JP2015021787A - 機能素子、電子機器、および移動体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る機能素子100は、第1軸に沿って変位可能な可動体20と、可動体20を連結部40で支持する固定部30と、可動体20から延出している可動電極部8と、可動電極部8に対向して配置されている固定電極部71と、固定部30から延出し、可動電極部8の側面と対向する対向部61aを備えた延出部61と、を含み、対向部61aと可動電極部8との間の距離L1は、固定電極部71と可動電極部8との間の距離L2よりも小さい。
【選択図】図1
Description
Systems)技術を用いて、加速度等の物理量を検出する物理量センサー(機能素子)が開発されている。
本適用例に係る機能素子は、
第1軸に沿って変位可能な可動体と、
前記可動体を連結部で支持する固定部と、
前記可動体から延出している可動電極部と、
前記可動電極部に対向して配置されている固定電極部と、
前記固定部から延出し、前記可動電極部の側面と対向する対向部を備えた延出部と、
を含み、
前記対向部と前記可動電極部との間の距離は、前記固定電極部と前記可動電極部との間
の距離よりも小さい。
本適用例に係る機能素子において、
前記可動電極部は、前記第1軸に沿って複数設けられ、
前記対向部と前記対向部に対向する前記可動電極部との間の距離は、前記固定電極部と他の前記可動電極部との間の距離よりも小さくてもよい。
本適用例に係る機能素子において、
前記可動電極部は、前記第1軸に沿って複数設けられ、
前記対向部に対する前記可動電極部の幅は、他の可動電極部の幅よりも大きくてもよい。
本適用例に係る機能素子において、
前記延出部の前記対向部、および前記可動電極部の前記対向部と対向している部分の少なくとも一方には、突起部が設けられていてもよい。
本適用例に係る機能素子において、
前記延出部は、
前記固定部から前記第1軸に交差する前記第2軸に沿って延出している第1部分と、
前記第1部分から前記第1軸の方向に延出し、端部に前記第1対向部を備えた第2部分と、
を備えていてもよい。
本適用例に係る機能素子において、
前記固定部、前記延出部、前記連結部、前記可動電極部、および前記可動体は、一体に設けられていてもよい。
本適用例に係る機能素子において、
前記延出部は、前記可動電極部の先端面と対向する部分を備えていてもよい。
本適用例に係る機能素子において、
前記連結部は、前記第1軸を境に一方側に配置された第1連結部と、他方側に配置された第2連結部と、を含み、
前記可動体は、前記第1連結部と前記第2連結部との間に延出して設けられていてもよい。
本適用例に係る機能素子において、
前記可動体の延出した部分の端部と前記固定部の端部との距離は、前記固定電極部と前記可動電極部の間の距離よりも小さくてもよい。
本適用例に係る機能素子において、
前記可動電極部は、前記第1軸と交差する第2軸に沿って、前記可動体の一端から延出する第1可動電極部と、前記一端とは反対側の他端から延出する第2可動電極部と、を備え、
前記固定部から延出し、前記第1可動電極部の側面と対向する第1対向部を備えた前記延出部としての第1延出部と、
前記固定部から延出し、前記第2可動電極部の側面と対向する第2対向部を備えた前記延出部としての第2延出部と、を備えていてもよい。
本適用例に係る機能素子において、
前記固定部は、第1固定部および第2固定部を備え、
前記可動体は、連結部で前記第1固定部および前記第2固定部に支持され、
前記可動電極部は、前記第1軸と交差する第2軸に沿って、前記可動体の一端から延出する第1可動電極部と、前記一端とは反対側の他端から延出する第2可動電極部と、を備え、
前記第1固定部から延出し、前記第1可動電極部の側面と対向する第1対向部を備えた前記延出部としての第1延出部と、
前記第2固定部から前記第1延出部とは反対方向に延出し、前記第2可動電極部の側面と対向する第3対向部を備えた前記延出部としての第3延出部と、を備えていてもよい。
本適用例に係る電子機器は、
適用例1ないし11のいずれか1例に記載の機能素子を含む。
本適用例に係る移動体は、
適用例1ないし11のいずれか1例に記載の機能素子を含む。
1.1. 機能素子
まず、第1実施形態に係る機能素子について、図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る機能素子100を模式的に示す平面図である。図2は、第1実施形態に係る機能素子100を模式的に示す図1のII−II線断面図である。
、可動電極部8、および延出部61〜64の材質は、例えば、リンやボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。可動体20、固定部30,32、連結部40,44、可動電極部8、および延出部61〜64は、互いに電気的に接続され、等電位を有することができる。
、第4可動電極指54は、3つ設けられているが、その数は、特に限定されない。
は、連結部40の梁42を囲むように設けられている。第4延出部64および第6可動電極指56は、第2連結部44の梁45を囲むように設けられている。
固定電極部72は、中心Cに関して、第1固定電極部71と点対称に設けられていてもよい。
第2可動電極指52が第1固定電極部71に衝突する前に、第1可動電極指51が第1対向部61aに衝突する。したがって、機能素子100では、第2可動電極指52および第1固定電極部71が破損することを抑制することができる。
可動電極指54が第2固定電極部72に衝突する前に、第3可動電極指53が第3対向部63aにする。したがって、機能素子100では、第4可動電極指54および第2固定電極部72が破損することを抑制することができる。
次に、第1実施形態に係る機能素子の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図3〜図5は、第1実施形態に係る機能素子100の製造工程を模式的に示す断面図であって、図2に対応している。
ラフィーおよびエッチングによりパターニングして)、凹部14および溝部16,17,18を形成する。本工程により、凹部14および溝部16,17,18が形成された基板10を得ることができる。
1.3.1. 第1変形例
次に、第1実施形態の第1変形例に係る機能素子について、図面を参照しながら説明する。図6は、第1実施形態の変形例に係る機能素子200を模式的に示す平面図である。
幅W2,W4よりも大きい。
次に、第1実施形態の第2変形例に係る機能素子について、図面を参照しながら説明する。図7は、第1実施形態の第2変形例に係る機能素子300を模式的に示す平面図である。
離Dと等しいことが好ましい。さらに、距離D5は、第4延出部64の第8部分64cと梁45との間の距離D6と等しいことが好ましい。同様に、第2凸部22と梁46との間の距離D7は、距離Dと等しいことが好ましい。さらに、距離D7は、第2延出部62の第4部分62cと梁46との間の距離D8と等しいことが好ましい。
2.1. 機能素子
次に、第2実施形態に係る機能素子について、図面を参照しながら説明する。図8は、第2実施形態に係る機能素子400を模式的に示す平面図である。
起部65と第1可動電極指51との間の距離T1は、可動体20と固定電極部71,74との間の距離H1よりも小さい。
次に、第2実施形態の機能素子の製造方法について、説明する。第2実施形態の機能素子の製造方法は、第1実施形態の機能素子の製造方法と、基本的に同じである。よって、その説明を省略する。
次に、第2実施形態の変形例に係る機能素子について、図面を参照しながら説明する。図9は、第2実施形態の変形例に係る機能素子500を模式的に示す平面図である。
いる。図示の例では、部分261,262,263,264の各々は、2つの突起部65を有している。
次に、第3実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。第3実施形態に係る電子機器は、本発明に係る機能素子を含む。以下では、本発明に係る機能素子として、機能素子100を含む電子機器について、説明する。
d Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
次に、第4実施形態に係る移動体について、図面を参照しながら説明する。第4実施形態に係る移動体は、本発明に係る物理量センサーを含む。以下では、本発明に係る物理量センサーとして、機能素子100を含む移動体について、説明する。
nic Control Unit)1504が搭載されている。また、機能素子100は、他にも、車体姿勢制御ユニット、アンチロックブレーキシステム(ABS)、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、に広く適用することができる。
Claims (13)
- 第1軸に沿って変位可能な可動体と、
前記可動体を連結部で支持する固定部と、
前記可動体から延出している可動電極部と、
前記可動電極部に対向して配置されている固定電極部と、
前記固定部から延出し、前記可動電極部の側面と対向する対向部を備えた延出部と、
を含み、
前記対向部と前記可動電極部との間の距離は、前記固定電極部と前記可動電極部との間の距離よりも小さい、機能素子。 - 請求項1において、
前記可動電極部は、前記第1軸に沿って複数設けられ、
前記対向部と前記対向部に対向する前記可動電極部との間の距離は、前記固定電極部と他の前記可動電極部との間の距離よりも小さい、機能素子。 - 請求項1または2において、
前記可動電極部は、前記第1軸に沿って複数設けられ、
前記対向部に対向する前記可動電極部の幅は、他の前記可動電極部の幅よりも大きい、機能素子。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記延出部の前記対向部、および前記可動電極部の前記対向部と対向している部分の少なくとも一方には、突起部が設けられている、機能素子。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記延出部は、
前記固定部から前記第1軸に交差する前記第2軸に沿って延出している第1部分と、
前記第1部分から前記第1軸の方向に延出し、端部に前記対向部を備えた第2部分と、を備える、機能素子。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記固定部、前記延出部、前記連結部、前記可動電極部、および前記可動体は、一体に設けられている、機能素子。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、
前記延出部は、前記可動電極部の先端面と対向する部分を備える、機能素子。 - 請求項1ないし7のいずれか1項において、
前記連結部は、前記第1軸を境に一方側に配置された第1連結部と、他方側に配置された第2連結部と、を含み、
前記可動体は、前記第1連結部と前記第2連結部との間に延出して設けられている、機能素子。 - 請求項8において、
前記可動体の延出した部分の端部と前記固定部の端部との距離は、前記固定電極部と前記可動電極部の間の距離よりも小さい、機能素子。 - 請求項1ないし9のいずれか1項において、
前記可動電極部は、前記第1軸と交差する第2軸に沿って、前記可動体の一端から延出
する第1可動電極部と、前記一端とは反対側の他端から延出する第2可動電極部と、を備え、
前記固定部から延出し、前記第1可動電極部の側面と対向する第1対向部を備えた前記延出部としての第1延出部と、
前記固定部から延出し、前記第2可動電極部の側面と対向する第2対向部を備えた前記延出部としての第2延出部と、を備える、機能素子。 - 請求項1ないし9のいずれか1項において、
前記固定部は、第1固定部および第2固定部を備え、
前記可動体は、前記連結部で前記第1固定部および前記第2固定部に支持され、
前記可動電極部は、前記第1軸と交差する第2軸に沿って、前記可動体の一端から延出する第1可動電極部と、前記一端とは反対側の他端から延出する第2可動電極部と、を備え、
前記第1固定部から延出し、前記第1可動電極部の側面と対向する第1対向部を備えた前記延出部としての第1延出部と、
前記第2固定部から前記第1延出部とは反対方向に延出し、前記第2可動電極部の側面と対向する第3対向部を備えた前記延出部としての第3延出部と、を備える、機能素子。 - 請求項1ないし11のいずれか1項に記載の機能素子を含む、電子機器。
- 請求項1ないし11のいずれか1項に記載の機能素子を含む、移動体。
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