CN107024203A - 物理量传感器、电子设备以及移动体 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够发挥优良的机械强度的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：基板(2)；检测用翼板(47)，其以与基板(2)对置的方式而配置；质量部(41)，其对检测用翼板(47)进行支承；梁部(48)，其对检测用翼板(47)和质量部(41)进行连结；第一限制部(61)，其位于检测用翼板(47)与质量部(41)之间，并对检测用翼板(47)的向面内方向的位移进行限制。此外，第一限制部(61)被设置于呈矩形形状的检测用翼板(47)的角部处。

Description

物理量传感器、电子设备以及移动体

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

一直以来，作为陀螺仪传感器(角速度传感器)而已知有专利文献1所记载的结构。该专利文献1所记载的陀螺传感器具有框状的质量部(框)、被配置于质量部的内侧的可动板(振动装置)、对可动板和框进行连结的梁部(悬架片)、和以与可动板对置的方式而配置的电极，且被构成为，当在使质量部于Y轴方向上进行振动的状态下被施加有围绕X轴的角速度时，通过科里奥利力而使得可动板在使梁部发生扭转变形的同时在Z轴方向上进行振动。由于通过这种可动板的振动而使被形成在可动板与电极之间的静电电容发生变化，因此能够根据该静电电容的变化而对被施加于陀螺传感器上的角速度进行检测。

然而，在这种专利文献1的陀螺传感器中，在向陀螺传感器施加有可动板的面内方向上的加速度的情况下，可动板会向面内方向位移，从而存在梁部过度挠曲而损坏(裂缝的产生、断裂等)、或者可动板与质量部发生碰撞而使可动板损坏的可能性。即，在专利文献1的陀螺传感器中，存在机械强度较低的这类问题。

专利文献

专利文献1：日本特表2008-514968号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够发挥优良的机械强度的物理量传感器、电子设备以及移动体。

这样的目的通过下述的本发明来实现。

本发明的物理量传感器的特征在于，具有：

基板；

可动板，其以与所述基板对置的方式而配置；

支承部，其对所述可动板进行支承；

梁部，其能够进行弹性变形，且以将所述可动板设为能够相对于所述基板而在所述基板的厚度方向上进行位移的方式对所述可动板和所述支承部进行连结；

第一限制部，其位于所述可动板与所述支承部之间，并对所述可动板的向面内方向的位移进行限制。

由此，由于通过第一限制部而限制了可动板的位移，因此能够防止可动板的向支承部的碰撞、或梁部的过度的变形，从而能够获得具有优良的机械强度的物理量传感器。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述第一限制部被设置于所述可动板上。

由此，第一限制部的配置变得容易。此外，例如能够将第一限制部与可动板一体形成。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述可动板在俯视观察时呈矩形形状，

所述第一限制部被设置于所述可动板的角部处。

由此，能够有效地减少可动板与支承部的接触。此外，由于可动板的角部为容易因撞击而出现缺口或破损的部位，因此通过利用第一限制部来保护这样的部位，从而能够有效地对可动板进行保护。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述可动板通过围绕转动轴倾倒从而在所述厚度方向上进行位移，并且具有如下部分，即，沿着所述旋转轴的方向上的宽度沿着从所述旋转轴远离的方向而逐渐减少的部分。

由此，使可动板与支承部变得不易接触。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述第一限制部被设置于所述支承部上。

由此，第一限制部的配置变得容易。此外，例如能够将第一限制部与支承部一体形成。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述第一限制部被设置于所述基板上。

由此，能够以与可动板及支承部为非接触的方式而对第一限制部进行配置。因此，第一限制部不会对可动板及支承部的位移造成影响。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述可动板具有相互并列设置的第一可动板和第二可动板，

所述梁部具有对所述第一可动板与所述支承部进行连结的第一梁部、和对所述第二可动板与所述支承部进行连结的第二梁部，

所述物理量传感器还具有第二限制部，所述第二限制部位于所述第一可动板与所述第二可动板之间，并对所述第一可动板以及所述第二可动板的向面内方向的位移进行限制。

由此，能够防止第一可动板与第二可动板的接触。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述第二限制部被设置于所述基板上。

由此，使第二限制部的配置变得容易。

本发明的电子设备的特征在于，具有本发明的物理量传感器。

由此，能够获得一种机械强度优良、且具有较高可靠性的电子设备。

本发明的移动体的特征在于，具有本发明的物理量传感器。

由此，能够获得一种机械强度优良、且具有较高可靠性的电子设备。

附图说明

图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。

图2为图1的A-A线剖视图。

图3为表示具有图1所示的物理量传感器的限制部的俯视图。

图4为表示检测用翼板的向面内方向的位移的俯视图。

图5为表示图3所示的限制部的改变例的俯视图。

图6为表示图3所示的限制部的改变例的俯视图以及剖视图。

图7为表示本发明的第二实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。

图8为表示检测用翼板的向面内方向的位移的俯视图。

图9为表示本发明的第三实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。

图10为表示检测用翼板的向面内方向的位移的俯视图。

图11表示应用了本发明的电子设备的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。

图12为表示应用了本发明的电子设备的便携式电话机(也包括PHS)的结构的立体图。

图13为表示应用了本发明的电子设备的数码照相机的结构的立体图。

图14为表示应用了本发明的移动体的汽车的立体图。

具体实施方式

以下，基于附图所示的实施方式来对本发明的物理量传感器、电子设备以及移动体进行详细说明。

第一实施方式

首先，对本发明的第一实施方式所涉及的物理量传感器进行说明。

图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图2为图1的A-A线剖视图。图3为表示具有图1所示的物理量传感器的限制部的俯视图。图4为表示检测用翼板的向面内方向的位移的俯视图。图5为表示图3所示的限制部的改变例的俯视图。图6为表示图3所示的限制部的改变例的俯视图以及剖视图。另外，在以下的说明中，将互相正交的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴。此外，将沿着X轴的方向称为“X轴方向”、将沿着Y轴方向的方向称为“Y轴方向”、将沿着Z轴的方向称为“Z轴方向”。

图1及图2所示的物理量传感器1为，能够对围绕Y轴的角速度ωy进行检测的陀螺传感器。该物理量传感器1具有基板2、盖体3、功能元件4和限制部6。另外，为了便于说明，在图1中，省略了基板2以及盖体3的图示。

基板2具有向上表面开放的凹部21和被设置于凹部21内的支柱(突起部)22，并通过上表面和支柱22来对功能元件4进行支承。此外，在凹部21的底面21a上，设置有与功能元件4之间形成静电电容C的四个固定检测电极5。另一方面，盖体3具有向下表面开放的凹部31。而且，基板2与盖体3以通过凹部21与凹部31而形成内部空间S的方式被接合在一起，并且在内部空间S内收纳有功能元件4。另外，优选为，使内部空间S处于减压状态(优选为，10Pa以下程度)。由此，能够减少粘性阻力，从而有效地使功能元件4进行振动(驱动)。

在本实施方式中，基板2由玻璃基板形成，盖体3由硅基板形成。因此，能够通过阳极接合而对基板2和盖体3进行接合。但是，作为基板2及盖体3的材料并未被限定于此，而且，基板2与盖体3的接合方法也未被限定于此。

如上文所述，功能元件4被配置于内部空间S内，且与基板2的上表面和支柱22接合。这种功能元件4具有两个结构体40(40a、40b)。两个结构体40a、40b以在X轴方向上并排的方式被设置，并且相对于沿着Y轴的假想直线α而对称。

结构体40具有：质量部(振动部)41、驱动弹簧部42、固定部43、可动驱动电极44、固定驱动电极45、46、检测用翼板(可动板)47、梁部48。此外，检测用翼板47具有第一翼板(第一可动板)471和第二翼板(第二可动板)472，梁部48具有第一梁部481和第二梁部482。这种结构体40是通过利用蚀刻等(例如干蚀刻)而对掺杂了磷、硼等杂质的导电性的硅基板进行图案形成从而被一体形成的。

质量部41为矩形的框体，且位于结构体40的中央部处。而且，在质量部41的四角上分别连接有驱动弹簧部42的一端部。驱动弹簧部42的另一端部与固定部43连接，固定部43被接合在基板2的上表面或支柱22上。由此，质量部41以及驱动弹簧部42成为如下状态，即，以从基板2上浮起的状态被支承的状态。因此，通过使驱动弹簧部42在X轴方向上进行伸缩(弹性变形)，从而能够使质量部41相对于基板2而在X轴方向上振动。另外，虽然作为固定部43与支柱22的接合方法并未被特别限定，但例如能够使用阳极接合。

可动驱动电极44被设置于质量部41上，在本实施方式中，所述可动驱动电极44在质量部41的+Y轴侧设置有两个、在-Y轴侧设置有两个，总计设置有四个。这些可动驱动电极44成为具备从质量部41起向Y轴方向延伸的干部、和从该干部起向X轴方向延伸的支部的梳齿形状。另一方面，固定驱动电极45、46被接合(固定)在基板2上。固定驱动电极45、46以与可动驱动电极44对置的方式而设置，且可动驱动电极44位于固定驱动电极45、46之间。此外，固定驱动电极45、46成为具备在Y轴方向上延伸的干部、和从该干部起向X轴方向延伸的支部的梳齿形状。

因此，当向可动驱动电极44与固定驱动电极45、46之间施加驱动电压时，在可动驱动电极44与固定驱动电极45、46之间将产生静电力，由此，能够在使驱动弹簧部42在X轴方向上伸缩的同时，使质量部41在X轴方向上振动(驱动)。在此，在结构体40a与结构体40b中，固定驱动电极45与固定驱动电极46的配置是相反(对称)的。因此，结构体40a的质量部41与结构体40b的质量部41以互相接近或远离的方式在X轴方向上以反相进行振动。由此，能够抵消结构体40a、40b的振动，从而能够减少振动泄漏。

另外，虽然在本实施方式中，如上文所述对通过静电力而使质量部41振动的方式(静电驱动方式)进行了说明，但使质量部41振动的方法并未被特别限定，也能够应用压电驱动方式或利用了磁场的洛伦茨力的电磁驱动方式等。

第一、第二翼板471、472位于质量部41的内侧，且以在Y轴方向上并列的方式而配置。此外，第一、第二翼板471、472分别呈矩形的板状。此外，第一翼板471在+Y轴侧的端部处通过第一梁部481而与质量部41连结，第二翼板472在-Y轴侧的端部处通过第二梁部482而与质量部41连结。这种第一、第二翼板471、472在通过向使质量部41于X轴方向上振动的状态下的物理量传感器1施加有围绕Y轴的角速度ωy，从而因科里奥利力而使第一、第二梁部481、482发生扭转变形(弹性变形)的同时，围绕由第一、第二梁部481、482形成的转动轴J1、J2而进行转动(位移)。

限制部6对检测用翼板47(第一、第二翼板471、472)的面内方向上的过度的位移进行限制，主要具有减少功能元件4的破损的功能。

这种限制部6具有位于第一、第二翼板471、472与质量部41之间的第一限制部61。另外，由于位于第一翼板471和质量部41之间的第一限制部61与位于第二翼板472和质量部41之间的第一限制部61为相同的结构，因此在下文中，为了便于说明，而以位于第一翼板471与质量部41之间的第一限制部61为代表来进行说明。

如图3所示，第一限制部61位于第一翼板471与质量部41之间。而且，第一限制部61被设计为，在由于向物理量传感器1施加的力(加速度、角速度)而像图4所示那样使第一翼板471向X轴方向或向Y轴方向或围绕Z轴进行位移的情况下，与质量部41接触。通过设置这样的第一限制部61，从而能够防止第一翼板471的过度的位移，由此能够降低由第一梁部481的过度的变形所造成的损坏(断裂、裂缝的产生等)或由与第二梁部482的接触所造成的损坏。此外，由于减少了第一翼板471向质量部41的冲击，因此也能够减少第一翼板471的损坏。因此，成为了机械强度较高的物理量传感器1。此外，通过设置第一限制部61，从而能够降低第一翼板471与质量部41之间的电吸附或电吸引。

换言之，第一限制部61被构成为，在第一梁部481过度变形之前、在第一梁部481与第二梁部482接触之前、以及在第一翼板471与质量部41接触之前，与质量部41接触。

第一限制部61在第一翼板471的侧面上被设置有多个，并且以向第一翼板471的外侧突出的方式而设置。由此，能够使第一限制部61的配置变得容易，并且能够更可靠地使第一限制部61位于第一翼板471与质量部41之间。此外，由于能够将第一限制部61与第一翼板471一体形成，因此使第一限制部61的形成变得容易。另外，虽然在本实施方式中，第一限制部61与第一翼板471一体形成(即，由硅基板形成)，但第一限制部61也可以不与第一翼板471一体形成。在该情况下，例如，能够通过利用天然橡胶、硅酮橡胶等比较柔软的树脂材料(与硅相比杨氏模量较大的材料)来形成第一限制部61，从而得到弹性较为优良的第一限制部61。

此外，第一限制部61被设置于第一翼板471的自由端侧(+Y轴侧)的角部处，且包括从角部向X轴方向突出的突出片611和从角部向Y轴方向突出的突出片612。因此，在第一翼板471相对于质量部41而在X轴方向上发生了位移的情况下，通过突出片611与质量部41接触，从而限制了第一翼板471的该限制以上的位移。此外，在第一翼板471相对于质量部41而在Y轴方向上发生了位移的情况下，通过突出片612与质量部41接触，从而限制了第一翼板471的该限制以上的位移。此外，在第一翼板471相对于质量部41而围绕Z轴发生了位移的情况下，通过突出片611、612中的至少一方与质量部41接触，从而限制了第一翼板471的该限制以上的位移。如此，通过将第一限制部61设为上述的结构，从而无论第一翼板471的面内方向上的何种位移，均能够有效地对其进行限制。但是，只要能够对上述的第一翼板471的位移进行限制即可，第一限制部61的配置与数量并不限定于本实施方式的配置与数量。

此外，第一限制部61的顶端部由弯曲凸面构成。由此，能够有效地减少与质量部41发生碰撞时的第一限制部61的损坏。但是，作为第一限制部61的形状，只要能够对上述的第一翼板471的过度的位移进行限制即可，并未被限定于本实施方式的形状。

以上，对限制部6(第一限制部61)进行了说明。虽然在本实施方式中，对第一限制部61被设置于第一、第二翼板471、472的侧面上的结构进行了说明，但作为第一限制部61的配置，只要位于第一、第二翼板471、472与质量部41之间即可，并未被特别限定。

例如，如图5所示，第一限制部61也可以被设置在质量部41的内周面上，并朝向质量部41的内侧突出。通过采用这种结构，从而能够使第一限制部61的配置变得容易，并且能够更可靠地使第一限制部61位于第一翼板471与质量部41之间。此外，由于能够使第一限制部61与质量部41一体形成，因此第一限制部61的形成变得容易。虽然在图5的结构中，第一限制部61与质量部41一体形成，但第一限制部61也可以不与质量部41一体形成。在该情况下，例如，能够利用天然橡胶、硅酮橡胶等比较柔软的树脂材料来形成第一限制部61，由此，能够获得弹性较为优良的第一限制部61。

此外，如图6所示，第一限制部61也可以被基板2支承，并以与第一翼板471以及质量部41为非接触的方式被设置。如此，通过以与第一翼板471以及质量部41为非接触的方式来设置第一限制部61，从而能够使第一限制部61不给振动部41的振动或第一翼板471的位移带来影响，而使振动部41以及第一翼板471顺畅地进行位移。此外，虽然在本实施方式或图5所示的结构中，在第一翼板471与质量部41的间隔距离较大的情况下，必须随此而将第一限制部61形成得较大，但根据本结构，即使第一翼板471与质量部41的间隔距离较大，第一限制部61也不会大型化。另外，在该情况下，优选为，第一限制部61与第一翼板471以同电位的方式连接，或者电浮置(被绝缘)。

这种第一限制部61例如能够由形成功能元件4的硅基板而形成。如果简单地进行说明，则功能元件4是通过如下方式而被形成的，即，首先，将未实施图案形成的硅基板接合在基板2上，之后，对硅基板进行图案形成，但是也能够在该图案形成时与功能元件4一起形成第一限制部61。根据这种方法，由于能够同时形成功能元件4与第一限制部61，因此不会产生工序的增加等情况。但是，第一限制部61也可以由天然橡胶、硅酮橡胶等比较柔软的树脂材料来形成，在该情况下，能够获得弹性较为优良的第一限制部61。

在基板2的与第一、第二翼板471、472对置的区域(在从Z轴方向进行观察的俯视观察时重叠的区域)内设置有固定检测电极5，在第一翼板471与固定检测电极5之间以及第二翼板472与固定检测电极5之间分别形成有静电电容C。如前文所述，当因角速度ωy而使第一、第二翼板471、472围绕转动轴J1、J2而进行位移(倾倒)时，由于静电电容C的大小会发生变化，因此能够根据该静电电容C的变化而对角速度ωy进行检测。另外，作为固定检测电极5的构成材料，只要具有导电性即可，并未被特别限定，例如，能够使用铝、金、铂金、ITO(Indium Tin Oxide：氧化铟锡)等。

以上，对物理量传感器1的形状进行了说明。接下来，对物理量传感器1的动作进行说明。首先，向可动驱动电极44与固定驱动电极45、46之间施加驱动电压，使结构体40a的质量部41与结构体40b的质量部41以反相且以预定的频率在X轴方向上进行振动。当在该状态下向物理量传感器1施加有围绕Y轴的角速度ωy时，科里奥利力将发挥作用，从而使结构体40a的第一、第二翼板471、472与结构体40b的第一、第二翼板471、472围绕转动轴J1、J2(在Z轴方向上)而以反相的方式进行位移。由于第一、第二翼板471、472发生位移，从而使第一、第二翼板471、472与固定检测电极5之间的间隙发生变化，伴随于此静电电容C发生变化。因此，通过对该静电电容C的变化量进行检测，从而能够求出角速度ωy。

以上，对第一实施方式所涉及的物理量传感器进行了说明。虽然在本实施方式中，结构体40所具有的检测用翼板47具有两个翼板(即第一、第二翼板471、472)，但作为翼板的数量并未被特别限定，例如也可以为一个。此外，作为第一、第二翼板471、472的朝向，也未被特别限定，例如既可以以使相互的自由端彼此对置(即，第一翼板471的自由端朝向-Y轴侧，第二翼板472的自由端朝向+Y轴侧)的方式而配置，也可以以使相互的自由端朝向相同的方向(即，均朝向+Y轴方向或-Y轴方向)的方式而配置。

第二实施方式

接下来，对本发明的第二实施方式所涉及的物理量传感器进行说明。

图7为表示本发明的第二实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图8为表示检测用翼板的向面内方向的位移的俯视图。

在本实施方式所涉及的物理量传感器中，主要是检测用翼板的形状与限制部的结构有所不同，除此以外，均与前述的第一实施方式所涉及的物理量传感器相同。

另外，在以下的说明中，关于第二实施方式的物理量传感器，以其与前述的实施方式的不同点为中心来进行说明，关于相同的事项则省略其说明。此外，由于第一、第二翼板互为相同的结构，因此在下文中，以第一翼板为代表来进行说明。此外，在图7以及图8中，对与前述的实施方式相同的结构标注相同的符号。

如图7所示，本实施方式的第一翼板471呈宽度(X轴方向上的宽度)W越趋向于顶端侧(从旋转轴J1离开的方向)越逐渐减小的锥形形状(梯形形状)。通过将第一翼板471设为这种形状，从而在第一翼板471相对于质量部41而在X轴方向上或围绕Z轴发生位移时使第一翼板471不易与质量部41接触。此外，如图8所示，即使在第一翼板471围绕Z轴发生位移而与质量部41接触的情况下，也能够使第一翼板471的侧面与质量部41的内周面进行面接触。因此，能够缓和接触时的冲击(应力集中)，从而能够减少第一翼板471或质量部41的损坏。另外，在本实施方式中，由于在第一翼板471的X轴方向上的位移过程中，不易与质量部41接触，因此从第一限制部61中省略了突出片611。因此，第一限制部61的结构与前述的第一实施方式相比而变得简单。

通过这种第二实施方式，也能够发挥与前述的第一实施方式相同的效果。

第三实施方式

接下来，对本发明的第三实施方式所涉及的物理量传感器进行说明。

图9为表示本发明的第三实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图10为表示检测用翼板的向面内方向的位移的俯视图。

在本实施方式所涉及的物理量传感器中，主要是限制部的结构有所不同，除此以外，均与前述的第一实施方式所涉及的物理量传感器相同。

另外，在以下的说明中，关于第三实施方式的物理量传感器，以其与前述的实施方式的不同点为中心来进行说明，关于相同的事项则省略其说明。此外，在图9中对与前述的实施方式相同的结构标注相同的符号。

图9所示的限制部6除了具有第一限制部61以外，还具有第二限制部62。第二限制部62位于第一翼板471与第二翼板472之间，并对第一、第二翼板471、472的向面内方向的过度的位移进行限制。具体而言，第二限制部62被设计为，在由于施加于物理量传感器1上的力(加速度、角速度)而像图10所示那样使第一、第二翼板471、472在Y轴方向上以及围绕Z轴而发生位移的情况下，在第一翼板471与第二翼板472接触之前与第一、第二翼板471、472接触。因此，能够防止第一、第二翼板471、472的过度的位移，从而能够减少由第一、第二梁部481、482的过度变形所造成的损坏(断裂、裂缝的产生等)、或由第一、第二梁部481、482彼此的接触所造成的损坏。如此，通过具有第二限制部62，从而成为了机械强度较高的物理量传感器1。

此外，第二限制部62被基板2支承，并且以从基板2的上表面突出的方式而设置。此外，第二限制部62以与第一、第二翼板471、472为非接触的方式而设置。如此，通过以与第一、第二翼板471、472为非接触的方式来设置第二限制部62，从而能够使第二限制部62不给第一、第二翼板471、472的位移带来影响，而使第一、第二翼板471、472顺畅地进行位移。

此外，优选为，第二限制部62与第一、第二翼板471、472电连接或为相同电位或者电浮置(被绝缘)。

这样的第二限制部62例如能够由形成功能元件4的硅基板而形成。但是，第二限制部62例如也能够由天然橡胶、硅酮橡胶等比较柔软的树脂材料而形成，由此，能够获得弹性较为优良的第二限制部62。

通过这种第三实施方式，也能够发挥与前述的第一实施方式相同的效果。

接下来，对具备本发明的物理量传感器的电子设备进行说明。

图11为表示应用了本发明的电子设备的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。

在该图中，个人计算机1100由具有键盘1102的主体部1104、和具有显示部1108的显示单元1106构成，并且显示单元1106通过铰链结构部而以能够相对于主体部1104进行转动的方式被支承。在这种个人计算机1100中，内置有物理量传感器1。

图12为表示应用了本发明的电子设备的便携式电话机(也包括PHS(PersonalHandy-phone System：个人手持式电话系统))的结构的立体图。

在该图中，便携式电话机1200具有天线(未图示)、多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，并且在操作按钮1202与听筒1204之间配置有显示部1208。在这种移动电话1200中，内置有物理量传感器1。

图13为表示应用了本发明的电子设备的数码照相机的结构的立体图。

在数码照相机1300的外壳(主体)1302的背面上设置有显示部1310，并且成为根据由CCD(Charge-coupled Device：电荷耦合元件)生成的拍摄信号而进行显示的结构，显示部1310作为将被摄体以电子图像的形式来显示的取景器而发挥功能。此外，在外壳1302的正面侧(图中背面侧)设置有包含光学镜片(摄像光学系统)或CCD等在内的受光单元1304。而且，当拍摄者对被显示在显示部1310上的被摄体图像进行确认，并按下快门按钮1306时，该时间点上的CCD的摄像信号会被传输并存储在存储器1308中。在这种数码照相机1300中，内置有例如被用于手抖校正中的物理量传感器1。

由于这种电子设备具备物理量传感器1，因此具有优良的可靠性。

另外，本发明的电子设备除了能够应用于图11的个人计算机、图12的便携式电话机、图13的数码照相机之外，还能够应用于如下的装置中，例如：智能手机、平板终端、时钟(包括智能手表)、喷墨式喷出装置(例如喷墨式打印机)、膝上型个人计算机、电视机、摄像机、录像机、车辆导航装置、寻呼器、电子记事本(也包括附带通信功能的产品)、电子辞典、电子计算器、电子游戏机、文字处理机、工作站、电视电话、防盗用视频监视器、电子双筒望远镜、POS(Point Of Sale：销售点)终端、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖仪、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量仪表类(例如，车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器等。

接下来，对本发明的移动体进行说明。

图14为表示应用了本发明的移动体的汽车的立体图。

如图14所示，在汽车1500中内置有物理量传感器1，例如通过物理量传感器1而能够对车身1501的姿态进行检测。物理量传感器1的检测信号被供给至车身姿态控制装置1502，车身姿态控制装置1502根据该信号而对车身1501的姿态进行检测，并且能够根据检测结果而对悬架的软硬进行控制，或者对各个车轮1503的制动器进行控制。除此之外，也能够在双足步行机器人或无线电遥控直升机(包括无人机)中利用这样的姿态控制。如上文所述，为了实现各种移动体的姿态控制，而组装有物理量传感器1。

以上，虽然根据图示的实施方式而对本发明的物理量传感器、电子设备以及移动体进行了说明，但本发明并不限定于此，各个部的结构能够置换为具有相同功能的任意的结构。此外，在本发明中也可以附加其他的任意的结构物。

此外，虽然在前述的实施方式中对检测用翼板围绕转动轴进行转动的结构进行了说明，但作为检测用翼板，只要能够在Z轴方向上进行位移即可，可以进行任意方式的位移。例如，检测用翼板既可以围绕转动轴进行杠杆摆动，也可以保持姿态不变地在Z轴方向上进行位移。即，既可以是杠杆摆动型的物理量传感器，也可以是平行平板型的物理量传感器。

此外，作为物理量传感器，并不限定于对角速度进行检测的陀螺传感器，例如也可以为加速度传感器、气压传感器等的对角速度以外的物理量进行检测的物理量传感器。

符号说明

1…物理量传感器；2…基板；21…凹部；21a…底面；22…支柱；3…盖体；31…凹部；4…功能元件；40、40a、40b…结构体；41…质量部；411…凹部；411a…接触面；42…驱动弹簧部；43…固定部；44…可动驱动电极；45、46…固定驱动电极；47…检测用翼板；471…第一翼板；472…第二翼板；48…梁部；481…第一梁部；482…第二梁部；5…固定检测电极；6…限制部；61…第一限制部；611、612…突出片；62…第二限制部；1100…个人计算机；1102…键盘；1104…主体部；1106…显示单元；1108…显示部；1200…便携式电话机；1202…操作按钮；1204…听筒；1206…话筒；1208…显示部；1300…数码照相机、1302…外壳；1304…受光单元；1306…快门按钮；1308…存储器；1310…显示部；1500…汽车；1501…车身；1502…车身姿态控制装置；1503…车轮；C…静电电容；J1、J2…转动轴；S…内部空间；W…宽度；α…假想直线；ωy…角速度。

Claims (12)

1.一种物理量传感器，其特征在于，具有：

基板；

可动板，其以与所述基板对置的方式而配置；

支承部，其对所述可动板进行支承；

梁部，其能够进行弹性变形，且以将所述可动板设为能够相对于所述基板而在所述基板的厚度方向上进行位移的方式对所述可动板和所述支承部进行连结；

第一限制部，其位于所述可动板与所述支承部之间，并对所述可动板的向面内方向的位移进行限制。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第一限制部被设置于所述可动板上。

3.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，

所述可动板在俯视观察时呈矩形形状，

所述第一限制部被设置于所述可动板的角部处。

4.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述可动板通过围绕转动轴倾倒从而在所述厚度方向上进行位移，并且具有如下部分，即，沿着所述旋转轴的方向上的宽度沿着从所述旋转轴远离的方向而逐渐减少的部分。

5.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第一限制部被设置于所述支承部上。

6.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第一限制部被设置于所述基板上。

7.如权利要求1至5中任意一项所述的物理量传感器，其中，

所述可动板具有相互并列设置的第一可动板和第二可动板，

所述梁部具有对所述第一可动板与所述支承部进行连结的第一梁部、和对所述第二可动板与所述支承部进行连结的第二梁部，

所述物理量传感器还具有第二限制部，所述第二限制部位于所述第一可动板与所述第二可动板之间，并对所述第一可动板以及所述第二可动板的向面内方向的位移进行限制。

8.如权利要求7所述的物理量传感器，其中，

所述第二限制部被设置于所述基板上。

9.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，

所述可动板通过围绕转动轴倾倒从而在所述厚度方向上进行位移，并且具有如下部分，即，沿着所述旋转轴的方向上的宽度沿着从所述旋转轴远离的方向而逐渐减少的部分。

10.如权利要求3所述的物理量传感器，其中，

所述可动板通过围绕转动轴倾倒从而在所述厚度方向上进行位移，并且具有如下部分，即，沿着所述旋转轴的方向上的宽度沿着从所述旋转轴远离的方向而逐渐减少的部分。

11.一种电子设备，其特征在于，

具有权利要求1所述的物理量传感器。

12.一种移动体，其特征在于，

具有权利要求1所述的物理量传感器。