JP2006308352A - 多軸加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】XYZ座標系におけるXY平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部12を複数の梁部14を介して周囲の支持部13に支持する可動基板11と、この可動基板11における支持部13と接合され、かつ可動基板11における質量部12と所定間隔を有する固定電極16を上面に設けた固定基板15とを備え、前記複数の梁部14を、支持部13からX軸あるいはY軸と平行方向に延びた第1の梁部17と、質量部12に連結され、かつXY軸と45°方向に斜めに延びた第2の梁部18とにより構成し、前記第2の梁部18の長手方向と垂直な断面2次モーメントを第1の梁部17の長手方向と垂直な断面2次モーメントより小さくしたものである。
【選択図】図1
Description
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1〜4に記載の発明について説明する。
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項5に記載の発明について説明する。
以下、実施の形態3を用いて、本発明の特に請求項6に記載の発明について説明する。
12 質量部
13 支持部
14 梁部
15 固定基板
16 固定電極
17 第1の梁部
18 第2の梁部
19 貫通孔
21 可動基板
22 質量部
23 支持部
24 梁部
25 第1の梁部
26 第2の梁部
27 縦溝
31 駆動電極
32 共通電極
Claims (6)
- XYZ座標系におけるXY平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部を複数の梁部を介して周囲の支持部に支持する可動基板と、この可動基板における支持部と接合され、かつ可動基板における質量部と所定間隔を有する固定電極を上面に設けた固定基板とを備え、前記複数の梁部を、前記支持部からX軸あるいはY軸と平行方向に延びた第1の梁部と、前記質量部に連結され、かつXY軸と45°方向に斜めに延びた第2の梁部とにより構成し、前記第2の梁部の長手方向と垂直な断面2次モーメントを前記第1の梁部の長手方向と垂直な断面2次モーメントより小さくした多軸加速度センサ。
- 第2の梁部の長手方向の幅を第1の梁部の長手方向の幅より小さくした請求項1記載の多軸加速度センサ。
- XYZ座標系におけるXY平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部を複数の梁部を介して周囲の支持部に支持する可動基板と、この可動基板における支持部と接合され、かつ可動基板における質量部と所定間隔を有する固定電極を上面に設けた固定基板とを備え、前記複数の梁部を、面方位(100)のシリコンからなり、かつ前記支持部からX軸あるいはY軸と平行方向に延びた方位<110>に配置した第1の梁部と、前記質量部に連結され、かつXY軸と45°方向に斜めに延びた方位<100>に配置した第2の梁部とにより構成し、前記第2の梁部のヤング率を前記第1の梁部のヤング率より小さくした多軸加速度センサ。
- 質量部の上面から下面にわたって貫通孔を設けた請求項1または3記載の多軸加速度センサ。
- 質量部における第2の梁部と連結される部分の近傍に上面から下面にわたって縦溝を設けた請求項1または3記載の多軸加速度センサ。
- 固定基板の上面における第1の梁部と対向する側に駆動電極を少なくとも1つ設けた請求項1または3記載の多軸加速度センサ。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009216693A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-09-24 | Denso Corp | 物理量センサ |
US20100126270A1 (en) * | 2007-04-13 | 2010-05-27 | Panasonic Corporation | Inertia force sensor |
CN111190027A (zh) * | 2018-10-29 | 2020-05-22 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、电子设备以及移动体 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5708222B2 (ja) * | 2011-05-12 | 2015-04-30 | 大日本印刷株式会社 | 力学量センサー |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0394168A (ja) * | 1989-09-07 | 1991-04-18 | Hitachi Ltd | 半導体容量式加速度センサとその製造方法 |
JPH05264575A (ja) * | 1992-03-19 | 1993-10-12 | Fujitsu Ltd | 加速度計及びその製造方法 |
JP2000199714A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2003152162A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-23 | Tateyama Kagaku Kogyo Kk | 電子素子用基板とその製造方法並びに電子素子とその製造方法 |
WO2003104749A1 (ja) * | 2002-06-10 | 2003-12-18 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ |
JP2004012326A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Hiroaki Niitsuma | 物理量検出器及び物理量検出器の製造方法 |
JP2004045269A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Mitsubishi Electric Corp | 容量式加速度センサ |
JP2004354074A (ja) * | 2003-05-27 | 2004-12-16 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体加速度センサ |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0394168A (ja) * | 1989-09-07 | 1991-04-18 | Hitachi Ltd | 半導体容量式加速度センサとその製造方法 |
JPH05264575A (ja) * | 1992-03-19 | 1993-10-12 | Fujitsu Ltd | 加速度計及びその製造方法 |
JP2000199714A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2003152162A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-23 | Tateyama Kagaku Kogyo Kk | 電子素子用基板とその製造方法並びに電子素子とその製造方法 |
JP2004012326A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Hiroaki Niitsuma | 物理量検出器及び物理量検出器の製造方法 |
WO2003104749A1 (ja) * | 2002-06-10 | 2003-12-18 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ |
JP2004045269A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Mitsubishi Electric Corp | 容量式加速度センサ |
JP2004354074A (ja) * | 2003-05-27 | 2004-12-16 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体加速度センサ |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100126270A1 (en) * | 2007-04-13 | 2010-05-27 | Panasonic Corporation | Inertia force sensor |
JP2009216693A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-09-24 | Denso Corp | 物理量センサ |
US8146426B2 (en) | 2008-02-13 | 2012-04-03 | Denso Corporation | Physical sensor |
CN111190027A (zh) * | 2018-10-29 | 2020-05-22 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、电子设备以及移动体 |
CN111190027B (zh) * | 2018-10-29 | 2023-12-08 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、电子设备以及移动体 |
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