JP2006308353A - 加速度センサおよびその製造方法 - Google Patents
加速度センサおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006308353A JP2006308353A JP2005129285A JP2005129285A JP2006308353A JP 2006308353 A JP2006308353 A JP 2006308353A JP 2005129285 A JP2005129285 A JP 2005129285A JP 2005129285 A JP2005129285 A JP 2005129285A JP 2006308353 A JP2006308353 A JP 2006308353A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- fixed
- electrode
- mass
- fixed electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
【解決手段】XYZ座標系におけるXY平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部12を複数の梁部14を介して周囲の支持部13に支持する可動基板11と、この可動基板11における支持部13と接合され、かつ可動基板11における質量部12と所定間隔を有する固定電極16を上面に設けた固定基板15とを備え、前記質量部12と梁部14の双方の固定電極16と対向する側に所定間隔で突起17を設けるとともに、前記固定電極16の端部18を固定基板15の側面から露出させるように構成したものである。
【選択図】図5
Description
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1,3,4,5に記載の発明について説明する。
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項2,3,4,6に記載の発明について説明する。
12,32 質量部
13,33 支持部
14,34 梁部
15,35 固定基板
16,36 固定電極
17,37 突起
18,38 端部
19,39 溝部
25,44 検出電極部
26,45 共通電極部
Claims (6)
- XYZ座標系におけるXY平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部を複数の梁部を介して周囲の支持部に支持する可動基板と、この可動基板における支持部と接合され、かつ可動基板における質量部と所定間隔を有する固定電極を上面に設けた固定基板とを備え、前記質量部と梁部の双方の固定電極と対向する側に所定間隔で突起を設けるとともに、前記固定電極の端部を固定基板の側面から露出させるように構成した加速度センサ。
- XYZ座標系におけるXY平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部を複数の梁部を介して周囲の支持部に支持する可動基板と、この可動基板における支持部と接合され、かつ可動基板における質量部と所定間隔を有する固定電極を上面に設けた固定基板とを備え、前記固定電極における前記質量部と梁部の双方と対向する側に所定間隔で突起を設けるとともに、前記固定電極の端部を固定基板の側面から露出させるように構成した加速度センサ。
- 固定電極が質量部と梁部の略全域を覆うように固定基板と可動基板を対向配置した請求項1または2記載の加速度センサ。
- 質量部における固定電極を区画している部分と対向する側に溝部を設けた請求項1〜3のいずれかに記載の加速度センサ。
- 可動基板の少なくとも一面にエッチングを施して所定間隔で溝部と突起を形成した後にさらにエッチングを施して加速度に応じて変位する質量部と、この質量部と連結され、かつ肉薄な梁部および前記質量部と梁部を支持する支持部を形成する工程と、前記固定基板の上面に電極膜を成形する工程と、この電極膜の一部にエッチングを施して前記質量部との所定間隔の容量を検出する固定電極の検出電極部と共通電極部が同電位となるように接続配線されたパターンを形成する工程と、前記質量部と梁部の双方の突起と固定電極とが対向するように配置し、かつ前記可動基板の支持部と前記共通電極部が電気的に接続されるように重ねて前記固定基板と可動基板を陽極接合してセンサ基板を形成する工程と、前記固定電極のパターンを電気的に分離するとともに前記センサ基板の側面を分割する工程とを備えた加速度センサの製造方法。
- 可動基板にエッチングを施して加速度に応じて変位する質量部と、この質量部と連結され、かつ肉薄な梁部および前記質量部と梁部を支持する支持部を形成する工程と、前記固定基板にエッチングを施して溝部を形成した後にこの固定基板の上面に電極膜を成形する工程と、この電極膜の一部にエッチングを施して前記質量部との所定間隔の容量を検出する固定電極の検出電極部と共通電極部が同電位となるように接続配線されたパターンを形成する工程と、前記質量部と梁部の双方と前記固定電極の突起とが対向するように配置し、かつ前記可動基板の支持部と前記共通電極部が電気的に接続されるように重ねて前記固定基板と可動基板を陽極接合してセンサ基板を形成する工程と、前記固定電極のパターンを電気的に分離するとともに前記センサ基板の側面を分割する工程とを備えた加速度センサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005129285A JP2006308353A (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | 加速度センサおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005129285A JP2006308353A (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | 加速度センサおよびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006308353A true JP2006308353A (ja) | 2006-11-09 |
Family
ID=37475421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005129285A Pending JP2006308353A (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | 加速度センサおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006308353A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010117265A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Alps Electric Co Ltd | Memsセンサの製造方法 |
CN102193002A (zh) * | 2010-03-11 | 2011-09-21 | 苏州敏芯微电子技术有限公司 | 加速度传感器及其制造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0394168A (ja) * | 1989-09-07 | 1991-04-18 | Hitachi Ltd | 半導体容量式加速度センサとその製造方法 |
JP2001194153A (ja) * | 2000-01-11 | 2001-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ、加速度センサおよび製造方法 |
JP2002257847A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサ |
JP2004045269A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Mitsubishi Electric Corp | 容量式加速度センサ |
JP2004294309A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 容量検出型自己診断3軸加速度センサ |
JP2004309306A (ja) * | 2003-04-07 | 2004-11-04 | Tateyama Kagaku Kogyo Kk | 加速度センサとその製造方法 |
-
2005
- 2005-04-27 JP JP2005129285A patent/JP2006308353A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0394168A (ja) * | 1989-09-07 | 1991-04-18 | Hitachi Ltd | 半導体容量式加速度センサとその製造方法 |
JP2001194153A (ja) * | 2000-01-11 | 2001-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ、加速度センサおよび製造方法 |
JP2002257847A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサ |
JP2004045269A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Mitsubishi Electric Corp | 容量式加速度センサ |
JP2004294309A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 容量検出型自己診断3軸加速度センサ |
JP2004309306A (ja) * | 2003-04-07 | 2004-11-04 | Tateyama Kagaku Kogyo Kk | 加速度センサとその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010117265A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Alps Electric Co Ltd | Memsセンサの製造方法 |
CN102193002A (zh) * | 2010-03-11 | 2011-09-21 | 苏州敏芯微电子技术有限公司 | 加速度传感器及其制造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7878060B2 (en) | Motion sensor and method of manufacturing the same | |
US20120267730A1 (en) | Micro-electromechanical system (mems) device | |
US20040226369A1 (en) | Vertical MEMS gyroscope by horizontal driving and fabrication method thereof | |
US20020017134A1 (en) | Inertia sensor and method of fabricating the same | |
JP2008546553A (ja) | キャップを備えたmems用基板コンタクト及び同基板コンタクトをウェハレベルにて形成する方法 | |
JP6331535B2 (ja) | 電子デバイス、電子機器および移動体 | |
US8240205B2 (en) | Mechanical quantity sensor and method of manufacturing the same | |
US20200158751A1 (en) | Accelerometer | |
US9274153B2 (en) | Electrostatic capacitance sensor | |
US8250918B2 (en) | Mechanical quantity sensor and method of manufacturing the same | |
JP2006226770A (ja) | 力学量センサ | |
US8698315B2 (en) | Semiconductor device | |
EP1932803B1 (en) | MEMS device with Z-axis asymetry | |
US20130010447A1 (en) | Packaged device and method of fabricating packaged-device | |
JP2006308353A (ja) | 加速度センサおよびその製造方法 | |
CN1573336A (zh) | 电容型动态量传感器及其制造方法 | |
US8329491B2 (en) | Mechanical quantity sensor and method of manufacturing the same | |
JP2001349732A (ja) | マイクロマシンデバイスおよび角加速度センサおよび加速度センサ | |
JP2023156169A (ja) | 微小振動体の実装構造 | |
JP2006308352A (ja) | 多軸加速度センサ | |
JPH05264577A (ja) | 加速度センサ及びそれを使用したエアバッグ装置並びに車体制御装置 | |
JP2012127692A (ja) | Memsセンサおよびその製造方法、ならびにmemsパッケージ | |
KR100631218B1 (ko) | 병진형 mems 자이로스코프 | |
KR100506073B1 (ko) | 고진공패키징마이크로자이로스코프및그제조방법 | |
JP2012068098A (ja) | 静電容量型ジャイロセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080307 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20080414 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091215 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100215 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100511 |