JP2004045269A - 容量式加速度センサ - Google Patents
容量式加速度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004045269A JP2004045269A JP2002204248A JP2002204248A JP2004045269A JP 2004045269 A JP2004045269 A JP 2004045269A JP 2002204248 A JP2002204248 A JP 2002204248A JP 2002204248 A JP2002204248 A JP 2002204248A JP 2004045269 A JP2004045269 A JP 2004045269A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acceleration sensor
- capacitive acceleration
- fixed part
- stopper
- capacitance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】構造体1の所定部を梁部2近辺まで延長して、両者の間隙を許容変位量未満のg2とすることにより、梁部2の変位量をg2以下に抑えて梁部2の破損を防止する。
【選択図】 図4
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、加わった加速度(G)に応じて変位する構造体と、その構造体との間で容量を形成する固定電極をシリコンエッチングの技術を用いて作製した容量式加速度センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図1に従来の加速度検出セル(Gセルという)の概略図を示している。このGセルは、ほぼ中央に位置する構造体1と、その構造体1を対角2点で可動状態に支える細長い数μ幅の梁部2と、構造体(可動電極)1との間で容量を形成する固定の検出電極3を有する。梁部2はその他端でアンカー部Xに固定される。図2に、そのGセルの実際のセルパターンを示し、図3に梁部2と検出電極3の個所の拡大平面図を示す。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来構造では、アセンブリ工程時に装置にて発生した超音波の影響や、センサ落下時において、梁部2に共振現象が生じると、図3中の矢印で示したように梁部2が弓なりに大きく変位し、許容変位量を超えれば梁部2が破損してしまうという課題があった。
【0004】
又、梁部2がZ方向に大きく変位した場合にもその梁部2が破損する課題があり、更には、容量形成部における構造体1と検出電極3との接触を抑制するための手段がないため、大きな加速度印加時にスティッキング(構造体1と検出電極3が接触状態を保持したままになる現象)を引き起こしていた。
【0005】
この発明は、梁部の必要以上の変位を規制することにより、衝撃に強い容量式加速度センサを提供し、更に、容量形成部における構造体1と検出電極3とが接触状態のままになることを防止できる容量式加速度センサを提供するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、固定部と、前記との間で容量を形成する構造体と、前記構造体を移動可能に保持する梁部とを、エッチング技術を用いてシリコン及びポリシリコンで形成してなる容量式加速度センサにおいて、構造体の所定部を梁部近辺まで延長して前記梁部の必要以上の変位を抑止したことを特徴とする。
【0007】
請求項3の発明は、固定部と、前記との間で容量を形成する構造体と、前記構造体を移動可能に保持する梁部とを、エッチング技術を用いてシリコン及びポリシリコンで形成してなる容量式加速度センサにおいて、前記梁部がZ方向に変位した時にセンサ底部に当接するようなZ面ストッパーを前記梁部に設けたことを特徴とする。
【0008】
請求項4の発明は、固定部と、前記との間で容量を形成する構造体と、前記構造体を移動可能に保持する梁部とを、エッチング技術を用いてシリコン及びポリシリコンで形成してなる容量式加速度センサにおいて、所定以上の加速度印加時に、容量形成部にて構造体が固定部に接触したままになることを防止するために、前記梁部の他端を固定するためのアンカー部と構造体との間で所定の間隙を設けてなる主軸ストッパーを備えたことを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
実施の形態1
図3に示したように従来構造では、梁部2の両側に大きな間隙があっために梁部2は拘束されることなく変位していた。図4は本発明の実施の形態1によるGセルの梁部2の拡大平面図を示す。この図4にあるように、構造体1の所定部を延長して、梁部2両側の間隙をg2にまで狭めており、その構造体1の延長部を梁共振ストッパー4としている。
【0010】
ここで、構造体1〜検出電極3間の間隙g1<梁部2〜梁共振ストッパ4間の間隙g2<シリコンの許容変位量とすれば、共振現象発生時に、梁部2の変位量がシリコンの許容変位量へ至る前に、梁部2が梁共振ストッパー4に当接するためそれ以上の変位が抑制される。本実施の形態1では、g1=2.5μm、g2=3.5μmとした。
【0011】
梁部2が構造体1を支えるためその梁部2に応力が集中し易い構造となっているが、このように梁部2に対してその変位量を抑制したため、共振や落下時に生じる大きなGに対してGセル全体の機械強度が向上する。
【0012】
更に、従来構造の図1に示したように、梁部2周辺と検出電極3周辺ではエッチング間隙に差異があり、ウエハ面内及びウエハ間で異方性エッチング時のエツチングレートのバラツキを引き起こした結果、Gセル各部のプロセス完了後の出来上り寸法及びセンサ特性にバラツキが生じる問題があった。図4に示した梁共振ストッパー4を設ける事こよリエッチング間隙の較差を軽減でき、Gセル各部のプロセス完了後の出来上り寸法公差が小さくなる結果、ウエハ面内及びウエハ間で特性バラツキ範囲が少ない安定した特性が得られる。
【0013】
実施の形態2
図4の梁部2の根元部分の拡大図を図5に示す。異方性エッチング技術によるシリコンエッチングでは、そのエッチング特性により隅の狭い個所で成長した結果、斜面が形成され、その場合、斜面とGセルパターンとで鋭角部7が形成される。その鋭角部7では応力集中が起こり易いために構造体破断71を引き起こすことがあった。
【0014】
そこで実施の形態2では、図6に示すように、梁部2の根元部分に、幅広の間隙による斜面補償パターン8を形成している。その補償パターン8のパターン寸法A、Bは、構造体1の厚さをHとした時、A、B>1.7H とする。
【0015】
このような斜面補償パターン8を形成することで、エッチング時に形成される斜面は、間隙g2のパターンと干渉することがなくなり、その個所に応力が集中することもなく、Gセル全体の機械強度が向上する。
【0016】
実施の形態3
図7に実施の形態3を模式した斜視図を示す。実施の形態1においては、梁共振ストッパー4と垂直に直交する方向に対する梁部2の変位は拘束されない。そこでこの実施の形態2では、梁部2のほぼ中央に、梁共振ストッパー4と垂直に直交する縦方向(Z方向)に梁Z面ストッパー5を設けている。ここで梁Z面ストッパー5のZ方向寸法>梁部2のZ方向寸法となるようにする。
【0017】
この構成により、構造体1がZ方向に変動した際に、梁Z面ストッパー5が大きく変位する前にセンサ底部に当接して、梁部2のZ方向の必要以上の変位が抑制されるため、梁部2は破損せず、又、Gセル全体の機械強度も向上する。
【0018】
実施の形態4
図2に示した従来構造では、容量形成部において構造体1と検出電極3との接触を抑制するための手段がないため、既述したように大きな加速度印加時にスティッキングを引き起こしていた。
【0019】
実施の形態4になる梁部2部の拡大平面図を図8に示す。同図にあるように、構造体1を保持するための構造体アンカー部10と構造体1との間において、主軸+方向91および主軸−方向92とに、所定の間隙による主軸ストッパー9を設けている。ここで、
主軸ストッパーの間隙<構造体1〜検出電極3間の間隙g1
とすることにより、構造体1と検出電極3が直接接触する事がなくなり、スティッキング発生を防止できる。
【0020】
実施の形態5
実施の形態5としてGセルの全体図を図9に示している。同図にあるように、主軸ストッパー9をGセルの対角のそれぞれに設けることにより、構造体1のθ(ねじれ)方向変位に対しても抑止可能となり、構造体1の機械強度が向上する。更に構造体1のθ(ねじれ)方向変位が抑止されることから主軸方向以外の他軸方向の検出感度の抑制が可能となり、他軸方向の誤検出防止精度が向上する。
【0021】
実施の形態6
図8において、構造体アンカー部10を構造体1のエリア内に位置させ、主軸ストッパー9と構造体アンカー部10とを一体化すれば、Gセルチップ寸法の縮小が可能となる。また、主軸ストッパ9は構造体アンカー部10と一体化されて底部に固定されている為、構造体1が衝突して強い衝撃を受けてもストッパーが破断することがなく、機械強度が向上する。
【0022】
【発明の効果】
請求項1の発明は、構造体の所定部を梁部近辺まで延長したので、前記梁部が必要以上に変位することを防止でき、そのため梁部の破損をなくせる。
【0023】
請求項2の発明は、前記に、前記梁部に続く幅広のパターンを形成したので、従来、幅狭の梁部の根元に生じていた斜面をなくすことができ、そのため、斜面とセルパターンとで鋭角部が形成されることもなく、よって、その鋭角部での応力集中により構造体が破断するといったこともなくせる。
【0024】
請求項3の発明は、前記梁部がZ方向に変位した時にセンサ底部に当接するようなZ面ストッパーを前記梁部に設けたので、梁部がZ方向への大きな変位によって破損することはない。
【0025】
請求項4の発明は、梁部の他端を固定するためのアンカー部と構造体との間で所定の間隙を設けてなる主軸ストッパーを備えるようにしたので、所定以上の加速度印加時に、容量形成部にて、構造体が固定部に接触したままになることを防止できる。
【0026】
請求項5の発明は、前記主軸ストッパーを構造体の対角2点で備えるようにしたので、構造体のθ(ねじれ)方向変位に対しても抑止可能となり、構造体の機械強度が向上する。更に構造体のθ(ねじれ)方向変位が抑止されることから主軸方向以外の他軸方向の検出感度の抑制が可能となり、他軸方向の誤検出防止精度が向上する。
【0027】
請求項6の発明は、上記アンカー部を構造体のエリア内に形成したので、加速度検出セルの寸法の縮小が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の加速度検出セルの模式図
【図2】実際の加速度検出セルの全体図
【図3】図2における梁部と検出電極の個所の拡大平面図
【図4】実施の形態1による加速度検出セルの梁部の拡大平面図
【図5】図4の梁部の根元部分の平面図およびその部分の拡大斜視図
【図6】実施の形態2による梁部の根元部分の平面図
【図7】実施の形態3よる加速度検出セルの模式図
【図8】実施の形態4による梁部部の拡大平面図
【図9】実施の形態5による加速度検出セルの全体図
【符号の説明】
1 構造体、2 梁部、3 検出電極、4 梁共振ストッパー、5 梁Z面ストッパー、6 斜面、7 鋭角部、8 傾斜補償パターン、9 主軸ストッパー、10 構造体アンカー部
Claims (6)
- 固定部と、前記との間で容量を形成する構造体と、前記構造体を移動可能に保持する梁部とを、エッチング技術を用いてシリコン及びポリシリコンで形成してなる容量式加速度センサにおいて、
構造体の所定部を梁部近辺まで延長して前記梁部の必要以上の変位を抑止したことを特徴とする容量式加速度センサ。 - エッチング時に前記梁部の根元に生じる斜面をなくすために、前記梁部に続く幅広のパターンを形成した請求項1記載の容量式加速度センサ。
- 固定部と、前記との間で容量を形成する構造体と、前記構造体を移動可能に保持する梁部とを、エッチング技術を用いてシリコン及びポリシリコンで形成してなる容量式加速度センサにおいて、
前記梁部がZ方向に変位した時にセンサ底部に当接するようなZ面ストッパーを前記梁部に設けたことを特徴とする容量式加速度センサ。 - 固定部と、前記との間で容量を形成する構造体と、前記構造体を移動可能に保持する梁部とを、エッチング技術を用いてシリコン及びポリシリコンで形成してなる容量式加速度センサにおいて、
所定以上の加速度印加時に、容量形成部にて構造体が固定部に接触したままになることを防止するために、前記梁部の他端を固定するためのアンカー部と構造体との間で所定の間隙を設けてなる主軸ストッパーを備えたことを特徴とする容量式加速度センサ。 - 前記主軸ストッパーを構造体の対角2点で備えた請求項4記載の容量式加速度センサ。
- 前記アンカー部を、方形状の構造体のエリア内に形成した請求項4もしくは5記載の容量式加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002204248A JP2004045269A (ja) | 2002-07-12 | 2002-07-12 | 容量式加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002204248A JP2004045269A (ja) | 2002-07-12 | 2002-07-12 | 容量式加速度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004045269A true JP2004045269A (ja) | 2004-02-12 |
JP2004045269A5 JP2004045269A5 (ja) | 2005-08-04 |
Family
ID=31709904
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002204248A Pending JP2004045269A (ja) | 2002-07-12 | 2002-07-12 | 容量式加速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004045269A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006308352A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 多軸加速度センサ |
JP2006308353A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサおよびその製造方法 |
JPWO2008143191A1 (ja) * | 2007-05-17 | 2010-08-05 | ローム株式会社 | Memsセンサおよびその製造方法 |
US9828235B2 (en) | 2014-05-01 | 2017-11-28 | Seiko Epson Corporation | Functional element, physical quantity sensor, electronic apparatus and mobile entity |
-
2002
- 2002-07-12 JP JP2002204248A patent/JP2004045269A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006308352A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 多軸加速度センサ |
JP2006308353A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサおよびその製造方法 |
JP4525452B2 (ja) * | 2005-04-27 | 2010-08-18 | パナソニック株式会社 | 多軸加速度センサ |
JPWO2008143191A1 (ja) * | 2007-05-17 | 2010-08-05 | ローム株式会社 | Memsセンサおよびその製造方法 |
US9828235B2 (en) | 2014-05-01 | 2017-11-28 | Seiko Epson Corporation | Functional element, physical quantity sensor, electronic apparatus and mobile entity |
US10421661B2 (en) | 2014-05-01 | 2019-09-24 | Seiko Epson Corporation | Functional element, electronic apparatus and mobile entity |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101012248B1 (ko) | 정전용량식 센서 | |
US7393714B2 (en) | Method of manufacturing external force detection sensor | |
US6736008B2 (en) | Inertia force sensor | |
US7019231B2 (en) | Inertial sensor | |
KR100856179B1 (ko) | 반도체 가속도 센서 | |
US20090194397A1 (en) | Planar microelectromechanical device having a stopper structure for out-of-plane movements | |
JP2007298410A (ja) | 静電容量式センサ | |
US20070261490A1 (en) | Acceleration sensor and method of producing the same | |
JP2009033698A (ja) | ダイアフラム構造及び音響センサ | |
CN101405937B (zh) | 压电振动片的制造方法 | |
US8015875B2 (en) | Sensor device and method for fabricating sensor device | |
JP2004045269A (ja) | 容量式加速度センサ | |
JP2008197113A (ja) | 半導体加速度センサ | |
JP2000338126A (ja) | 半導体加速度センサ | |
JP2015219036A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP4569167B2 (ja) | 外力検知センサの製造方法 | |
JPH11214706A (ja) | 半導体センサおよびその製造方法 | |
JPH06242139A (ja) | 半導体加速度センサ | |
JPH032569A (ja) | 加速度センサ | |
JP2006064532A (ja) | 半導体加速度センサ | |
JP3543710B2 (ja) | 加速度センサの製造方法 | |
US9158107B2 (en) | Semiconductor device | |
JP2005091030A (ja) | 静電容量型加速度センサ | |
JPH0722628A (ja) | 半導体加速度センサとその製造方法 | |
JPH10256567A (ja) | 半導体加工部品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20050105 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050105 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20050621 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050622 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20070223 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070410 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070807 |