CN104166013B - 传感器元件、电子设备、以及移动体 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种传感器元件、电子设备、以及移动体，其能够抑制可动体与基板、或可动体与固定电极的抵接。传感器元件设有：检测电极部；可动体，其与检测电极部对置设置；突起部，在从垂直方向俯视检测电极部时，所述突起部被设置在设有所述检测电极部的区域中，并朝向所述可动体而突出，所述突起部的表面的至少一部分为绝缘材料。

Description

传感器元件、电子设备、以及移动体
技术领域
本发明涉及传感器元件、电子设备、以及移动体。
背景技术
一直一来，作为检测加速度等物理量的传感器元件，众所周知一种传感器元件，其具备以可摆动的方式被支承部支承的作为可动电极的可动体、和配置在与可动体对置的位置处的作为固定电极部的检测电极部。在这种传感器元件中，通过可动体对应于施加在该传感器元件上的力而进行摆动，从而使可动体与检测电极部之间的距离发生变化。根据对应于该距离的变化而在两个电极部之间产生的电容变化，而对施加于传感器元件上的加速度等进行检测。例如，专利文献1中公开了一种电容型传感器元件，其具备可动电极以及相对于该可动电极具有间隙并在绝缘层上与其间隔设置的固定电极。
但是，在设置有固定电极的绝缘层带电的情况下，该带电所引起的静电引力(吸引力)有可能导致可动电极被吸引到固定电极侧。由于可动电极被吸引到固定电极侧并与固定电极抵接将导致两个电极之间产生的静电电容丧失(短路)，因此还存在对加速度等的检测带来影响的问题。
专利文献1：日本专利第4605087号公报
发明内容
本发明为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，能以下述的方式或应用例来实现。
应用例1
本应用例中所述的传感器元件的特征在于，设有：检测电极部，可动体，其与检测电极部对置设置；突出部，在从垂直方向俯视观察检测电极部时，所述突出部被设置在设有检测电极部的区域中，并朝向可动体而突出，突起部的表面的至少一部分为绝缘材料。
根据这样的传感器元件,设置有检测电极部和与检测电极部对置设置的可动体。此外，以从设有检测电极部的区域朝向可动体而突出的方式设置有表面的至少一部分为绝缘体的突起部。
可动体能够根据施加在传感器元件上的加速度等而进行位移。通过对置地设置检测电极部和可动体，从而使二者之间产生静电电容。静电电容通过施加在传感器元件上的加速度等而随着检测电极部与可动体之间的间隙变化而发生变动。
传感器元件能够根据静电电容的变化而对被施加的加速度等进行检测。
可动体在过度位移的情况下与突起部抵接。可动体通过与表面的至少一部分由绝缘材料构成的突起部抵接，从而被抑制了与检测电极部的接触及短路，从而能够抑制可动体和检测电极部之间产生的静电电容的丧失。
因此，可获得抑制了可动体和检测电极部的抵接、且即使被施加了在过度的加速度等的情况下也能够继续对加速度等进行检测的传感器元件。
应用例2
在上述应用例所涉及的传感器元件中，优选为，检测电极部包括设置在与可动体对置的位置处的第一检测电极部和第二检测电极部，突起部包括第一突起部和第二突起部，在从垂直方向俯视观察检测电极部时，该第一突起部被设置在设有第一检测电极部的区域中，并朝向可动体而突出，该第二突起部被设置在设有第二检测电极部的区域中，并朝向可动体而突出。
根据这样的传感器元件，包括第一检测电极部以及第二检测电极部，并且以与这些检测电极部对置的方式设置了可动体。另外，设有表面的至少一部分为绝缘体的第一突起部和第二突起部。第一突起部以从设有第一检测电极部的区域朝向可动体而突出的方式被设置。另外，第二突起部以从设有第二检测电极部的区域朝向可动体而突出的方式被设置。
可动体在通过施加在传感器元件上的加速度等而发生了过度位移时，将与第一突起部或第二突起部、或与两个突起部抵接。可动体通过与表面的至少一部分由绝缘材料构成的第一突起部或第二突起部、或与两个突起部抵接，从而被抑制了与检测电极部的接触以及短路，由此能够进一步抑制可动体与检测电极部之间产生的静电电容的丧失。
因此，可获得抑制了可动体和检测电极部之间的抵接，且即使在施加了过度的加速等的情况下也能够继续对加速度等进行检测的传感器元件。
应用例3
在上述应用例所涉及的传感器元件中，优选为，检测电极部和突起部被设置在基板上，且突起部与基板被一体设置。
根据这样的传感器元件，在基板的一面上设有检测电极部与突起部。突起部从基板延伸的同时与基板一体设置。
由此，能够以简单的结构设置突起部。
应用例4
在上述应用例所涉及的传感器元件中，优选为，在突起部的表面上设置有检测电极部，并且在突起部的与可动体抵接的部分设置有绝缘材料。
根据这样的传感器元件，在突起部的表面设有检测电极部，还在与可动体抵接的部分设有绝缘材料。
由此，通过用检测电极部覆盖由绝缘材料构成的突起部，从而能够屏蔽可动体与突起部之间产生的电场。
另外，通过在设置于突起部上的该检测电极部当中的与可动体抵接的部分处设置绝缘材料，从而能够抑制可动体和检测电极部之间的短路。
因此，即使在由绝缘材料构成的突起部上由于带电而产生了电荷，也能够抑制可动体被静电吸引在突起部上的情况。
因此可以获得抑制了对施加于传感器元件上的加速度等的错误检测的传感器元件。
应用例5
上述应用例所涉及的传感器元件优选为，设置有虚设电极部，所述虚设电极部以至少一部分与可动体的对置的方式而配置，且与检测电极部电绝缘。
根据这样的传感器元件，通过设置检测电极部和以至少一部分与可动体对置的方式配置且与该检测电极部电绝缘的虚设电极部，从而能够抑制基板露出的面积，并且屏蔽由于基板带电而产生的电荷。
因此，通过设置虚设电极部而抑制了基板露出的面积，并能够屏蔽由于带电而在基板和可动体之间产生的电场。因此，可以获得抑制了可动体被吸引到基板上的现象、且加速度等的检测精度较高的传感器元件。
应用例6
上述应用例所涉及的传感器元件优选为，检测电极部和虚设电极部被设置于基板上，且在检测电极部与虚设电极部之间、以及检测电极部的第一检测电极部与第二检测电极部之间的至少一方设置槽部。
根据这样的传感器元件，由于基板上设置的检测电极部与虚设电极部之间、以及第一检测电极部和第二检测电极部之间是电绝缘的，所以在各个电极部的边界部将产生露出基板的部分。因此，在各个电极部间且在基板上设有槽部。由于设有槽部，从而传感器元件能够扩大可动体与基板在各个电极部间露出的面之间的间隔距离。因此，通过设置槽部使得可动体与基板露出的面间的间隔距离变宽，减弱了基板带电所产生的对可动体的静电引力，从而可得到能够抑制可动体被吸引到基板上的传感器元件。
应用例7
在上述应用例所涉及的传感器元件中，优选为，在槽部的外缘设置有朝向可动体而突出的突出部。
根据这样的传感器元件，在槽部的外缘设置有朝向可动体而突出的突出部。在这样的传感器元件中，虽然基板带电所产生的电场会从第一检测电极部和第二检测电极部的边界部泄漏，但通过设置在槽部外缘的突出部而减小了相对于第一检测电极部和第二检测电极部的电场。因此，能够抑制对在可动体与第一检测电极部之间、以及可动体与第二检测电极部之间产生的电容造成的影响。
应用例8
在上述应用例所涉及的传感器元件中，优选为，虚设电极被设为固定电位，或者与可动体电连接。
根据这样的传感器元件，虚设电极被设为固定电位，或者与可动体电连接。通过将虚设电极设为固定电位从而能够抑制可动体与虚设电极之间产生的静电电容，并抑制对于可动体而产生的静电吸引。另外，虚设电极通过与可动体连接而成为与该可动体相同电位，由此能够抑制虚拟电极与可动体之间产生的静电电容，并抑制相对于可动体产生的静电吸引。
应用例9
在上述应用例所涉及的传感器元件中，优选为，在槽部的底面上至少延伸设置有检测电极部和虚设电极部中的一方。
根据这样的传感器元件，在槽部的底面上至少延伸设置有检测电极部及虚拟电极中的一方。由此，传感器元件通过尽可能地减少基板露出的部分，从而能够抑制带电产生的电场从基板泄漏的现象，并能够抑制对可动体和检测电极部之间产生的电容造成的影响。另外，能够抑制由于基板带电所产生的电场从基板泄漏而对可动体产生的静电吸引。
应用例10
本应用例中所涉及的传感器元件的特征在于，设有：检测电极部；可动体，其与检测电极部对置设置；突起部，其朝向可动体而突出，检测电极部包括配置在与可动体对置的位置处的第一检测电极部和第二检测电极部，在从垂直方向俯视观察检测电极部时，突起部被设置在第一检测电极部和第二检测电极部之间。
根据这样的传感器元件，包括第一检测电极部和第二检测电极部，并且以与这些检测电极部对置的方式设置有可动体。另外，在第一检测电极部和第二检测电极部之间设有朝向可动体而突出的突起部。可动体能够通过施加在传感器元件上的加速度等而进行位移。通过对置地设置检测电极部和可动体，从而在它们之间产生电容。静电电容通过施加在传感器元件上的加速度等而随着检测电极部和可动体之间的间隙变化进行变动。
可动体在通过施加在传感器元件上的加速度等而发生了过度位移时，将与突起部抵接。可动体通过与突起部的抵接从而被抑制了与检测电极部的接触和短路，从而能够抑制可动体与检测电极部之间产生的静电电容的丧失。
因此，抑制了可动体和检测电极部之间的抵接，从而能够获得即使在施加过度的加速度等的情况下也能够继续对加速度等进行检测的传感器元件。
应用例11
本应用例所涉及的电子设备的特征在于，安装有上述任意一个传感器元件。
根据这样的电子设备，通过搭载如下传感器元件，即抑制了可动体和检测电极部的抵接，即使在施加了过度的加速度等的情况下也能够继续对加速度等进行检测的传感器元件，由此能够提高其可靠性。
应用例12
本应用例所涉及的可动体的特征在于，安装有上述任意一个传感器元件。
根据这样的移动体，通过搭载如下传感器元件，即抑制了可动体和检测电极部之间的抵接，即使在施加了过度的加速等的情况下也能够继续对加速度等进行检测的传感器元件，由此能够提其高可靠性。
附图说明
图1为示意性地表示第一实施方式所涉及的传感器元件的俯视图。
图2为示意性地表示第一实施方式所涉及的传感器元件的剖视图。
图3为对第一实施方式所涉及的传感器元件的动作进行说明的模式图。
图4为示意性地表示第二实施方式所涉及的传感器元件的剖视图。
图5为示意性地表示第三实施方式所涉及的传感器元件的剖视图。
图6为示意性地表示第四实施方式所涉及的传感器元件的剖视图。
图7为示意性地表示第五实施方式所涉及的传感器元件的剖视图以及局部放大图。
图8为示意性的示出作为实施例所涉及的电子设备的个人计算机的图。
图9为示意性的示出作为实施例所涉及的电子设备的移动电话的图。
图10为示意性的示出作为实施例所涉及的电子设备的数字照相机的图。
图11为示意性的示出作为实施例所涉及的移动体的汽车的图。
具体实施方式
下面，利用附图对本发明的实施方式进行说明。另外，在下面所示的各图中，为了将各构成要素设为在附图上能够识别的大小，因此有可能以适当地使各构成要素的尺寸和比率与实际构成要素有所不同的方式来进行记载。
第一实施方式
参照图1至图3来说明第一实施方式中所述的传感器元件。图1为表示第一实施方式的传感器元件的概要的俯视图。图2为示意性地示出图1中的线段A-A′所示部分的传感器元件的截面的剖视图。图3为对第一实施方式所涉及的传感器元件的动作进行说明的图。为了便于说明，在图1中省略了盖体的图示。另外，在图3中，省略了除可动体和检测电极部之外的图示。另外，在图1至图3中，作为相互垂直的3个轴，图示了X轴、Y轴、Z轴。另外，Z轴为表示基板和盖体重叠的厚度方向的轴。
传感器元件1的结构
本实施方式的传感器元件1可以作为例如惯性传感器使用。具体地可以作为用来测定垂直方向(Z轴方向)的加速度的传感器(电容型加速度传感器、电容型MEMS加速度传感器)。
如图1和图2所示，在传感器元件1上设有基板10和设置在基板10上设置的突起部14以及检测电极部21。另外，在传感器元件1上设有通过支承部42而被支承在框部40上的可动体50和覆盖这些部件的盖体60。
基板10
基板10为设置有突起部14、检测电极部21等的基材。在基板10的设置有突起部14、检测电极部21等的一个表面上，设有第一凹部12。从相对于基板10而垂直的方向、即Z轴方向俯视观察时，第一凹部12具有内置并以重叠的方式配置有检测电极部21以及可动体50的第一底面12a。
基板10可以使用例如硼硅酸玻璃等作为其材料。
在下面的说明中，将设有第一凹部12，且连接后述盖体60的基板10的一个表面称为主表面10a。
检测电极部21
从垂直于第一底面12a的Z轴方向俯视观察时，检测电极部21和第一底面12a至少一部分与可动体50重叠，并且相对于可动体50隔开间隙13而设置在第一底面12a上。检测电极部21被构成为，包括第一检测电极部21a和第二检测电极部21b。另外，第一检测电极部21a及第二检测电极部21b相互电绝缘。
从垂直于可动体50的Z轴方向俯视观察时，检测电极部21被设置在以可动体50倾斜时的支轴Q为中心的第一底面12a的两侧。
在第一底面12A上，以支轴Q为中心的两侧中的一侧设有第一检测电极部21a，并且在以支轴Q为中心的两侧的另一侧设有第二检测电极部21b。
具体而言，在检测电极部21中，在以支轴Q为中心的如图1所示的-X轴方向上，且以一部分与第一可动体50a(可动体50)重叠的方式设置有第一检测电极部21a。此外，在检测电极部21中，在以支轴Q为中心的如图1所示的+X轴方向上，且以一部分与第二可动体50b(可动体50)重叠的方式设置有第二检测电极部21b。
另外，优选为，第一检测电极部21a及第二检测电极部21b的表面积相等。另外，优选为，第一可动体50a(可动体50)与第一检测电极部21a重叠的面积、以及第二可动体50b(可动体50)与第二检测电极部21b重叠的面积分别相等。这是为了根据第一可动体50a以及第二可动体50b、与第一检测电极部21a以及第二检测电极部21b之间产生的电容(电荷)之差来对施加在传感器元件1上的力的方向进行检测。
检测电极部21使用具有导电性的材料作为其材料。作为检测电极部21的材料可以使用包含例如金(Au)、铜(Cu)、铝(Al)、铟(I)、钛(Ti)、铂(Pt)、钨(W)、锡(Sn)、硅(Si)等的导电性材料。
突起部14
突起部14从第一底面12a朝向可动体50而突出，并在与第一底面12a的一端不同的另一端设置有顶面141。突起部14被设置成在顶面141和可动体50之间具有间隙13。突起部14被构成为包括第一突起部14a和第二突起部14b。
第一突起部14a被设置成，从垂直于检测电极部21的Z轴方向俯视观察检测电极部21时，与设置第一检测电极部21a的区域重叠，并且顶面141a从第一检测电极部21a露出。另外，第一突起部14a被设置为在顶面141a与可动体50之间具有间隙13。
第二突起部14b被设置成，从垂直于检测电极部21的Z轴方向俯视观察检测电极部21时，与设置第二检测电极部21b的区域重叠，并且顶面141b露出于第二检测电极部21b。此外，第二突起部14b被设置为在顶面141b及可动体50之间具有间隙13。
突起部14可以使用具有绝缘性的材料作为其材料。突起部14可以使用例如与基板10相同的硼硅酸玻璃作为其材料。
框部40、支承部42、可动体50
可动体50相对于设置在第一底面12a上的检测电极部21具有间隙13并与其间隔设置。可动体50通过从倾斜时的支轴Q延伸的支承部42而被支承在框部40上。在基板10的主表面10a上沿第一凹部12的外周边设置框部40。
可动体50
可动体50被构成为，包括以支轴Q为中心的第一可动体50a和第二可动体50b。可动体50通过支承部42而被支承在设于主表面10a上的框部40上，因此能够与检测电极部21之间具有间隙13并与其间隔开。可动体50与检测电极部21之间具有间隙13且与其间隔开设置，因此能以支轴Q为支点进行杠杆摆动。
此外，可动体50通过以支轴Q为支点进行杠杆摆动，从而使其与检测电极部21之间的间隙13的距离发生变化。根据可动体50和检测电极部21间的间隙13的距离变化，可以使可动体50和检测电极部21之间产生的静电电容发生变化。
可动体50上设有偏向第一可动体50a的支轴Q。因此，在传感器元件1上未施加加速度等的力时(可动体50未摆动时)，可动体50向第二可动体50b侧倾斜。由于在未施加加速度等力时可动体50向一定方向倾斜，因而能够抑制加速度等力的检测的偏移。
在可动体50与检测电极部21之间将产生静电电容(可变电容)。具体而言，可动体50(第一可动体50a)和第一检测电极部21a之间具有静电电容(可变电容)C1。此外，可动体50(第二可动体50b)和第二检测电极部21b之间具有电容(可变电容)C2。
静电电容C1，C2根据检测电极部21和可动体50之间的间隙13(距离)而发生电容变化。
例如，在可动体50相对于基板10为水平状态时，静电电容C1、C2成为大致相等的电容值。由于可动体50和第一检测电极部21a之间的间隙13的距离(大小)与可动体50和第二检测电极部21b之间的间隙13的距离(大小)变为相等，所以静电电容C1，C2的电容值也变为相等。
另外，例如在可动体50以支轴Q为支点倾斜的状态下，静电电容C1，C2随着可动体50的倾斜，而使静电电容C1、C2的电容值也发生变化。根据可动体50的倾斜，可动体50和第一检测电极部21a之间的间隙13的距离(大小)与可动体50和第二检测电极部21b之间的间隙13的距离(大小)将不同，因此对应于间隙13的距离(大小)静电电容C1、C2的电容值也不同。
支承部42
支承部42从可动体50的支轴Q向着框部40延伸设置。
支承部42可以作为扭簧(扭转弹簧)发挥功能。支承部42可以在支轴Q的旋转轴方向上扭转。通过支承部42作为扭簧发挥功能，从而使可动体50能够根据加速度而发生倾斜(杠杆式摆动)。
支承部42相对于由于可动体50的倾斜而产生的“扭转变形”具有韧性，能够防止该支承部42破损。
为说明传感器元件1的结构，图1和图2中所示的可动体50示出了相对于基板10呈大致水平的状态，但由于将支轴Q设置为偏向第一可动体50a，所以在初始时向着第二可动体50b侧倾斜。另外，关于可动体50的倾斜(杠杆式摆动)将在后文说明。
框部40
从垂直于基板10的Z轴方向的俯视观察时，框部40沿第一凹部12外周缘而设置在基板10的主表面10a上。框部40与可动体50之间具有间隙43，并设置在主表面10a上。
在框部40上，如图1所示，通过支承部42而支承有可动体50。
由于可动体50具有框部40和可动体50之间的间隙43以及检测电极21和可动体50之间的间隙13，因此可以将支承部42作为支轴Q进行杠杆式摆动。
本实施方式的传感器元件1中，框部40、支承部42和可动体50可以以作为一体而在一个基材上进行图案形成的方式设置。
可动体50优选使用具有导电性的材料作为其材料。这是由于可动体50作为电极发挥功能的缘故。
另外，框部40及支承部42作为一体而形成时，优选使用例如硅基板等通过光刻法等容易进行加工的材料。
对于框部40，对其材料没有特别限定，可使用各种材料。另外，当可动体50和支承部42作为一体而形成时，优选使用例如硅基板等通过光刻法等容易进行加工的材料。
对于支承部42，只要是具有韧性的材料，并没有特别限定，可以是各种材料。另外，在可动体50和框部40作为一体而形成时，优选使用例如硅基板等通过光刻法而容易进行加工的材料。
框部40、支承部42以及可动体50也可由具有绝缘性的材料形成。由具有绝缘性的材料形成可动体50时，只要在与检测电极部21对置的面上形成具有导电性的电极膜即可。
盖体60
盖体60与基板10相连接设置。在盖体60上设有第二凹部62。盖体60将第二凹部62的顶面作为接合面62a，构成了由通过与基板10的主表面10a相连接而设置在基板10上的第一凹部12以及设在盖体60上的第二凹部62所包围的空间即空腔80。由于在由基板10及盖体60构成的空腔80中容纳可动体50等，从而能从对于传感器元件1的干扰中保护可动体50。
在基板10和盖体60相连接的方向上，第二凹部62优选被设置为，当可动体50倾斜时可动体50和盖体60不会抵接的深度。另外，第二凹部62优选被设置为，至少在可动体50倾斜的方向上，与可动体50的厚度相比而较深。
此外，盖体60通过省略图示的布线而接地。
盖体60优选地使用具有导电性的材料作为其材料。本实施方式的盖体60使用例如容易加工的硅基板。盖体60通过使用硅基板，从而能够在与使用硼硅酸玻璃的基板10之间通过阳极接合法进行连接(接合)。
布线部
传感器元件1上设有将上述检测电极部21和可动体50之间产生的静电电容(C1、C2)作为电信号而输出的布线部(未图示)。利用布线部能将随可动体50的倾斜而产生的静电电容输出到传感器元件1的外部。
另外，上述传感器元件1优选能够捕捉到较小的加速度等的变化。因此，优选为，将随着加速度而倾斜的可动体50设置为随着所施加的加速度等能容易地倾斜(杠杆式摆动)。
由于在传感器元件1中，以与可动体50对置的方式在第一底面12a上设置有检测电极部21，所以设有检测电极部21的基板10使用绝缘材料。传感器元件1在基板10上使用了作为绝缘材料的硼硅酸盐玻璃，从而基板10容易带电。在基板10带电的情况下，可动体50有时会被静电引力(吸引)吸引到基板10侧。
由此，存在可动体50与设置在第一底面12a上的检测电极部21抵接的可能性。如果可动体50和检测电极部21抵接，则可动体50和检测电极部21之间产生的电容(C1、C2)会丧失，从而作为传感器元件1便无法再对加速度等进行测量。
因此，本发明的传感器元件1通过在可动体50被吸引至基板10侧时，使可动体50与突起部14抵接，从而能够抑制可动体50与检测电极部21的抵接的情况，并抑制静电电容的丧失。
传感器元件1的动作
对本实施方式的传感器元件1的动作进行说明。
图3为说明传感器元件1的动作的模式图，省略了检测电极部21和可动体50之外的结构的图示。
在传感器元件1被施加有例如垂直方向(Z轴方向)的加速度(例如重力加速度)时，在可动体50上将产生以支轴Q为中心的转动力矩(力的力矩)。
图3(a)例示了对传感器元件1未施加加速度、或在以支轴Q为中心的可动体50的两侧(第一可动体50a、第二可动体50b)均匀地施加有加速度的状态。
该状态下在可动体50中，与第一可动体50a相比更多的重力加速度作用于第二可动体50b。因此，可动体50上以支轴Q为旋转轴的顺时针方向的力发挥作用。这是由于支轴Q偏向第一可动体50a侧的缘故。所以可动体50向第二检测电极部21b侧倾斜。
由此，可动体50(第二可动体50b)和第二检测电极部21b之间的间隙13变小(变短)，可动体50和第二检测电极部21b之间的静电电容C2的电容值增加。另一方面，可动体50(第一可动体50a)和第一检测电极部21a之间的间隙13变大(变长)，可动体50和第一检测电极部21a之间的静电电容C1的电容值减少。
图3(b)例示了相对于传感器元件1从-Z轴方向朝向+Z轴方向的加速度G11施加在可动体50上的状态。
该状态下由于在可动体50上于第二可动体50b侧施加有加速度G11，所以以支轴Q为旋转轴的逆时针旋转的力作用于可动体50。因此，可动体50将向第一检测电极部21a侧倾斜。图3(b)中表示了作用于第二可动体50b的重力加速度与加速度G11呈大致相等的状态。因此，可动体50相对于基板10成为大致水平。
由此，可动体50(第一可动体50a)和第一检测电极部21a之间的间隙13与可动体50(第二可动体50b)和第二检测电极部21b之间的间隙13变为大致相等。因此，可动体50和第一检测电极部21a之间的静电电容C1与可动体50和第二检测电极部21b之间的静电电容C2的电容值大致相等。
另外，与图3(a)中所示的传感器元件1上没有施加加速度的状态相比，可动体50(第一可动体50a)和第一检测电极部21a之间的间隙13变小，两部分之间产生的静电电容C1变大。而且，可动体50(第二可动体50b)和第二检测电极部21b之间的间隙13变大，两部分之间产生的静电电容C2的电容值减少。
图3(c)例示了相对于传感器器件1从+Z轴方向朝向-Z轴方向的加速度G21施加在可动体50上的状态。
该状态下由于在第一可动体50侧施加了加速度G21，所以以支轴Q为旋转轴的逆时针旋转的力作用于可动体50。因此，可动体50向第一检测电极部21a侧倾斜。在图3(c)中显示出与作用于第二可动体50b的重力加速度相比，加速度G21较高的状态。因此，可动体50向第一检测部21a侧倾斜。
由此，可动体50(第一可动体50a)和第一检测电极部21a之间的间隙13变小(变短)，可动体50和第一检测电极部21a之间的静电电容C1的电容值将增加。另一方面，可动体50(第二可动体50b)和第二检测电极部21b之间的间隙13变大(变长)，可动体50和第二检测电极部21b之间的静电电容C2的电容值减少。
另外，与图3(a)中所示的传感器元件1中没有施加加速度的状态相比，可动体50(第一可动体50a)和第一检测电极部21a之间的间隙13变小，两部分之间产生的静电电容C1变大。此外，可动体50(第二可动体50b)和第二检测电极部21b之间的间隙13变大，两部分之间的静电电容C2的电容值减少。
本实施方式的传感器元件1能够从两个电容值的变化程度检测加速度(例如、G11，G21)的值。例如，以图3(b)的状态下得到的电容值的变化(加速度G11的大小和方向)为基准，通过判断在图3(c)状态中的电容值的变化可以检测加速度G21作用的方向和力。根据该静电电容C1、C2的电容值的变化(差动)，能够检测出加速度的大小和方向。
根据该静电电容C1、C2的电容值的变化(差动)，能够检测出加速度的大小和方向。
根据上述第一实施方式能够获得以下效果。
根据这样的传感器元件1，设置有从第一底面12a向可动体50突出的第一突起部14a和第二突起部14b。
在可动体50过度倾斜的情况下，与第一突起部14a或第二突起部14b抵接，由此使得可动体50与检测电极部21的接触和短路得到抑制。
因此，能够抑制可动体50和检测电极部21之间产生的静电电容C1、C2的损耗。
由此能够获得抑制了可动体50与检测电极部21之间的接触和短路、且即使在施加过度的加速等的情况下也能够继续对加速度等进行检测的传感器元件1。
第二实施方式
参照图4对第一实施方式的传感器元件进行说明。
图4是示意性地示出第二实施方式所涉及的传感器元件的截面图。图4是图1中由线段A-A'所示部分的传感器元件的示意性截面图。
在图4中，图示了作为相互垂直的三个轴的X轴、Y轴、Z轴，Z轴为表示基板和盖体重叠的厚度方向的轴。
第二实施方式所涉及的传感器元件1a与第一实施方式中所述的传感器元件1不同之处在于，设置在基板10上的第一凹部12的第一底面12a上设置有虚设电极部22。由于其他结构等与传感器元件1大致相同，因此相同的结构采用相同的标号和符号，并省略对传感器元件1a的部分说明。
传感器元件1a的结构
在图4中所示的传感器元件1a与第一实施方式中所述的传感器元件1同样，可作为例如对铅直方向(Z轴方向)上的加速度进行测量的传感器而使用。
如图4所示，传感器元件1a上设有基板10，基板10上的突起部14、检测电极部21及虚设电极部22。另外，传感器元件1a上还设有通过支承部42而被支承在框部40上的可动体50和覆盖这些部件的盖体60。
虚设电极部22
在传感器元件1a上，于第一凹部12的第一底面12a上设有虚设电极部22。
虚设电极部22与检测电极部21电绝缘，并且以从作为垂直于基板10的方向的Z轴方向俯视观察时不与电极检测单元21重叠的方式设置在第一底面12a上。换而言之，在第一底面12a上独立于电极检测单元21设置虚设电极部22。
虚设电极部22为了屏蔽由于基板10带电所产生的电场而设置，其通过未图示的布线而接地或与可动体50相连接。虚设电极部22通过接地而被固定在恒定电位上。虚设电极部22通过接地而被固定了电位，从而能够与盖体60等成为大致相同电位。因此，能够使可动体50与虚设电极部22以及盖体60等之间产生的静电引力大致相等。
另外，虚设电极部22通过与可动体50的连接而能够与可动体50成为大致相同电位。因此，能够抑制虚设电极部22和可动体50之间产生静电引力。
其他结构与传感器元件1相同，因此省略其说明。
根据上述第二实施方式，能够获得以下效果。
根据这样的传感器元件1a，由于在第一底面12a上设置有与检测电极部21电绝缘的虚设电极部22，因此可以抑制基板10在第一底面12a上的露出面积，同时能够屏蔽由于基板10带电而产生的电场。
因此，通过设置虚设电极部22能够抑制基板10的露出面积，并能够屏蔽由于带电而产生的电场。
由此，能够抑制可动体50被吸引至基板10上的现象，并可得到对加速度等的检测精度较高的传感器。
第三实施方式
参照图5对第三实施方式中所述的传感器元件进行说明。
图5是示意性地示出第三实施方式所涉及的传感器元件的截面图。图5是示意性地示出了图1中由线段A-A'所示部分的传感器元件的截面图。
在图5中，图示了作为相互垂直的三个轴的X轴、Y轴、Z轴，Z轴为表示基板和盖体重叠的厚度方向的轴。
第三实施方式中所涉及的传感器元件1b与第二实施方式中所述的传感器元件1a相比时，其不同之处在于，设置在基板10上的第一凹部12的第一底面12a上设置有槽部16。由于其他结构与传感器元件1、1a大致相同，因此相同的结构采用相同的标号和符号，并省略对传感器元件1b的部分说明。
传感器元件1b的结构
图5所示的传感元件1b与上述各实施方式的传感器元件1、1a同样，可作为例如对铅直方向(Z轴方向)上的加速度进行测量的传感器而使用。
如图5所示，传感器元件1b上设有基板10，基板10上设有突起部14、检测电极部21及虚设电极部22。另外，传感器元件1b上还设有通过支承部42而被支承在框部40上的可动体50和覆盖这些部件的盖体60。另外，在传感器元件1b上，在构成检测电极部21的第一检测电极部21a及第二检测电极部21b与检测电极部21及虚设电极部22之间的边界部18上还设有凹槽16。
槽部16
槽部16被设于第一检测电极部21a及第二检测电极部21b与检测电极部21及虚设电极部22之间的边界部18上。
检测电极部21和虚设电极部22分别独立地电绝缘地设置在第一底面12a上，因此第一底面12a在边界部18处露出。
由此，在基板10带电时，由于带电而产生的电场从边界部18泄漏，从而产生将可动体50吸引至基板10一侧的静电引力。因此，从作为垂直于基板10的方向的Z轴方向俯视观察可动体50时与可动体50重叠的边界部18上设有凹槽16。
另外，在传感器1b中，优选为，尽量减小在边界部18中的露出的第一底面12a。因此，检测电极部21和虚设电极部22被延伸设置到槽部16的底面为止。
通过设置槽部16，能够增大可动体50与基板10的第一底面12a露出的边界部18之间的间隙13，由此能够抑制对可动体50的静电引力的作用。换而言之，能够抑制可动体50被静电吸引到基板10侧的现象。
其他结构与传感器元件1、1a相同，因此省略说明。
根据上述第三实施方式，可以实现如下效果。
根据这样的传感器元件1b，在位于在第一底面12a上设置的检测电极部21与虚设电极部22之间以及第一检测电极部21a与第二检测电极部21b之间，在与可动体50重叠区域的边界部18上设有槽部16。
因此，通过设置槽部16，能够扩大可动体50与基板10在边界部18中露出的第一底面12a之间的间隙13的距离。
因此，可获得能够减弱由于基板10的带电而产生的对于可动体50的静电引力，由此能够抑制可动体50被吸引到基板10上的传感器元件1b。
第四实施方式
参照图6对第四实施方式的传感器元件进行说明。
图6是第四实施方式的传感器元件的示意性截面图。图6是图1中由线段A-A'所示部分的传感器元件的示意性截面图。
在图6中，图示了作为相互垂直的三个轴的X轴、Y轴、Z轴，Z轴为表示基板和盖体重叠的厚度方向的轴。
第四实施方式中所述的传感器元件1c与第三实施方式中所述的传感器元件1b的不同之处在于，沿着设在第一检测电极部21a及第二检测电极部分21b的边界部18上的槽部16而设有突出部15。其它结构等与传感器元件1、1a、1b大致相同，因此相同的结构采用相同的标号和符号，并省略一部分对传感器元件1c的说明。
传感器元件1c的结构
图6所示的传感元件1c与上述各实施方式的传感器元件1、1a，1b同样，可作为例如对铅直方向(Z轴方向)上的加速度进行测量的传感器而使用。
如图6所示，传感器元件1c设有基板10，基板10上设有突起部14、突出部15、检测电极部21、和虚设电极部22。另外，传感器元件1c通过支承部42而被支承在框部40上的可动体50、以及覆盖这些部件的盖体60。此外，在构成检测电极部21的第一检测电极部21a及第二检测电极部21b与检测电极部21及虚设电极部22之间的边界部18上设有凹槽16。
突出部15
传感器元件1c被构成为，包括在第一实施方式的传感器元件1中所述的第一突起部14a和第二突起部分14b，以及突出部15。
突出部15沿着槽部16而设置的，该槽部16被设置于，设在第一底面12a上的第一检测电极部21a及第二检测电极部分21b之间的边界部18上。突出部15从第一底面12a向可动体50突出，并且在不同于第一底面12a侧的一端的另一端设有顶面151。突出部15在顶面151与可动体50之间设有间隙13。
另外，以覆盖突出部15的方式设置有检测电极部21。覆盖突出部15的第一检测电极部21a及第二检测电极部分21b从第一底面12a向着槽部16延伸，在边界部18上被设置成相互绝缘。
基板10的由于带电而产生的电场从在边界部18中露出的主表面10a(第一底面12a)泄漏，但是通过设置突出部15，可起到屏蔽从主面10a泄漏的电场的效果，并且能够抑制可动体50和第一检测电极部21a之间、以及对可动体50和第二检测电极部21b之间产生的静电电容的影响。
其他结构与传感器元件1、1a、1b相同，因此省略其说明。
根据上述第四实施方式可获得如下效果。
这样的传感器元件1c沿着设在第一检测电极部21a及第二检测电极部分21b之间的槽部16设有从第一底面12a向可动体50突出的突出部15。突出部15由第一检测电极部21a或第二检测电极部分21b覆盖。
因此，通过设置突出部15，使得从在边界部18中露出的第一底面12a泄漏的电场对检测电极部21的吸引被减轻，从而能够抑制对可动体50与检测电极部21之间产生的电容C1、C2的影响。
由此可获得抑制了由于带电而产生的吸引的传感器元件1c。
第五实施方式
参照图7对第五实施方式的传感器元件进行说明。
图7是示意性地示出第五实施方式所涉及的传感器元件的截面图。图7(a)是示意性地示出图1中由线段A-A'所示部分的传感器元件的截面图。在图7(b)是示意性地放大图示了第一突起部14a的放大图。在图7图示了作为相互垂直的三个轴的X轴、Y轴、Z轴，Z轴为表示基板和盖体重叠的厚度方向的轴。
第五实施方式中所述的传感器元件1d与第三实施方式中所述的传感器元件1b同样在第一底面12a上设有凹槽16。传感器元件1d与第三实施方式中所述的传感器元件1b相比时，其不同之处在于在，突起部14被检测电极部21覆盖，此外还以覆盖设在突起部14上的检测电极部分21的方式设有绝缘部32。
其他的结构等与第三实施方式中所述的传感器元件1b大致相同，因此相同的结构采用相同的标号和符号，并部分省略地对传感器元件1d进行说明。
传感器元件1d的结构
图7所示的传感器元件1d与在第三实施方式中所述的传感器元件1b同样、可作为例如对铅直方向(Z轴方向)上的加速度进行测量的传感器而使用。
如图7所示，传感器元件1d上设有基板10，基板10上设有突起部14、检测电极部21、和虚设电极部22。另外，传感器元件1d上还设有通过支承部42而被支承在框部40上的可动体50、以及覆盖这些部件的盖体60。并且，在传感器元件1d上，在构成检测电极部21的第一检测电极部21a及第二检测电极部21b与检测电极部21及虚设电极部22之间的边界部18上设有凹槽16。
突起部14
本实施方式的传感器元件1d的突起部14被检测电极部21所覆盖，还以覆盖设在突起部14上的检测电极部分21的方式设有绝缘部分32。另外，突起部14上设有从第一底面12a向可动体50突出，并且在不同于第一底面12a侧的另一端设有顶面141。
突起部14包括第一突起部14a和第二突起部14b而构成。
从垂直方向的Z轴方向俯视观察检测电极部21时，第一突起部14a与第一检测电极部21a重叠，同时在顶面141a与可动体50之间设有间隙13。
另外，第一突起部14a被第一检测电极部21a覆盖，还以覆盖设置在第一突起部14a上的第一检测电极部21a的方式设有绝缘部32。
从垂直方向的Z轴方向俯视观察检测电极部21时，第二突起部14b重叠于第二检测电极部21b，同时在顶面141b与可动体50之间设有间隙13。
第二突起部14b被第二检测电极部21b所覆盖，并且还以覆盖设在第二突起部14b上的第二检测电极部分21b的方式设有绝缘部32。
为了保护设在基板10上的可动体50，这种传感器元件1d被设置成其盖体60与基板10接合。
在传感器元件1d中，作为包含硼硅酸玻璃而构成的基板10与包含硅而构成的盖体60接合的方法，而采用的是阳极接合法。
按阳极接合法的基板10与盖体60之间的接合，将使用包含钠等碱金属元素(可动元素)的硼硅酸玻璃的基板10以及使用具有导电性硅的盖体60放置到高温(大约300℃至500℃之间)的空间里。空间优选惰性气体(氮、氩、氦等)气氛或真空。另外，向基板10与盖体60之间施加高电压(大约500V至1000V)。由此，基板10和盖体60在接合的主面10a与接合面62a之间(界面)上产生共价键，从而相互牢固地接合。
使用阳极接合法的情况下，在基板10中内含于该基板10的Na(钠)离子向着与盖体60的接合面62a接合的主面10a相反一侧产生移动。由于产生Na离子的移动，因此基板10在接合面62a一侧(主面10a)上将生成耗尽层，主面10a和第一底面12a变得易于带电。
由于产生基板10的Na离子的移动，因此基板10变得易于带电，通过静电引力向可动体50作用，使得可动体50被吸引至基板10侧。可动体50被吸引至基板10侧有可能导致其与突出部14抵接。
例如，在基板10和盖体60的阳极接合中，当突起部14与可动体50抵接时，会在包含硼硅酸玻璃而构成的突起部14与包含硅而构成的可动体50之间意外地产生阳极接合。
在此，传感器元件1d的突起部14通过被检测电极部21所覆盖，能够抑制在阳极接合时产生的Na离子的移动，同时即使可动体50抵接也能够抑制阳极接合的现象。另外，由于当可动体50倾斜时突起部14与覆盖突起部14的检测电极部分21抵接时，有可能出现可动体50和检测电极部21之间产生的静电电容损耗的危险，因此，在突起部14以覆盖其上的检测电极部分21的方式设有绝缘部32。
另外，例如如图7(b)所示，绝缘部32至少被设置在凸起部14与可动体50抵接的部分上即可。
根据上述第五实施方式，可以实现如下效果。
根据这样的传感器元件1d，以覆盖第一突起部14a和第二突起部14b(突起部14)的方式而设有检测电极部21，而且在突起部14上还以覆盖可动体50与检测电极部分21抵接部分的方式设有绝缘部32。
由此，在由绝缘体构成突起部14时，传感器元件1d利用电极检测单元21屏蔽由于带电而产生的电场，由此能够抑制可动体50被静电吸引至突起部14上的现象。并且，传感器元件1d在制造时，即使可动体50与突起部14抵接，也可通过设在突起部14上的检测电极部21而抑制Na离子的移动，从而抑制可动体50与突起部14阳极接合。因此，可获得在抑制可动体50被静电吸引至突起部14的同时，还抑制可动体50与突起部14之间的意外接合的传感器元件1d。
上述各实施方式中，作为最合适的形态采用了设有多个突起部14的形态进行了说明，但是也可以采用设有一个突起部14的方式。
例如，从传感器元件1及1a至1d，在没有施加加速度等的初始状态下，可动体50向第二检测电极部21b侧倾斜，通过施加加速度而向第一检测电极部21a侧倾斜，当进一步施加加速度时则能够使第一突起部14a与可动体50抵接。
因此，只要设置有至少一个突起部14，便可得到上述效果。
此外，例如，在可动体在相对于检测电极部而垂直的方向上平行地位移的的结构传感器元件(例如，日本专利公开平成第1-101697号公报)上设置突起部，该突起部从设有本发明所述的检测电极部的区域向可动体突出。
通过在这种传感器元件上至少设置一个突出尺寸与可动体位移的方向中的检测电极部的厚度尺寸相比而较大的突起部，从而能够防止可动体和检测电极部分之间的抵接。因此，抑制了可动体与检测电极部分之间的抵接和短路，也抑制了可动体和检测电极部之间产生的电容的损耗。
因此，能够获得抑制可动体和检测电极部分之间的抵接的同时，即使在施加了过度的加速度等的情况下，也能够继续检测加速度等的传感器元件。
实施例
参照图8至图11对于应用了本发明的一个实施方式中所涉及的传感器元件1以及传感器元件1a至1d(下面、统称为传感器元件1而进行说明)中的任意一个的实施例进行说明。
电子设备
参照图8至图10对于适用了本发明的一个实施方式中所述的传感器元件1的电子设备进行说明。
作为具备本发明的一个实施方式中所述的振动元件的电子设备的一例，图8为示出笔记本式(或便携式)个人计算机的结构概要的立体图。在该图中，笔记本式个人计算机1100是由具备键盘1102的主体部1104及具备显示部1008的显示部1106构成，通过铰链结构部将显示部1106可转动地支承在主体部1104上。在这种笔记本式个人计算机1100中内置有电容型的传感器元件1，其作为对施加在笔记本式个人计算机1100上的加速度等进行检测并将加速度等显示在显示部1106中的加速度传感器而发挥功能。由于这种传感器元件1的可动体50与基板1接触，电容C1、C2的损耗被抑制，因此可以连续地对加速度等进行测量。因此，可获得具有较高可靠性的笔记本式个人计算机1100。
图9为，图示了作为具备本发明的一个实施方式中所述的振动元件的电子设备的移动电话(包括PHS)结构概要的立体图。在该图中，移动电话1200具备多个操作按钮1202、听筒1204和话筒1206，在操作按钮1202和听筒1204之间设有显示部1208。这样的移动电话1200中内置有电容型的传感器元件1，其作为对施加于移动电话1200的加速度等进行检测，并对该移动电话1200的操作进行辅助的加速度传感器等而发挥功能。由于这种传感器元件1的可动体50与基板10接触，电容C1、C2的损耗被抑制，因此可以连续进行对加速度等的测量。因此，可获得具有较高可靠性的移动电话1200。
图10示出了作为具备本发明的一个实施方式中所述的振动元件的电子设备的一例的数字照相机的结构概要的立体图。另外，在该图中，也简单地示出了外部设备的连接。普通照相机是通过被摄体的光像来对银盐胶片进行曝光，相对于此，在此，数字照相机1300是对被摄体的光像通过CCD(电荷耦合器件)等摄像元件进行光电转换来生成摄像信号(图像信号)。
数字照相机1300的壳体(机身)1302的背面设有显示部1308，从而构成为根据基于CCD的摄像信号进行显示的结构，显示部1308作为取景器发挥功能，该取景器将被摄体以电子图像的形式进行显示。此外，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)配置有光学透镜(摄像光学系统)或包括CCD等的受光部1304。
在拍摄者确认在显示部1308上所显示的被摄体图像，并按下快门按钮1306时，此刻的CCD的摄像信号将被传送并存储到存储器1310里。另外，该数字照相机1300中，在壳体1302的侧面设有视频信号输出端子1312和数据通信用输出入端子1314。并且，如图所示，根据需要，在视频信号输出端子1312与液晶显示器1430连接，数据通信用输出入端子1314与个人计算机1440连接。此外，构成为，通过规定的操作，使得储存在存储器1310中的摄像信号被输出到液晶显示器1430或个人计算机1440上。在这种数字照相机1300中，为了使数字静态照相机1300的掉落保护功能运行，而内置有作为检测掉落加速度的加速度传感器而发挥功能的电容型传感器元件1。由于这种传感器元件1的可动体50与基板1接触，电容C1、C2的损耗被抑制，因此能够连续地进行加速度等测量。因此，可获得具有较高可靠性的数字照相机1300。
另外，本发明的一实施方式中所述的传感器元件1，不仅能够应用于图8的笔记本式个人计算机(便携式个人计算机)和图9的移动电话、图10的数字照相机，还可应用于例如喷墨式喷出装置(例如喷墨打印机)、电视、摄像机、录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括带有通信功能的)、电子词典、计算器、电子游戏机、文字处理器、工作站、可视电话、防盗用电视监视器、电子双筒望远镜、POS终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖计、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测定设备、计量仪器(例如车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器等电子设备。
移动体
图11为简要示出作为移动体的一例的汽车的立体图。汽车1500的各种控制单元中装载有作为加速度传感器而发挥功能的传感器元件1。例如，如图所示，作为移动体的汽车1500在车体1507上装载有电子控制单元(ECU:电子控制单元)1508，该控制单元内置有检测该汽车1500的加速度的传感器元件1来控制发动机的输出。通过检测加速度来将发动机控制为对应于车体1507的姿势的适当的输出，从而能够获得抑制了燃料等消耗的作为高效移动体的汽车1500。
而且，除此之外，传感器元件1还可广泛应用于车身姿态控制单元、防抱死制动系统(ABS)、气囊、轮胎压力监视系统(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)中。
这种传感器元件1的可动体50与基板1接触，电容C1、C2的损耗被抑制，从而能够连续进行加速度等的测量。因此，可获得具有较高可靠性的移动体1500。
符号说明
1…传感器元件，10…基板、10a…主表面、12…第一凹部、12a…第一底面，13…间隙，14…突起部、15…突出部(凸出部)、16…槽部，18…边界部，21…检测电极部22…虚设电极部，32…绝缘部，40…框部，42…支承部，43…间隙，50…可动体，60…盖体，62…第二凹部，62a…接合面，80…空腔，141…顶面、1100…笔记本电脑、1200…移动电话，1300…数字照相机，1500…汽车，C1、C2…静电电容，G11，G21…加速度。

Claims (8)

1.一种传感器元件，其特征在于，当将相互垂直的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，设有：
检测电极部；
可动体，其在所述Z轴方向上与所述检测电极部对置设置；
突起部，在从所述Z轴方向上进行俯视观察时，所述突起部被设置在设有所述检测电极部的区域中，并朝向所述可动体而突出，
所述可动体包括沿着所述X轴而排列的第一可动体和第二可动体，
所述可动体将沿着所述Y轴且位于所述第一可动体与所述第二可动体之间的支轴作为旋转轴，并能够在所述Z轴方向上进行摆动，
所述突起部的表面的至少一部分为绝缘材料，
所述检测电极部包括：
第一检测电极部，其在所述Z轴方向上与所述第一可动体对置；
第二检测电极部，其在所述Z轴方向上与所述第二可动体对置，
所述突起部包括第一突起部和第二突起部，在从所述Z轴方向上进行俯视观察时，该第一突起部被设置在设有所述第一检测电极部的区域中，并朝向所述第一可动体突出，该第二突起部被设置在设有所述第二检测电极部的区域中，并朝向所述第二可动体而突出，
所述第一检测电极部与所述第二检测电极部之间设有槽部，
在所述槽部的外缘设有第一突出部以及第二突出部，所述第一突出部以与所述第一可动体对置的方式沿着所述槽部朝向所述第一可动体而突出，所述第二突出部以与所述第二可动体对置的方式沿着所述槽部朝向所述第二可动体而突出，
所述第一突出部由所述第一检测电极部覆盖，所述第二突出部由所述第二检测电极部覆盖。
2.一种传感器元件，其特征在于，当将相互垂直的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，设有：
检测电极部；
可动体，其在所述Z轴方向上与所述检测电极部对置设置；
突起部，在从所述Z轴方向上进行俯视观察时，所述突起部被设置在设有所述检测电极部的区域中，并朝向所述可动体而突出，
所述可动体包括沿着所述X轴而排列的第一可动体和第二可动体，
所述可动体将沿着所述Y轴且位于所述第一可动体与所述第二可动体之间的支轴作为旋转轴，并能够在所述Z轴方向上进行摆动，
所述突起部的表面的至少一部分为绝缘材料，
所述检测电极部包括：
第一检测电极部，其在所述Z轴方向上与所述第一可动体对置；
第二检测电极部，其在所述Z轴方向上与所述第二可动体对置，
所述突起部包括第一突起部和第二突起部，在从所述Z轴方向上进行俯视观察时，该第一突起部被设置在设有所述第一检测电极部的区域中，并朝向所述第一可动体突出，该第二突起部被设置在设有所述第二检测电极部的区域中，并朝向所述第二可动体而突出，
设置有虚设电极部，所述虚设电极部至少一部分在所述Z轴方向上与所述可动体对置配置，并与所述检测电极部电绝缘，
所述检测电极部与所述虚设电极部之间设有槽部，
在所述槽部的外缘设有第一突出部以及第二突出部，所述第一突出部以与所述第一可动体对置的方式沿着所述槽部朝向所述第一可动体而突出，所述第二突出部以与所述第二可动体对置的方式沿着所述槽部朝向所述第二可动体而突出，
所述第一突出部由所述第一检测电极部覆盖，所述第二突出部由所述第二检测电极部覆盖。
3.如权利要求1或2所述的传感器元件，其特征在于，
所述检测电极部和所述突起部被设置在基板上，
所述突起部与所述基板被一体设置。
4.如权利要求1或2所述的传感器元件，其特征在于，
在所述突起部的表面上设置有所述检测电极部，且在所述突起部的与所述可动体抵接的部分设置有所述绝缘材料。
5.如权利要求2所述的传感器元件，其特征在于，
所述虚设电极部被设为固定电位，或者与所述可动体电连接。
6.如权利要求2所述的传感器元件，其特征在于，
在所述槽部的底面上至少延伸设置有所述检测电极部和所述虚设电极部中的一方。
7.一种电子设备，其特征在于，安装有权利要求1或2中所述的传感器元件。
8.一种移动体，其特征在于，安装有权利要求1或2中所述的传感器元件。
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