JP2009271052A - キャパシタンス変調によるmemsジャイロスコープのパラメトリック増幅 - Google Patents
キャパシタンス変調によるmemsジャイロスコープのパラメトリック増幅 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】微小電気機械システム(MEMS)センサは、プルーフマスコームフィンガ408をもつプルーフマス426、プルーフマスコームフィンガから間隙410だけ離隔された感知電極コームフィンガ404をもつ感知電極、時間的に変化する電気出力を出力するように動作可能な電気出力を含む。プルーフマスコームフィンガは、プルーフマスコームフィンガ端部部分422とプルーフマスコームフィンガ端部部分をプルーフマスに結合するプルーフマスコームフィンガ取付け部分とを含み、前記間隙はプルーフマスコームフィンガと感知電極コームフィンガとの間の可変容量結合を確定し、感知電極コームフィンガは、感知電極コームフィンガ端部部分418と、感知電極コームフィンガ端部部分をアンカー416に結合する感知電極コームフィンガ取付け部分420を含む。
【選択図】図4
Description
内容がその全体を参照により本明細書に組み込まれる、2007年12月12日に出願され、「Parametric Amplification of a MEMS Gyroscope by Capacitance Modulation」という名称の同時係属米国特許仮出願第61/013041号の優先権を本特許出願は主張するものである。
本発明は、米国陸軍によって授与された契約番号W15P7T−05−C−P6009および/またはW15P7T−07−C−P609の下で米国政府の支援によりなされた。米国政府は本発明において一定の権利を有する。
図1は例示的な微小電気機械システム(MEMS)キャパシタンス変調デバイス100を示す。MEMSキャパシタンス変調デバイス100の例示的実施形態は、第1の振動マス102、第2の振動マス104、1つまたは複数の左のモータ106、中央上部モータピックオフ108、中央下部モータピックオフ109、1つまたは複数の右のモータ110、左のコーム構造112、第1の中央コーム構造114、第2の中央コーム構造116、右のコーム構造118、左の感知電極120、右の感知電極122、および1つまたは複数のアンカーポイント126に結合された出力電極124を有する。
(5) x(t)=x0sin(ωt)
のような等式(5)によって定義される。
mは各プルーフマスの質量であり、
γは感知モードの減衰パラメータであり、
ωSMは感知モードの機械共振周波数(電圧が印加されないときの共振周波数)であり、
Vは、図14aおよび14cの実施形態ではV+およびV−の大きさ(大きさは同一であると仮定される)であり、図14bの実施形態ではVbiasの大きさである。
モータ運動は時間の関数としてC”+1(x,0)を変調する。変調は、等式(7)によって定義されるように、モータ周波数ωの2倍の高調波からなるフーリエ級数として表すことができ、
等式(8)は、よく知られているマチウ(Mathieu)方程式の形態を有する。それは、感知共振周波数が、プルーフマスのモータ運動によるC+1”(x,0)の変調により、モータ周波数の2倍で変調されることを示す。感知周波数のこの変調は実施形態のパラメトリック増幅を生成する。
(10) yS(t)≡y0cos(ωt+θ)、
減衰項を無視すると、その解は以下の等式(11)のように書くことができる。
(12) q±(t)=V±[C+1(x,y1)+C±2(x,y2)]
のような等式(12)によって定義され、ここで、V±は、図14aおよび14cで定義されるような正極性感知キャパシタンスもしくは負極性感知キャパシタンスのバイアス電圧、または図14bのプルーフマス1404、1406に印加されるバイアス電圧Vbiasである。感知キャパシタンスをy1およびy2のテイラー級数に展開し、x、y1、およびy2が0であるとき4つのキャパシタンス全てが同一であると仮定すると、等式(12)は、小さいy1およびy2に対して等式(13)によって定義されるように近似することができる。
キャパシタンスC+1(x,0)、およびそのy1に関する1次微分のC’+1(x,0)は、C”+1(x,0)に対する等式(7)と同様の方法で、
102 振動マス
104 振動マス
106 左のモータ
108 中央上部モータピックオフ
109 中央下部モータピックオフ
110 右のモータ
120 左の感知電極
122 右の感知電極
124 出力電極
130 アンカー
200 アセンブリ
202 振動プルーフマス
208 感知電極
400 アセンブリ
402 プルーフマス
416 感知電極
600 アセンブリ
602 プルーフマス
616 感知電極
800 アセンブリ
802 プルーフマス
816 感知電極
826 プルーフマス本体
1000 アセンブリ
1002 プルーフマス
1016 感知電極
1200 アセンブリ
1202 プルーフマス
1216 感知電極
1218 端部部分
1400 MEMSジャイロスコープ
1402 片端接地電荷増幅器
1404 プルーフマス
1406 プルーフマス
1408 差動電荷増幅器
1410 片端接地電荷増幅器
Claims (3)
- 少なくとも1つのプルーフマスコームフィンガ(408、608、808、1008、1208)をもつプルーフマス(426、626、826、1026、1226)を含み、前記プルーフマスコームフィンガは、
プルーフマスコームフィンガ端部部分(422、622、822、1022、1222)と、
前記プルーフマスコームフィンガ端部部分を前記プルーフマスに結合するプルーフマスコームフィンガ取付け部分とを含み、
前記プルーフマスコームフィンガから間隙(410、610、810、1010、1210)だけ離隔された少なくとも1つの感知電極コームフィンガ(404、604、804、1004、1204)をもつ感知電極をさらに含み、前記間隙は前記プルーフマスコームフィンガと前記感知電極コームフィンガとの間の可変容量結合を確定し、前記感知電極コームフィンガは、
感知電極コームフィンガ端部部分(418、618、818、1018、1218)と、
前記感知電極コームフィンガ端部部分をアンカー(416、616、816、1016、1216)に結合する感知電極コームフィンガ取付け部分(420、620、820、1020、1220)とを含み、
時間的に変化する電気出力を出力するように動作可能な電気出力をさらに含み、前記時間的に変化する電気出力はプルーフマスの誘導されたモータ運動によって生成された前記可変容量結合の変化によって増幅される、
微小電気機械システム(MEMS)センサ。 - 前記間隙は前記モータ運動の方向に沿った変位の関数として増加し、前記間隙が増加するにつれて前記可変容量結合が減少するように、前記プルーフマスコームフィンガ端部部分および前記感知電極コームフィンガ端部部分の少なくとも一方がそのそれぞれの取付け部分よりも広い、請求項1に記載のMEMSセンサ。
- 前記可変容量結合は前記モータ運動の方向に沿った変位の関数として増加するように、前記プルーフマスコームフィンガ端部部分(422、622、822、1022、1222)および前記感知電極コームフィンガ端部部分(418、618、818、1018、1218)の少なくとも一方が波形をつけられる、請求項1に記載のMEMSセンサ。
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