A (ja) | ジャイロセンサーおよび電子機器 | |
JP2016206207A (ja) | ジャイロセンサーおよび電子機器 | |
JP7365647B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2013217727A (ja) | ジャイロセンサー、及び電子機器 | |
JP6597099B2 (ja) | 物理量センサー、電子機器および移動体 | |
JP6447049B2 (ja) | 物理量センサー、電子機器および移動体 | |
JP2018078204A (ja) | 半導体素子、半導体素子の製造方法、及び電子機器 | |
JP2013213785A (ja) | ジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器 | |
JP2016161531A (ja) | 物理量センサー、電子機器、および移動体 | |
JP2013234913A (ja) | ジャイロセンサー、電子機器 | |
JP2016180739A (ja) | センサーの製造方法、センサー、電子機器および移動体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150401 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150401 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160223 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160422 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160913 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160926 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6024163 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |