JP2020115098A5 - 角速度センサー、慣性計測装置、電子機器および移動体 - Google Patents

Description

本発明は、角速度センサー、慣性計測装置、電子機器および移動体に関するものである。

Claims (11)

1. 互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸としたとき、
   前記Ｚ軸に沿ったＺ軸方向に直交し、互いに表裏の関係にある第１面及び第２面を含む基板と、
   前記基板の前記第１面に配置されている駆動部と、
   前記基板の前記第１面に、前記Ｘ軸方向に沿って前記駆動部と並んで配置され、静電容量の変化に基づいて角速度を検知する検出部と、
   前記Ｘ軸方向に沿って配置され、前記駆動部と前記検出部とを接続している梁と、
   前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記駆動部と前記検出部との間に配置されている第１補償電極と、
   前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記駆動部と前記検出部との間に配置されている第２補償電極と、
   を含み、
   前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記梁は、前記第１補償電極と前記第２補償電極との間に配置され、
   前記第１補償電極と前記第２補償電極は、前記梁に対して、構造的に非対称であることを特徴とする角速度センサー。
2. 請求項１において、
   前記Ｚ軸方向からの平面視で、
   前記第１補償電極と前記第２補償電極は、前記梁に対して線対称に配置されていることを特徴とする角速度センサー。
3. 請求項１または２において、
   前記第１補償電極及び前記第２補償電極は、前記検出部に接続されていることを特徴とする角速度センサー。
4. 請求項３において、
   前記検出部は、
   可動検出電極を含む検出可動体と、
   前記基板の前記第１面に固定され、前記可動検出電極と対向している固定検出電極と、
   を含み、
   前記第１補償電極及び前記第２補償電極は、前記検出可動体に接続されていることを特徴とする角速度センサー。
5. 請求項１乃至４の何れか一項において、
   前記第１補償電極及び前記第２補償電極は、それぞれ、
   複数の可動電極指を含む可動補償電極と、
   前記基板の前記第１面に固定され、前記複数の可動電極指とそれぞれ対向している複数の固定電極指を含む固定補償電極と、
   を含むことを特徴とする角速度センサー。
6. 請求項５において、
   前記第１補償電極及び前記第２補償電極の何れか一方は、調整部を含むことを特徴とする角速度センサー。
7. 請求項６において、
   前記調整部は、前記可動電極指及び前記固定電極指に設けられている凹部であることを特徴とする角速度センサー。
8. 請求項７において、
   前記凹部は、前記可動電極指及び前記固定電極指をレーザーにより凹状に形成したものであることを特徴とする角速度センサー。
9. 請求項１乃至８の何れか一項に記載の角速度センサーを含むことを特徴とする慣性計測装置。
10. 請求項１乃至８の何れか一項に記載の角速度センサーを含むことを特徴とする電子機器。
11. 請求項１乃至８の何れか一項に記載の角速度センサーを含むことを特徴とする移動体。