JP3966155B2 - 可動部を有する構造体の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板にエッチングにより溝を形成することで、この溝を介して区画された可動部および固定部を形成してなる構造体の製造方法に関し、例えば可動電極と固定電極を有する容量式加速度センサや圧力センサ等の構造体に適用できる。
【0002】
【従来の技術】
従来一般に、この種の可動部を有する構造体は、SOI基板等の基板を用いて、該基板の一面側からに可動部および固定部を画定する溝をエッチングにて形成し、その後、犠牲層エッチングや基板他面側からのエッチング等により、可動部を基板からリリースし(切り離し)、可動部を可動状態とすることで製造される。
【0003】
このリリース工程としては、プラズマドライエッチング法やウェットエッチング法が使用される。プラズマドライエッチング法では、可動部を切り離すために、基板と可動部とを固定しているSiやSiO2等の半導体材料をプラズマ中でエッチングガスを導入するプラズマエッチングで除去し、可動部の切り離しを行う。
【0004】
この方法は、通常ウェハ状態で各素子の構造体における可動部をリリースするため、エッチングレートの面内分布等の関係から、先に切り離された部分の可動部は、可動な状態でエッチングのプロセス条件にさらされる。このとき、プロセス条件下での衝撃や静電気力でスティッキングが発生するという問題がある。
【0005】
スティッキングとは、可動部とこれに対向する固定部等の部分とが互いに付着してしまう現象であり、可動部の機能を損なうものである。
【0006】
また、ウェットエッチング法を用いた場合では、エッチング液に浸して可動部のリリースを行うため、リリースされた部分ではエッチング液の表面張力によって、特に乾燥時にスティッキングが発生する。
【0007】
このようなスティッキング防止方法としては、可動部とその下部に位置する基板との間にレジストを設け、このレジストにより可動部を支持することでスティッキングを防止する方法がある(例えば、特許文献1参照)。
【0008】
【特許文献1】
特表平7−505743号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のレジストを用いた方法では、最終的にレジストを除去するためにやはりプラズマドライエッチングやウェットエッチングを行う必要があり、上記したドライおよびウェットのエッチング法と同様に、スティッキングの発生が問題となる。
【0010】
本発明は上記問題に鑑み、基板にエッチングにより溝を形成することで、この溝を介して区画された可動部および固定部を形成してなる構造体の製造方法において、製造工程内におけるスティッキングの発生を極力防止できるようにすることを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、基板(100)にエッチングにより溝(70)を形成することで、この溝を介して区画され所定の変位方向に可動な可動部(10〜30)および固定部(40〜60)が形成され、可動部は、所定の変位方向に可動な櫛歯状の可動電極(20)を有し、固定部は、各々の可動電極と対向配置されて櫛歯状の可動電極にかみ合うように形成された櫛歯状の固定電極(40、50)を有し、さらに可動電極用の電極パッドおよび固定電極用の電極パッドを備えてなる構造体の製造方法において、可動電極と該可動電極の変位方向に所定の検出間隔を有して該可動電極に対向する固定電極とに橋渡しされてこれら両部を固定する導電性の固定部材(80)を形成しつつ溝を形成して可動部および固定部のパターンを形成する工程と、可動部となる部分を基板からリリースさせる工程と、しかる後、可動電極用の電極パッドおよび固定電極用の電極パッドから固定部材に電流を流して固定部材を溶断する工程とを行うことを特徴とする。
【0012】
それによれば、製造工程中において、可動部をリリースしても当該可動部は固定部材によって固定されてほとんど動かない状態となるので、その後の製造工程にて外力(衝撃)や静電気等が発生してもスティッキングを極力抑制することができる。
【0013】
そして、スティッキングの可能性がある工程が終了した後に固定部材に通電して溶断すなわち焼き切ることで、外力や静電気等をほとんど発生させることなく可動部を可動状態とすることができるため、スティッキングは極力抑制される。こうして構造体を完成させることができる。
【0014】
以上のように、本発明によれば、構造体の製造工程内におけるスティッキングの発生を極力防止することができる。
【0015】
なお、請求項1に記載の発明において、請求項2に記載の発明のように、可動部および固定部のパターンを形成しつつ固定部材を形成する工程は、基板の表面に熱酸化膜(240)を形成し、熱酸化膜のうち最終的に可動電極および固定電極となる部分に開口部(241)を形成した後、熱酸化膜の表面に金属膜を形成し、この金属膜を可動電極と固定電極とに跨って橋渡しされた形状となるようにエッチングすることにより固定部材を形成し、この後、熱酸化膜を除去して固定部材を該固定部材の中間部が基板から浮き上がったブリッジ形状にし、さらに溝を形成することにより可動部および固定部のパターンを形成するようにできる。
【0016】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。図1は本発明の構造体としての容量式加速度センサS1の概略平面構成を示す図である。
【0018】
このセンサS1は、SOI(シリコンオンインシュレータ)基板等の半導体基板等からなる基板100を有し、この基板100の一面側に櫛歯形状をなす梁構造体を形成することで、可動部としての重り部10、可動電極20およびバネ部30、固定部としての固定電極40、50および周辺部60が形成されたものである。
【0019】
可動部と固定部とは、図1に示されている基板100の一面側をエッチングすることにより形成された溝70を介して区画され、電気的に分離されている。また、可動部の下側(図1の紙面裏側方向)では、基板100が除去されることで、可動部は基板100からリリースされた(切り離された)状態となっている。
【0020】
このようにリリース状態にある可動部はその両端に矩形枠状のバネ部30が形成されており、このバネ部30は、図1中の左右方向に変位可能なバネ機能を有するものである。各バネ部30はアンカー部31、32に連結され、さらに、各アンカー部31、32は基板100に固定支持されている。
【0021】
これによって、図1中の左右方向の成分を含む加速度を受けたときに、バネ部30の機能によって可動部は図1中の左右方向へ変位するとともに、加速度の消失に応じて元の状態に復元するようになっている。このような可動部の変位の様子を図2に示しておく。
【0022】
バネ部30の間は重り部10にて連結されており、この重り部10は可動部の質量を実質的に規定するものである。重り部10には、可動部の変位方向と直交する方向(図1中の上下方向)にて重り部10の両側面から互いに反対方向へ一体的に突出する櫛歯状の複数個の可動電極20が備えられている。
【0023】
図1では、可動電極20は、重り部10の上側及び下側に各々3個ずつ突出して形成されている。そして、各可動電極20は、バネ部30および重り部10と一体に可動部として形成され、可動部の変位方向へ変位可能となっている。
【0024】
固定電極40、50は、周辺部60から可動部10〜30に向かって突出し、各々の可動電極20の側面と検出間隔を有して対向配置されたものである。つまり、図1に示すように、固定電極40、50は櫛歯状の可動電極20にかみ合うように形成された櫛歯状をなしている。
【0025】
固定電極40、50は、図1中の下側に位置する第1の固定電極40と、図1中の上側に位置する第2の固定電極50とより成り、両固定電極40、50は互いに電気的に独立している。
【0026】
また、上述した可動部10〜30、第1の固定電極40および第2の固定電極50に対して、それぞれ図示しない電極パッドが設けられている。この電極パッドは例えばアンカー部31、32や周辺部60の適所においてアルミニウム等にて形成され、外部回路とワイヤボンディング等により接続される。
【0027】
また、図1に示すように、本センサS1では、検出間隔を介して対向する可動電極20と固定電極40、50とにおいてその表面に、導電性の部材81が付着している。この部材81は後述する本センサの製造方法において用いられる固定部材の一部である。
【0028】
このような構成においては、第1の固定電極40と可動電極20との検出間隔に第1の容量CS1、第2の固定電極50と可動電極20との検出間隔に第2の容量CS2が形成されている。
【0029】
そして、加速度を受けると、バネ部30のバネ機能により、可動部10〜30全体が一体的に図1中の左右方向へ変位し、可動電極20の変位に応じて上記第1及び第2の容量CS1、CS2が変化する(図2参照)。そして、上記した外部回路により、これら第1及び第2の容量の差分、即ち、差動容量(CS1−CS2)の変化を電圧信号に変換することで加速度を検出する。
【0030】
次に、本センサS1の製造方法について、図3を参照して述べる。図3は、本センサS1の製造方法を工程順に示す概略断面図である。なお、図3は周辺部60、および対向する可動電極20と固定電極40、50との部分の断面を中心として模式的に示したものでバネ部30は省略してある。
【0031】
センサS1は、実際にはSOI基板からなる半導体ウェハ200に周知の半導体製造技術を用いてチップ単位毎にセンサ構成部を形成した後、該半導体ウェハ200をダイシングカットすることにより分断された半導体チップとして構成される。つまり、図3では基板100は、ウェハ状態としてのウェハ200の形で示してある。
【0032】
[図3(a)、(b)の工程]
SOI基板としての半導体ウェハ200は、シリコン基板210上に埋め込み酸化膜220を介して形成されたシリコン層230を有するものである。まず、溝70を形成して可動部および固定部のパターンを形成しつつ、可動部と固定部とに橋渡しされてこれら両部を固定する導電性の固定部材80を形成する。
【0033】
具体的には、まず、このウェハ200を熱酸化することにより、シリコン層230の表面に熱酸化膜240を形成する。次に、最終的に可動電極20および固定電極40、50となる部分に形成された熱酸化膜240に、ホト・エッチング等によりコンタクト部としての開口部241を形成した後、熱酸化膜240の表面に導電性の膜を形成する。
【0034】
この導電性の膜は、導電性のアルミ、金、銀、銅等の金属膜や導電性材料を含有する導電性の樹脂膜等から形成することができる。本例では、スパッタや蒸着等により金属膜としてのアルミ膜を形成する。
【0035】
そして、このアルミ膜を、可動電極20と固定電極40、50とに跨って橋渡しされた形状となるように、ホト・エッチングする。それにより、図3(b)に示されるように、アルミ膜が残った部分として導電性の固定部材80が形成される。なお、このアルミ膜のエッチングによって、上述した可動部10〜30、第1の固定電極40および第2の固定電極50の電極パッドを同時に形成しても良い。
【0036】
[図3(c)の工程]
次に、熱酸化膜240をフッ酸等を用いたエッチングによって除去する。これにより、固定部材80は、両端がシリコン層230に固定支持され、中間部が熱酸化膜240が無くなった分だけシリコン層230から浮き上がったブリッジ形状となる。
【0037】
さらに、上記図1に示される溝70を形成することにより、梁構造体すなわち可動部10〜30および固定部40〜60のパターンを形成する。この溝70は通常のホト・エッチング工程で形成できる。具体的には、ホトレジストにより形成した梁構造体のパターンを用いたドライエッチングによりシリコン層230をエッチングする。このエッチングには例えばSF6等のエッチャントを採用できる。
【0038】
このとき、固定部材80の線幅を予め十分狭くしておくことにより、シリコンのドライエッチング時にサイドエッチングが生じ、固定部材80の直下も他の部分と同様にトレンチエッチングされる。SOI基板を用いた場合では、埋め込み酸化膜220でエッチングがストップするため制御性に優れている。
【0039】
こうして、溝70を形成して可動部10〜30および固定部40〜70のパターンを形成しつつ、可動部と固定部とに橋渡しされてこれら両部を固定する導電性の固定部材80が形成される。
【0040】
[図3(d)の工程]
次に、固定部材(本例ではアルミ膜)80にて固定された可動部10〜30および固定部40〜60のパターンのうち可動部10〜30となる部分を基板からリリースさせる工程を行う。ここでは、当該可動部10〜30となる部分をウェハ200からリリースさせる。
【0041】
本例では、可動部10〜30および固定電極40、50の下の埋め込み酸化膜220をウェットもしくはドライのエッチングによって除去してリリースする。ウェットエッチングの場合はフッ酸等を用いた犠牲層エッチングにより、ドライエッチングの場合はCF4等のエッチャントを用いたエッチングにより、SiO2からなる埋め込み酸化膜220の除去が行える。
【0042】
この工程によって、可動部10〜30は基板100(ウェハ200)からリリースされるが、可動電極20と固定電極40、50間が固定部材80によって固定されて可動部10〜30はほとんど動かない状態となる。この状態の平面構成を図4に示す。このように、可動部と固定部との検出間隔方向における接触が発生しにくい構造となっている。
【0043】
[図3(e)の工程]
次に、固定部材80に通電して固定部材80を溶断する、すなわち焼き切る工程を行う。具体的には、可動電極20用の電極パッドおよび固定電極40、50用の電極パッドから固定部材80に過大な電流を流すことで、固定部材80が熱によって蒸発し焼き切られる。
【0044】
この通電は、真空中でも大気中でも良いが、真空中の方が溶融した固定部材80が蒸発しやすいため、好ましい。こうして、通電による溶断といった簡単な方法で固定部材80による固定を解除することができ、溶断された固定部材80は上記図1に示す導電性の部材81となる。そして、この工程の終了により、上記図1に示すセンサS1が完成する。
【0045】
この通電による溶断においては、上述した従来のレジストによる固定を解除するときのようなドライまたはウェットのエッチングが不要であり、外力や静電気等をほとんど発生させることなく可動部を可動状態とすることができる。
【0046】
なお、この固定部材80の溶断工程は、それ以後の工程において可動部になんらかの衝撃や静電気等による力ができるだけ発生しない状態まで加工を進めた後に行うようにする。
【0047】
例えば、この溶断工程のタイミングは、エッチングによる可動部のリリース工程が終了した後、またはウェハ200のダイシングカット終了後に行うことができ、さらには、チップとなったセンサをパッケージ等に組み付ける組み付け工程の途中でも行うことが可能である。
【0048】
以上述べてきたように、本実施形態の製造方法によれば、製造工程中において、可動部10〜30をリリースしても当該可動部は固定部材80によって固定されてほとんど動かない状態となるので、その後の製造工程にて外力(衝撃)や静電気等が発生してもスティッキングを極力抑制することができる。
【0049】
そして、スティッキングの可能性がある工程が終了した後に固定部材80に通電して溶断すなわち焼き切ることで、外力や静電気等をほとんど発生させることなく可動部10〜30を可動状態とすることができるため、スティッキングは極力抑制される。
【0050】
以上のように、本実施形態によれば、半導体加速度センサS1の製造工程内におけるスティッキングの発生を極力防止することができる。
【0051】
なお、可動部と固定部とに橋渡しされてこれら両部を固定する導電性の固定部材としては、可動電極20と固定電極40、50とに橋渡しされたものが良い。
【0052】
また、上記製造方法では、固定部材80を形成する前に熱酸化膜240を形成するが、熱酸化膜240を形成せずに直接シリコン層230の直上に固定部材80を形成しても良い。
【0053】
ただし、上述したように熱酸化膜240を形成した場合、これの除去によって固定部材80は、中間部がシリコン層230から浮き上がったブリッジ形状となる。この方が固定部材80全体がシリコン層230に接している場合に比べ、後のシリコン層230のエッチングにおける固定部材80直下のサイドエッチングが進みやすく、好ましい。
【0054】
また、上記図3の例では、固定部材80にて固定された可動部10〜30および固定部40〜60のパターンのうち可動部10〜30となる部分を基板からリリースさせる工程は、基板100(ウェハ200)の一面側からの埋め込み酸化膜220のエッチングにより行ったが、他の例としては基板100の他面側からの加工でも可能である。
【0055】
その例を図5に示す。この場合、ウェハ200(基板100)の他面からウェットもしくはドライのエッチングによってシリコン基板210および埋め込み酸化膜220の所定部分を除去する。ウェットエッチングの場合は、KOH等のアルカリエッチング液、フッ酸等を用いて、また、ドライエッチングの場合は、SF6、CF4等のエッチャントを用いてそれぞれシリコン基板210、埋め込み酸化膜220をエッチング除去する。
【0056】
この図5の例でも、リリース後の固定部材80による効果は、上記の例と同様であることは勿論である。
【0057】
また、可動部と固定部のパターンは上記した櫛歯状の形状に限定されないことは勿論である。また、バネ部も上記した矩形枠形状以外にも、例えば折り返し形状等であっても良い。
【0058】
また、基板としてはSOI基板以外にも、通常のシリコン基板等の半導体基板を用いても同様に製造できることは明らかである。また、本発明は、容量式加速度センサ以外にも圧力センサ、角速度センサ等の構造体に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態にかかる構造体としての容量式加速度センサの概略平面図である。
【図2】図1に示すセンサにおいて加速度印加時に可動部が変位した様子を示す図である。
【図3】図1に示すセンサの製造方法を示す工程図である。
【図4】可動部と固定部とが固定部材によって固定された状態を示す概略平面図である。
【図5】可動部のリリース工程の他の例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
10…重り部、20…可動電極、30…バネ部、40…第1の固定電極、
50…第2の固定電極、60…周辺部、70…溝、80…固定部材、
100…基板。
Claims (2)
- 基板(100)にエッチングにより溝(70)を形成することで、この溝を介して区画され所定の変位方向に可動な可動部(10〜30)および固定部(40〜60)が形成され、前記可動部は、前記所定の変位方向に可動な櫛歯状の可動電極(20)を有し、前記固定部は、各々の前記可動電極と対向配置されて前記櫛歯状の可動電極にかみ合うように形成された櫛歯状の固定電極(40、50)を有し、さらに前記可動電極用の電極パッドおよび前記固定電極用の電極パッドを備えてなる構造体の製造方法において、
前記可動電極と該可動電極の前記変位方向に所定の検出間隔を有して該可動電極に対向する前記固定電極とに橋渡しされてこれら両部を固定する導電性の固定部材(80)を形成しつつ前記溝を形成して前記可動部および前記固定部のパターンを形成する工程と、
前記可動部となる部分を前記基板からリリースさせる工程と、
しかる後、前記可動電極用の電極パッドおよび前記固定電極用の電極パッドから前記固定部材に電流を流して前記固定部材を溶断する工程とを行うことを特徴とする可動部を有する構造体の製造方法。 - 前記可動部および前記固定部のパターンを形成しつつ前記固定部材を形成する工程では、前記基板の表面に熱酸化膜(240)を形成し、前記熱酸化膜のうち最終的に前記可動電極および固定電極となる部分に開口部(241)を形成した後、前記熱酸化膜の表面に金属膜を形成し、この金属膜を前記可動電極と前記固定電極とに跨って橋渡しされた形状となるようにエッチングすることにより前記固定部材を形成し、この後、前記熱酸化膜を除去して前記固定部材を該固定部材の中間部が前記基板から浮き上がったブリッジ形状にし、さらに前記溝を形成することにより前記可動部および前記固定部のパターンを形成することを特徴とする請求項1に記載の可動部を有する構造体の製造方法。
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