JP5493691B2 - ストッパの形成方法、力学量センサの製造方法及び力学量センサ - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態に係る凸状ストッパ100の構成を示す図である。図1(A)は凸状ストッパ100の平面図、図1(B)は(A)のA−A´線から見た凸状ストッパ100の断面図である。
次に、図2〜図4を参照して凸状ストッパ100を形成する方法について説明する。なお、図2〜図4では、説明を簡略化するため、一つの凸状ストッパ100を形成する場合を示す。
図2は、第2の半導体基板102の構成を示す図であり、(A)はその平面図、(B)は(A)のB−B´線から見た断面図である。第2の半導体基板102は、一方の面側にDRIE(Deep Reactive Ion Etching)等を用いて第1の溝部102aと第2の溝部102bが形成される。第1の溝部102aは、上記接合層103に対向する位置に形成される。第2の溝部102bは、上記接合層104に対向する位置の周囲に形成される。第2の溝部102bは、その内側に接合層103に接合される接合領域102cと、その外側に非接合領域102dにより設定する。第2の溝部102bは、単位領域(凸状ストッパが形成される領域)内に存在した環状溝であり、第2の半導体基板102をハーフカッとした際に非接合領域102dがバラバラにならず一体構造として残す機能を有する溝である。すなわち、第2の溝部102bは、後述する凸状ストッパ100の形成工程において、第2の溝部102bに残る第2の半導体基板102をダイシングによりハーフカットする溝であり、ハーフカッとした第2の半導体基板102が四散することを防止する溝である。その形状や寸法等は適宜変更可能である。
図3は、第1の半導体基板101の構成を示す図であり、(A)はその平面図、(B)は(A)のC−C´線から見た断面図である。第1の半導体基板101は、一方の面上に上記した接合層103,104を形成する。接合層103,104には、半導体基板101、102同士を接合する接着剤が用いられる。
次に、図4(A)に示すように、第2の半導体基板102の一方の面と第1の半導体基板101の接合層104が形成された面を対向させ、第2の半導体基板102の接合領域102cと接合層104が重なるように配置して、第2の半導体基板102と接合層104とを加圧して接合する。
次に、図4(B)及び(C)に示すように、第2の半導体基板102の他方の面から第2の溝部102bの形成位置に合わせてダイシングして、第2の半導体基板102の他方の面から第2の溝部102bに通じる開口102eを形成する。すなわち、第2の溝部102bの形成位置に合わせてダイシングして、接合領域102cの周囲をハーフカットすることにより、凸部110が形成される。なお、ハーフカットする際の深さは、例えば、200μmであり、上述の第2の溝部102bに残る第2の半導体基板102のみをカットすることになる。このハーフカットにより、第2の溝部102bの下方に位置する第1の半導体基板101はカットされない。また、ダイシングする際に、ダイシング装置のブレード(図示せず)は、第2の溝部102bに残る第2の半導体基板102の厚さより深めに入れる。
A:劈開する部分の厚さが薄い基板
B:劈開する部分の厚さが厚く、その部分を研磨して薄くする基板
何れの基板も劈開する場合は、その部分の機械的強度が低くなるように薄くする必要がある。劈開する部分の基板の厚さは、例えば、シリコン基板の場合、100μm以下、好ましくは50μm以下であることが好ましい。
図1〜図4に示した凸部110の形状は、その上面が矩形形状の角柱である場合を示したが、この形状に限定するものではない。凸部110の他の形状について、図5を参照して説明する。
次に、上記凸状ストッパ100を有する加速度センサチップの製造方法について、図9を参照して説明する。図9は、図4(D)に示した凸状ストッパ100を適用した加速度センサチップ400の概略構成を示す断面図である。
Claims (14)
- 外力により変位を生じる変位部に対向し、前記変位部の変位を規制する凸状ストッパを形成するストッパ形成方法であって、
第1の基板上に接合層を形成し、
第2の基板の一方の面に、前記接合層と接合される接合領域と、該接合領域の周囲に位置する非接合領域と、を定義し、前記接合領域と前記非接合領域の間に溝部を形成し、
前記第2の基板の一方の面と前記第1の基板の前記接合層が形成された面を対向させ、前記接合領域と前記接合層が重なるように配置して前記第2の基板と前記接合層を接合し、
前記第2の基板の他方の面から前記溝部に対応する位置に開口を形成し、前記接合領域と前記非接合領域を分離して、前記第2の基板の前記接合領域の部位が前記第1の基板に接合して構成された凸状ストッパが形成される、ことを特徴とするストッパ形成方法。 - 前記溝部の深さは、前記凸状ストッパの高さに合わせて設定することを特徴とする請求項1に記載のストッパ形成方法。
- 前記溝部は、DRIE法を用いて形成することを特徴とする請求項1又は2に記載のストッパ形成方法。
- 前記第2の基板の他方の面から前記溝部に対応する位置にダイシングを用いてハーフカットして前記開口を形成して前記接合領域と前記非接合領域を分離することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のストッパ形成方法。
- 前記第2の基板と前記接合層を接合した後、前記第2の基板を他方の面から薄化し、該第2の基板の他方の面から力を加えて該第2の基板を劈開させて、前記接合領域と前記非接合領域を分離することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のストッパ形成方法。
- 前記第1の基板上に複数の単位領域毎に前記接合層を形成し、
前記第2の基板の一方の面に、複数の前記接合領域及び前記非接合領域を定義し、複数の前記溝部を形成し、
前記第2の基板の一方の面と前記第1の基板の前記複数の接合層が形成された面を対向させ、前記複数の接合領域と前記複数の接合層が重なるように配置して前記第2の基板と前記複数の接合層を接合し、
前記第2の基板の他方の面から前記複数の溝部に対応する各位置に複数の前記開口を形成し、前記複数の接合領域と前記複数の非接合領域を一括して分離して、前記第2の基板の前記複数の接合領域の部位が前記第1の基板に接合して構成された複数の前記凸状ストッパが形成される、ことを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載のストッパ形成方法。 - 外力により変位を生じる変位部と、前記変位部の変位を規制する凸状ストッパと、を有する力学量センサを製造する力学量センサの製造方法であって、
第1の基板上に接合層を形成し、
第2の基板の一方の面に、前記接合層と接合される接合領域と、該接合領域の周囲に位置する非接合領域と、を定義し、前記接合領域と前記非接合領域の間に溝部を形成し、
前記第2の基板の一方の面と前記第1の基板の前記接合層が形成された面を対向させ、前記接合領域と前記接合層が重なるように配置して前記第2の基板と前記接合層を接合し、
前記第2の基板の他方の面から前記溝部に対応する位置に開口を形成し、前記接合領域
と前記非接合領域を分離して、前記第2の基板の前記接合領域の部位が前記第1の基板に接合して構成された凸状ストッパを形成し、
第3の基板を用いて前記変位部を形成し、
前記第1の基板の前記凸状ストッパが形成された面と前記変位部を対向させ、前記凸状ストッパと前記変位部が対向するように配置する、ことを特徴とする力学量センサの製造方法。 - 前記第1の溝部の深さは、前記凸状ストッパの高さに合わせて設定されることを特徴とする請求項7に記載の力学量センサの製造方法。
- 前記溝部は、DRIE法を用いて形成されることを特徴とする請求項7又は8に記載の力学量センサの製造方法。
- 前記第2の基板の他方の面から前記溝部に対応する位置にダイシングを用いてハーフカットして前記開口を形成して前記接合領域と前記非接合領域を分離することを特徴とする請求項7乃至9の何れか一項に記載の力学量センサの製造方法。
- 前記第2の基板と前記接合層を接合した後、前記第2の基板を他方の面から薄化し、該第2の基板の他方の面から力を加えて該第2の基板を劈開して前記開口を形成して前記接合領域と前記非接合領域を分離することを特徴とする請求項7乃至9の何れか一項に記載の力学量センサの製造方法。
- 前記第1の基板上に複数の単位領域毎に前記接合層を形成し、
前記第2の基板の一方の面に、複数の前記接合領域及び前記非接合領域を定義し、複数の前記溝部を形成し、
前記第2の基板の一方の面と前記第1の基板の前記複数の接合層が形成された面を対向させ、前記複数の接合領域と前記複数の接合層が重なるように配置して前記第2の基板と前記複数の接合層を接合し、
前記第2の基板の他方の面から前記複数の溝部に対応する各位置に複数の前記開口を形成し、前記複数の接合領域と前記複数の非接合領域を一括して分離して、前記第2の基板の前記複数の接合領域の部位が前記第1の基板に接合して構成された複数の前記凸状ストッパを形成し、
前記第3の基板を用いて複数の前記変位部を形成し、
前記第1の基板の前記複数の凸状ストッパが形成された面と前記複数の変位部を各々対向させ、前記複数の凸状ストッパと前記複数の変位部が対向するように配置する、ことを特徴とする請求項7乃至11の何れか一項に記載の力学量センサの製造方法。 - 基板と、
前記基板の一方の面上において第1領域と当該第1領域から離隔した第2領域とに設けられた接合層と、
前記接合層の前記第1領域に接合された凸部と、
前記凸部と対向して配置され、外力により変位を生じる変位部と、
前記変位部を収容するケースと、
前記接合層の前記第2領域に接合され、変位を生じていないときの前記変位部と前記凸部とが離隔するように前記基板と前記ケースとの間に設けられたスペーサと、
を備えることを特徴とする力学量センサ。 - 前記接合層は、加圧して接着可能な樹脂であることを特徴とする請求項13に記載の力学量センサ。
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