JP2015007560A - 機能素子、物理量センサー、電子機器及び移動体 - Google Patents
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Abstract
【課題】耐衝撃性の向上及び平面サイズの更なる小型化を図ることが可能な機能素子、この機能そしを備えている物理量センサー、電子機器及び移動体の提供。【解決手段】加速度センサー1は、基板12と、基板12の主面16側に配置されている可動部68と、可動部68上に載置され、基板12の主面16側に固定されているリッド64と、を備え、リッド64の凹部64aには、基板12の主面16側に突出し、可動部68のアーム70のX軸方向への変位を規制する変位規制部64bが設けられている。【選択図】図3
Description
本発明は、機能素子、この機能素子を備えている物理量センサー、電子機器及び移動体に関する。
従来、例えば、角速度や加速度などの物理量を検出する機能素子を備えた物理量センサーとして、角速度センサーと、加速度センサーとを備えた慣性センサーであって、加速度センサーの可動体に形成された複数の第1突起部と、加速度センサーの周辺部に形成された複数の第2突起部とを有し、複数の第1突起部と複数の第2突起部とが交互に離間して櫛歯状に配置されている構成により可動体の移動を抑制する移動抑制部が設けられている慣性センサーが知られている(例えば、特許文献1参照)。
上記慣性センサーは、移動抑制部の複数の第1突起部と複数の第2突起部との間に生じる空気粘性抵抗効果を利用して可動体の移動を抑制し、減圧状態における加速度センサーの検出感度の向上を図るとされている。
上記慣性センサーは、移動抑制部の複数の第1突起部と複数の第2突起部との間に生じる空気粘性抵抗効果を利用して可動体の移動を抑制し、減圧状態における加速度センサーの検出感度の向上を図るとされている。
しかしながら、上記慣性センサーは、搭載される電子機器などの小型化の進展に伴って移動抑制部の複数の第1突起部及び複数の第2突起部を、小さく且つ薄くしなければならないことから、外部からの衝撃に対する耐衝撃性が低下する虞がある。
また、上記慣性センサーは、移動抑制部の複数の第1突起部及び複数の第2突起部を、可動体の外側のスペースに設ける構成となっていることから、平面サイズの更なる小型化が阻害される虞がある。
また、上記慣性センサーは、移動抑制部の複数の第1突起部及び複数の第2突起部を、可動体の外側のスペースに設ける構成となっていることから、平面サイズの更なる小型化が阻害される虞がある。
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例にかかる機能素子は、基板と、前記基板の主面側に配置されている可動体と、前記可動体上に載置され、前記基板の前記主面側に固定されている蓋体と、を備え、前記蓋体には、前記主面側に突出し前記可動体の変位を規制する変位規制部が設けられていることを特徴とする。
これによれば、機能素子は、基板と、基板の主面側に配置されている可動体と、可動体上に載置され、基板の主面側に固定されている蓋体と、を備えている。そして、機能素子の蓋体には、基板の主面側に突出し可動体の変位を規制する変位規制部(移動抑制部に相当)が設けられている。
このように、機能素子は、可動体の変位を規制する変位規制部が蓋体に設けられていることから、例えば、特許文献1のような複数の第1突起部及び複数の第2突起部からなる移動抑制部が不要となる。
この結果、機能素子は、外部からの衝撃に対する耐衝撃性を向上させることができるとともに、平面サイズの更なる小型化を図ることができる。
このように、機能素子は、可動体の変位を規制する変位規制部が蓋体に設けられていることから、例えば、特許文献1のような複数の第1突起部及び複数の第2突起部からなる移動抑制部が不要となる。
この結果、機能素子は、外部からの衝撃に対する耐衝撃性を向上させることができるとともに、平面サイズの更なる小型化を図ることができる。
[適用例2]上記適用例にかかる機能素子において、前記変位規制部は、前記可動体が静止状態のときに、前記可動体との間に間隔があることが好ましい。
これによれば、機能素子は、可動体が静止状態のときに、変位規制部が可動体との間に間隔があることから、例えば、外部からの物理量の印加に対して可動体が変位しやすいことになる。
この結果、機能素子は、例えば、物理量に対する検出感度が良好となる。
なお、間隔は、機能素子の、例えば、物理量検出範囲などの仕様に基づいて適宜設定される。
この結果、機能素子は、例えば、物理量に対する検出感度が良好となる。
なお、間隔は、機能素子の、例えば、物理量検出範囲などの仕様に基づいて適宜設定される。
[適用例3]上記適用例にかかる機能素子において、前記変位規制部は、前記可動体の変位方向の両側から前記可動体を挟んで設けられていることが好ましい。
これによれば、機能素子は、変位規制部が可動体の変位方向の両側から可動体を挟んで設けられていることから、可動体のふらつきが生じにくいことになる。
この結果、機能素子は、可動体のふらつきによる、例えば、物理量の誤検出を抑制することができる。
この結果、機能素子は、可動体のふらつきによる、例えば、物理量の誤検出を抑制することができる。
[適用例4]上記適用例にかかる機能素子において、前記変位規制部は、前記可動体の主面に対向して設けられ、前記変位規制部と前記可動体の主面が接触していることが好ましい。
これによれば、機能素子は、変位規制部が可動体の主面に対向して設けられ、変位規制部と可動体の主面が接触していることから、可動体の大幅な変位を規制することになる。
これにより、物理量センサーは、外部からの可動体を介して変位規制部に加わる衝撃が緩和され、変位規制部の耐衝撃性を更に向上させることができる。
これにより、物理量センサーは、外部からの可動体を介して変位規制部に加わる衝撃が緩和され、変位規制部の耐衝撃性を更に向上させることができる。
[適用例5]上記適用例にかかる機能素子において、前記蓋体の前記変位規制部が設けられている部分は可撓性を備えていることが好ましい。
これによれば、機能素子は、蓋体の変位規制部が設けられている部分が可撓性を備えていることから、可動体に対する接触圧(押圧力)を可撓性がない場合より弱くすることができる。
この結果、機能素子は、変位した可動体の復元性を向上させることができる。
この結果、機能素子は、変位した可動体の復元性を向上させることができる。
[適用例6]上記適用例にかかる機能素子において、前記蓋体の前記変位規制部が設けられている部分は、前記蓋体の固定部分と比して薄くなっていることが好ましい。
これによれば、機能素子は、蓋体の変位規制部が設けられている部分が、蓋体の固定部分と比して薄くなっていることから、可動体に対する接触圧(押圧力)を弱くすることができる。
この結果、機能素子は、変位した可動体の復元性を向上させることができる。
この結果、機能素子は、変位した可動体の復元性を向上させることができる。
[適用例7]上記適用例にかかる機能素子において、前記可動体は、両端を弾性変形部で支持され、前記変位規制部は、一方の前記弾性変形部から他方の前記弾性変形部までを挟んで設けられ、前記変位規制部は、各前記弾性変形部を変位方向に撓ませた状態で、各前記弾性変形部と接触していることが好ましい。
これによれば、機能素子は、変位規制部が、一方の弾性変形部から他方の弾性変形部までを挟んで設けられ、変位規制部が、各弾性変形部を変位方向に撓ませた状態で、各弾性変形部と接触していることになる。
この結果、機能素子は、可動体が常に変位方向の両側から押圧されていることから、静止時の可動体のふらつきを確実に抑制することができる。
この結果、機能素子は、可動体が常に変位方向の両側から押圧されていることから、静止時の可動体のふらつきを確実に抑制することができる。
[適用例8]上記適用例にかかる機能素子において、前記可動体が収容される空間は、減圧状態であることが好ましい。
これによれば、機能素子は、可動体が収容される空間が減圧状態であることから、例えば、空気粘性抵抗効果が抑制された空間で可動体がストレスなく振動する角速度センサーと、減圧状態における可動体の過度の変位が変位規制部により適度に規制される加速度センサーと、を備えた複合センサーを容易に提供することができる。
[適用例9]本適用例にかかる物理量センサーは、上記適用例のいずれか一例に記載の機能素子を備えていることを特徴とする。
これによれば、本構成の物理量センサーは、上記適用例のいずれか一例に記載の機能素子を備えていることから、上記適用例に記載の効果が反映され、優れた性能を有する物理量センサーを提供することができる。
[適用例10]本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の機能素子を備えていることを特徴とする。
これによれば、本構成の電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の機能素子を備えていることから、上記適用例に記載の効果が反映され、優れた性能を有する電子機器を提供することができる。
[適用例11]本適用例にかかる移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の機能素子を備えていることを特徴とする。
これによれば、本構成の移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の機能素子を備えていることから、上記適用例に記載の効果が反映され、優れた性能を有する移動体を提供することができる。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。
最初に、機能素子を備えている物理量センサーの一例としての加速度センサーについて説明する。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態の加速度センサーの概略構成を示す模式平面図である。図2は、図1の加速度センサーの概略構成を示す模式斜視図である。図3は、図1のA−A線での模式断面図である。図4は、図1のB部の模式拡大図であり、図4(a)は模式平面図、図4(b)は、図4(a)のD−D線での模式断面図、図4(c)は、図4(a)のE−E線での模式断面図である。
図5は、図1のC部の模式拡大図であり、図5(a)は模式平面図、図5(b)は、図5(a)のF−F線での模式断面図である。なお、上記各平面図では、説明の便宜上、一部の構成要素を省略してある。また、各図において、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。また、図中のX軸、Y軸、Z軸は、互いに直交する座標軸であり、矢印の方向が+(プラス)方向である。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態の加速度センサーの概略構成を示す模式平面図である。図2は、図1の加速度センサーの概略構成を示す模式斜視図である。図3は、図1のA−A線での模式断面図である。図4は、図1のB部の模式拡大図であり、図4(a)は模式平面図、図4(b)は、図4(a)のD−D線での模式断面図、図4(c)は、図4(a)のE−E線での模式断面図である。
図5は、図1のC部の模式拡大図であり、図5(a)は模式平面図、図5(b)は、図5(a)のF−F線での模式断面図である。なお、上記各平面図では、説明の便宜上、一部の構成要素を省略してある。また、各図において、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。また、図中のX軸、Y軸、Z軸は、互いに直交する座標軸であり、矢印の方向が+(プラス)方向である。
図1〜図3に示すように、加速度センサー1は、略矩形平板状の基板12と、基板12上に積層された図示しない半導体基板から、フォトリソグラフィー及びエッチングにより形成された可動体としての可動部68及び第1固定電極指78、第2固定電極指80と、可動部68及び第1固定電極指78、第2固定電極指80を覆う蓋体としてのリッド64と、を備えた機能素子を備えている。(ここでは、機能素子=加速度センサー1となっている。以下の実施形態でも同様。)
基板12は、Z軸と直交する平面であって、複数の第1固定電極指78及び第2固定電極指80などと接合される主面16を有している。主面16は、−(マイナス)X方向の端部に端子部20が設けられ、端子部20以外の領域は、主面16側に凹部64aを有するリッド64により覆われている。
換言すれば、可動部68は、基板12の主面16側に配置され、リッド64は、可動部68を覆い基板12の主面16側に固定されていることになる。
また、主面16の略中央部には、可動部68と基板12との干渉を回避するために平面形状が略矩形状の凹部22が設けられている。これにより、可動部68の可動領域(変位領域)は、平面視で凹部22内に収まることになる。
換言すれば、可動部68は、基板12の主面16側に配置され、リッド64は、可動部68を覆い基板12の主面16側に固定されていることになる。
また、主面16の略中央部には、可動部68と基板12との干渉を回避するために平面形状が略矩形状の凹部22が設けられている。これにより、可動部68の可動領域(変位領域)は、平面視で凹部22内に収まることになる。
主面16には、凹部22の外周に沿って第1溝部24が設けられ、第1溝部24の外周に沿って第2溝部26が設けられている。また、主面16の端子部20側には、第1溝部24を挟んで第2溝部26の反対側に第3溝部28が設けられている。
図1に示すように、第1溝部24、第2溝部26は、凹部22の−Y側から反時計回りに凹部22を取り囲むように延在し、凹部22の−X側の端子部20まで設けられている。第3溝部28は、凹部22の−X側から第1溝部24、第2溝部26に沿って端子部20まで設けられている。
図1に示すように、第1溝部24、第2溝部26は、凹部22の−Y側から反時計回りに凹部22を取り囲むように延在し、凹部22の−X側の端子部20まで設けられている。第3溝部28は、凹部22の−X側から第1溝部24、第2溝部26に沿って端子部20まで設けられている。
基板12の構成材料としては、ガラス、高抵抗シリコンなどの絶縁材料を用いるのが好ましい。特に、可動部68、第1固定電極指78、第2固定電極指80となる半導体基板が、シリコンなどの半導体材料を主材料として構成されている場合には、基板12の構成材料として、アルカリ金属イオン(可動イオン)を含むガラス(例えば、パイレックス(登録商標)のような硼珪酸ガラス)を用いるのが好ましい。
これにより、加速度センサー1は、基板12と半導体基板とを陽極接合することができる。また、加速度センサー1は、基板12にアルカリ金属イオンを含むガラスを用いることにより、基板12と半導体基板とを容易に絶縁分離することができる。
これにより、加速度センサー1は、基板12と半導体基板とを陽極接合することができる。また、加速度センサー1は、基板12にアルカリ金属イオンを含むガラスを用いることにより、基板12と半導体基板とを容易に絶縁分離することができる。
なお、基板12は、必ずしも絶縁性を有さなくてもよく、例えば低抵抗シリコンからなる導電性基板であってもよい。この場合は、基板12と半導体基板との間に絶縁膜を挟んで双方を絶縁分離することになる。
また、基板12の構成材料は、半導体基板の構成材料との熱膨張係数差ができるだけ小さいことが好ましく、具体的には、基板12の構成材料と半導体基板の構成材料との熱膨張係数差が3ppm/℃以下であることが好ましい。これにより、加速度センサー1は、基板12と半導体基板との間の残留応力を低減することができる。
また、基板12の構成材料は、半導体基板の構成材料との熱膨張係数差ができるだけ小さいことが好ましく、具体的には、基板12の構成材料と半導体基板の構成材料との熱膨張係数差が3ppm/℃以下であることが好ましい。これにより、加速度センサー1は、基板12と半導体基板との間の残留応力を低減することができる。
第1溝部24の底面には、第1溝部24に沿って第1配線30が設けられ、第2溝部26の底面には、第2溝部26に沿って第2配線36が設けられ、第3溝部28の底面には、第3溝部28に沿って第3配線42が設けられている。
第1配線30は、第1固定電極指78と電気的に接続される配線であり、第2配線36は、第2固定電極指80と電気的に接続される配線であり、第3配線42は、後述する固定部76と電気的に接続される配線である。
なお、第1配線30、第2配線36、第3配線42の各端部(端子部20に配置される端部)は、それぞれ第1端子電極34、第2端子電極40、第3端子電極46となる。
第1配線30は、第1固定電極指78と電気的に接続される配線であり、第2配線36は、第2固定電極指80と電気的に接続される配線であり、第3配線42は、後述する固定部76と電気的に接続される配線である。
なお、第1配線30、第2配線36、第3配線42の各端部(端子部20に配置される端部)は、それぞれ第1端子電極34、第2端子電極40、第3端子電極46となる。
第1配線30、第2配線36、第3配線42の構成材料としては、それぞれ導電性を有するものであれば、特に限定されず、各種電極材料を用いることができるが、例えば、ITO(Indim Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、In3O3、SnO2、Sb含有SnO2、Al含有ZnOなどの酸化物(透明電極材料)、Au、Pt、Ag、Cu、Al、またはこれらを含む合金などが挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
なお、加速度センサー1は、各配線の構成材料が透明電極材料(特にITO)であれば、基板12が透明であった場合、第1固定電極指78、第2固定電極指80の面上に存在する異物などを基板12の主面16側とは反対側の面から容易に視認することができ、検査を効率的に行うことができる。
なお、加速度センサー1は、各配線の構成材料が透明電極材料(特にITO)であれば、基板12が透明であった場合、第1固定電極指78、第2固定電極指80の面上に存在する異物などを基板12の主面16側とは反対側の面から容易に視認することができ、検査を効率的に行うことができる。
可動部68は、アーム70、可動電極指72、ばね部としての可撓部74、固定部76により構成されている。このうち、アーム70、可動電極指72、可撓部74は、基板12の凹部22に対向する位置、換言すればZ軸方向から見て凹部22内に収まる位置に配置されている。
図1に示すように、アーム70は、X軸方向に沿って梁状(柱状)に延在し、変位方向であるX軸方向の両端部に可撓部74が配置されている。複数の可動電極指72は、アーム70の延在方向に沿って一定の間隔で、アーム70の延在方向と直交する方向(Y軸方向)に櫛歯状に延設されている。
図1に示すように、アーム70は、X軸方向に沿って梁状(柱状)に延在し、変位方向であるX軸方向の両端部に可撓部74が配置されている。複数の可動電極指72は、アーム70の延在方向に沿って一定の間隔で、アーム70の延在方向と直交する方向(Y軸方向)に櫛歯状に延設されている。
可撓部74は、アーム70の+Y側と−Y側とに対になって設けられ、それぞれY軸方向へ折り返しながらX軸方向へ延在し固定部76に接続されている。可撓部74は、X軸方向から印加される外力によりX軸方向に撓む(変形する)ように形成されている。なお、可撓部74は、X軸方向以外の方向、例えば、Y軸方向及びZ軸方向から印加される外力に対しては変形しにくい構造となっている。
また、可撓部74の+Y側部分と−Y側部分との間には、後述する変位規制部64bが配置されるスペースが設けられている。
固定部76は、可撓部74の端部に接続されるとともに基板12に接合されている。また固定部76の一方(凹部22の−X側に位置する方)は、基板12の第3溝部28を跨ぐ位置に配置されている。
上記の構成によりアーム70は、X軸方向から加わる加速度に対しては変位しやすく、Y軸方向及びZ軸方向から加わる加速度に対しては変位しにくい構成となっている。
また、可撓部74の+Y側部分と−Y側部分との間には、後述する変位規制部64bが配置されるスペースが設けられている。
固定部76は、可撓部74の端部に接続されるとともに基板12に接合されている。また固定部76の一方(凹部22の−X側に位置する方)は、基板12の第3溝部28を跨ぐ位置に配置されている。
上記の構成によりアーム70は、X軸方向から加わる加速度に対しては変位しやすく、Y軸方向及びZ軸方向から加わる加速度に対しては変位しにくい構成となっている。
第1固定電極指78は、基板12の第1溝部24及び第2溝部26を跨ぐ位置に配置されている。また、第1固定電極指78は、Z軸方向から見て(平面視で)凹部22と一部が重なるように配置されている。
第2固定電極指80は、第1固定電極指78と平行に配置され、基板12の第1溝部24及び第2溝部26を跨ぐ位置に配置されている。また、第2固定電極指80は、第1固定電極指78と同様に、Z軸方向から見て凹部22と一部が重なるように配置されている。第1固定電極指78及び第2固定電極指80は、櫛歯状に配置された各可動電極指72間に挟まれるように配置されている。
第2固定電極指80は、第1固定電極指78と平行に配置され、基板12の第1溝部24及び第2溝部26を跨ぐ位置に配置されている。また、第2固定電極指80は、第1固定電極指78と同様に、Z軸方向から見て凹部22と一部が重なるように配置されている。第1固定電極指78及び第2固定電極指80は、櫛歯状に配置された各可動電極指72間に挟まれるように配置されている。
図4に示すように、第1配線30の、平面視で第1固定電極指78と重なる位置には、導電性を有する突起部54が形成されている。
加速度センサー1は、突起部54を介して第1配線30と第1固定電極指78とが電気的に接続されている。これにより、第1端子電極34は、第1配線30を介して第1固定電極指78と電気的に接続されていることになる。
加速度センサー1は、突起部54を介して第1配線30と第1固定電極指78とが電気的に接続されている。これにより、第1端子電極34は、第1配線30を介して第1固定電極指78と電気的に接続されていることになる。
同様に、第2配線36の、平面視で第2固定電極指80と重なる位置には、導電性を有する突起部56が形成されている。
加速度センサー1は、突起部56を介して第2配線36と第2固定電極指80とが電気的に接続されている。これにより、第2端子電極40は、第2配線36を介して第2固定電極指80と電気的に接続されていることになる。
加速度センサー1は、突起部56を介して第2配線36と第2固定電極指80とが電気的に接続されている。これにより、第2端子電極40は、第2配線36を介して第2固定電極指80と電気的に接続されていることになる。
図5に示すように、第3配線42の、平面視で凹部22の−X側の固定部76と重なる位置には、導電性を有する突起部58が形成されている。
加速度センサー1は、突起部58を介して第3配線42と固定部76とが電気的に接続されている。これにより、第3端子電極46は、第3配線42を介して固定部76と電気的に接続され、固定部76から可撓部74、アーム70を介して可動電極指72と電気的に接続されていることになる。
加速度センサー1は、突起部58を介して第3配線42と固定部76とが電気的に接続されている。これにより、第3端子電極46は、第3配線42を介して固定部76と電気的に接続され、固定部76から可撓部74、アーム70を介して可動電極指72と電気的に接続されていることになる。
突起部54,56,58の構成材料は、導電性を有するものであれば、特に限定されず、各種電極材料を用いることができるが、例えば、Au、Pt、Ag、Cu、Alなどの金属単体またはこれらを含む合金などの金属が好適に用いられる。
なお、突起部54,56,58は、例えば、基板12の各溝部の底面から突出した突起が各配線に覆われている構成としてもよい。
また、第1配線30、第2配線36、第3配線42の、第1端子電極34、第2端子電極40、第3端子電極46及び突起部54,56,58を除く領域は、他の構成要素との短絡を回避するために、例えば、SiO2を含む絶縁膜62で覆われていることが好ましい。
なお、突起部54,56,58は、例えば、基板12の各溝部の底面から突出した突起が各配線に覆われている構成としてもよい。
また、第1配線30、第2配線36、第3配線42の、第1端子電極34、第2端子電極40、第3端子電極46及び突起部54,56,58を除く領域は、他の構成要素との短絡を回避するために、例えば、SiO2を含む絶縁膜62で覆われていることが好ましい。
図1〜図3に示すように、リッド64には、凹部64aから基板12の主面16側に突出し、アーム70の変位を規制する変位規制部64bが設けられている。
変位規制部64bは、上述した可撓部74内のスペースに配置され、アーム70の変位方向であるX軸方向の両側(−X側と+X側)から、アーム70を挟むように複数(ここでは2つ)設けられている。そして、変位規制部64bは、アーム70の変位方向であるX軸方向に沿って延びている。
変位規制部64bは、静止状態のアーム70との間に所定の間隔を有しており、加速度が印加されてアーム70がX軸方向に変位し、変位量が所定の間隔に達したときに、X軸方向と交差する側の端部(Y軸に沿った端面)が、アーム70の端面と接触(衝突)し、アーム70のそれ以上の変位を規制する。なお、所定の間隔は、加速度センサー1の加速度検出範囲などの仕様に基づいて適宜設定される。
変位規制部64bは、上述した可撓部74内のスペースに配置され、アーム70の変位方向であるX軸方向の両側(−X側と+X側)から、アーム70を挟むように複数(ここでは2つ)設けられている。そして、変位規制部64bは、アーム70の変位方向であるX軸方向に沿って延びている。
変位規制部64bは、静止状態のアーム70との間に所定の間隔を有しており、加速度が印加されてアーム70がX軸方向に変位し、変位量が所定の間隔に達したときに、X軸方向と交差する側の端部(Y軸に沿った端面)が、アーム70の端面と接触(衝突)し、アーム70のそれ以上の変位を規制する。なお、所定の間隔は、加速度センサー1の加速度検出範囲などの仕様に基づいて適宜設定される。
リッド64は、基板12の主面16に、例えば、接着剤を用いた接合法、陽極接合法、直接接合法などを用いて接合(固定)されている。
リッド64の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、シリコン材料、ガラス材料などを好適に用いることができる。
リッド64の接合により気密に封止された加速度センサー1の内部空間Sは、減圧状態(真空度の高い状態)または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填された状態となっている。なお、内部空間Sは、基板12の凹部22とリッド64の凹部64aを含んで構成され、可動体としての可動部68を収容していることになる。
リッド64の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、シリコン材料、ガラス材料などを好適に用いることができる。
リッド64の接合により気密に封止された加速度センサー1の内部空間Sは、減圧状態(真空度の高い状態)または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填された状態となっている。なお、内部空間Sは、基板12の凹部22とリッド64の凹部64aを含んで構成され、可動体としての可動部68を収容していることになる。
ここで、加速度センサー1の動作について説明する。
加速度センサー1は、第1固定電極指78と、第1固定電極指78に−X側から対向する可動電極指72との間で第1コンデンサーが形成され、第2固定電極指80と、第2固定電極指80に+X側から対向する可動電極指72との間で第2コンデンサーが形成される。
この状態で、加速度センサー1に、例えば、−X方向に加速度が印加されると、アーム70及び可動電極指72が慣性により+X方向に変位する。このとき、第1固定電極指78と可動電極指72との間隔は狭くなるので、第1コンデンサーの静電容量は増加する。また、第2固定電極指80と可動電極指72との間隔は広くなるので、第2コンデンサーの静電容量は減少する。
逆に、+X方向に加速度が印加され、アーム70及び可動電極指72が−X方向に変位すると、第1コンデンサーの静電容量は減少し、第2コンデンサーの静電容量は増加する。
加速度センサー1は、第1固定電極指78と、第1固定電極指78に−X側から対向する可動電極指72との間で第1コンデンサーが形成され、第2固定電極指80と、第2固定電極指80に+X側から対向する可動電極指72との間で第2コンデンサーが形成される。
この状態で、加速度センサー1に、例えば、−X方向に加速度が印加されると、アーム70及び可動電極指72が慣性により+X方向に変位する。このとき、第1固定電極指78と可動電極指72との間隔は狭くなるので、第1コンデンサーの静電容量は増加する。また、第2固定電極指80と可動電極指72との間隔は広くなるので、第2コンデンサーの静電容量は減少する。
逆に、+X方向に加速度が印加され、アーム70及び可動電極指72が−X方向に変位すると、第1コンデンサーの静電容量は減少し、第2コンデンサーの静電容量は増加する。
したがって、加速度センサー1は、第1端子電極34と第3端子電極46との間で検出される第1コンデンサーの静電容量の変化と、第2端子電極40と第3端子電極46との間で検出される第2コンデンサーの静電容量の変化との差分を検出することにより、加速度センサー1に印加される加速度の大きさとその方向を検出することができる。そして、加速度センサー1は、2つのコンデンサーの静電容量の変化の差分を検出するので、高い感度で加速度を検出することができる。
この際、加速度センサー1は、変位規制部64bによりアーム70の変位量を所定の範囲に規制する。これにより、加速度センサー1は、可動電極指72と第1固定電極指78及び第2固定電極指80との衝突を回避し、衝突によるこれらの損傷を防ぐことができる。
この際、加速度センサー1は、変位規制部64bによりアーム70の変位量を所定の範囲に規制する。これにより、加速度センサー1は、可動電極指72と第1固定電極指78及び第2固定電極指80との衝突を回避し、衝突によるこれらの損傷を防ぐことができる。
上述したように、第1実施形態の加速度センサー1は、基板12と、基板12の主面16側に配置されている可動体としての可動部68と、可動部68を覆い基板12の主面16側に固定されている蓋体としてのリッド64と、を備えている。そして、リッド64の凹部64aには、基板12の主面16側に突出し可動部68のアーム70のX軸方向への変位を規制する一対の変位規制部64bが設けられている。
このように、加速度センサー1は、可動部68(アーム70)の変位を規制する一対の変位規制部64bが、リッド64に設けられていることから、例えば、特許文献1のような可動体に設けられた複数の第1突起部及び周辺部に設けられた複数の第2突起部からなる移動抑制部が不要となる。
この結果、加速度センサー1は、外部からの衝撃に対する耐衝撃性を向上させることができるとともに、平面サイズの更なる小型化を図ることができる。
このように、加速度センサー1は、可動部68(アーム70)の変位を規制する一対の変位規制部64bが、リッド64に設けられていることから、例えば、特許文献1のような可動体に設けられた複数の第1突起部及び周辺部に設けられた複数の第2突起部からなる移動抑制部が不要となる。
この結果、加速度センサー1は、外部からの衝撃に対する耐衝撃性を向上させることができるとともに、平面サイズの更なる小型化を図ることができる。
また、加速度センサー1は、可動部68(アーム70)が静止状態のときに、一対の変位規制部64bがアーム70との間に所定の間隔を有していることから、例えば、変位規制部64bがアーム70と接触している場合と比較して、外部からの加速度の印加に対してアーム70が変位しやすいことになる。
この結果、加速度センサー1は、加速度に対する検出感度が良好となる。
この結果、加速度センサー1は、加速度に対する検出感度が良好となる。
また、加速度センサー1は、アーム70を挟む一対の変位規制部64bがアーム70の変位方向(X軸方向)に沿って延び、アーム70の変位時に、変位規制部64bの変位方向と交差する側の端部(Y軸に沿った端面)がアーム70の端面と接触(衝突)し、アーム70のそれ以上の変位を規制することになる。
これによれば、加速度センサー1は、外部からのアーム70を介して変位規制部64bに加わる衝撃が、変位規制部64bの衝撃に対して強い方向に加わることから、変位規制部64bの耐衝撃性を更に向上させることができる。
これによれば、加速度センサー1は、外部からのアーム70を介して変位規制部64bに加わる衝撃が、変位規制部64bの衝撃に対して強い方向に加わることから、変位規制部64bの耐衝撃性を更に向上させることができる。
(第2実施形態)
図6は、第2実施形態の加速度センサーの概略構成を示す模式断面図である。なお、断面位置は、図3と同様である。なお、第1実施形態との共通部分には、同一の符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図6は、第2実施形態の加速度センサーの概略構成を示す模式断面図である。なお、断面位置は、図3と同様である。なお、第1実施形態との共通部分には、同一の符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図6に示すように、第2実施形態の加速度センサー2は、第1実施形態と比較して変位規制部164bの構成が異なる。
加速度センサー2の変位規制部164bは、平面視で(Z軸方向から見て)少なくとも一部が可動体としての可動部68のアーム70と重複し、重複している領域の少なくとも一部(ここでは全部)が、アーム70と接触している。
換言すれば、加速度センサー2の変位規制部164bは、アーム70の主面としての接触面70aに対向して設けられ、変位規制部164bとアーム70の接触面70aとが接触している。
これにより、変位規制部164bは、加速度が加わらないアーム70が静止状態のときに、アーム70と接触していることになる。
なお、変位規制部164bは、アーム70以外の可撓部74、可動電極指72、第1固定電極指78及び第2固定電極指80(図1参照)などと干渉しない形状(例えば、アーム70のY軸方向の幅からはみ出さないリブ状など)に形成されている。
加速度センサー2の変位規制部164bは、平面視で(Z軸方向から見て)少なくとも一部が可動体としての可動部68のアーム70と重複し、重複している領域の少なくとも一部(ここでは全部)が、アーム70と接触している。
換言すれば、加速度センサー2の変位規制部164bは、アーム70の主面としての接触面70aに対向して設けられ、変位規制部164bとアーム70の接触面70aとが接触している。
これにより、変位規制部164bは、加速度が加わらないアーム70が静止状態のときに、アーム70と接触していることになる。
なお、変位規制部164bは、アーム70以外の可撓部74、可動電極指72、第1固定電極指78及び第2固定電極指80(図1参照)などと干渉しない形状(例えば、アーム70のY軸方向の幅からはみ出さないリブ状など)に形成されている。
変位規制部164bの接触面164b1は、製造ばらつきによってアーム70との間に隙間が生じないようにするために、基板12の主面16からの高さが、アーム70の接触面70aの同高さより僅かに低くなるように設定されている。換言すれば、変位規制部164bは、アーム70を−Z方向へ僅かに押圧していることになる。
加速度センサー2は、この状態において、X軸方向から変位規制部164bとアーム70との間の摩擦力を超える加速度が印加されると、アーム70が変位規制部164bの接触面164b1を摺動しながらX軸方向に変位することにより、加速度を検出することができる。加速度印加後のアーム70は、X軸方向に伸縮した可撓部74のばね力により復元する。
なお、変位規制部164bとアーム70との間の摩擦力は、加速度センサー2の加速度検出範囲などの仕様に基づいて、変位規制部164bによるアーム70への押圧力、変位規制部164bの接触面164b1及びアーム70の接触面70aの摩擦係数、可撓部74のばね力などにより適宜設定される。
加速度センサー2は、この状態において、X軸方向から変位規制部164bとアーム70との間の摩擦力を超える加速度が印加されると、アーム70が変位規制部164bの接触面164b1を摺動しながらX軸方向に変位することにより、加速度を検出することができる。加速度印加後のアーム70は、X軸方向に伸縮した可撓部74のばね力により復元する。
なお、変位規制部164bとアーム70との間の摩擦力は、加速度センサー2の加速度検出範囲などの仕様に基づいて、変位規制部164bによるアーム70への押圧力、変位規制部164bの接触面164b1及びアーム70の接触面70aの摩擦係数、可撓部74のばね力などにより適宜設定される。
上述したように、第2実施形態の加速度センサー2は、アーム70が静止状態のときに、変位規制部164bがアーム70と接触し、アーム70を−Z方向へ押圧していることから、例えば、変位規制部164bがアーム70と接触していない場合と比較して、アーム70のふらつきが生じにくいことになる。
この結果、加速度センサー2は、アーム70のふらつきによる加速度の誤検出を抑制することができる。
この結果、加速度センサー2は、アーム70のふらつきによる加速度の誤検出を抑制することができる。
また、加速度センサー2は、平面視で変位規制部164bの少なくとも一部がアーム70と重複し、重複している領域の少なくとも一部(ここでは全部)がアーム70に接触していることから、上述したアーム70のふらつきによる加速度の誤検出を抑制できるとともに、第1実施形態のような可撓部74に対する制約(配置スペースの確保)もないことにより更なる平面サイズの小型化を図ることができる。
なお、変位規制部164bは、図示のアーム70の両端部に接触する一対の構成に限定されるものではなく、例えば、アーム70の中心部と接触する単独の構成としてもよい。
なお、変位規制部164bは、図示のアーム70の両端部に接触する一対の構成に限定されるものではなく、例えば、アーム70の中心部と接触する単独の構成としてもよい。
(第3実施形態)
図7は、第3実施形態の加速度センサーの概略構成を示す模式断面図である。なお、断面位置は、図3と同様である。なお、第1実施形態及び第2実施形態との共通部分には、同一の符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態及び第2実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図7は、第3実施形態の加速度センサーの概略構成を示す模式断面図である。なお、断面位置は、図3と同様である。なお、第1実施形態及び第2実施形態との共通部分には、同一の符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態及び第2実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図7に示すように、第3実施形態の加速度センサー3は、第1実施形態及び第2実施形態と比較して変位規制部264bの構成が異なる。
加速度センサー3の変位規制部264bは、平面視で(Z軸方向から見て)少なくとも一部が可動体としての可動部68のアーム70と重複し、重複している領域にアーム70側に突出する2つの突出部264b2(重複している領域の少なくとも一部に相当)が設けられ、突出部264b2がアーム70の接触面70aに接触している。
これにより、加速度センサー3の変位規制部264bは、加速度が加わらないアーム70が静止状態のときに、アーム70と接触していることになる。
リッド64の変位規制部264bの反対側には、凹部264cが設けられている。変位規制部264bは、この凹部264cによって突出部264b2の周囲が他の領域より肉薄状態となり、可撓性を有することになる。
加速度センサー3の変位規制部264bは、平面視で(Z軸方向から見て)少なくとも一部が可動体としての可動部68のアーム70と重複し、重複している領域にアーム70側に突出する2つの突出部264b2(重複している領域の少なくとも一部に相当)が設けられ、突出部264b2がアーム70の接触面70aに接触している。
これにより、加速度センサー3の変位規制部264bは、加速度が加わらないアーム70が静止状態のときに、アーム70と接触していることになる。
リッド64の変位規制部264bの反対側には、凹部264cが設けられている。変位規制部264bは、この凹部264cによって突出部264b2の周囲が他の領域より肉薄状態となり、可撓性を有することになる。
上述したように、第3実施形態の加速度センサー3は、リッド64の変位規制部264bの反対側に凹部264cが設けられ、これにより変位規制部264bが可撓性を有していることから、突出部264b2を含む肉薄部分が+Z方向へ撓むことによって、アーム70に対する押圧力(接触圧)を、第2実施形態のような可撓性がない場合より弱くすることができる。
この結果、加速度センサー3は、変位規制部264bとアーム70との間の摩擦力を、第2実施形態より弱くすることが可能となることから、加速度の印加により変位したアーム70の復元性を向上させることができる。
この結果、加速度センサー3は、変位規制部264bとアーム70との間の摩擦力を、第2実施形態より弱くすることが可能となることから、加速度の印加により変位したアーム70の復元性を向上させることができる。
なお、変位規制部264bの突出部264b2の数は、2つに限定されるものではなく、1つでもよいし、可撓性に支障がない範囲であれば3つ以上でもよい。また、可撓性が確保できるのであれば、突出部264b2はなくてもよく、底面264b3が直接アーム70の接触面70aに接触する構成としてもよい。
また、変位規制部264bは、図示のように1つではなく、例えば一対とし、それぞれの突出部264b2がアーム70の両端部と接触する構成としてもよい。
また、変位規制部264bは、図示のように1つではなく、例えば一対とし、それぞれの突出部264b2がアーム70の両端部と接触する構成としてもよい。
(第4実施形態)
図8は、第4実施形態の加速度センサーの概略構成を示す模式平面図であり、図9は、図8のG−G線での模式断面図である。なお、上記各実施形態との共通部分には、同一の符号を付して詳細な説明を省略し、上記各実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図8は、第4実施形態の加速度センサーの概略構成を示す模式平面図であり、図9は、図8のG−G線での模式断面図である。なお、上記各実施形態との共通部分には、同一の符号を付して詳細な説明を省略し、上記各実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図8、図9に示すように、第4実施形態の加速度センサー4は、上記各実施形態と比較して変位規制部364b(個々の説明が必要なとき以外は、便宜的にこの表記とする)の構成が異なる。
加速度センサー4は、上記各実施形態と同様に、可動体としての可動部68がアーム70の変位方向(X軸方向)と交差する側の両端部に弾性変形部としての可撓部74を備えている。
加速度センサー4は、変位規制部364bが、可動部68の一方の可撓部74から他方の可撓部74までを挟むように複数(ここでは4つ)設けられ、各変位規制部364bは、各可撓部74を変位方向(X軸方向)に撓ませた状態で、各可撓部74と接触している構成となっている。
加速度センサー4は、上記各実施形態と同様に、可動体としての可動部68がアーム70の変位方向(X軸方向)と交差する側の両端部に弾性変形部としての可撓部74を備えている。
加速度センサー4は、変位規制部364bが、可動部68の一方の可撓部74から他方の可撓部74までを挟むように複数(ここでは4つ)設けられ、各変位規制部364bは、各可撓部74を変位方向(X軸方向)に撓ませた状態で、各可撓部74と接触している構成となっている。
詳述すると、変位規制部364b−1,364b−3は、アーム70の−X側に接続された可撓部74の、固定部76を挟んで+Y側に変位規制部364b−1が配置され、−Y側に変位規制部364b−3が配置され、この可撓部74を+X方向に撓ませた状態で、それぞれ可撓部74の端面に接触している。
これにより、変位規制部364b−1,364b−3は、可撓部74を介してアーム70を矢印J方向(+X方向)に押圧していることになる。
一方、変位規制部364b−2,364b−4は、アーム70の+X側に接続された可撓部74の、固定部76を挟んで+Y側に変位規制部364b−2が配置され、−Y側に変位規制部364b−4が配置され、この可撓部74を−X方向に撓ませた状態で、それぞれ可撓部74の端面に接触している。
これにより、変位規制部364b−2,364b−4は、可撓部74を介してアーム70を矢印K方向(−X方向)に押圧していることになる。
これにより、変位規制部364b−1,364b−3は、可撓部74を介してアーム70を矢印J方向(+X方向)に押圧していることになる。
一方、変位規制部364b−2,364b−4は、アーム70の+X側に接続された可撓部74の、固定部76を挟んで+Y側に変位規制部364b−2が配置され、−Y側に変位規制部364b−4が配置され、この可撓部74を−X方向に撓ませた状態で、それぞれ可撓部74の端面に接触している。
これにより、変位規制部364b−2,364b−4は、可撓部74を介してアーム70を矢印K方向(−X方向)に押圧していることになる。
ここで、変位規制部364b−1,364b−3の押圧力と、変位規制部364b−2,364b−4の押圧力とは、力の大きさが同じで力の方向が逆となるように設定されることにより互いに相殺され、アーム70は変位しない。
なお、変位規制部364bは、リッド64を基板12に接合する際に、先端部の可撓部74側を向いた斜面が、可撓部74の端部に接触し、リッド64の−Z方向への下降とともに、可撓部74を2点鎖線で示した自由状態から徐々にX軸方向へ撓ませる案内部となっている。
これにより加速度センサー4は、リッド64の基板12への接合時に、変位規制部364bが可撓部74に乗り上げるなどの不具合が回避される。
なお、変位規制部364bは、リッド64を基板12に接合する際に、先端部の可撓部74側を向いた斜面が、可撓部74の端部に接触し、リッド64の−Z方向への下降とともに、可撓部74を2点鎖線で示した自由状態から徐々にX軸方向へ撓ませる案内部となっている。
これにより加速度センサー4は、リッド64の基板12への接合時に、変位規制部364bが可撓部74に乗り上げるなどの不具合が回避される。
上述したように、第4実施形態の加速度センサー4は、変位規制部364bが可動部68の一方の可撓部74から他方の可撓部74までを挟むように複数(ここでは4つ)設けられ、各変位規制部364bは、各可撓部74を変位方向(X軸方向)に撓ませた状態で、各可撓部74と接触していることになる。
この結果、加速度センサー4は、アーム70が常に変位方向(X軸方向)の両側から押圧されていることから、静止時のアーム70のふらつきを確実に抑制することができる。
なお、第4実施形態の構成は、上記各実施形態と組み合わせることができる。これによれば、加速度センサーは、両方の可撓部74から常時加わる押圧力によって、加速度印加後のアーム70の復元性が向上する。
この結果、加速度センサー4は、アーム70が常に変位方向(X軸方向)の両側から押圧されていることから、静止時のアーム70のふらつきを確実に抑制することができる。
なお、第4実施形態の構成は、上記各実施形態と組み合わせることができる。これによれば、加速度センサーは、両方の可撓部74から常時加わる押圧力によって、加速度印加後のアーム70の復元性が向上する。
なお、上記第2〜第4実施形態は、アーム70の変位の規制に特許文献1のような空気粘性抵抗効果を利用していないことから、特に空気粘性抵抗効果が殆ど作用しない真空度の高い減圧状態の内部空間Sにおいて、その効果が顕著に奏されることになる。
(複合センサー)
次に、物理量センサーの一例としての、加速度センサーと角速度センサー(ジャイロセンサー)とを備えた複合センサーについて説明する。
図10は、複合センサーの一例の概略構成を示す模式断面図である。
次に、物理量センサーの一例としての、加速度センサーと角速度センサー(ジャイロセンサー)とを備えた複合センサーについて説明する。
図10は、複合センサーの一例の概略構成を示す模式断面図である。
図10に示すように、複合センサー5は、上記各実施形態で説明した加速度センサーのいずれか(ここでは、加速度センサー1)と、角速度センサー6とが一体的に構成されている。
角速度センサー6は、基板12の主面16上に配置された支持部540と、支持部540にばね部530,531を介して接続され、且つ、基板12の主面16に沿ったX軸方向に、支持部540を間に挟んで並んで配置された2つの略矩形枠状の質量部520,521と、を備えている。
さらに、角速度センサー6は、静電引力を用いて質量部520,521をX軸に沿って互いに逆方向へ振動させる駆動部550,551と、Z軸回りに印加される角速度ωによりX軸方向と交差する方向(ここでは、Y軸方向)へ変位する質量部520,521の変位量を、静電容量の変化によって検出する検出部560,561と、を備え、上記各構成要素がリッド64により覆われている。
角速度センサー6は、基板12の主面16上に配置された支持部540と、支持部540にばね部530,531を介して接続され、且つ、基板12の主面16に沿ったX軸方向に、支持部540を間に挟んで並んで配置された2つの略矩形枠状の質量部520,521と、を備えている。
さらに、角速度センサー6は、静電引力を用いて質量部520,521をX軸に沿って互いに逆方向へ振動させる駆動部550,551と、Z軸回りに印加される角速度ωによりX軸方向と交差する方向(ここでは、Y軸方向)へ変位する質量部520,521の変位量を、静電容量の変化によって検出する検出部560,561と、を備え、上記各構成要素がリッド64により覆われている。
角速度センサー6は、上記静電容量の変化量を、例えば、電圧値の変化に置き換えた検出信号として出力し、この検出信号によって角速度ωが検出可能な構成となっている。
なお、複合センサー5の内部空間Sは、角速度センサー6の質量部520,521の振動が、空気粘性抵抗効果により阻害されないようにするために減圧状態(真空度の高い状態)となっている。
なお、複合センサー5の内部空間Sは、角速度センサー6の質量部520,521の振動が、空気粘性抵抗効果により阻害されないようにするために減圧状態(真空度の高い状態)となっている。
上述したように、複合センサー5は、内部空間Sが減圧状態であることから、空気粘性抵抗効果が抑制された内部空間Sで、可動体としての質量部520,521がストレスなく振動する角速度センサー6と、減圧状態における可動部68(アーム70)の過度の変位が変位規制部64bにより適度に規制される加速度センサー1と、を備えた複合センサーを容易に提供することができる。
なお、複合センサー5は、加速度センサー1に代えて、他の加速度センサー(2〜4のいずれか)を用いてもよい。また、角速度センサー6は、図示の構成に限定されず他の構成であってもよい。いずれの場合にも、複合センサー5は、上記と同様の効果を奏することができる。
なお、複合センサー5は、加速度センサー1に代えて、他の加速度センサー(2〜4のいずれか)を用いてもよい。また、角速度センサー6は、図示の構成に限定されず他の構成であってもよい。いずれの場合にも、複合センサー5は、上記と同様の効果を奏することができる。
(電子機器)
次に上述した機能素子を備えている電子機器について説明する。
図11は、機能素子を備えている電子機器としてのモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す模式斜視図である。
図11に示すように、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部1101を有する表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピューター1100には、機能素子を備えている物理量センサーとしての加速度センサー(1〜4のいずれか)または複合センサー5(ここでは加速度センサー1)が内蔵されている。
次に上述した機能素子を備えている電子機器について説明する。
図11は、機能素子を備えている電子機器としてのモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す模式斜視図である。
図11に示すように、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部1101を有する表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピューター1100には、機能素子を備えている物理量センサーとしての加速度センサー(1〜4のいずれか)または複合センサー5(ここでは加速度センサー1)が内蔵されている。
図12は、機能素子を備えている電子機器としての携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す模式斜視図である。
図12に示すように、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部1201が配置されている。
このような携帯電話機1200には、機能素子を備えている物理量センサーとしての加速度センサー(1〜4のいずれか)または複合センサー5(ここでは加速度センサー1)が内蔵されている。
図12に示すように、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部1201が配置されている。
このような携帯電話機1200には、機能素子を備えている物理量センサーとしての加速度センサー(1〜4のいずれか)または複合センサー5(ここでは加速度センサー1)が内蔵されている。
図13は、機能素子を備えている電子機器としてのデジタルスチルカメラの構成を示す模式斜視図である。なお、この図13には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
デジタルスチルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面(図中手前側)には、表示部1310が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部1310は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
また、ケース1302の正面側(図中奥側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
デジタルスチルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面(図中手前側)には、表示部1310が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部1310は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
また、ケース1302の正面側(図中奥側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部1310に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。
また、このデジタルスチルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子1312には、テレビモニター1430が、データ通信用の入出力端子1314には、パーソナルコンピューター1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1430や、パーソナルコンピューター1440に出力される構成になっている。
このようなデジタルスチルカメラ1300には、機能素子を備えている物理量センサーとしての加速度センサー(1〜4のいずれか)または複合センサー5(ここでは加速度センサー1)が内蔵されている。
また、このデジタルスチルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子1312には、テレビモニター1430が、データ通信用の入出力端子1314には、パーソナルコンピューター1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1430や、パーソナルコンピューター1440に出力される構成になっている。
このようなデジタルスチルカメラ1300には、機能素子を備えている物理量センサーとしての加速度センサー(1〜4のいずれか)または複合センサー5(ここでは加速度センサー1)が内蔵されている。
このような電子機器は、上述した機能素子を備えている物理量センサーを備えていることから、上記各実施形態で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮することができる。
なお、上述した機能素子を備えている電子機器としては、これら以外に、例えば、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンター)、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類、フライトシミュレーターなどが挙げられる。いずれの場合にも、これらの電子機器は、上述した機能素子を備えていることから、上記各実施形態で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮することができる。
なお、上述した機能素子を備えている電子機器としては、これら以外に、例えば、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンター)、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類、フライトシミュレーターなどが挙げられる。いずれの場合にも、これらの電子機器は、上述した機能素子を備えていることから、上記各実施形態で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮することができる。
(移動体)
次に、上述した機能素子を備えている移動体について説明する。
図14は、機能素子を備えている移動体の一例としての自動車を示す模式斜視図である。
自動車1500は、機能素子を備えている物理量センサーとしての加速度センサー(1〜4のいずれか)または複合センサー5(ここでは加速度センサー1)を、例えば、搭載されているナビゲーション装置、姿勢制御装置などの姿勢検出センサーとして用いている。
これによれば、自動車1500は、上述した機能素子を備えている物理量センサーを備えていることから、上記各実施形態で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮することができる。
次に、上述した機能素子を備えている移動体について説明する。
図14は、機能素子を備えている移動体の一例としての自動車を示す模式斜視図である。
自動車1500は、機能素子を備えている物理量センサーとしての加速度センサー(1〜4のいずれか)または複合センサー5(ここでは加速度センサー1)を、例えば、搭載されているナビゲーション装置、姿勢制御装置などの姿勢検出センサーとして用いている。
これによれば、自動車1500は、上述した機能素子を備えている物理量センサーを備えていることから、上記各実施形態で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮することができる。
上述した機能素子は、上記自動車1500に限らず、自走式ロボット、自走式搬送機器、列車、船舶、飛行機、人工衛星などを含む移動体の姿勢検出センサーなどとして好適に用いることができ、いずれの場合にも、上記各実施形態で説明した効果が反映され、優れた性能を発揮する移動体を提供することができる。
なお、機能素子は、上記のような物理量センサーに用いられるものに限定されず、例えば、櫛歯状のMEMS振動片を備えている振動子であってもよい。
なお、機能素子は、上記のような物理量センサーに用いられるものに限定されず、例えば、櫛歯状のMEMS振動片を備えている振動子であってもよい。
1,2,3,4…機能素子を備えている物理量センサーとしての加速度センサー、5…機能素子を備えている物理量センサーとしての複合センサー、6…機能素子を備えている物理量センサーとしての角速度センサー、12…基板、16…主面、20…端子部、22…凹部、24…第1溝部、26…第2溝部、28…第3溝部、30…第1配線、34…第1端子電極、36…第2配線、40…第2端子電極、42…第3配線、46…第3端子電極、54,56,58…突起部、62…絶縁膜、64…リッド、64a…凹部、64b…変位規制部、68…可動部、70…アーム、70a…接触面、72…可動電極指、74…ばね部としての可撓部、76…固定部、78…第1固定電極指、80…第2固定電極指、164b…変位規制部、164b1…接触面、264b…変位規制部、264b2…突出部、264b3…底面、364b−1,364b−2,364b−3,364b−4…変位規制部、520,521…質量部、530,531…ばね部、540…支持部、550,551…駆動部、560,561…検出部、1100…電子機器としてのパーソナルコンピューター、1101…表示部、1102…キーボード、1104…本体部、1106…表示ユニット、1200…電子機器としての携帯電話機、1201…表示部、1202…操作ボタン、1204…受話口、1206…送話口、1300…電子機器としてのデジタルスチルカメラ、1302…ケース、1304…受光ユニット、1306…シャッターボタン、1308…メモリー、1310…表示部、1312…ビデオ信号出力端子、1314…入出力端子、1430…テレビモニター、1440…パーソナルコンピューター、1500…移動体としての自動車、S…内部空間。
Claims (11)
- 基板と、
前記基板の主面側に配置されている可動体と、
前記可動体上に載置され、前記基板の前記主面側に固定されている蓋体と、を備え、
前記蓋体には、前記主面側に突出し前記可動体の変位を規制する変位規制部が設けられていることを特徴とする機能素子。 - 請求項1に記載の機能素子において、
前記変位規制部は、前記可動体が静止状態のときに、前記可動体との間に間隔があることを特徴とする機能素子。 - 請求項1または2に記載の機能素子において、
前記変位規制部は、前記可動体の変位方向の両側から前記可動体を挟んで設けられていることを特徴とする機能素子。 - 請求項1に記載の機能素子において、
前記変位規制部は、前記可動体の主面に対向して設けられ、
前記変位規制部と前記可動体の主面が接触していることを特徴とする機能素子。 - 請求項4に記載の機能素子において、
前記蓋体の前記変位規制部が設けられている部分は可撓性を備えていることを特徴とする機能素子。 - 請求項4または5に記載の機能素子において、
前記蓋体の前記変位規制部が設けられている部分は、前記蓋体の固定部分と比して薄くなっていることを特徴とする機能素子。 - 請求項1に記載の機能素子において、
前記可動体は、両端を弾性変形部で支持され、
前記変位規制部は、一方の前記弾性変形部から他方の前記弾性変形部までを挟んで設けられ、
前記変位規制部は、各前記弾性変形部を変位方向に撓ませた状態で、各前記弾性変形部と接触していることを特徴とする機能素子。 - 請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の機能素子において、
前記可動体が収容される空間は、減圧状態であることを特徴とする機能素子。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の機能素子を備えていることを特徴とする物理量センサー。
- 請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の機能素子を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の機能素子を備えていることを特徴とする移動体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013132380A JP2015007560A (ja) | 2013-06-25 | 2013-06-25 | 機能素子、物理量センサー、電子機器及び移動体 |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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JP (1) | JP2015007560A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109422232A (zh) * | 2017-08-25 | 2019-03-05 | 精工爱普生株式会社 | Mems器件、电子设备以及移动体 |
CN109655636A (zh) * | 2017-10-11 | 2019-04-19 | 精工爱普生株式会社 | Mems器件、惯性测量装置、移动体定位装置、便携式电子设备、电子设备及移动体 |
-
2013
- 2013-06-25 JP JP2013132380A patent/JP2015007560A/ja active Pending
Cited By (5)
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JP2019070606A (ja) * | 2017-10-11 | 2019-05-09 | セイコーエプソン株式会社 | Memsデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 |
US11137254B2 (en) | 2017-10-11 | 2021-10-05 | Seiko Epson Corporation | MEMS device, inertial measurement unit, vehicle positioning device, portable electronic apparatus, electronic apparatus, and vehicle |
CN109655636B (zh) * | 2017-10-11 | 2022-07-29 | 精工爱普生株式会社 | Mems器件、惯性测量装置、移动体定位装置、便携式电子设备、电子设备及移动体 |
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