JP6331535B2 - 電子デバイス、電子機器および移動体 - Google Patents
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Description
とする。
図1は本実施形態に係る電子デバイスを示し、(a)は第2基材を省略した状態での平面図、(b)は(a)に示すA−A´部の断面図である。
図5は、第2実施形態に係る電子デバイスを示す第2基材を省略した状態の平面図である。図5に示す電子デバイスとしてのセンサーデバイス200は、図5に示すF−F´部の断面図である図6(a)に示すように、第2基材220は主面220a側に第1凹部220bと第2凹部220cと、が形成され、第1凹部220bと第2凹部220cと、の間に隔壁220dが構成されている。第1基材210の主面210aと第1凹部220bとによって第1収容空間部200aが構成され、第1基材210の主面210aと第2凹部220cとによって第2収容空間部200bが構成される。
図8は、第3実施形態に係る電子デバイスを示す,(a)は第2基材を省略した平面図、(b)は(a)に示すL−L´部の断面図である。図8に示す電子デバイスとしてのセンサーデバイス300は、第2実施形態に係るセンサーデバイス200における配線251,252,253,254,256の配設方向、すなわち第1の接合領域241および第2の接合領域242が、隔壁を介して対向して配置されている点が異なる。従ってセンサーデバイス200と同じ構成要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
図9は、第4実施形態に係る電子デバイスを示し、(a)はモールド部材を省略した平面図、(b)は(a)に示すL−L´部の断面図である。図9に示す電子デバイス1000(以下、電子モジュール1000という)は、ベース基板1100に接合された第1実施形態に係る、3軸回りの角速度を検出する角速度センサー素子30を備えるセンサーデバイス100を備えている。
第5実施形態に係る電子機器として、第1実施形態に係るセンサーデバイス100,110,120、第2実施形態に係るセンサーデバイス200、第3実施形態に係るセンサーデバイス300もしくは第4実施形態に係る電子モジュール1000を備えるスマートフォンおよびデジタルスチルカメラについて説明する。
第1実施形態に係るセンサーデバイス100,110,120、第2実施形態に係るセンサーデバイス200、第3実施形態に係るセンサーデバイス300もしくは第4実施形態に係る電子モジュール1000を備える第6実施形態に係る移動体の具体例として、自動車について説明する。図12は、第5実施形態に係る自動車4000の外観図である。図12に示すように、自動車4000には第3実施形態に係る電子モジュール1000が組み込まれている。電子モジュール1000は車体4100の姿勢を検出する。電子モジュール1000の検出信号は車体姿勢制御装置4200に供給される。車体姿勢制御装置4200は供給された信号に基づき車体4100の姿勢状態を演算し、例えば車体4100の姿勢に応じた緩衝装置(いわゆるサスペンション)の硬軟を制御したり、個々の車輪4300の制動力を制御したりすることができる。このような電子モジュール1000を用いた姿勢制御は、二足歩行ロボット、航空機、あるいはラジコンヘリコプターなどの玩具に利用することができる。
Claims (10)
- 第1基材と、
前記第1基材に接合されている第2基材と、
前記第1基材と前記第2基材との間に設けられ封止されている収容空間部と、
前記収容空間部に並んで収容されている第1センシング部、第2センシング部および第3センシング部を含む機能素子と、を備え、
前記収容空間部は、平面視において、前記第1基材と前記第2基材とを接合している接合部の内部領域に配置されており、
前記第1センシング部と電気的に接続され、前記内部領域から前記接合部を介して前記収容空間部の外部に延設されている複数の第1配線と、
前記第2センシング部と電気的に接続され、前記内部領域から前記接合部を介して前記収容空間部の外部に延設されている複数の第2配線と、
前記第3センシング部と電気的に接続され、前記内部領域から前記接合部を介して前記収容空間部の外部に延設されている複数の第3配線と、を有し、
前記接合部は、少なくとも、前記第1センシング部、前記第2センシング部および前記第3センシング部が並ぶ方向の一方に設けられている第1の接合領域と他方に設けられている第2の接合領域とを含み、
前記複数の第1配線と、前記複数の第2配線のうちの一つと、は、
前記内部領域から前記第1の接合領域を介して前記収容空間部の外部に向かう第1の方向を有する第1配線部を有し、
前記複数の第3配線と、前記複数の第2配線のうちの一つと、は、
前記内部領域から前記第2の接合領域を介して前記収容空間部の外部に向かう第2の方向を有する第2配線部を備え、
前記第1の方向と前記第2の方向は異なる方向である、
ことを特徴とする電子デバイス。 - 前記収容空間部は、隔壁部を備え、
前記隔壁部により前記収容空間部は、第1収容空間部と、第2収容空間部と、
前記機能素子は、第1機能素子と、第2機能素子と、を有し、
前記第1収容空間部には、前記第1機能素子が収容され、
前記第2収容空間部には、前記第2機能素子が収容され、
前記第1収容空間部と、前記第2収容空間部と、の空間環境が異なっている、
ことを特徴とする請求項1に記載の電子デバイス。 - 前記第1機能素子は角速度センサー素子であり、前記第2機能素子は加速度センサー素子であり、
前記第1収容空間部の空間環境が減圧雰囲気であり、前記第2収容空間部の空間環境が大気圧雰囲気である、
ことを特徴とする請求項2に記載の電子デバイス。 - 前記第1の接合領域および前記第2の接合領域の少なくとも一方において、前記第1基材および前記第2基材の少なくとも一方に、少なくとも一つの溝部を有し、
前記溝部には、前記第1配線部および前記第2配線部の少なくとも一方が配設されている、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電子デバイス。 - 前記隔壁部に対して前記第1収容空間部側に第1の接合領域が設けられ、前記隔壁部に対して前記第2収容空間部側に第2の接合領域が設けられている、
ことを特徴とする請求項2から4のいずれか一項に記載の電子デバイス。 - 前記第1の接合領域を介して前記収容空間部の外部に向かう前記第1配線および前記第2配線の本数と、前記第2の接合領域を介して前記収容空間部の外部に向かう前記第3配線および前記第2配線の本数とが同じである、
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の電子デバイス。 - 前記角速度センサーは、複数の回転軸を検出することを特徴とする請求項3に記載の電子デバイス。
- 前記加速度センサーは、複数の軸方向を検出することを特徴とする請求項3に記載の電子デバイス。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載の電子デバイスを備えることを特徴とする電子機器。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載の電子デバイスを備えることを特徴とする移動体。
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