JP7225817B2 - 角速度センサー、慣性計測装置、電子機器および移動体 - Google Patents

Description

本発明は、角速度センサー、慣性計測装置、電子機器および移動体に関するものである。

特許文献１には、２つの質量素子を線形駆動振動させるジャイロスコープに関する制御回路が記載されている。そして、この制御回路は、ジャイロスコープの検出振動を測定するセンサーと、このセンサーから出力される信号を増幅するＡ／Ｄコンバーターと、このＡ／Ｄコンバーターにより増幅された信号を駆動振動周波数ωＤで復調する復調器と、復調器で復調された信号を補償電極に送り、ジャイロスコープの直交補償を行う直交補償制御部と、を有する。

特開２０１７－２１１３８６号公報

しかしながら、特許文献１に記載の制御回路では、補償電極に送る信号は、制御回路の電源電圧を最大値とするものであるため、２つの質量素子の振動状態すなわちクアドラチャの大きさによっては、十分な直交補償を行うことができない。つまり、クアドラチャが小さければ、電源電圧を最大値とする信号によってもクアドラチャを十分に低減することができるが、クアドラチャが大きいと、電源電圧を最大値とする信号によっては、クアドラチャを十分に低減することができない。

本発明の慣性センサーは、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸としたとき、
基板と、
前記基板に配置されている構造体と、を有し、
前記構造体は、
前記基板と前記Ｚ軸に沿う方向に重なり、可動検出電極を備えている検出可動体と、
前記検出可動体を支持している検出ばねと、
前記基板に対して前記検出可動体を前記Ｘ軸に沿う方向に駆動させる駆動部と、
前記基板に固定され、前記可動検出電極と対向している固定検出電極と、
前記検出可動体に対して前記Ｘ軸に沿う方向とは異なる第１方向成分を有する静電引力を作用させる第１補償電極と、
前記検出可動体に対して前記第１方向成分と反対向きの第２方向成分を有する静電引力を作用させる第２補償電極と、を有し、
前記第１補償電極および前記第２補償電極の一方は、前記静電引力の大きさを調整する調整部を有することを特徴とする。

第１実施形態の慣性センサーを示す平面図。 図１中のＡ－Ａ線断面図。 図１の慣性センサーが有するセンサー素子を示す平面図。 図１の慣性センサーに印加する駆動電圧を示す図。 クアドラチャを抑制する機構を示す概念図。 一方の可動体を示す平面図。 他方の可動体を示す平面図。 制御回路を示す回路図。 調整部を示す斜視図。 図９中のＢ－Ｂ線断面図。 調整部を示す斜視図。 図１１中のＣ－Ｃ線断面図。 調整部の変形例を示す断面図。 調整部の変形例を示す断面図。 調整部の変形例を示す断面図。 調整部の変形例を示す断面図。 第２実施形態のスマートフォンを示す平面図。 第３実施形態の慣性計測装置を示す分解斜視図。 図１８に示す慣性計測装置が有する基板の斜視図。 第４実施形態の移動体測位装置の全体システムを示すブロック図。 図２０に示す移動体測位装置の作用を示す図。 第５実施形態の移動体を示す斜視図。

以下、本発明の慣性センサー、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態の慣性センサーを示す平面図である。図２は、図１中のＡ－Ａ線断面図である。図３は、図１の慣性センサーが有するセンサー素子を示す平面図である。図４は、図１の慣性センサーに印加する駆動電圧を示す図である。図５は、クアドラチャを抑制する機構を示す概念図である。図６は、一方の可動体を示す平面図である。図７は、他方の可動体を示す平面図である。図８は、制御回路を示す回路図である。図９は、調整部を示す斜視図である。図１０は、図９中のＢ－Ｂ線断面図である。図１１は、調整部を示す斜視図である。図１２は、図１１中のＣ－Ｃ線断面図である。図１３ないし図１６は、それぞれ、調整部の変形例を示す断面図である。

各図には、互いに直交する３つの軸としてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が図示されている。また、Ｘ軸に沿う方向すなわちＸ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に沿う方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に沿う方向を「Ｚ軸方向」とも言う。また、各軸の矢印先端側を「プラス側」とも言い、反対側を「マイナス側」とも言う。また、Ｚ軸方向プラス側を「上」とも言い、Ｚ軸方向マイナス側を「下」とも言う。また、本願明細書において「直交」とは、９０°で交わっている場合の他、９０°から若干傾いた角度、例えば、９０°±５°以内の範囲で交わっている場合も含むものである。

図１に示す慣性センサー１は、Ｚ軸まわりの角速度ωｚを検出することのできる角速度センサーである。この慣性センサー１は、基板２と、蓋３と、センサー素子４と、を有する。

基板２は、上面に開放する凹部２１を有する。凹部２１は、センサー素子４と基板２との接触を抑制する逃げ部として機能する。また、基板２は、凹部２１の底面から突出する複数のマウント２２１、２２２、２２３、２２４、２２５を有する。そして、これらマウント２２１～２２５の上面にセンサー素子４が接合されている。さらに、基板２は、その上面に開放する溝を有し、この溝には配線７３、７４、７５、７６、７７、７８が配置されている。また、配線７３～７８の一端部は、それぞれ、蓋３の外側に露出し、外部装置との電気的な接続を行う電極パッドＰとして機能する。なお、電極パッドＰは、基板２の短辺側に配置されている。これにより、電極パッドＰを基板２内に無駄なく配置することができ、ダイサイズを小さくすることができるので、慣性センサー１を小型化することができる。

このような基板２としては、例えば、ナトリウムイオン等のアルカリ金属イオンを含むガラス材料、具体的にはテンパックスガラス（登録商標）、パイレックスガラス（登録商標）のような硼珪酸ガラスで構成されているガラス基板を用いることができる。ただし、基板２の構成材料としては、特に限定されず、シリコン基板、セラミックス基板等を用いてもよい。

図２に示すように、蓋３は、下面に開放する凹部３１を有する。蓋３は、凹部３１内にセンサー素子４を収納し、基板２の上面に接合されている。そして、蓋３および基板２によって、センサー素子４を収納する収納空間Ｓが形成されている。収納空間Ｓは、減圧状態、特に真空状態であることが好ましい。これにより、粘性抵抗が減り、センサー素子４を効率的に振動させることができる。

また、蓋３には、収容空間Ｓの内外を連通する貫通孔３２が設けられており、貫通孔３２は、封止材３３によって封止されている。言い換えると、収納空間Ｓは、慣性センサー１の外部の雰囲気から貫通孔３２および接合材３９により遮断されている。このとき貫通孔３２はその一部若しくは全部が封止材３３によって埋められている。

このような蓋３としては、例えば、シリコン基板を用いることができる。ただし、蓋３としては、特に限定されず、例えば、ガラス基板やセラミックス基板を用いてもよい。また、基板２と蓋３との接合方法としては、特に限定されず、基板２や蓋３の材料によって適宜選択すればよいが、本実施形態では、接合材３９としての低融点ガラスであるガラスフリット材を介して基板２と蓋３とが接合されている。

センサー素子４は、収納空間Ｓに配置され、マウント２２１～２２５の上面に接合されている。センサー素子４は、例えば、リン（Ｐ）、ボロン（Ｂ）、砒素（Ａｓ）等の不純物がドープされている導電性のシリコン基板４００を深溝エッチング技術であるボッシュ・プロセスによってパターニングすることにより形成されている。ただし、センサー素子４の形成方法は、ボッシュ・プロセスに限定されない。また、シリコン基板４００は、後述する調整部５を除き、全域でほぼ等しい厚さｔとなっている。

以下、センサー素子４の構成を図３に基づいて説明する。なお、以下では、Ｚ軸方向からの平面視で、センサー素子４の中心Ｏと交わり、Ｙ軸方向に延びる直線を「仮想直線αｙ」とも言い、中心Ｏと交わり、Ｘ軸方向に延びる直線を「仮想直線αｘ」とも言う。

図３に示すように、センサー素子４は、Ｘ軸方向に並び、仮想直線αｙを挟んでその両側に位置する２つの構造体４Ａ、４Ｂを有する。構造体４Ａ、４Ｂは、仮想直線αｙに対して線対称な形状である。なお、以下では、符号の末尾を「Ａ」で示すものが構造体４Ａに含まれ、符号の末尾を「Ｂ」で示すものが構造体４Ｂに含まれることを意味する。

また、センサー素子４は、仮想直線αｙの両側に配置されている駆動部４１Ａ、４１Ｂを有する。駆動部４１Ａは、櫛歯状の可動駆動電極４１１Ａと、可動駆動電極４１１Ａと噛み合う櫛歯状の固定駆動電極４１２Ａと、を有する。換言すると、可動駆動電極４１１Ａと固定駆動電極４１２Ａは、互いに対向する一対の櫛歯電極を構成している。同様に、駆動部４１Ｂは、櫛歯状の可動駆動電極４１１Ｂと、可動駆動電極４１１Ｂと噛み合う櫛歯状の固定駆動電極４１２Ｂと、を有する。換言すると、可動駆動電極４１１Ｂと固定駆動電極４１２Ｂは、互いに対向する一対の櫛歯電極を構成している。固定駆動電極４１２Ａ、４１２Ｂは、それぞれ、マウント２２１の上面に接合されている。可動駆動電極４１１Ａ、４１１Ｂは、配線７３と電気的に接続され、固定駆動電極４１２Ａ、４１２Ｂは、配線７４と電気的に接続されている。

また、センサー素子４は、駆動部４１Ａの周囲に配置されている４つの固定部４２Ａと、駆動部４１Ｂの周囲に配置されている４つの固定部４２Ｂと、を有する。各固定部４２Ａ、４２Ｂは、マウント２２２の上面に接合されている。

また、センサー素子４は、各固定部４２Ａと可動駆動電極４１１Ａとを連結する４つの駆動ばね４３１Ａと、各固定部４２Ｂと可動駆動電極４１１Ｂとを連結する４つの駆動ばね４３１Ｂと、を有する。各駆動ばね４３１ＡがＸ軸方向に弾性変形することにより可動駆動電極４１１ＡのＸ軸方向への変位が許容され、各駆動ばね４３１ＢがＸ軸方向に弾性変形することにより可動駆動電極４１１ＢのＸ軸方向への変位が許容される。

また、センサー素子４は、仮想直線αｙと駆動部４１Ａとの間に配置されている検出部４４Ａと、仮想直線αｙと駆動部４１Ｂとの間に配置されている検出部４４Ｂと、を有する。

検出部４４Ａは、基部４４１Ａと、基部４４１ＡのＹ軸方向両側に位置する櫛歯状の可動検出電極４４２Ａと、を備える検出可動体４４０Ａと、Ｙ軸方向プラス側の可動検出電極４４２Ａと噛み合う櫛歯状の固定検出電極４４３Ａと、Ｙ軸方向マイナス側の可動検出電極４４２Ａと噛み合う櫛歯状の固定検出電極４４４Ａと、を有する。また、固定検出電極４４３Ａ、４４４Ａは、それぞれ、可動検出電極４４２ＡをＸ軸方向両側から挟み込むようにして一対配置されている。

同様に、検出部４４Ｂは、基部４４１Ｂと、基部のＹ軸方向両側に位置する櫛歯状の可動検出電極４４２Ｂと、を備える検出可動体４４０Ｂと、Ｙ軸方向プラス側の可動検出電極４４２Ｂと噛み合う櫛歯状の固定検出電極４４３Ｂと、Ｙ軸方向マイナス側の可動検出電極４４２Ｂと噛み合う櫛歯状の固定検出電極４４４Ｂと、を有する。また、固定検出電極４４３Ｂ、４４４Ｂは、それぞれ、可動検出電極４４２ＢをＸ軸方向両側から挟み込むようにして一対配置されている。

固定検出電極４４３Ａ、４４４Ａ、４４３Ｂ、４４４Ｂは、それぞれ、マウント２２３の上面に接合されている。また、検出可動体４４０Ａ、４４０Ｂは、配線７３と電気的に接続され、固定検出電極４４３Ａ、４４４Ｂは、配線７５と電気的に接続され、固定検出電極４４４Ａ、４４３Ｂは、配線７６と電気的に接続されている。また、配線７５、７６は、それぞれ、電極パッドＰを介してチャージアンプに接続される。慣性センサー１の駆動時には、可動検出電極４４２Ａと固定検出電極４４３Ａとの間および可動検出電極４４２Ｂと固定検出電極４４４Ｂとの間に静電容量Ｃａが形成され、可動検出電極４４２Ａと固定検出電極４４４Ａとの間および可動検出電極４４２Ｂと固定検出電極４４４Ｂとの間に静電容量Ｃｂが形成される。

また、センサー素子４は、検出部４４Ａ、４４Ｂの間に位置し仮想直線αｙに沿って配置されている２つの固定部４５１、４５２を有する。固定部４５１、４５２は、それぞれ、マウント２２４の上面に接合され、基板２に固定されている。固定部４５１、４５２は、Ｙ軸方向に並び、間隔を空けて配置されている。本実施形態では、これら固定部４５１、４５２を介して可動駆動電極４１１Ａ、４１１Ｂや可動検出電極４４２Ａ、４４２Ｂが配線７３と電気的に接続されている。

また、センサー素子４は、検出可動体４４０Ａと固定部４２Ａ、４５１、４５２とを連結する４つの検出ばね４３２Ａと、検出可動体４４０Ｂと固定部４２Ｂ、４５１、４５２とを連結する４つの検出ばね４３２Ｂと、を有する。各検出ばね４３２ＡがＸ軸方向に弾性変形することにより検出可動体４４０ＡのＸ軸方向への変位が許容され、Ｙ軸方向に弾性変形することにより検出可動体４４０ＡのＹ軸方向への変位が許容される。同様に、各検出ばね４３２ＢがＸ軸方向に弾性変形することにより検出可動体４４０ＢのＸ軸方向への変位が許容され、Ｙ軸方向に弾性変形することにより検出可動体４４０ＢのＹ軸方向への変位が許容される。

また、センサー素子４は、可動駆動電極４１１Ａと検出可動体４４０Ａとの間に位置し、これらを接続する連結梁４７Ａと、可動駆動電極４１１Ｂと検出可動体４４０Ｂとの間に位置し、これらを接続する連結梁４７Ｂと、を有する。以下では、可動駆動電極４１１Ａ、検出可動体４４０Ａおよび連結梁４７Ａの集合体を「可動体４０Ａ」とも言い、可動駆動電極４１１Ｂ、検出可動体４４０Ｂおよび連結梁４７Ｂの集合体を「可動体４０Ｂ」とも言う。

また、センサー素子４は、その中央部であって検出可動体４４０Ａ、４４０Ｂの間に位置するフレーム４６を有する。フレーム４６は、Ｈ形状をなし、Ｙ軸方向プラス側に位置する凹状の欠損部４６１と、Ｙ軸方向マイナス側に位置する凹状の欠損部４６２と、を有する。そして、欠損部４６１の内外に亘って固定部４５１が配置され、欠損部４６２の内外に亘って固定部４５２が配置されている。

また、センサー素子４は、固定部４５１とフレーム４６との間に位置し、これらを接続するフレームばね４３４と、固定部４５２とフレーム４６との間に位置し、これらを接続するフレームばね４３５と、を有する。フレームばね４３４、４３５は、それぞれ、Ｙ軸方向に延在し、Ｘ軸方向に弾性変形可能である。

また、センサー素子４は、フレーム４６と検出可動体４４０Ａとの間に位置し、これらを接続する接続ばね４３３Ａと、フレーム４６と検出可動体４４０Ｂとの間に位置し、これらを接続する接続ばね４３３Ｂと、を有する。接続ばね４３３Ａは、検出ばね４３２Ａと共に検出可動体４４０Ａを支持し、接続ばね４３３Ｂは、検出ばね４３２Ｂと共に検出可動体４４０Ｂを支持する。

このような構成のセンサー素子４では、例えば、配線７３を介して図４に示す直流電圧Ｖ１を可動体４０Ａ、４０Ｂに印加し、配線７４を介して図４に示す交流電圧Ｖ２を固定駆動電極４１２Ａ、４１２Ｂに印加すると、これらの間に作用する静電引力によって、可動体４０Ａと可動体４０Ｂとが図３中の矢印Ｄで示すように、Ｘ軸方向に接近・離間を繰り返すように互いに逆相で振動する。これは、可動体を交互に接近・離間させるような静電引力は直流電圧と交流電圧の積に比例する形で発生するためである。このように、可動体４０Ａ、４０Ｂが逆相で振動することにより、これらの振動がキャンセルされて、振動漏れの少ない慣性センサー１となる。なお、以下では、この振動モードを「駆動振動モード」とも言う。

そして、可動体４０Ａと可動体４０Ｂとを駆動振動モードで駆動させている状態で、センサー素子４にＺ軸まわりの角速度ωｚが加わると、コリオリの力により、図３中の矢印Ｅで示すように、可動体４０Ａ、４０ＢがＹ軸方向に互いに逆相で振動し、この振動に伴って、静電容量Ｃａ、Ｃｂがそれぞれ変化する。したがって、静電容量Ｃａ、Ｃｂの変化に基づいて、センサー素子４が受けた角速度ωｚを求めることができる。なお、以下では、この振動モードを「検出振動モード」とも言う。

なお、駆動振動モードを励振することができれば、電圧Ｖ１、Ｖ２としては、特に限定されない。また、本実施形態の慣性センサー１では、静電引力によって駆動振動モードを励振させる静電駆動方式となっているが、駆動振動モードを励振させる方式は、特に限定されず、例えば、圧電駆動方式、磁場のローレンツ力を利用した電磁駆動方式等を適用することもできる。

ここで、前述した駆動振動モードでは、理想的には可動体４０Ａ、４０Ｂは、それぞれ、Ｘ軸方向に振動することが好ましい。言い換えると、駆動振動モードにおいて、Ｘ軸方向以外の方向、特にＹ軸方向に振動しないことが好ましい。しかしながら、例えば、シリコン基板４００のエッチング精度に起因して形状ずれが生じ、この形状ずれが要因となって、可動体４０Ａ、４０Ｂが図３中の矢印Ｑで示すように、Ｙ軸方向成分を含む斜め方向に振動する場合がある。このように、可動体４０Ａ、４０Ｂが斜め振動すると、角速度ωｚが加わっていないにも関わらず静電容量Ｃａ、Ｃｂが変化してしまう。そのため、これに起因してクアドラチャ信号からなるノイズが生じ、角速度ωｚの検出精度が悪化してしまう。なお、以下では、駆動振動モードにおける可動体４０Ａ、４０ＢのＸ軸方向以外の振動、特にＹ軸方向の振動をクアドラチャとも言う。

そこで、図５の概念図に示すように、慣性センサー１では、クアドラチャを引き起こす力Ｆｑと釣り合う力Ｆｃを可動体４０Ａ、４０Ｂに作用させることにより、クアドラチャをキャンセルしている。このような力Ｆｃを生成するために、慣性センサー１は、第１補償電極４８Ａ、４８Ｂおよび第２補償電極４９Ａ、４９Ｂを有する。

図３に示すように、第１、第２補償電極４８Ａ、４９Ａは、検出可動体４４０Ａと駆動部４１Ａとの間に位置している。そのため、検出可動体４４０Ａと駆動部４１Ａとの間のスペースを有効活用でき、センサー素子４の小型化を図ることができる。また、図６に示すように、第１補償電極４８Ａは、連結梁４７Ａに対してＹ軸方向プラス側に位置し、第２補償電極４９Ａは、連結梁４７Ａに対してＹ軸方向マイナス側に位置している。これら第１、第２補償電極４８Ａ、４９Ａは、仮想直線αｘに対して線対称である。

第１補償電極４８Ａは、複数の可動電極指４８１Ａを備える櫛歯状の可動補償電極４８２Ａと、可動補償電極４８２Ａと噛み合って配置されている複数の固定電極指４８３Ａを備える櫛歯状の固定補償電極４８４Ａと、を有する。可動補償電極４８２Ａは、基部４４１Ａから延出して設けられ、固定補償電極４８４Ａは、マウント２２５の上面に接合されている。また、可動電極指４８１Ａおよび固定電極指４８３Ａは、それぞれ、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾いた斜め方向に沿って延在している。

また、可動補償電極４８２Ａは、配線７３と電気的に接続され、固定補償電極４８４Ａは、配線７７と電気的に接続されている。配線７７を介して固定補償電極４８４Ａに補償電圧Ｖ３を印加すると、可動補償電極４８２Ａと固定補償電極４８４Ａと間に静電引力が生じ、検出可動体４４０Ａに静電引力Ｅ１が作用する。静電引力Ｅ１には、Ｙ軸方向プラス側への成分Ｅ１ｙが含まれている。

同様に、第２補償電極４９Ａは、複数の可動電極指４９１Ａを備える櫛歯状の可動補償電極４９２Ａと、可動補償電極４９２Ａと噛み合って配置されている複数の固定電極指４９３Ａを備える櫛歯状の固定補償電極４９４Ａと、を有する。可動補償電極４９２Ａは、基部４４１Ａから延出して設けられ、固定補償電極４９４Ａは、マウント２２５の上面に接合されている。また、可動電極指４９１Ａおよび固定電極指４９３Ａは、それぞれ、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾いた斜め方向に沿って延在している。

また、可動補償電極４９２Ａは、配線７３と電気的に接続され、固定補償電極４９４Ａは、配線７８と電気的に接続されている。配線７８を介して固定補償電極４９４Ａに補償電圧Ｖ４を印加すると、可動補償電極４９２Ａと固定補償電極４９４Ａと間に静電引力が生じ、検出可動体４４０Ａに静電引力Ｅ２が作用する。なお、静電引力Ｅ２には、静電引力Ｅ１と反対向きのＹ軸方向マイナス側への成分Ｅ２ｙが含まれている。

図３に示すように、第１、第２補償電極４８Ｂ、４９Ｂは、検出可動体４４０Ｂと駆動部４１Ｂとの間に位置している。そのため、検出可動体４４０Ｂと駆動部４１Ｂとの間のスペースを有効活用でき、センサー素子４の小型化を図ることができる。また、図７に示すように、第１補償電極４８Ｂは、連結梁４７Ｂに対してＹ軸方向プラス側に位置し、第２補償電極４９Ｂは、連結梁４７Ｂに対してＹ軸方向マイナス側に位置している。これら第１、第２補償電極４８Ｂ、４９Ｂは、仮想直線αｘに対して線対称である。また、第１、第２補償電極４８Ｂ、４９Ｂは、仮想直線αｙに対して第１、第２補償電極４８Ａ、４９Ａと線対称である。

第１補償電極４８Ｂは、複数の可動電極指４８１Ｂを備える櫛歯状の可動補償電極４８２Ｂと、可動補償電極４８２Ｂと噛み合って配置されている複数の固定電極指４８３Ｂを備える櫛歯状の固定補償電極４８４Ｂと、を有する。可動補償電極４８２Ｂは、基部４４１Ｂに設けられ、固定補償電極４８４Ｂは、マウント２２５の上面に接合されている。また、可動電極指４８１Ｂおよび固定電極指４８３Ｂは、それぞれ、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾いた斜め方向に沿って延在している。

また、可動補償電極４８２Ｂは、配線７３と電気的に接続され、固定補償電極４８４Ｂは、前述した固定補償電極４９４Ａと共に配線７８と電気的に接続されている。配線７８を介して固定補償電極４８４Ｂに補償電圧Ｖ４を印加すると、可動補償電極４８２Ｂと固定補償電極４８４Ｂと間に静電引力が生じ、検出可動体４４０Ｂに静電引力Ｅ３が作用する。静電引力Ｅ３には、Ｙ軸方向プラス側への成分Ｅ３ｙが含まれている。

第２補償電極４９Ｂは、複数の可動電極指４９１Ｂを備える櫛歯状の可動補償電極４９２Ｂと、可動補償電極４９２Ｂと噛み合って配置されている複数の固定電極指４９３Ｂを備える櫛歯状の固定補償電極４９４Ｂと、を有する。可動補償電極４９２Ｂは、基部４４１Ｂに設けられ、固定補償電極４９４Ｂは、マウント２２５の上面に接合されている。また、可動電極指４９１Ｂおよび固定電極指４９３Ｂは、それぞれ、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾いた斜め方向に沿って延在している。

また、可動補償電極４９２Ｂは、配線７３と電気的に接続され、固定補償電極４９４Ｂは、前述した固定補償電極４８４Ａと共に配線７７と電気的に接続されている。配線７７を介して固定補償電極４９４Ｂに補償電圧Ｖ３を印加すると、可動補償電極４９２Ｂと固定補償電極４９４Ｂと間に静電引力が生じ、検出可動体４４０Ｂに静電引力Ｅ４が作用する。静電引力Ｅ４には、Ｙ軸方向マイナス側への成分Ｅ４ｙが含まれている。

このような第１、第２補償電極４８Ａ、４８Ｂ、４９Ａ、４９Ｂによれば、補償電圧Ｖ３、Ｖ４の大きさを制御し、静電引力Ｅ１～Ｅ４の大きさを調整することにより、クアドラチャを引き起こす力Ｆｑと釣り合う力Ｆｃを可動体４０Ａ、４０Ｂに作用させることができる。例えば、図３に示すように、駆動振動モードの際に、可動体４０Ａ、４０Ｂが矢印Ｑに示す方向に振動するのであれば、力Ｆｃが力Ｆｑと釣り合う大きさとなるように、補償電圧Ｖ３（静電引力Ｅ１、Ｅ４）を補償電圧Ｖ４（静電引力Ｅ２、Ｅ３）よりも大きくすればよい。

慣性センサー１の制御回路としては、特に限定されないが、例えば、図８に示す制御回路９を用いることができる。制御回路９では、検出信号ＶＯをフィードバックし、クアドラチャ信号が０となるように補償電圧Ｖ３、Ｖ４の大きさを制御するフィードバック制御（閉ループ制御）が行われている。このような制御回路９を用いることにより、より確実にかつ簡単にクアドラチャを抑制することができる。

ここで、制御回路９では、補償電圧Ｖ３、Ｖ４に印加できる電圧は、制御回路９の電源電圧を最大値とする交流電圧である。そのため、大きなクアドラチャが生じている場合には補償電圧Ｖ３、Ｖ４の制御だけでは、クアドラチャをキャンセルしきれない場合がある。また、例えば、制御回路９に昇圧回路を組み込み、電源電圧を昇圧する（例えば４０Ｖ～５０Ｖ）ことにより、電源電圧よりも大きな補償電圧Ｖ３、Ｖ４を用いることもできるが、この場合、衝撃や異物混入等によって電極がショートした際に、センサー素子４に過大な電流が流れ込み、センサー素子４の動作不良や破損を招くおそれがある。そこで、慣性センサー１は、過大な補償電圧Ｖ３、Ｖ４を用いることなく力Ｆｃを増大させることのできる調整部５を設けている。なお、補償電圧Ｖ３、Ｖ４としては、特に限定されないが、例えば、最大値を１２Ｖ～１８Ｖ程度とすることができる。

以下、図３に示すように、駆動振動モードの際に矢印Ｑで示すクアドラチャが生じ、補償電圧Ｖ３、Ｖ４の制御によって矢印Ｑｅで示すクアドラチャまで低減できた場合について代表して説明する。

この場合、調整部５は、第２補償電極４９Ａと第１補償電極４８Ｂとに形成される。第２補償電極４９Ａでは、調整部５が形成されることにより静電引力Ｅ２が低下し、同様に、第１補償電極４８Ｂでは調整部５が形成されることにより静電引力Ｅ３が低下する。そのため、補償電圧Ｖ３、Ｖ４を同じとすれば、静電引力Ｅ１、Ｅ４と静電引力Ｅ２、Ｅ３との差ΔＥは、調整部５が形成されていない構成よりも調整部５が形成されている構成の方が大きく、その分、力Ｆｃを大きくすることができる。そのため、矢印Ｑで示すような従来ではキャンセルしきれなかった大きなクアドラチャであっても、より確実に、キャンセルすることができる。

次に、調整部５の具体的な構成について説明する。図９に、調整部５が形成されている第２補償電極４９Ａと調整部５が調整されていない第１補償電極４８Ａとを示す。調整部５が形成される前の状態では、第１、第２補償電極４８Ａ、４９Ａは、仮想直線αｘに対して線対称である。

調整部５では、電極指４９１Ａ、４９３Ａがレーザー加工されている。図示の構成では、レーザー加工によって電極指４９１Ａ、４９３Ａの上端部が丸く削られ、凹状の切り欠きが形成されている。なお、レーザー光の波長を３５０～１１００ｎｍ程度とすることで、シリコン材から成る電極指４９１Ａ、４９３Ａの上端部を除去すると共に、上端部の表面を丸く加工することができる。そのため、図１０に示すように、電極指４９１Ａ、４９３Ａの厚さｔ１が、電極指４８１Ａ、４８３Ａの厚さｔ２（＝ｔ）よりも薄い。したがって、隣り合う電極指４９１Ａ、４９３Ａの対向面積が、隣り合う電極指４８１Ａ、４８３Ａの対向面積よりも小さくなり、その分、静電引力Ｅ２が静電引力Ｅ１に対して小さくなる。また、電極指４９１Ａ、４９３Ａの上端部が丸く削られているため、隣り合う電極指４９１Ａ、４９３Ａの平均離間距離Ｄ１が、隣り合う電極指４８１Ａ、４８３Ａの平均離間距離Ｄ２よりも大きくなり、その分、静電引力Ｅ２が静電引力Ｅ１に対して小さくなる。

図１１に、調整部５が形成されている第１補償電極４８Ｂと、調整部５が調整されていない第２補償電極４９Ｂと、を示す。調整部５が形成される前の状態では、第１、第２補償電極４８Ｂ、４９Ｂは、仮想直線αｘに対して線対称である。

調整部５では、前述した電極指４９１Ａ、４９３Ａと同様、電極指４８１Ｂ、４８３Ｂがレーザー加工されている。そのため、図１２に示すように、電極指４８１Ｂ、４８３Ｂの厚さｔ１が電極指４９１Ｂ、４９３Ｂの厚さｔ２（＝ｔ）よりも薄い。したがって、隣り合う電極指４８１Ｂ、４８３Ｂの対向面積が、隣り合う電極指４９１Ｂ、４９３Ｂの対向面積よりも小さくなり、その分、静電引力Ｅ３が静電引力Ｅ４に対して小さくなる。さらに、電極指４８１Ｂ、４８３Ｂの上端部が丸く削られているため、隣り合う電極指４８１Ｂ、４８３Ｂの平均離間距離Ｄ３が、隣り合う電極指４９１Ｂ、４９３Ｂの平均離間距離Ｄ４よりも大きくなり、その分、静電引力Ｅ３が静電引力Ｅ４に対して小さくなる。

このように、第２補償電極４９Ａおよび第１補償電極４８Ｂに調整部５を形成し、静電引力Ｅ２、Ｅ３を、調整部５が形成されていない第１補償電極４８Ａおよび第２補償電極４９Ｂの静電引力Ｅ１、Ｅ４に対して小さくすることにより、調整部５を形成しない場合と比べて差ΔＥが大きくなり、その結果、可動体４０Ａ、４０Ｂに作用させることのできる力Ｆｃの最大値が増す。そのため、慣性センサー１によれば、調整部５がなければキャンセルしきれなかったような比較的大きなクアドラチャであっても、効果的にキャンセルすることができる。

特に、本実施形態では、上述したように、中心Ｏに対して対称的に配置されている第２補償電極４９Ａと第１補償電極４８Ｂとに調整部５を形成している。そのため、可動体４０Ａ、４０Ｂの両方においてクアドラチャを抑制することができ、より効果的にかつバランスよく、クアドラチャを抑制することができる。

なお、調整部５の構成としては、特に限定されない。例えば、本実施形態では、電極指４９１Ａ、４９３Ａの長さ方向の一部に調整部５が形成されているが、これに限定されず、長さ方向の全域に調整部５が形成されていてもよい。また、図１３に示すように、電極指４９１Ａ、４９３Ａの厚さｔ１が電極指４８１Ａ、４８３Ａの厚さｔ２よりも薄く、電極指４９１Ａ、４９３Ａの平均離間距離Ｄ１が電極指４８１Ａ、４８３Ａの平均離間距離Ｄ２と等しい構成でもよい。また、例えば、図１４に示すように、電極指４９１Ａ、４９３Ａの厚さｔ１が電極指４８１Ａ、４８３Ａの厚さｔ２と等しく、電極指４９１Ａ、４９３Ａの平均離間距離Ｄ１が、電極指４８１Ａ、４８３Ａの平均離間距離Ｄ２よりも大きい構成でもよい。この場合、レーザー加工によって、電極指４９１Ａ、４９３Ａの幅を細くすればよい。また、調整部５は、図１５に示すように、可動電極指４９１Ａだけに形成されていてもよいし、図１６に示すように、固定電極指４９３Ａだけに形成されていてもよい。第１補償電極４８Ｂについても同様である。

また、本実施形態では、調整部５をレーザー加工により形成しているが、調整部５の形成方法としては、レーザー加工に限定されない。例えば、調整部５は、収束イオンビーム加工により形成してもよいし、エッチングにより形成してもよいし、ダイシングソー等によるハーフカットにより形成してもよい。

以上、慣性センサー１について説明した。このような慣性センサー１は、前述したように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸としたとき、基板２と、基板２に配置されている構造体４Ａと、を有する。また、構造体４Ａは、基板２とＺ軸に沿う方向に重なり、可動検出電極４４２Ａを備えている検出可動体４４０Ａと、検出可動体４４０Ａを支持している検出ばね４３２Ａと、基板２に対して検出可動体４４０ＡをＸ軸に沿う方向に駆動させる駆動部４１Ａと、基板２に固定され、可動検出電極４４２Ａと対向している固定検出電極４４３Ａ、４４４Ａと、検出可動体４４０Ａに対してＸ軸に沿う方向とは異なる第１方向成分であるＹ軸方向プラス側への成分Ｅ１ｙを有する静電引力Ｅ１を作用させる第１補償電極４８Ａと、検出可動体４４０Ａに対して第１方向成分と反対向きの第２方向成分であるＹ軸方向マイナス側への成分Ｅ２ｙを有する静電引力Ｅ２を作用させる第２補償電極４９Ａと、を有する。そして、第１補償電極４８Ａおよび第２補償電極４９Ａの一方、本実施形態では第２補償電極４９Ａは、静電引力Ｅ２の大きさを調整する調整部５を有する。このように、第１、第２補償電極４８Ａ、４９Ａの一方に調整部５を形成することにより、前述したように、調整部５を形成しない場合と比べて差ΔＥが大きくなり、その結果、検出可動体４４０Ａに作用させることのできる力Ｆｃの最大値が増す。そのため、慣性センサー１によれば、調整部５がなければキャンセルしきれなかったような比較的大きなクアドラチャであっても、効果的にキャンセルすることができる。よって、クアドラチャによる慣性検出特性の低下を低減することのできる慣性センサー１となる。

また、前述したように、固定検出電極４４３Ａ、４４４Ａは、可動検出電極４４２ＡとＹ軸に沿う方向に対向して配置されている。そして、前記第１方向成分は、Ｙ軸に沿う方向のプラス側に向かう成分であり、前記第２方向成分は、Ｙ軸に沿う方向のマイナス側に向かう成分である。これにより、Ｚ軸まわりの角速度ωｚを精度よく検出することができる。

また、前述したように、第１補償電極４８Ａおよび第２補償電極４９Ａは、それぞれ、検出可動体４４０Ａに設けられ、複数の可動電極指４８１Ａ、４９１Ａを備える櫛歯状の可動補償電極４８２Ａ、４９２Ａと、基板２に固定され、可動補償電極４８２Ａ、４９２Ａと噛み合って配置されている複数の固定電極指４８３Ａ、４９３Ａを備える櫛歯状の固定補償電極４８４Ａ、４９４Ａと、を有する。これにより、第１補償電極４８Ａおよび第２補償電極４９Ａの構成が簡単なものとなる。

また、前述したように、第１補償電極４８Ａおよび第２補償電極４９Ａのうち、調整部５を有している（本実施形態では第２補償電極４９Ａ）可動電極指４９１Ａと固定電極指４９３Ａとの間の平均離間距離Ｄ１は、調整部５を有していない（本実施形態では第１補償電極４８Ａ）可動電極指４８１Ａと固定電極指４８３Ａとの間の平均離間距離Ｄ２よりも大きい。これにより、簡単な構成で、調整部５を形成しない場合と比べて差ΔＥを大きくすることができる。

また、前述したように、第１補償電極４８Ａおよび第２補償電極４９Ａのうち、調整部５を有している（本実施形態では第２補償電極４９Ａ）可動電極指４９１Ａと固定電極指４９３Ａとの対向面積は、調整部５を有していない（本実施形態では第１補償電極４８Ａ）可動電極指４８１Ａと固定電極指４８３Ａとの対向面積よりも小さい。これにより、簡単な構成で、調整部５を形成しない場合と比べて差ΔＥを大きくすることができる。

また、前述したように、第１補償電極４８Ａおよび第２補償電極４９Ａは、それぞれ、検出可動体４４０Ａと駆動部４１Ａとの間に配置されている。これにより、検出可動体４４０Ａと駆動部４１Ａとの間のスペースを有効活用することができ、慣性センサー１の小型化を図ることができる。

また、前述したように、第１補償電極４８Ａおよび第２補償電極４９Ａは、Ｘ軸、より具体的には仮想直線αｘに対して線対称に配置されている。これにより、調整部５を形成する前では、静電引力Ｅ１、Ｅ２のバランスがとれているため、そこから調整部５を形成することにより、力Ｆｃの調整を容易に行うことができる。

また、前述したように、慣性センサー１は、Ｘ軸に沿う方向に並んで配置されている２つの構造体４Ａ、４Ｂを有する。そして、一方の構造体４Ａに含まれる検出可動体４４０Ａと他方の構造体４Ｂに含まれる検出可動体４４０ＢとがＸ軸に沿う方向に逆相で振動する。これにより、検出可動体４４０Ａ、４４０Ｂの振動がキャンセルされて、振動漏れの少ない慣性センサー１となる。

また、前述したように、２つの構造体４Ａ、４Ｂは、Ｙ軸、より具体的には仮想直線αｙに対して線対称に配置されている。そして、一方の構造体４Ｂに含まれる第１補償電極４８Ｂと他方の構造体４Ａに含まれる第２補償電極４９Ａとが調整部５を有する。これにより、検出可動体４４０Ａ、４４０Ｂの両方においてクアドラチャを抑制することができ、より効果的にかつバランスよく、クアドラチャを抑制することができる。

＜第２実施形態＞
図１７は、第２実施形態のスマートフォンを示す平面図である。

図１７に示すスマートフォン１２００には、慣性センサー１と、慣性センサー１から出力される検出信号に基づいて制御を行う制御回路１２１０と、が内蔵されている。慣性センサー１によって検出される検出データは、制御回路１２１０に送信され、制御回路１２１０は、受信した検出データからスマートフォン１２００の姿勢や挙動を認識して、表示部１２０８に表示されている表示画像を変化させたり、警告音や効果音を鳴らしたり、振動モーターを駆動して本体を振動させることができる。

このような電子機器としてのスマートフォン１２００は、慣性センサー１を有する。そのため、前述した慣性センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。

なお、慣性センサー１を内蔵する電子機器としては、特に限定されず、スマートフォン１２００以外にも、例えば、パーソナルコンピューター、デジタルスチールカメラ、タブレット端末、時計、スマートウォッチ、インクジェットプリンタ、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）等のウェアラブル端末、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器、魚群探知機、各種測定機器、移動体端末基地局用機器、車両、航空機、船舶等の各種計器類、フライトシミュレーター、ネットワークサーバー等が挙げられる。

＜第３実施形態＞
図１８は、第３実施形態の慣性計測装置を示す分解斜視図である。図１９は、図１８に示す慣性計測装置が有する基板の斜視図である。

図１８に示す慣性計測装置２０００（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）は、自動車や、ロボットなどの被装着装置の姿勢や、挙動を検出する慣性計測装置である。慣性計測装置２０００は、３軸加速度センサーおよび３軸角速度センサーを備えた６軸モーションセンサーとして機能する。

慣性計測装置２０００は、平面形状が略正方形の直方体である。また、正方形の対角線方向に位置する２ヶ所の頂点近傍に固定部としてのネジ穴２１１０が形成されている。この２ヶ所のネジ穴２１１０に２本のネジを通して、自動車などの被装着体の被装着面に慣性計測装置２０００を固定することができる。なお、部品の選定や設計変更により、例えば、スマートフォンや、デジタルカメラに搭載可能なサイズに小型化することも可能である。

慣性計測装置２０００は、アウターケース２１００と、接合部材２２００と、センサーモジュール２３００と、を有し、アウターケース２１００の内部に、接合部材２２００を介在させて、センサーモジュール２３００を挿入した構成となっている。アウターケース２１００の外形は、前述した慣性計測装置２０００の全体形状と同様に、平面形状が略正方形の直方体であり、正方形の対角線方向に位置する２ヶ所の頂点近傍に、それぞれネジ穴２１１０が形成されている。また、アウターケース２１００は、箱状であり、その内部にセンサーモジュール２３００が収納されている。

センサーモジュール２３００は、インナーケース２３１０と、基板２３２０と、を有している。インナーケース２３１０は、基板２３２０を支持する部材であり、アウターケース２１００の内部に収まる形状となっている。また、インナーケース２３１０には、基板２３２０と接触する可能性を低減するための凹部２３１１や後述するコネクター２３３０を露出させるための開口２３１２が形成されている。このようなインナーケース２３１０は、接合部材２２００を介してアウターケース２１００に接合されている。また、インナーケース２３１０の下面には接着剤を介して基板２３２０が接合されている。

図１９に示すように、基板２３２０の上面には、コネクター２３３０、Ｚ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー２３４０ｚ、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向の加速度を検出する加速度センサー２３５０などが実装されている。また、基板２３２０の側面には、Ｘ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー２３４０ｘおよびＹ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー２３４０ｙが実装されている。そして、これら各センサーとして、本発明の慣性センサーを用いることができる。

また、基板２３２０の下面には、制御ＩＣ２３６０が実装されている。制御ＩＣ２３６０は、ＭＣＵ（Micro Controller Unit）であり、慣性計測装置２０００の各部を制御する。記憶部には、加速度および角速度を検出するための順序と内容を規定したプログラムや、検出データをデジタル化してパケットデータに組込むプログラム、付随するデータなどが記憶されている。なお、基板２３２０にはその他にも複数の電子部品が実装されている。

＜第４実施形態＞
図２０は、第４実施形態の移動体測位装置の全体システムを示すブロック図である。図２１は、図２０に示す移動体測位装置の作用を示す図である。

図２０に示す移動体測位装置３０００は、移動体に装着して用い、当該移動体の測位を行うための装置である。なお、移動体としては、特に限定されず、自転車、自動車、自動二輪車、電車、飛行機、船等のいずれでもよいが、本実施形態では移動体として四輪自動車を用いた場合について説明する。

移動体測位装置３０００は、慣性計測装置３１００（ＩＭＵ）と、演算処理部３２００と、ＧＰＳ受信部３３００と、受信アンテナ３４００と、位置情報取得部３５００と、位置合成部３６００と、処理部３７００と、通信部３８００と、表示部３９００と、を有している。なお、慣性計測装置３１００としては、例えば、前述した慣性計測装置２０００を用いることができる。

慣性計測装置３１００は、３軸の加速度センサー３１１０と、３軸の角速度センサー３１２０と、を有している。演算処理部３２００は、加速度センサー３１１０からの加速度データおよび角速度センサー３１２０からの角速度データを受け、これらデータに対して慣性航法演算処理を行い、移動体の加速度および姿勢を含む慣性航法測位データを出力する。

また、ＧＰＳ受信部３３００は、受信アンテナ３４００を介してＧＰＳ衛星からの信号を受信する。また、位置情報取得部３５００は、ＧＰＳ受信部３３００が受信した信号に基づいて、移動体測位装置３０００の位置（緯度、経度、高度）、速度、方位を表すＧＰＳ測位データを出力する。このＧＰＳ測位データには、受信状態や受信時刻等を示すステータスデータも含まれている。

位置合成部３６００は、演算処理部３２００から出力される慣性航法測位データおよび位置情報取得部３５００から出力されるＧＰＳ測位データに基づいて、移動体の位置、具体的には移動体が地面のどの位置を走行しているかを算出する。例えば、ＧＰＳ測位データに含まれている移動体の位置が同じであっても、図２１に示すように、地面の傾斜θ等の影響によって移動体の姿勢が異なっていれば、地面の異なる位置を移動体が走行していることになる。そのため、ＧＰＳ測位データだけでは移動体の正確な位置を算出することができない。そこで、位置合成部３６００は、慣性航法測位データを用いて、移動体が地面のどの位置を走行しているのかを算出する。

位置合成部３６００から出力される位置データは、処理部３７００によって所定の処理が行われ、測位結果として表示部３９００に表示される。また、位置データは、通信部３８００によって外部装置に送信されるようになっていてもよい。

＜第５実施形態＞
図２２は、第５実施形態の移動体を示す斜視図である。

図２２に示す移動体としての自動車１５００は、エンジンシステム、ブレーキシステムおよびキーレスエントリーシステムの少なくとも何れかのシステム１５１０を含んでいる。また、自動車１５００には、慣性センサー１が内蔵されており、慣性センサー１によって車体の姿勢を検出することができる。慣性センサー１の検出信号は、制御装置１５０２に供給され、制御装置１５０２は、その信号に基づいてシステム１５１０を制御することができる。このように、移動体としての自動車１５００は、慣性センサー１を有する。そのため、前述した慣性センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。

なお、慣性センサー１は、他にも、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。また、移動体としては、自動車１５００に限定されず、例えば、飛行機、ロケット、人工衛星、船舶、ＡＧＶ（無人搬送車）、二足歩行ロボット、ドローン等の無人飛行機等にも適用することができる。

以上、本発明の慣性センサー、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した実施形態を適宜組み合わせてもよい。

また、前述した実施形態では、慣性センサー１がＺ軸まわりの角速度ωｚを検出する構成について説明したが、これに限定されず、例えば、Ｙ軸まわりの角速度を検出する構成であってもよい。この場合は、駆動振動モードでの可動体４０Ａ、４０ＢのＺ軸方向への振動がクアドラチャとなり、検出特性に悪影響を与えるため、このＺ軸方向のクアドラチャを抑制できるように、第１、第２補償電極４８Ａ、４９Ａ、４８Ｂ、４９Ｂを配置すればよい。

また、前述した実施形態では、センサー素子４が２つの可動体４０Ａ、４０Ｂを有しているが、これに限定されず、例えば、可動体４０Ａ、４０Ｂの一方を省略してもよい。また、前述の実施形態では、慣性センサーとして角速度を検出する構成について説明したが、これに限定されず、例えば、加速度を検出する構成であってもよい。

１…慣性センサー、２…基板、２１…凹部、２２１～２２５…マウント、３…蓋、３１…凹部、３２…貫通孔、３３…封止材、３９…接合材、４…センサー素子、４Ａ、４Ｂ…構造体、４０Ａ、４０Ｂ…可動体、４００…シリコン基板、４１Ａ、４１Ｂ…駆動部、４１１Ａ、４１１Ｂ…可動駆動電極、４１２Ａ、４１２Ｂ…固定駆動電極、４２Ａ、４２Ｂ…固定部、４３１Ａ、４３１Ｂ…駆動ばね、４３２Ａ、４３２Ｂ…検出ばね、４３３Ａ、４３３Ｂ…接続ばね、４３４、４３５…フレームばね、４４Ａ、４４Ｂ…検出部、４４０Ａ、４４０Ｂ…検出可動体、４４１Ａ、４４１Ｂ…基部、４４２Ａ、４４２Ｂ…可動検出電極、４４３Ａ、４４３Ｂ、４４４Ａ、４４４Ｂ…固定検出電極、４５１、４５２…固定部、４６…フレーム、４６１、４６２…欠損部、４７Ａ、４７Ｂ…連結梁、４８Ａ、４８Ｂ…第１補償電極、４８１Ａ、４８１Ｂ…可動電極指、４８２Ａ、４８２Ｂ…可動補償電極、４８３Ａ、４８３Ｂ…固定電極指、４８４Ａ、４８４Ｂ…固定補償電極、４９Ａ、４９Ｂ…第２補償電極、４９１Ａ、４９１Ｂ…可動電極指、４９２Ａ、４９２Ｂ…可動補償電極、４９３Ａ、４９３Ｂ…固定電極指、４９４Ａ、４９４Ｂ…固定補償電極、５…調整部、７３～７８…配線、９…制御回路、１２００…スマートフォン、１２０８…表示部、１２１０…制御回路、１５００…自動車、１５０２…制御装置、１５１０…システム、２０００…慣性計測装置、２１００…アウターケース、２１１０…ネジ穴、２２００…接合部材、２３００…センサーモジュール、２３１０…インナーケース、２３１１…凹部、２３１２…開口、２３２０…基板、２３３０…コネクター、２３４０ｘ…角速度センサー、２３４０ｙ…角速度センサー、２３４０ｚ…角速度センサー、２３５０…加速度センサー、２３６０…制御ＩＣ、３０００…移動体測位装置、３１００…慣性計測装置、３１１０…加速度センサー、３１２０…角速度センサー、３２００…演算処理部、３３００…ＧＰＳ受信部、３４００…受信アンテナ、３５００…位置情報取得部、３６００…位置合成部、３７００…処理部、３８００…通信部、３９００…表示部、Ｄ…矢印、Ｄ１～Ｄ４…平均離間距離、Ｅ…矢印、Ｅ１～Ｅ４…静電引力、Ｅ１ｙ～Ｅ４ｙ…成分、Ｆｃ、Ｆｑ…力、Ｏ…中心、Ｐ…電極パッド、Ｑ、Ｑｅ…矢印、Ｓ…収納空間、ｔ、ｔ１、ｔ２…厚さ、Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４…電圧、ＶＯ…検出信号、αｘ、αｙ…仮想直線、θ…傾斜、ωｚ…角速度

Claims (10)

1. 互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸としたとき、
   前記Ｚ軸に沿ったＺ軸方向に直交し、互いに表裏の関係にある第１面及び第２面を含む基板と、
   前記基板の前記第１面に配置されている駆動部と、
   前記基板の前記第１面に、前記Ｘ軸に沿ったＸ軸方向に沿って前記駆動部と並んで配置され、静電容量の変化に基づいて角速度を検知する検出部と、
   前記Ｘ軸方向に沿って配置され、前記駆動部と前記検出部とを接続している梁と、
   前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記駆動部と前記検出部との間に配置されている第１補償電極と、
   前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記駆動部と前記検出部との間に配置されている第２補償電極と、
   を含み、
   前記第１補償電極及び前記第２補償電極は、それぞれ、
   複数の可動電極指を含む可動補償電極と、
   前記基板の前記第１面に固定され、前記複数の可動電極指とそれぞれ対向している複数の固定電極指を含む固定補償電極と、
   を含み、
   前記第１補償電極の前記可動電極指と前記固定電極指との対向面積と、前記第２補償電極の前記可動電極指と前記固定電極指との対向面積とは、異なり、
   前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記梁は、前記第１補償電極と前記第２補償電極との間に配置されていることを特徴とする角速度センサー。
2. 請求項１において、
   前記Ｚ軸方向からの平面視で、
   前記第１補償電極と前記第２補償電極は、前記梁に対して線対称に配置されていることを特徴とする角速度センサー。
3. 請求項１または２において、
   前記第１補償電極及び前記第２補償電極は、前記検出部に接続されていることを特徴とする角速度センサー。
4. 請求項３において、
   前記検出部は、
   可動検出電極を含む検出可動体と、
   前記基板の前記第１面に固定され、前記可動検出電極と対向している固定検出電極と、
   を含み、
   前記第１補償電極及び前記第２補償電極は、前記検出可動体に接続されていることを特徴とする角速度センサー。
5. 請求項１乃至４の何れか一項において、
   前記第１補償電極及び前記第２補償電極の何れか一方は、調整部を含むことを特徴とする角速度センサー。
6. 請求項５において、
   前記調整部は、前記可動電極指及び前記固定電極指に設けられている凹部であることを特徴とする角速度センサー。
7. 請求項６において、
   前記凹部は、前記可動電極指及び前記固定電極指をレーザーにより凹状に形成したものであることを特徴とする角速度センサー。
8. 請求項１乃至７の何れか一項に記載の角速度センサーを含むことを特徴とする慣性計測装置。
9. 請求項１乃至７の何れか一項に記載の角速度センサーを含むことを特徴とする電子機器。
10. 請求項１乃至７の何れか一項に記載の角速度センサーを含むことを特徴とする移動体。

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