JP2000206142A - 半導体力学量センサおよびその製造方法 - Google Patents

半導体力学量センサおよびその製造方法

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JP2000206142A
JP2000206142A JP11262319A JP26231999A JP2000206142A JP 2000206142 A JP2000206142 A JP 2000206142A JP 11262319 A JP11262319 A JP 11262319A JP 26231999 A JP26231999 A JP 26231999A JP 2000206142 A JP2000206142 A JP 2000206142A
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semiconductor
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electrode
sensor
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Mineichi Sakai
峰一 酒井
Yukihiro Takeuchi
竹内　　幸裕
Ineo Toyoda
稲男 豊田
Seiichiro Ishio
誠一郎 石王
Toshimasa Yamamoto
山本　　敏雅
Eiji Kawasaki
栄嗣 川崎
Minoru Murata
稔 村田
Koji Muto
浩司 武藤
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Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • G01P2015/0811—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass
    • G01P2015/0814—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass for translational movement of the mass, e.g. shuttle type

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体基板の半導体層に溝を形成することに
より可動電極及び当該可動電極と対向する固定電極とを
形成してなる半導体加速度センサにおいて、ハンドリン
グで発生する静電気力による可動電極と固定電極との付
着を防止する。 【解決手段】 加速度センサ１００のセンサ部１０１
は、第１の半導体層１ａに支持され加速度の印加に応じ
て変位する重錘部６及びこの重錘部６に一体形成された
可動電極９ａ、９ｂからなる可動部２と、該可動電極９
ａ、９ｂの検出面と対向する検出面を有し第１の半導体
層１ａに支持された固定電極３ｂ、４ｂとを有する。セ
ンサ部１０１の外周には、ハンドリングで接触するハン
ドリング部１０２が溝１０３を介して設けられ、この溝
１０３によって両部１０１、１０２は電気的に絶縁され
ている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板の半導
体層に溝を形成することにより可動電極及び当該可動電
極と対向する固定電極とを形成してなる半導体力学量セ
ンサ及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】本出願人は、この種の半導体力学量セン
サとして、先に、特願平１０−１２７４１９号に記載の
ものを提案している。この先願技術を図１５に示す。こ
のものは、容量検出型の半導体加速度センサであり、半
導体基板Ｊ１に固定されたアンカー部Ｊ２に支持された
梁状の弾性を有する重錘支持部Ｊ３と、この重錘支持部
Ｊ３と連結された重錘部Ｊ４と、重錘部Ｊ４と一体形成
された櫛歯状の可動電極Ｊ５とからなる可動部Ｊ６を備
えるとともに、当該可動電極Ｊ５と対向した櫛歯状の固
定電極Ｊ７、Ｊ８が半導体基板Ｊ１に片持ち支持されて
いる。
【０００３】このような半導体加速度センサにおいて
は、通常、フォトリソグラフィ技術を用い、半導体基板
の半導体層をエッチング液でエッチングすることによ
り、可動部Ｊ６及び固定電極Ｊ７、Ｊ８等がリリースさ
れた構造体を形成する。
【０００４】そして、印加加速度に応じて可動電極Ｊ５
の検出面と固定電極Ｊ７、Ｊ８の検出面との間の距離の
うち一方が増加すると他方が減少するので、その距離変
化に応じた容量変化を差動検出することにより印加加速
度を検出することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構造体を形成してなるセンサにおいては、可動部Ｊ
６と半導体基板Ｊ１や固定電極Ｊ７、Ｊ８等の固定部と
の間で付着（スティッキング）が起こるという問題があ
る。この付着は、構造体が半導体であることから、接触
した部分においてファン・デル・ワールス力による結合
や水素結合が生じるためと考えられる。本発明者等は、
上記付着について検討を進めたところ、以下のような付
着の原因があることがわかった。
【０００６】１つ目の原因は、取り扱い時のハンドリン
グで発生する静電気力である。例えば、上述のようにフ
ォトリソグラフィにより構造体を形成したセンサを、治
具を用いて取り扱うが、その際に、治具はセンサのどこ
かに接触しなければならない。治具がセンサに接触する
と、局所的に帯電して可動部Ｊ６と上記固定部に電位差
が生じ、対向する両部が静電気力で互いに引きつけられ
接触し、両者は付着したまま離れなくなってしまう。
【０００７】２つ目の原因は、センサの製造に用いられ
るエッチング液または洗浄用の液体の表面張力である。
可動部Ｊ６と上記固定部をリリースするエッチング（リ
リースエッチング）を行った後、例えば純水等の液体に
浸漬しエッチング液を十分置換した後、室温で乾燥、蒸
発させるが、この時に、可動部Ｊ６と該固定部の間に残
った液体の表面張力により両者が引きつけられ付着す
る。
【０００８】この表面張力による付着は、例えば、狭い
間隔で対向する可動電極Ｊ５の検出面と固定電極Ｊ７、
Ｊ８の検出面との間（検出間隔）や、弾性変形を行う重
錘支持部Ｊ３とこの重錘支持部Ｊ３の変位方向に対向す
る固定部との間で、発生しやすい。これは、次の理由に
よる。
【０００９】容量式センサの感度を上げるためには検出
容量を大きくとることが有効であることから、可動電極
Ｊ５及び固定電極Ｊ７、Ｊ８の検出面における対向面積
を大きくしたり、その間隔を狭くすることが好ましい。
さらには、加速度（力学量）による変位を大きくするた
めに検出方向即ち可動電極Ｊ５と固定電極Ｊ７、Ｊ８と
の間隔が変わる方向のバネ定数を低くする方法も有効で
ある。つまり、可動電極Ｊ５や重錘支持部Ｊ３の検出方
向へのバネ定数を低くすることが行われる。
【００１０】対向する面の間に溜まった液体の表面張力
による引っ張り力は、液体に接する面積とその間隔に依
存し、面積が大きく間隔が小さいほど大きいことが知ら
れている。一方、液体は蒸発が進むと、毛細管現象によ
り最終的に狭いところに溜まる傾向を示す。従って、間
隔の狭い可動電極Ｊ５と固定電極Ｊ７、Ｊ８との間に液
体が溜まりやすく、液体に接する面積も大きいことから
非常に大きな表面張力が生じ、かつバネ定数も小さいた
めに付着が生じる。また、重錘支持部Ｊ３も、そのバネ
定数が小さいことから、表面張力によって対向部分に付
着しやすくなる。即ち、感度の大きなセンサを製作しよ
うとすると、これらの間に付着を起こしやすくなるので
ある。
【００１１】３つ目の原因は、例えば、取り扱い時に落
下させてしまった時等に発生する外部からセンサに加わ
る過大な衝撃（加速度）である。この衝撃によって、可
動部Ｊ６の変位方向に過大な力が加わると、可動電極Ｊ
５と固定電極Ｊ７、Ｊ８とが狭い検出間隔にて接触して
付着が起こる。ちなみに、付着した部分では、上記のよ
うな結合が生じると考えられ、この結合力を上回る構造
体の復元（バネ）力を与えればリリースされるが、力学
量による変位も小さくなり、センサ感度の低下を招くた
め好ましくない。
【００１２】本発明は上記問題に鑑み、ハンドリングで
発生する静電気力による付着を防止することを第１の目
的とし、センサの製造時における液体の表面張力による
付着を防止することを第２の目的とし、外部からセンサ
に加わる過大な衝撃による可動電極と固定電極との付着
を防止することを第３の目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】請求項１〜請求項６記載
の発明は上記第１の目的を達成する為になされたもので
ある。請求項１記載の発明では、半導体基板（１ａ）に
支持され力学量の印加に応じて変位する重錘部（６）及
びこの重錘部（６）に一体形成された可動電極（９ａ、
９ｂ）からなる可動部（２）と、可動電極（９ａ、９
ｂ）の検出面と対向する検出面を有し半導体基板（１
ａ）に支持された固定電極（３ｂ、４ｂ）とを有するセ
ンサ部（１０１）を備える半導体力学量センサにおい
て、ハンドリングで接触するハンドリング部（１０２、
１ｅ）とセンサ部（１０１）との間を電気的に絶縁する
絶縁部（１０３、１１３）を設けたことを特徴としてい
る。
【００１４】それによって、ハンドリング時に、治具を
ハンドリング部（１０２、１ｅ）のみにふれるようにす
れば、センサ部（１０１）の帯電を防止し、ハンドリン
グで発生する静電気力による付着（スティッキング）を
防止することができる。
【００１５】ここで、請求項２記載の発明のように、ハ
ンドリング部（１０２）をセンサ部（１０１）の外周に
形成したものとすれば、ハンドリングしやすくでき、更
に、請求項３記載の発明のように、ハンドリング部（１
０２）をセンサ部（１０１）の外周の全周に渡って形成
すれば、全方向からハンドリングできる。
【００１６】また、請求項４記載の発明によれば、半導
体基板（１ａ）の一面側に設けられた半導体層（１ｂ）
によりセンサ部（１０１）及びハンドリング部（１０
２）を構成し、半導体層（１ｂ）を分割する溝（１０
３）を絶縁部として両部（１０１、１０２）を電気的に
絶縁したことを特徴としている。それによって、両部
（１０１、１０２）を同一材料とした簡単な構成とでき
る。
【００１７】また、請求項５記載の発明は、請求項４に
記載の半導体力学量センサの製造方法に係るものであ
り、半導体層（１ｂ）をエッチングすることにより、セ
ンサ部（１０１）、溝（１０３）およびハンドリング部
（１０２）を同時に形成することを特徴としており、セ
ンサ部（１０１）、溝（１０３）およびハンドリング部
（１０２）を同時に形成できるから、製造工程を増やす
ことなく簡単な製造方法とできる。
【００１８】また、請求項６記載の発明によれば、半導
体基板（１ａ）の一面側に絶縁層（１ｃ）を介して半導
体層（１ｂ）を設けた構成において、半導体層（１ｂ）
によりセンサ部（１０１）を構成し、このセンサ部（１
０１）よりも外周側の半導体層（１ｂ）を除去すること
によって絶縁層（１ｃ）を露出させ、この露出した絶縁
層（１ｃ）の外周端部（１ｅ）をハンドリング部として
構成したことを特徴としている。
【００１９】本発明では、絶縁層の外周端部（１ｅ）を
ハンドリング部としているため、センサ部を構成する半
導体層（１ｂ）とハンドリング部とは、結果的に絶縁層
（１ｃ）を絶縁部として電気的に絶縁される。また、本
発明では、請求項４の発明のように、センサ部の外周に
溝を介してセンサ部と同じ半導体層にてハンドリング部
を形成した場合に比べて、ハンドリング部の機械的強度
を強いものとできるため、ハンドリング部の欠け等の可
能性を低減できる。
【００２０】次に、請求項７〜請求項１９記載の発明は
上記第２の目的を達成する為になされたものである。請
求項７記載の発明では、半導体力学量センサにおいて、
可動電極（９ａ、９ｂ）および固定電極（３ｂ、４ｂ）
の少なくとも一方における検出面以外の部分に、これに
対向する対向部との間に検出面における検出間隔よりも
狭い間隔を有する狭小部（２０、２１、２３）を設けた
ことを特徴としている。
【００２１】本発明によれば、リリースエッチング後の
蒸発工程において、可動電極（９ａ、９ｂ）と固定電極
（３ｂ、４ｂ）間にあった液体は蒸発が進むにつれ、毛
細管現象により狭小部（２０、２１、２３）に溜まり、
上記検出間隔に液体が溜まらない。
【００２２】大きな面積を有する検出間隔に液体が溜ま
らなければ、蒸発と共に生じる表面張力による引っ張り
力も小さくなり、付着を抑えることができる。よって、
本発明によれば、検出間隔における液体の表面張力によ
る付着を防止することができる。
【００２３】また、請求項８ないし請求項１０記載の発
明は、可動電極（９ａ、９ｂ）が重錘部（６）から突出
して延びる梁形状をなし、固定電極（３ｂ、４ｂ）が、
半導体基板（１ａ）に固定され重錘部（６）と対向する
支持部（３ａ、４ａ）から突出して延びる梁形状をなし
ており、両電極（３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂ）における梁
の長手方向の面が互いに対向して検出間隔を構成してい
る梁形電極構成の半導体力学量センサについてなされた
ものである。
【００２４】請求項８記載の発明においては、狭小部
（２０）を、可動電極（９ａ、９ｂ）の先端部とそれに
対向する対向部との間に設けたことを特徴としており、
請求項９記載の発明においては、狭小部（２１）を、固
定電極（３ｂ、４ｂ）の先端部とそれに対向する対向部
との間に設けたことを特徴としている。
【００２５】これら請求項８及び９記載の発明によれ
ば、可動電極（９ａ、９ｂ）と固定電極（３ｂ、４ｂ）
間にあった液体は蒸発が進むにつれ狭小部（２０、２
１）に集まり、両電極（３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂ）の検
出間隔における液体の表面張力による付着を防止するこ
とができる。ここで、狭小部（２０、２１）には表面張
力が生じるが、狭小部（２０、２１）は可動電極（９
ａ、９ｂ）もしくは固定電極（３ｂ、４ｂ）の先端部と
その対向部との間に形成されているため、その面積は検
出間隔における対向面積よりも大幅に小さく、また、表
面張力の働く方向（梁の長手方向）のバネ定数も格段に
大きくでき、付着は生じない。
【００２６】また、請求項１０記載の発明は、梁形電極
構成の半導体力学量センサにおいて、更に、可動及び固
定の両電極（３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂ）が、検出間隔と
は反対側に位置する梁の長手方向の面を非検出面として
互いに対向しており、狭小部（２３）を、両電極（３
ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂ）の非検出面が対向する部分の一
部に設けたことを特徴としている。
【００２７】両電極（３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂ）の非検
出面が対向する部分の一部を、狭小部（２３）とするこ
とで、狭小部（２３）の面積を検出間隔における対向面
積よりも大幅に小さくでき、液体の表面張力による付着
は生じない。
【００２８】また、請求項１１記載の発明では、半導体
力学量センサにおいて、重錘支持部（７ａ、７ｂ）とこ
れに対向する対向部との間のうち重錘支持部（７ａ、７
ｂ）の変位方向と異なる方向に位置する部分（変位方向
でない部分）に、それ以外の部分の間隔よりも狭い間隔
を有する狭小部（２２）を設けたことを特徴としてい
る。
【００２９】上述のように、液体の表面張力による付着
は、重錘支持部における変位間隔で起こりやすいが、本
発明によれば、上記変位方向でない部分に、重錘支持部
（７ａ、７ｂ）の変位方向における重錘支持部（７ａ、
７ｂ）とその対向部との間（変位方向部分）の間隔隔よ
りも狭い間隔を有する狭小部（２２）を設けているか
ら、重錘支持部（７ａ、７ｂ）とこれに対向する対向部
との間にあった液体は蒸発が進むにつれ狭小部（２２）
に集まり、上記変位方向部分における液体の表面張力に
よる付着を防止することができる。
【００３０】また、請求項１２記載の発明によれば、請
求項７ないし請求項１０に記載の半導体力学量センサに
おいて、請求項１１記載の発明の作用効果を付加した半
導体力学量センサを提供することができる。
【００３１】また、請求項１３記載の発明は、請求項１
１及び請求項１２記載の半導体力学量センサにおいて、
重錘支持部（７ａ、７ｂ）を梁形状且つその梁の長手方
向と直交する方向に変位するものとし、狭小部（２２）
を、重錘支持部（７ａ、７ｂ）の先端部とこれに対向す
る対向部との間に設けたことを特徴としている。
【００３２】本発明によれば、狭小部（２２）を、重錘
支持部（７ａ、７ｂ）の先端部とこれに対向する対向部
との間に設けることで、その面積は検出間隔における対
向面積よりも大幅に小さく、また、表面張力の働く方向
（梁の長手方向）のバネ定数も格段に大きくでき、付着
は生じない。
【００３３】また、請求項１４記載の発明では、請求項
７ないし請求項１３の狭小部（２０〜２３）が、狭小部
（２０〜２３）における互いの対向部のうち少なくとも
一方の対向部から突出する突起部（２０ａ〜２０ｄ）を
有し、この突起部（２０ａ〜２０ｄ）における互いの対
向部の間隔が狭小部（２０〜２３）の間隔となっている
ことを特徴としており、突起部（２０ａ〜２０ｄ）によ
って小さな対向面積を実現でき、表面張力を抑えること
ができる。
【００３４】また、請求項１５記載の発明では、突起部
（２０ａ、２０ｂ）を、狭小部（２０〜２３）における
互いの対向部のうちいずれか一方の対向部に一つのみ形
成したことを特徴とし、突起部（２０ａ、２０ｂ）を一
つだけにすることで更に小さな対向面積を実現し、表面
張力を低減できる。
【００３５】また、請求項１６記載の発明では、突起部
（２０ｃ、２０ｄ）を、狭小部（２０〜２３）における
互いの対向部の両方に一つずつ形成され、これら両突起
部（２０ｃ、２０ｄ）の間隔が狭小部（２０〜２３）の
間隔となっていることを特徴とし、対向する両側に突起
部（２０ｃ、２０ｄ）を設けることで請求項１５の発明
に加えてさらに微小な対向面積を実現し、表面張力を低
減できる。
【００３６】また、請求項１７及び請求項１８記載の発
明では、請求項８、９、１３に記載の各先端部におい
て、先端部の角がとれているために液体がスムーズに当
該先端部に移動しやすくなり、引っ張り力を抑えること
ができる。
【００３７】また、請求項１９記載の発明によれば、請
求項８、９、１３、１７、１８に記載の先端部との対向
面に、当該先端部の周囲から当該先端部に近づくように
傾斜した傾斜面（２０ｅ〜２０ｇ）を形成しているか
ら、さらに、液体が傾斜面（２０ｅ〜２０ｇ）に沿って
当該先端部に移動しやすくなり、引っ張り力を抑えるこ
とができる。
【００３８】次に、請求項２０〜請求項２２記載の発明
は上記第３の目的を達成する為になされたものである。
請求項２０記載の発明では、半導体力学量センサにおい
て、可動部（２）の変位方向に、半導体基板（１ａ）に
固定されたストッパ部（３０、３１）を、可動及び固定
の両電極（３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂ）の検出面における
間隔よりも狭い間隔を持って可動部（２）に対向して設
けたことを特徴としている。
【００３９】本発明によれば、外部からセンサに過大な
衝撃が加わったとき、可動部（２）は、まずストッパ部
（３０、３１）に当たって止まるため、両電極（３ｂ、
４ｂ、９ａ、９ｂ）が狭い検出間隔にて接触せず、付着
を防止できる。
【００４０】また、請求項２１記載の発明では、ストッ
パ部（３０、３１）の可動部（２）と対向する面に、こ
の面から可動部（２）に向かって突出する突起部（３０
ａ、３１ａ）を設けたことを特徴としており、請求項２
０の発明に加えて、ストッパ部（３０、３１）と可動部
（２）との接触面積を小さくし、両者を付着しにくくで
きる。
【００４１】また、請求項２２記載の発明では、ストッ
パ部（３０、３１）と可動部（２）とを電気的に接続し
たことを特徴としており、請求項２０及び２１の発明に
加えて、ストッパ部（３０、３１）と可動部（２）とが
当電位となるので、静電気力による両者の付着を防ぐこ
とができる。
【００４２】また、請求項２３〜請求項２５記載の発明
は半導体力学量センサの製造方法に係るもので、上記第
２の目的を達成するためになされたものである。即ち、
請求項２３記載の発明においては、半導体基板（１ａ）
上に可動部（２）及び固定電極（９ａ、９ｂ）を形成し
た後、少なくとも可動部（２）の下部をエッチング液を
用いてエッチングすることにより、可動部（２）と固定
電極（９ａ、９ｂ）とがリリースされた構造体（１１
０）を形成するリリース工程と、構造体（１１０）をエ
ッチング液を置換させるための液体に浸漬し、取出した
後、残った液体を蒸発させる蒸発工程とを備え、該蒸発
工程において、前記液体からの取出しを行った後、構造
体（１１０）を加熱しながら蒸発を行うことを特徴とし
ている。
【００４３】本発明によれば、構造体（１１０）を加熱
しながら蒸発を行うから、室温での乾燥に比べ液体の表
面張力を低減することができ、付着（スティッキング）
を防止することができる。
【００４４】また、請求項２４記載の発明においては、
上記リリース工程及び蒸発工程を備え、該蒸発工程にお
いて、液体が加熱された状態で、構造体（１１０）の取
出しを行い、続いて蒸発を行うことを特徴としており、
予め表面張力が低減された液体を乾燥、蒸発させること
になり、付着（スティッキング）を防止することができ
る。
【００４５】ここで、請求項２５記載の発明のように、
エッチング液を置換させるための液体をアルコールとす
れば、通常の純水に比べて、さらに表面張力を低減し付
着を低減できる。
【００４６】なお、上記した括弧内の符号は、後述する
実施形態記載の具体的手段との対応関係を示す一例であ
る。
【００４７】
【発明の実施の形態】（第１実施形態）本実施形態は、
半導体力学量センサにおいて、ハンドリングで発生する
静電気力による付着を防止することを目的したものであ
る。図１において、（ａ）に半導体力学量センサとして
の半導体加速度センサ１００の平面構成を示し、（ｂ）
に（ａ）中のＡ−Ａ線に沿った模式的な断面構造を示
す。
【００４８】また、図２に、図１における半導体加速度
センサ１００のセンサ部１０１を拡大して示し、図３に
おいて、（ａ）に図２中のＢ−Ｂ線に沿った模式的な断
面構造を示し、（ｂ）に図２中のＣ−Ｃ線に沿った模式
的な断面構造を示す。但し、図１（ａ）及び図２中の斜
線帯は断面を示すものではなく、各構造要素の区別を容
易に識別可能にするためのものである。
【００４９】半導体加速度センサ１００は、図１（ｂ）
に示す様に、第１の半導体層１ａと第２の半導体層１ｂ
との間に絶縁層１ｃを有する矩形状のＳＯＩ基板１に半
導体製造技術を利用した周知のマイクロマシン加工を施
すことにより形成されており、第１の半導体層１ａが本
発明でいう半導体基板に相当する。第２の半導体層１ｂ
は、第２の半導体層１ｂを分離する矩形状の溝１０３に
よって、センサ部１０１と、該センサ部１０１と電気的
に絶縁されたハンドリング部１０２とに区画されてい
る。
【００５０】ハンドリング部１０２は、センサ１００を
ハンドリングする時に治具が接触する部分であり、その
内周に位置するセンサ部１０１とは、溝（本発明でいう
絶縁部）１０３の間の空気及び絶縁層１ｃによって電気
的に絶縁されている。なお、第２の半導体層１ｂを分離
する溝１０３は、絶縁層１ｃまで分離するように深く形
成されていてもよいことは勿論である。
【００５１】次に、センサ部１０１について、図２及び
図３も参照して述べる。センサ部１０１は、第２の半導
体層１ｂにより形成された可動部（梁構造体）２、一対
の固定電極構造体３、４及びこれら各部２〜４の周囲を
取り囲む周囲部５から構成されており、各部２〜５は、
互いに溝１０４ａ、１０４ｂ及び１０４ｃにより絶縁し
て離間形成されている。
【００５２】ＳＯＩ基板１における第１の半導体層１ａ
及び絶縁層１ｃは、センサ部１０１のうち可動部２及び
一対の固定電極構造体３、４が形成される領域におい
て、第２の半導体層１ｂが露出するように矩形状に除去
され、その除去部分は、第１の半導体層１ａの開口部１
ｄを構成している。なお、可動部２および固定電極構造
体３、４を構成する単結晶シリコンには、その抵抗率を
下げるために不純物が予め拡散されている。
【００５３】可動部２は、矩形状の重錘部６の両端を、
矩形枠を有する梁状の重錘支持部７ａ及び７ｂを介して
アンカー部８ａ及び８ｂに一体に連結した構成となって
おり、これらアンカー部８ａ及び８ｂが第１の半導体層
１ａにおける対向辺部上に絶縁層１ｃを介して支持され
ている。これにより、重錘部６及び重錘支持部７ａ、７
ｂは、第１の半導体層１ａの開口部１ｄに臨んだ状態と
なっている。
【００５４】また、梁形状をなす重錘支持部７ａ及び７
ｂは、その梁の長手方向と直交する方向に変位するバネ
機能を有し、図１及び図２中の矢印Ｘ方向の成分を含む
加速度を受けたときに重錘部６を矢印Ｘ方向へ変位させ
るとともに、加速度の消失に応じて元の状態に復元させ
る。
【００５５】また、可動部２は、重錘部６の両側面から
重錘部６と直交した方向へ一体的に突出された例えば３
個ずつの可動電極９ａ及び９ｂを備えており、これら可
動電極９ａ及び９ｂも第１の半導体層１ａの開口部１ｄ
に臨んだ状態となっている。そして、これら可動電極９
ａ及び９ｂは、断面矩形の梁状に形成されている。
【００５６】第１の半導体層１ａ上には、可動部２にお
ける一方のアンカー部８ｂと一体に連結された状態の可
動電極用配線部１０が絶縁層１ｃを介して形成されてお
り、この配線部１０上の所定位置には、ワイヤボンディ
ング用の電極パッド１０ａが例えばアルミニウムにより
形成されている。
【００５７】固定電極構造体３は、第１の半導体層１ａ
上に絶縁層１ｃを介して固定され重錘部６と対向する固
定電極用配線部（支持部）３ａと、可動電極９ａの一方
の側面と所定の検出間隔（検出空隙）Ａ１を存して平行
した状態で配置された例えば３個の固定電極３ｂとを一
体に有した構成となっており、各固定電極３ｂは、配線
部３ａに片持ち状に支持された状態となっている。これ
により、固定電極３ｂは、第１の半導体層１ａの開口部
１ｄに臨んだ状態となっている。
【００５８】また、固定電極構造体４は、第１の半導体
層１ａ上に絶縁層１ｃを介して固定され重錘部６と対向
する固定電極用配線部（支持部）４ａと、可動電極９ｂ
の一方の側面（可動電極９ａにおける検出間隔Ａ１側と
反対側の面）と所定の検出間隔Ａ１を存して平行した状
態で配置された例えば３個の固定電極４ｂとを一体に有
した構成となっており、各固定電極４ｂは、配線部４ａ
に片持ち状に支持された状態となっている。これによ
り、固定電極４ｂは、第１の半導体層１ａの開口部１ｄ
に臨んだ状態となっている。
【００５９】ここで、固定電極３ｂ、４ｂは、断面矩形
の梁状に形成されている。また、固定電極用配線部３ａ
及び４ａ上の所定位置には、ワイヤボンディング用の電
極パッド３ｃ及び４ｃが例えばアルミニウムにより形成
されている。
【００６０】また、図１〜図３には図示していないが、
図４に示す様に、重錘部６、可動電極９ａ及び９ｂ、及
び固定電極３ｂ及び４ｂにおいては、開口部１ｄから反
対側に貫通する矩形状の貫通孔１１が複数形成されてお
り、この貫通孔１１により重錘部６、可動電極９ａ及び
９ｂ、及び固定電極３ｂ及び４ｂは、矩形枠状部を複数
組み合わせた所謂ラーメン構造形状に形成されている。
これにより可動部２の軽量化、捩じり強度の向上がなさ
れる。
【００６１】なお、周囲部５の所定位置には、ワイヤボ
ンディング用の電極パッド５ａが例えばアルミニウムに
より形成されており、この電極パッド５ａは、周囲部５
の電荷量を一定にするためのものである。
【００６２】上記のように構成された半導体加速度セン
サ１００にあっては、可動部２が検出方向の加速度を受
けると、重錘部６が図２中矢印Ｘ方向に変位し、可動電
極９ａの検出面と固定電極３ｂの検出面との間の距離及
び可動電極９ｂの検出面と第固定電極４ｂの検出面との
間の距離のうち一方が増加すると他方が減少するように
なる。
【００６３】ここで、可動電極９ａと固定電極３ｂとの
間に第１のコンデンサが形成され、また可動電極９ｂと
固定電極４ｂとの間に第２のコンデンサが形成されてい
るため、これら第１及び第２のコンデンサの各静電容量
は、重錘部６に図２中矢印Ｘ方向の成分を含む加速度が
作用したときの可動電極９ａ及び９ｂの変位に応じて差
動的に変化する。このような静電容量の変化を、電極パ
ッド３ｃ、４ｃ、１０ａを通じて取り出すことにより加
速度を検出することができることになる。
【００６４】次に、上記構成に基づき、本実施形態に係
る半導体加速度センサ１００の製造方法を説明する。図
５に、上記のような半導体加速度センサ１００の製造工
程を模式的な断面図として示す。なお、図５において、
（ｈ）は半導体加速度センサ１０の部分的な断面構成モ
デル（説明の便宜上、図１中に１点鎖線Ｑ１、Ｑ２、Ｑ
３で示す各部分での断面構造を合成した状態で表現した
モデル）を模式的に示したものであり、（ａ）〜（ｇ）
は、そのような断面構造モデルに対応した部分の製造途
中での模式的断面図である。
【００６５】まず、図５（ａ）に示すようにＳＯＩ基板
１を用意する。このＳＯＩ基板１にあっては、ベースと
なる第１の半導体層としての単結晶シリコンウェハ１１
１ａが最終的に本発明でいう半導体基板となるものであ
り、この単結晶シリコンウェハ１１１ａ上に第２の半導
体層としての単結晶シリコン薄膜１１１ｂを犠牲層とし
てのシリコン酸化膜１１１ｃ（最終的に絶縁層１ｃとな
る）を介して設けた構造となっている。
【００６６】なお、単結晶シリコンウェハ１１１ａは、
表面の面方位が（１００）に設定されたもので、少なく
とも３００μｍ程度以上の厚さ寸法を備えた低不純物濃
度のものが使用される。また、単結晶シリコン薄膜１１
１ｂも、表面の面方位が（１００）のもので、例えば１
μｍ前後の膜厚に設定されている。また、この単結晶シ
リコン薄膜１１１ｂには、その抵抗率を下げ、且つ上記
電極パッド３ｃ、４ｃ、５ａ、及び１０ａとの間でオー
ミックコンタクトを取るために、例えばリンを高濃度
（１×１０19／ｃｍ3 程度以上）に拡散した状態として
いる。
【００６７】次に、図５（ｂ）に示す電極パッド形成工
程を実行する。この工程では、単結晶シリコン薄膜１１
１ｂ上の全面にアルミニウムを例えば１μｍ程度の膜厚
となるように蒸着した後に、そのアルミニウム膜をフォ
トリソグラフィ技術及びエッチング技術を利用してパタ
ーニングすることにより、電極パッド３ｃ、４ｃ、５
ａ、及び１０ａ（５ａ、１０ａについては図５中に示さ
れていない）を形成する。なお、この電極パッド形成工
程では、電極パッド３ｃ、４ｃ、５ａ、及び１０ａのオ
ーミックコンタクトを得るための周知の熱処理（シン
タ）を必要に応じて行う。
【００６８】この状態から、図５（ｃ）に示す寸法調整
工程を実行する。この工程では、単結晶シリコンウェハ
１１１ａの表面（絶縁層１ｃと反対側の面）側に切削・
研磨加工を施すことによって、当該ウェハ１１１ａの厚
さ寸法が例えば３００μｍとなるように調整し、その加
工面に鏡面仕上げを施す。このように、単結晶シリコン
ウェハ１１１ａの厚さ寸法を３００μｍまで減らすの
は、後で述べるように、異方性エッチングにより開口部
１ｄを形成する際にそのエッチング深さを低減し、以っ
て異方性エッチングに起因するチップ設計寸法の拡大を
防止するためである。
【００６９】次に、図５（ｄ）に示すマスク形成工程を
実行する。この工程では、単結晶シリコンウェハ１１１
ａの表面（鏡面加工面）の全面に、シリコン窒化膜を例
えばプラズマＣＶＤ法によて０．５μｍ程度の膜厚とな
るように堆積した後、そのシリコン窒化膜をフォトリソ
グラフィ技術及びエッチング技術を利用してパターニン
グすることにより、開口部１ｄをエッチングによって形
成する際のマスク１１２を形成する。
【００７０】この後、図５（ｅ）に示す溝（トレンチ）
形成工程を実行する。この工程では、単結晶シリコン薄
膜１１１ｂ及び電極パッド３ｃ、４ｃ、５ａ、及び１０
ａ上にドライエッチ耐性があるレジスト（図示せず）を
マスクとして形成し、ドライエッチング装置により異方
性ドライエッチングを実行することにより、単結晶シリ
コン薄膜１１１ｂ中に、シリコン酸化膜１１１ｃに達す
る溝１１３を形成する。
【００７１】このとき、溝１１３の一部として、ハンド
リング部１０２とセンサ部１０１とを区画し電気的に絶
縁する絶縁部としての溝１０３が形成され、ハンドリン
グ部１０２も形成される。また、このとき、第２の半導
体層としての単結晶シリコン薄膜１１１ｂを、可動部
２、固定電極構造体３、４及び周囲部５に区画するた
め、センサ部１０１も同時に形成される。
【００７２】この状態から、図５（ｆ）に示す第１のエ
ッチング工程を実行する。この第１のエッチング工程で
は、単結晶シリコンウェハ１１１ａを、マスク１１２を
使用し且つ例えばＫＯＨ水溶液を利用して表面（シリコ
ン酸化膜１１１ｃと反対側の面）側から選択エッチング
する。この場合、このようなエッチングをシリコン酸化
膜１１１ｃまで進行させると、エッチング液の圧力によ
り当該シリコン酸化膜１１１ｃが破れて単結晶シリコン
薄膜１１１ｂが破壊される可能性が非常に高くなるた
め、エッチングがシリコン酸化膜１１１ｃまで進行しな
いようにエッチング時間を管理する。
【００７３】なお、このようなエッチング時間の管理
は、例えば、単結晶シリコンウェハ１１１ａの厚さ寸法
並びにエッチング液のエッチングレートに基づいた計算
により行うものであるが、本実施形態では、単結晶シリ
コンウェハ１１１ａの膜厚が１０μｍ程度残存すること
を目標にした時間管理を行う。また、具体的には図示し
なかったが、この第１のエッチング工程の実行前には、
ＳＯＩ基板１の表面側をレジストにより覆っておくもの
であり、このレジストは、例えば第１のエッチング工程
終了後に除去するようにしている。
【００７４】次に、図５（ｇ）に示す第２のエッチング
工程を実行する。この第２のエッチング工程では、単結
晶シリコンウェハ１１１ａの表面側から、例えばプラズ
マエッチング装置を利用したドライエッチングを施すこ
とにより、第１のエッチング工程においてシリコン酸化
膜１１１ｃとの間に残した膜厚１０μｍ程度の単結晶シ
リコンウェハ１１１ａを除去し、以ってシリコン酸化膜
１１１ｃの裏面（下面）を露出させる。なお、このよう
なドライエッチングに伴い、マスク１１２も同時に除去
されることになる。
【００７５】そして、図５（ｈ）に示す第３のエッチン
グ工程（リリース工程）を実行する。この第３のエッチ
ング工程では、ＨＦ系のエッチング液によりエッチング
を施すことにより、シリコン酸化膜１１１ｃを除去す
る。このような第３のエッチング工程の実行に応じて、
開口部１ｄが形成されるとともに、可動部２の重錘部
６、重錘支持部７ａ及び７ｂ、可動電極９ａ、９ｂ（重
錘部６、重錘支持部７ａ及び７ｂ、可動電極９ｂについ
ては図５中に示されていない）がリリースされることに
なる。
【００７６】また、このときには、固定電極構造体３、
４の固定電極３ｂ及び４ｂ（固定電極４ｂについては図
５中に示されていない）もリリースされて、固定電極配
線部３ａ及び４ａに片持ちされた状態となる。このよう
にして、第３のエッチング工程の実行に応じて可動部２
及び固定電極構造体３、４がリリースされた構造体１１
０が形成される。
【００７７】そして、このような第３のエッチング工程
の実行後に、構造体１１０を超純水等の液体（置換用液
体）に浸漬してエッチング液を十分に置換させ、常温で
乾燥蒸発させる蒸発工程を行い、次に、ＳＯＩ基板１を
所定のセンサチップ形状に切断するというダイシング工
程を行うことにより、半導体加速度センサ１００を完成
させる。
【００７８】ところで、センサチップをハンドリングす
る場合、チップのどこかに触れなければならない。この
ときにセンサ構造体もしくは可動部に対向した部分が帯
電し静電気力でスティッキングを起こす可能性がある。
【００７９】本実施形態によれば、半導体力学量センサ
において、ハンドリングで接触するハンドリング部１０
２とセンサ部１０１との間を電気的に絶縁する絶縁部と
しての溝１０３を設けているから、ハンドリング時に、
治具をハンドリング部１０２のみにふれるようにすれ
ば、センサ部１０１に電気的影響は無い。従って、セン
サ部１０１における各対向部分を等電位とできるので、
センサ部１０１の帯電を防止し、ハンドリングで発生す
る静電気力による付着を防止することができる。
【００８０】特に、センサチップのハンドリング工程で
は、ピンセット、真空角錐コレットなど、チップ外周部
に触れるものが多いので、ハンドリング部もセンサの外
周部分に形成することが有効である。本実施形態では、
ハンドリング部１０２をセンサ部１０１の外周の全周に
渡って形成しているため、全方向からハンドリングで
き、センサチップ周囲を把握するハンドリング方法に有
効である。
【００８１】また、本実施形態によれば、半導体基板と
しての第１の半導体層１ａの一面側に設けられた第２の
半導体層１ｂによりセンサ部１０１及びハンドリング部
１０２を構成し、第２の半導体層１ｂを分割する溝１０
３を絶縁部として両部１０１、１０２を電気的に絶縁し
ており、両部１０１、１０２が同一材料とできるから、
簡単な構成とできる。
【００８２】また、本実施形態によれば、溝形成工程に
おいて、第２の半導体層１ｂに相当する単結晶シリコン
薄膜１１１ｂをエッチングすることにより、センサ部１
０１、溝１０３およびハンドリング部１０２を同時に形
成できるから、製造工程を増やすことなく簡単な製造方
法とできる。
【００８３】なお、本実施形態において、ハンドリング
部１０２は、センサ部１０１外周において対向する辺上
に配置されたものでもよい。この場合、センサチップの
対向する端面を把持するハンドリング方法に有効であ
る。例えば図６に示す様に、両固定電極構造体３、４の
両側の辺上に配置することができる。
【００８４】（第２実施形態）本実施形態は、半導体力
学量センサにおいて、センサの製造時における液体の表
面張力による付着を防止することを目的としたものであ
る。
【００８５】本実施形態に係る半導体加速度センサ２０
０は、上記第１実施形態と比べて、可動電極９ａ、９
ｂ、固定電極３ｂ、４ｂ、重錘支持部７ａ、７ｂに関す
る部分を変形したものであり、センサ部１０１周囲の溝
１０３及びハンドリング部１０２が無い構造とできる。
よって、本実施形態のセンサ２００においては、上記図
２及び図３で示されるセンサ部１０１がそのまま基本構
造となっている。以下、上記第１実施形態と異なる部分
について述べ、同一部分については説明を省略する。図
７は本実施形態の要部を示すもので、（ａ）は可動電極
９ａ、９ｂ及び固定電極３ｂ、４ｂの拡大図、（ｂ）は
重錘支持部７ａ、７ｂの先端部周囲の拡大図である。
【００８６】まず、本実施形態では、可動電極９ａ、９
ｂおよび固定電極３ｂ、４ｂの少なくとも一方における
検出面以外の部分に、これに対向する対向部との間に検
出面における間隔（検出間隔）よりも狭い間隔を有する
狭小部を設けたことを特徴としている。この特徴部分の
具体的な構成を図７（ａ）に示す。
【００８７】重錘部６から突出して延びる梁形状をなす
可動電極９ａ、９ｂと、重錘部６と対向する固定電極用
配線部３ａ、４ａから突出して延びる梁形状をなす可動
電極３ｂ、４ｂとは、互いの梁長手方向の面が対向して
検出間隔Ａ１を構成している。ここにおいて、検出間隔
Ａ１よりも狭い間隔Ｂ１を有する狭小部２０が、可動電
極９ａ、９ｂにおける検出面以外の部分である先端部
と、それに対向する固定電極用配線部３ａ、４ａとの間
に形成されている。また、検出間隔Ａ１よりも狭い間隔
Ｂ１を有する狭小部２１が、固定電極３ｂ、４ｂにおけ
る検出面以外の部分である先端部とそれに対向する重錘
部６との間に形成されている。
【００８８】また、本実施形態では、重錘支持部７ａ、
７ｂとこれに対向する対向部との間のうち重錘支持部７
ａ、７ｂの変位方向と異なる方向に位置する部分に、そ
れ以外の部分の間隔よりも狭い間隔を有する狭小部を設
けたことを特徴としている。この特徴部分の具体的な構
成を図７（ｂ）に示す。
【００８９】上述のように、重錘支持部７ａ、７ｂは梁
形状をなし、その梁の長手方向と直交する方向（図２の
矢印Ｘ方向）に変位するようになっている。この変位方
向において、重錘支持部７ａ、７ｂとこれに対向する周
囲部５との間には間隔（変位間隔）Ａが設けられてい
る。ここにおいて、重錘支持部７ａ、７ｂとこれに対向
する周囲部５との間のうち、上記変位方向と異なる方向
に位置する部分である重錘支持部７ａ、７ｂの先端部と
これに対向する周囲部５との間には、変位間隔Ａ２より
も狭い間隔Ｂ２を有する狭小部２２が形成されている。
【００９０】本実施形態では、このように各電極３ｂ、
４ｂ、９ａ、９ｂ、及び重錘支持部７ａ、７ｂにおける
各間隔の関係を、Ａ１＞Ｂ１及びＡ２＞Ｂ２（例えば、
Ａ１、Ａ２が各々Ｂ１、Ｂ２の２倍程度）とすること
で、上記第３のエッチング工程（リリース工程）後の乾
燥工程において、液体は間隔の広いＡ１、Ａ２の部分に
溜まるのではなく乾燥が進むにつれ毛細管現象により、
間隔の狭いＢ１、Ｂ２の部分に最終的に残留して乾燥す
る。
【００９１】小さな面積を有する間隔Ｂ１、Ｂ２に液体
が溜まるので、面積の広い検出間隔Ａ１に及び変位間隔
Ａ２の部分で液体が乾燥する場合よりも、表面張力が作
用して引っ張り力が生じる面積を大幅に低減できる。
【００９２】さらには、各狭小部２０〜２２において、
表面張力による引っ張り力が生じる方向は、検出方向
（可動電極９ａ、９ｂの変位方向）及び重錘支持部７
ａ、７ｂの変位方向とは異なり、各電極３ｂ、４ｂ、９
ａ、９ｂ、及び重錘支持部７ａ、７ｂにおける梁長手方
向である。そのため、各電極３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂ、
及び重錘支持部７ａ、７ｂにおいて上記引っ張り力が作
用する方向のバネ定数を容易に大きくでき、引っ張り力
に勝る設計が可能となる。
【００９３】このように、本実施形態によれば、表面張
力による引っ張り力が生じる面積を大幅に低減できると
ともに、センサ構成部材における引っ張り力が作用する
方向のバネ定数を大きくできるため、より確実に付着を
防止できる。
【００９４】また、本実施形態によれば、可動電極９
ａ、９ｂと固定電極３ｂ、４ｂの検出間隔Ａ１がスティ
ッキングの要因にならないため、検出間隔Ａ１における
検出面の面積を増やして容量を稼ぎ感度をあげることも
可能になる。
【００９５】なお、本実施形態では、可動電極９ａ、９
ｂと片側の固定電極３ｂ、４ｂとの間に検出間隔がある
場合について述べたが、可動電極と両側の固定電極との
間に検出間隔がある場合においても適用可能である。
【００９６】また、上記各狭小部２０〜２２において、
狭小部２０〜２２における互いの対向部の形状を変形す
ることにより、更に、狭小部の効果を高めるようにして
もよい。その具体的構成を図８（ａ）ないし（ｉ）に示
す。図８は狭小部２０の例を示すが、他の狭小部２１、
２２においても同様の構成を適用できる。
【００９７】図８（ａ）及び（ｂ）は、突起部２０ａ、
２０ｂを、狭小部２０における互いの対向部のうちいず
れか一方の対向部に一つのみ形成し、この突起部２０
ａ、２０ｂにおける互いの対向部の間隔が狭小部２０の
間隔となっている例（（ａ）は可動電極９ａ、９ｂの先
端部、（ｂ）は固定電極用配線部３ａ、４ａ）であり、
突起部２０ａ、２０ｂを一つだけにすることで更に小さ
な対向面積を実現し、表面張力を低減できる。
【００９８】図８（ｃ）は、一対の突起部２０ｃ、２０
ｄを、狭小部２０における互いの対向部（即ち、可動電
極９ａ、９ｂの先端部と固定電極用配線部３ａ、４ａ）
の両方に一つずつ形成し、これら両突起部２０ｃ、２０
ｄの間隔が狭小部２０の間隔となっている例であり、さ
らに微小な対向面積を実現し、表面張力を低減できる。
【００９９】なお、突起部は図８（ｄ）に示す様に、先
端部を尖らした三角形状の突起部２０ａとしてもよい。
このように、各先端部に突起部を設けることにより、可
動電極９ａ、９ｂ、固定電極３ｂ、４ｂまたは重錘支持
部７ａ、７ｂの幅を変えずに、すなわち剛性を落とさず
に、より小さな対向面積を実現し、表面張力を抑えるこ
とができる。
【０１００】また、図８（ｅ）は、可動電極９ａ、９ｂ
の先端部において狭小部２０を形成する面に、面取りを
施した例であり、図８（ｆ）は、可動電極９ａ、９ｂの
先端部において狭小部２０を形成する面を、曲率をもっ
た形状とした例であり、先端部の角がとれているために
液体がスムーズに当該先端部に移動しやすくなり、引っ
張り力を抑えることができる。
【０１０１】また、図８（ｇ）、（ｈ）、（ｉ）は、可
動電極９ａ、９ｂの先端部との対向面に、当該先端部の
周囲から当該先端部に近づくように傾斜した傾斜面２０
ｅ、２０ｆ、２０ｇを形成した例であり、さらに液体が
当該先端部に移動しやすくなり、引っ張り力を抑えるこ
とができる。
【０１０２】次に、本実施形態の変形例を図９に示す。
本例では、狭小部２３を、両電極３ｂ、４ｂ、９ａ、９
ｂの間のうち検出間隔Ａ３の部分とは反対側の部分の一
部に設けたことを主たる特徴としている。この特徴点を
実現するに当たって、可動電極９ａ、９ｂ及び固定電極
３ｂ、４ｂの形状も変形させている。
【０１０３】図９に示す様に、可動電極９ａ、９ｂの中
央部の幅を広くし、具体的にはひし形形状として、可動
電極９ａ、９ｂの検出面に対向した固定電極３ｂ、４ｂ
を可動電極９ａ、９ｂの形状に沿うように折り曲げて、
検出間隔Ａ３を形成している。
【０１０４】ここで、狭小部２３は、検出間隔Ａ３とは
反対側の非検出面同士の間隔において、可動電極９ａ、
９ｂの中央部の幅広部と固定電極３ｂ、４ｂの折り曲げ
部とが対向する間に形成されている。そのため、狭小部
２３における対向面積は、検出間隔Ａ３における対向面
積よりも大幅に小さい。また、検出間隔Ａ３と狭小部の
間隔Ｂ３の大小関係は、Ａ３＞Ｂ３（例えば、Ａ３がＢ
３の２倍程度）としている。
【０１０５】このような形状及び配置にすると、上記狭
小部２０〜２２と同様に、乾燥工程において、液体は間
隔の広い検出間隔Ａ３に溜まるのではなく、乾燥が進む
につれ毛細管現象により、狭い間隔Ｂ３を有する狭小部
２３に最終的に残留して乾燥する。
【０１０６】しかし、狭小部２３においては、面積の広
い検出間隔Ａ３の部分で液体が乾燥する場合よりも、表
面張力による引っ張り力（図中、矢印Ｘ方向）が生じる
面積を大幅に低減できるため、引っ張り力自体を大幅に
低減できる。また、重錘支持部７ａ、７ｂの復元力も作
用するため、狭小部２３では付着しない。
【０１０７】このように、両電極３ｂ、４ｂ、９ａ、９
ｂにひし形形状と折り曲げ形状とを組み合わせることに
よって、狭小部２３の対向面積即ち非検出面の付着面積
を大幅に低減することができ、さらに、非検出面側にお
いて、狭小部２３以外の電極間隔を離して非検出面に生
じる寄生容量の増加を抑えている。また検出面側におい
ては、両電極の検出面（容量形成部）が、互いに対応し
て折れ曲がっていることで初期容量を増加させることが
できる。
【０１０８】なお、図９に示す変形例では可動電極９
ａ、９ｂをひし形形状とし、固定電極３ｂ、４ｂを折り
曲げ形状としたが、図１０（ａ）に示す様に、他の変形
例として、逆に、固定電極３ｂ、４ｂをひし形形状と
し、可動電極９ａ、９ｂを折り曲げ形状としても、同様
な効果が得られる。
【０１０９】さらには、この電極におけるひし形形状及
び折り曲げ形状の組み合わせは、すべての電極に適用し
なくてもよい。例えば図１０（ｂ）に示す様に、付着を
防止したい方向に１組だけ設けてもよい。この場合、液
体の残りやすい部分に設けることが有効である。
【０１１０】また、両電極３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂの間
隔のうち検出間隔Ａ３とは反対側の間隔の一部に設けら
れる狭小部２３は、ひし形形状及び折り曲げ形状の組み
合わせとする以外にも、例えば、検出間隔Ａ３とは反対
側の間隔の一部において、両電極３ｂ、４ｂ、９ａ、９
ｂの少なくとも一方の対向面に突起部を設けることによ
っても構成することができる。なお、本実施形態のセン
サ２００も上記第１実施形態にて述べた製造方法を適用
して製造できる。
【０１１１】（第３実施形態）本実施形態は、半導体力
学量センサにおいて、外部から加わる過大な衝撃によっ
て検出間隔において可動電極と固定電極とが付着するの
を防止することを目的としたものである。図１１に本実
施形態に係る半導体加速度センサ３００の要部を示す。
【０１１２】本実施形態に係る半導体加速度センサ３０
０は、上記第１実施形態と比べて、センサ部１０１周囲
の溝１０３及びハンドリング部１０２が無い構造とし、
ストッパ部３０、３１を設けたことが異なる。よって、
本実施形態のセンサ３００においては、上記図２及び図
３で示されるセンサ部１０１がそのまま基本構造となっ
ている。以下、上記第１実施形態と異なる部分について
述べ、同一部分については図１１中同一符号を付して説
明を省略する。
【０１１３】ストッパ部３０、３１は、アンカー部８
ａ、８ｂを介して第１の半導体層（半導体基板）１ａに
固定され、可動部２と電気的に接続されている。これら
ストッパ部３０、３１はアンカー部８ａ、８ｂと一体に
第２の半導体層１ｂにて形成され、上記図５（ｅ）に示
す溝形成工程において、各構造体と同時に形成すること
ができる。
【０１１４】ストッパ部３０は、アンカー部８ａから重
錘支持部７ａの外周を回り込み、可動部２の変位方向
（図中矢印Ｘ１及びＸ２）において、検出間隔Ａ１より
も狭い間隔Ｂ４を持って可動電極９ａの非検出面に対向
している。一方、ストッパ部３１は、アンカー部８ｂか
ら重錘支持部７ｂの外周を回り込み、可動部２の変位方
向（図中矢印Ｘ１及びＸ２）において、検出間隔Ａ１よ
りも狭い間隔Ｂ４を持って可動電極９ｂの非検出面に対
向している。
【０１１５】また、各ストッパ部３０、３１における可
動電極９ａ、９ｂとの対向面には、この対向面から可動
電極９ａ、９ｂに向かって突出する突起部３０ａ、３１
ａが設けられている。これらストッパ部３０、３１は、
外部からセンサに過大な衝撃（加速度）が加わったとき
検出間隔Ａ１における両電極３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂの
付着を防止するものであり、以下のように作用する。
【０１１６】図中矢印Ｘ１方向に過大な加速度が加わる
と、可動部２は、ストッパ部３１に当たって止まり、図
中矢印Ｘ２方向に過大な加速度が加わると、可動部２
は、ストッパ部３０に当たって止まる。そのため、両電
極３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂが狭い検出間隔Ａ１にて接触
せず、付着を防止できる。
【０１１７】ここで、ストッパ部３０、３１が、可動電
極９ａ、９ｂとの対向面に突起部３０ａ、３１ａを有す
るため、可動電極９ａ、９ｂとの対向面積も小さくでき
る。そのため、ストッパ部３０、３１と可動電極９ａ、
９ｂとの付着による接合力も小さくなるため、重錘支持
部７ａ、７ｂの復元力でリリースできる。
【０１１８】また、ストッパ部３０、３１は、アンカー
部８ａ、８ｂを介して可動電極９ａ、９ｂと電気的に接
続してあるので、双方は等電位となり、静電気力による
引っ張り力の発生をさけることができる。本例では、ス
トッパ部３０、３１を、複数の可動電極９ａ、９ｂのう
ち端部にあるものに対向させて設けているが、それによ
って、ストッパ部３０、３１は他の可動電極９ａ、９ｂ
や固定電極３ｂ、４ｂを跨がずにアンカー部８ａ、８ｂ
に接続できるので、配線構造が簡単になる。
【０１１９】（第４実施形態）本実施形態は、半導体力
学量センサの製造方法に関するもので、センサの製造時
における液体の表面張力による付着を防止する目的でな
されたものである。上記各実施形態に示したような半導
体加速度センサ１００、２００、３００は、通常、上記
第１実施形態（図５参照）に示したような製造工程によ
り製造することができる。
【０１２０】ここで、第３のエッチング工程（リリース
工程）により、可動部２及び固定電極構造体３、４がリ
リースされた構造体１１０を形成した後、該構造体１１
０をリンス液（通常超純水）を用いて洗浄、乾燥、蒸発
を行う蒸発工程に供する。この蒸発工程において、例え
ば、固定電極３ｂ、４ｂと可動電極９ａ、９ｂとの間に
液体が残った場合、液体の蒸発が進むと表面張力で電極
間に引っ張り力が生じ、乾燥したときに付着（スティッ
キング）が生じやすい。
【０１２１】本実施形態では、このような課題に対し
て、上記第１実施形態に示した製造方法において、蒸発
工程に以下のような工夫を行っている。即ち、ＨＦ水溶
液によるエッチング（第３のエッチング工程）後に、構
造体１１０を超純水で十分リンスする。この後、電極間
等に水分が残らないようにアルコール（置換用液体）に
浸漬して十分置換する。
【０１２２】そして、構造体１１０を取り出す前にアル
コールを加熱し、加熱状態を維持したまま、構造体１１
０を取出して常温で乾燥するか、もしくはアルコールか
ら取り出した後に構造体１１０を加熱して乾燥させる。
または、その両方を行ってもよい。
【０１２３】液体は温度が上昇すると表面張力が減少す
る。例えば、水であれば室温と１００℃では、２割ほど
１００℃の方が表面張力が小さい。上記の加熱処理を行
うことで、乾燥（蒸発）時に、構造体１１０に残った液
体の温度が上がるため、表面張力による引っ張り力を小
さくすることができる。
【０１２４】また、アルコールの代わりに超純水等を用
いてもよいが、特に、アルコールを用いた理由として
は、超純水に比べ表面張力が１／３〜１／４と小さいの
で、引っ張り力を小さくすることができるためである。
また、アルコールは水と溶けやすく置換しやすい、半導
体工程に用いられる高純度レベルのものが簡単に入手可
能である等の特長を持ち、工程への適用が容易である。
ここでいうアルコールは、エチルアルコール、メチルア
ルコール、イソプロピルアルコールなどが代表例であ
る。
【０１２５】このように、本実施形態によれば、蒸発工
程において、室温での乾燥に比べ液体の表面張力を低減
することができ、付着（スティッキング）を防止するこ
とができる。本実施形態は、上記各実施形態にて述べた
センサ以外にも、従来の半導体力学量センサにおいても
適用可能である。
【０１２６】（第５実施形態）本実施形態は上記第１実
施形態においてハンドリング部の構成を変形したもので
あり、以下、上記第１実施形態と異なる部分について述
べ、同一部分には図中、同一符号を付して説明を省略す
ることとする。図１２に本第５実施形態を示す。図１２
において、（ａ）に半導体加速度センサ１００の平面構
成を示し（ただし、ハッチングは便宜的なもの）、
（ｂ）に（ａ）中のＤ−Ｄ線に沿った模式的な断面構造
を示す。
【０１２７】本実施形態では、半導体基板としての第１
の半導体層１ａの一面側に絶縁層１ｃを介して第２の半
導体層１ｂを設けた構成において、第２の半導体層１ｂ
によりセンサ部１０１を構成し、このセンサ部１０１よ
りも外周側の第２の半導体層１ｂを除去することによっ
て絶縁層１ｃを露出させている。そして、この絶縁層１
ｃが露出した枠状の部分を外周除去部１１３とし、この
外周除去部１１３の外周端部１ｅをハンドリング部とし
て構成している。
【０１２８】本実施形態では、外周除去部１１３の外周
端部１ｅをハンドリング部としているため、センサ部１
０１を構成する第２の半導体層１ｂとハンドリング部１
ｅとは、結果的に絶縁層１ｃを絶縁部として電気的に絶
縁される。この外周除去部１１３は、上記図５（ｅ）に
示した溝形成工程において、第２の半導体層１ｂの外周
部を同時に除去することによって形成することができ
る。
【０１２９】それによって、本実施形態においても、上
記第１実施形態と同様に、簡単にハンドリング部１ｅを
形成でき、センサ部１０１の帯電を防止し、ハンドリン
グで発生する静電気力による付着を防止することができ
る。なお、図示例では、センサ部１０１の外周全体に外
周除去部１１３を形成し、その外周端部をハンドリング
部１ｅとしているが、上記第１実施形態同様（図６参
照）、外周除去部１１３をセンサ部１０１外周において
対向する辺上に配置しても良い。
【０１３０】また、本半導体加速度センサ１００はダイ
シングカットによりチップ化されるのであるが、本実施
形態によれば、スクライブ領域には第２の半導体層１ｂ
が存在しないので、カットの際に第２の半導体層１ｂの
切り屑が発生しない。この第２の半導体層１ｂの切り屑
は、例えば可動電極に付着すると電気的な短絡を発生さ
せるという不具合を起こす。本実施形態では、絶縁層１
ｃ表面からカットできるので、そのような問題を防止で
きる。
【０１３１】また、チップ化されたセンサチップ（半導
体加速度センサ）１００は、図１３に示す様な角錐型コ
レットＫ１を用いてハンドリングされる。図１３（ａ）
及び（ｂ）は、この角錐型コレットＫ１を用いたハンド
リングの様子を示す説明図であり、ハッチング部分が断
面を示す。コレットＫ１は、穴Ｋ２から真空吸引を行う
ことによりテーパ面Ｋ３にセンサチップ１００の外周部
を当接させて吸着するものである。
【０１３２】図１４は、このコレットＫ１を用いてハン
ドリングを行う場合における本実施形態の効果を示す説
明図であり、（ａ）は上記第１実施形態の場合、（ｂ）
は本実施形態の場合について、それぞれ、コレットＫ１
とセンサチップ１００との位置関係を模式的断面として
示している。図１４に示す様に、チップの吸着時に、上
記第１実施形態の場合はセンサチップ外周部のハンドリ
ング部１０２がコレットのテーパ面Ｋ３に当たるが、本
実施形態の場合はセンサチップ外周部における外周除去
部１１３の外周端部１ｅに当たる。
【０１３３】前者の場合、ハンドリング部１０２はセン
サ部１０１の外周に溝１０３を形成することで突出した
形で構成されているのに対し、後者即ち本実施形態の場
合、ハンドリング部１ｅは略平坦な絶縁層１ｃの外周端
部として構成されている。そのため、コレットＫ１のテ
ーパ面Ｋ３による押力を考えた場合、本実施形態の方
が、ハンドリング部１ｅの機械的強度を比較的強いもの
とでき、ハンドリング部の欠け等の可能性を低減できる
という効果が生じる。
【０１３４】さらに、上記第１実施形態のハンドリング
部１０２では、溝１０３が十分に形成されない場合に
は、センサ部１０１とハンドリング部１０２との電気的
絶縁が十分に確保されない可能性もある。この点、本実
施形態では、外周除去部１１３を形成することでハンド
リング部１ｅとセンサ部１０１との電気的絶縁をより確
実なものとすることが可能である。
【０１３５】（他の実施形態）なお、上記第２及び第３
実施形態において、各センサ２００及び３００の外周に
上記第１実施形態と同様の溝１０３及びハンドリング部
１０２を設けた構造としてもよい。また、本発明は半導
体加速度センサ以外にも、可動部と固定部を有する半導
体力学量センサ、例えば、角速度センサ等に適用可能で
ある。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の実施形態に係る半導体加速度
センサの平面構成図、（ｂ）は（ａ）中のＡ−Ａ断面を
示す模式図である。
【図２】図１の半導体加速度センサにおけるセンサ部を
示す平面構成図である。
【図３】（ａ）は、図２のＢ−Ｂ断面を示す模式図、
（ｂ）は図２のＣ−Ｃ断面を示す模式図である。
【図４】図１の半導体加速度センサにおける電極部分の
拡大図である。
【図５】本発明の実施形態に係る加速度センサの製造方
法を示す工程図である。
【図６】本発明の第１実施形態の変形例を示す図であ
る。
【図７】本発明の第２実施形態に係る加速度センサの要
部を示す部分拡大図である。
【図８】上記第２実施形態における狭小部の種々の例を
示す図である。
【図９】上記第２実施形態の変形例を示す図である。
【図１０】上記第２実施形態の他の変形例を示す図であ
る。
【図１１】本発明の第３実施形態に係る加速度センサの
要部を示す説明図である。
【図１２】（ａ）は本発明の第５実施形態に係る半導体
加速度センサの平面構成図、（ｂ）は（ａ）中のＤ−Ｄ
断面を示す模式図である。
【図１３】角錐型コレットを用いたハンドリングの様子
を示す説明図である。
【図１４】上記第５実施形態の効果を示す説明図であ
る。
【図１５】従来の半導体加速度センサを示す説明図であ
る。
【符号の説明】
１ａ…第１の半導体層、１ｂ…第２の半導体層、１ｅ…
露出した絶縁層の外周端部（ハンドリング部）、２…可
動部、３ａ、４ａ…固定電極用配線部（支持部）、３
ｂ、４ｂ…固定電極、６…重錘部、７ａ、７ｂ…重錘支
持部、９ａ、９ｂ…可動電極、２０〜２３…狭小部、２
０ａ〜２０ｄ…狭小部の突起部、２０ｅ〜２０ｇ…傾斜
面、３０、３１…ストッパ部、３０ａ、３１ａ…ストッ
パ部の突起部、１０１…センサ部、１０２…ハンドリン
グ部、１０３…溝、１１０…構造体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 豊田 稲男 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 株式会 社デンソー内 (72)発明者 石王 誠一郎 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 株式会 社デンソー内 (72)発明者 山本 敏雅 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 株式会 社デンソー内 (72)発明者 川崎 栄嗣 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 株式会 社デンソー内 (72)発明者 村田 稔 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 株式会 社デンソー内 (72)発明者 武藤 浩司 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 株式会 社デンソー内

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体基板（１ａ）に支持され力学量の
    印加に応じて変位する重錘部（６）及びこの重錘部
    （６）に一体形成された可動電極（９ａ、９ｂ）からな
    る可動部（２）と、 前記可動電極（９ａ、９ｂ）の検出面と対向する検出面
    を有し前記半導体基板（１ａ）に支持された固定電極
    （３ｂ、４ｂ）とを有するセンサ部（１０１）を備え、 力学量の印加に応じて前記可動部（２）が変位したとき
    の前記可動電極（９ａ、９ｂ）の検出面と前記固定電極
    （３ｂ、４ｂ）の検出面との間の距離変化に応じて印加
    力学量を検出する半導体力学量センサにおいて、 ハンドリングで接触するハンドリング部（１０２、１
    ｅ）と前記センサ部（１０１）との間を電気的に絶縁す
    る絶縁部（１０３、１１３）が設けられていることを特
    徴とする半導体力学量センサ。
  2. 【請求項２】 前記ハンドリング部（１０２、１ｅ）
    は、前記センサ部（１０１）の外周に形成されているこ
    とを特徴とする請求項１に記載の半導体力学量センサ。
  3. 【請求項３】 前記ハンドリング部（１０２、１ｅ）
    は、前記センサ部（１０１）の外周の全周に渡って形成
    されていることを特徴とする請求項２に記載の半導体力
    学量センサ。
  4. 【請求項４】 前記半導体基板（１ａ）の一面側には半
    導体層（１ｂ）が設けられ、該半導体層（１ｂ）により
    前記センサ部（１０１）及び前記ハンドリング部（１０
    ２）が構成されており、 前記ハンドリング部（１０２）と前記センサ部（１０
    １）とは、前記半導体層（１ｂ）を分割する溝（１０
    ３）を前記絶縁部として電気的に絶縁されていることを
    特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の半
    導体力学量センサ。
  5. 【請求項５】 請求項４に記載の半導体力学量センサを
    製造する方法であって、 前記半導体層（１ｂ）をエッチングすることにより、前
    記センサ部（１０１）、前記溝（１０３）および前記ハ
    ンドリング部（１０２）を同時に形成することを特徴と
    する半導体力学量センサの製造方法。
  6. 【請求項６】 前記半導体基板（１ａ）の一面側には絶
    縁層（１ｃ）を介して半導体層（１ｂ）が設けられ、該
    半導体層（１ｂ）により前記センサ部（１０１）が構成
    されており、 前記センサ部（１０１）よりも外周側の前記半導体層
    （１ｂ）が除去されることによって前記絶縁層（１ｃ）
    が露出しており、 この露出した前記絶縁層（１ｃ）の外周端部（１ｅ）が
    前記ハンドリング部として構成されていることを特徴と
    する請求項１ないし３のいずれか１つに記載の半導体力
    学量センサ。
  7. 【請求項７】 弾性を有する重錘支持部（７ａ、７ｂ）
    を介して半導体基板（１ａ）に支持され力学量の印加に
    応じて変位する重錘部（６）及びこの重錘部（６）に一
    体形成された可動電極（９ａ、９ｂ）を有する可動部
    （２）と、 前記可動電極（９ａ、９ｂ）の検出面と対向する検出面
    を有し前記半導体基板（１ａ）に支持された固定電極
    （３ｂ、４ｂ）と、を備え、 力学量の印加に応じて前記可動部（２）が変位したとき
    の前記可動電極（９ａ、９ｂ）の検出面と前記固定電極
    （３ｂ、４ｂ）の検出面との間の距離変化に応じて印加
    力学量を検出する半導体力学量センサにおいて、 前記可動電極（９ａ、９ｂ）および前記固定電極（３
    ｂ、４ｂ）の少なくとも一方における前記検出面以外の
    部分には、これに対向する対向部との間に前記検出面に
    おける検出間隔よりも狭い間隔を有する狭小部（２０、
    ２１、２３）が設けられていることを特徴とする半導体
    力学量センサ。
  8. 【請求項８】 前記可動電極（９ａ、９ｂ）は、前記重
    錘部（６）から突出して延びる梁形状をなし、前記固定
    電極（３ｂ、４ｂ）は、前記半導体基板（１ａ）に固定
    され前記重錘部（６）と対向する支持部（３ａ、４ａ）
    から突出して延びる梁形状をなしており、 前記両電極（３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂ）における梁の長
    手方向の面が互いに対向して前記検出間隔を構成してお
    り、 前記狭小部（２０）は、前記可動電極（９ａ、９ｂ）の
    先端部とそれに対向する前記支持部（３ａ、４ａ）との
    間に設けられていることを特徴とする請求項７に記載の
    半導体力学量センサ。
  9. 【請求項９】 前記可動電極（９ａ、９ｂ）は、前記重
    錘部（６）から突出して延びる梁形状をなし、前記固定
    電極（３ｂ、４ｂ）は、前記半導体基板（１ａ）に固定
    され前記重錘部（６）と対向する支持部（３ａ、４ａ）
    から突出して延びる梁形状をなしており、 前記両電極（３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂ）における梁の長
    手方向の面が互いに対向して前記検出間隔を構成してお
    り、 前記狭小部（２１）は、前記固定電極（３ｂ、４ｂ）の
    先端部とそれに対向する前記支持部（３ａ、４ａ）との
    間に設けられていることを特徴とする請求項７に記載の
    半導体力学量センサ。
  10. 【請求項１０】 前記可動電極（９ａ、９ｂ）は、前記
    重錘部（６）から突出して延びる梁形状をなし、前記固
    定電極（３ｂ、４ｂ）は、前記半導体基板（１ａ）に固
    定され前記重錘部（６）と対向する支持部（３ａ、４
    ａ）から突出して延びる梁形状をなしており、 前記両電極（３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂ）における梁の長
    手方向の面が互いに対向して前記検出間隔を構成してお
    り、 前記両電極（３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂ）は、前記検出間
    隔とは反対側に位置する梁の長手方向の面を非検出面と
    して互いに対向しており、 前記狭小部（２３）は、前記両電極（３ｂ、４ｂ、９
    ａ、９ｂ）の非検出面が対向する部分の一部に設けられ
    ていることを特徴とする請求項７に記載の半導体力学量
    センサ。
  11. 【請求項１１】 弾性を有する重錘支持部（７ａ、７
    ｂ）を介して半導体基板（１ａ）に支持され力学量の印
    加に応じて変位する重錘部（６）及びこの重錘部（６）
    に一体形成された可動電極（９ａ、９ｂ）からなる可動
    部（２）と、 前記可動電極（９ａ、９ｂ）の検出面と対向する検出面
    を有し前記半導体基板（１ａ）に支持された固定電極
    （３ｂ、４ｂ）と、を備え、 力学量の印加に応じて前記可動部（２）が変位したとき
    の前記可動電極（９ａ、９ｂ）の検出面と前記固定電極
    （３ｂ、４ｂ）の検出面との間の距離変化に応じて印加
    力学量を検出する半導体力学量センサにおいて、 前記重錘支持部（７ａ、７ｂ）とこれに対向する対向部
    との間のうち前記重錘支持部（７ａ、７ｂ）の変位方向
    と異なる方向に位置する部分には、それ以外の部分の間
    隔よりも狭い間隔を有する狭小部（２２）が設けられて
    いることを特徴とする半導体力学量センサ。
  12. 【請求項１２】 前記重錘支持部（７ａ、７ｂ）とこれ
    に対向する対向部との間のうち前記重錘支持部（７ａ、
    ７ｂ）の変位方向と異なる方向に位置する部分には、そ
    れ以外の部分の間隔よりも狭い間隔を有する狭小部（２
    ２）が設けられていることを特徴とする請求項７ないし
    １０のいずれか１つに記載の半導体力学量センサ。
  13. 【請求項１３】 前記重錘支持部（７ａ、７ｂ）は梁形
    状をなし、その梁の長手方向と直交する方向に変位する
    ようになっており、 前記狭小部（２２）は、前記重錘支持部（７ａ、７ｂ）
    の先端部とこれに対向する対向部との間に設けられてい
    ることを特徴とする請求項１１または１２に記載の半導
    体力学量センサ。
  14. 【請求項１４】 前記狭小部（２０〜２３）は、前記狭
    小部（２０〜２３）における互いの対向部のうち少なく
    とも一方の対向部から突出する突起部（２０ａ〜２０
    ｄ）を有し、 この突起部（２０ａ〜２０ｄ）における互いの対向部の
    間隔が、前記狭小部（２０〜２３）の間隔となっている
    ことを特徴とする請求項７ないし１３のいずれか１つに
    記載の半導体力学量センサ。
  15. 【請求項１５】 前記突起部（２０ａ、２０ｂ）は、前
    記狭小部（２０〜２３）における互いの対向部のうちい
    ずれか一方の対向部に一つのみ形成されていることを特
    徴とする請求項１４に記載の半導体力学量センサ。
  16. 【請求項１６】 前記突起部（２０ｃ、２０ｄ）は、前
    記狭小部（２０〜２３）における互いの対向部の両方に
    一つずつ形成され、これら両突起部（２０ｃ、２０ｄ）
    の間隔が前記狭小部（２０〜２３）の間隔となっている
    ことを特徴とする請求項１４に記載の半導体力学量セン
    サ。
  17. 【請求項１７】 前記先端部において前記狭小部（２０
    〜２２）を形成する面には、面取りが施されていること
    を特徴とする請求項８、９、１３のいずれか１つに記載
    の半導体力学量センサ。
  18. 【請求項１８】 前記先端部において前記狭小部（２０
    〜２２）を形成する面は、曲率をもった形状であること
    を特徴とする請求項８、９、１３のいずれか１つに記載
    の半導体力学量センサ。
  19. 【請求項１９】 前記先端部との対向面には、前記先端
    部の周囲から前記先端部に近づくように傾斜した傾斜面
    （２０ｅ〜２０ｇ）が形成されていることを特徴とする
    請求項８、９、１３、１７、１８のいずれか１つに記載
    の半導体力学量センサ。
  20. 【請求項２０】 半導体基板（１ａ）に支持され力学量
    の印加に応じて変位する重錘部（６）及びこの重錘部
    （６）に一体形成された可動電極（９ａ、９ｂ）からな
    る可動部（２）と、 前記可動電極（９ａ、９ｂ）の検出面と対向する検出面
    を有し前記半導体基板（１ａ）に支持された固定電極
    （３ｂ、４ｂ）と、を備え、 力学量の印加に応じて前記可動部（２）が変位したとき
    の前記可動電極（９ａ、９ｂ）の検出面と前記固定電極
    （３ｂ、４ｂ）の検出面との間の距離変化に応じて印加
    力学量を検出する半導体力学量センサにおいて、 前記可動部（２）の変位方向には、前記半導体基板（１
    ａ）に固定されたストッパ部（３０、３１）が、前記両
    電極（３ｂ、４ｂ、９ａ、９ｂ）の前記検出面における
    間隔よりも狭い間隔を持って前記可動部（２）に対向し
    て設けられていることを特徴とする半導体力学量セン
    サ。
  21. 【請求項２１】 前記ストッパ部（３０、３１）の前記
    可動部（２）と対向する面には、この面から前記可動部
    （２）に向かって突出する突起部（３０ａ、３１ａ）が
    設けられていることを特徴とする請求項２０に記載の半
    導体力学量センサ。
  22. 【請求項２２】 前記ストッパ部（３０、３１）と前記
    可動部（２）とは電気的に接続されていることを特徴と
    する請求項２０または２１に記載の半導体力学量セン
    サ。
  23. 【請求項２３】 半導体基板（１ａ）に支持され力学量
    の印加に応じて変位する重錘部（６）及びこの重錘部
    （６）に一体形成された可動電極（９ａ、９ｂ）からな
    る可動部（２）と、 前記可動電極（９ａ、９ｂ）の検出面と対向する検出面
    を有し前記半導体基板（１ａ）に支持された固定電極
    （３ｂ、４ｂ）とを備え、 力学量の印加に応じて前記可動部（２）が変位したとき
    の前記可動電極（９ａ、９ｂ）の検出面と前記固定電極
    （３ｂ、４ｂ）の検出面との間の距離変化に応じて印加
    力学量を検出する半導体力学量センサの製造方法であっ
    て、 前記半導体基板（１ａ）上に前記可動部（２）及び前記
    固定電極（９ａ、９ｂ）を形成した後、少なくとも前記
    可動部（２）の下部をエッチング液を用いてエッチング
    することにより、前記可動部（２）と前記固定電極（９
    ａ、９ｂ）とがリリースされた構造体（１１０）を形成
    するリリース工程と、 前記構造体（１１０）をエッチング液を置換させるため
    の液体に浸漬し、取出した後、残った液体を蒸発させる
    蒸発工程とを備え、 前記蒸発工程において、前記液体からの取出しを行った
    後、前記構造体（１１０）を加熱しながら蒸発を行うこ
    とを特徴とする半導体力学量センサの製造方法。
  24. 【請求項２４】 半導体基板（１ａ）に支持され力学量
    の印加に応じて変位する重錘部（６）及びこの重錘部
    （６）に一体形成された可動電極（９ａ、９ｂ）からな
    る可動部（２）と、 前記可動電極（９ａ、９ｂ）の検出面と対向する検出面
    を有し前記半導体基板（１ａ）に支持された固定電極
    （３ｂ、４ｂ）とを備え、 力学量の印加に応じて前記可動部（２）が変位したとき
    の前記可動電極（９ａ、９ｂ）の検出面と前記固定電極
    （３ｂ、４ｂ）の検出面との間の距離変化に応じて印加
    力学量を検出する半導体力学量センサの製造方法であっ
    て、 前記半導体基板（１ａ）上に前記可動部（２）及び前記
    固定電極（９ａ、９ｂ）を形成した後、少なくとも前記
    可動部（２）の下部をエッチング液を用いてエッチング
    することにより、前記可動部（２）と前記固定電極（９
    ａ、９ｂ）とがリリースされた構造体（１１０）を形成
    するリリース工程と、 前記構造体（１１０）をエッチング液を置換させるため
    の液体に浸漬し、取出した後、残った液体を蒸発させる
    蒸発工程とを備え、 前記蒸発工程において、前記液体が加熱された状態で、
    前記構造体（１１０）の取出しを行い、続いて蒸発を行
    うことを特徴する半導体力学量センサの製造方法。
  25. 【請求項２５】 前記エッチング液を置換させるための
    液体がアルコールであることを特徴とする請求項２３ま
    たは２４に記載の半導体力学量センサの製造方法。
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