JP2006234462A - 慣性センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可撓性樹脂基板7に検知素子8を支持するとともに、検知素子8を支持した状態の可撓性樹脂基板7の固有周波数が、検知素子8の駆動方向の固有周波数と検知方向の固有周波数の周波数差より大きく、かつ、外部からの振動により検知素子8に励起される最低周波数より小さい範囲としたものである。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の実施の形態1における慣性センサの一部分解斜視図である。図2は本発明の実施の形態1における慣性センサの可撓性樹脂基板の平面図である。図3は本発明の実施の形態1における慣性センサの検知素子を支持した可撓性樹脂基板の平面図である。図4は本発明の実施の形態1における慣性センサの検知素子を支持した可撓性樹脂基板の断面図である。
3a、3b 台
3c、3d、7b、7c 端子
3e 開口部
6 回路IC
6a パッド
6b ワイヤ
7 可撓性樹脂基板
7a 配線パターン
8 検知素子
9 導電性ペースト
10 バンプ
11 接着剤
Claims (4)
- 駆動振動し慣性量を検知する検知素子と、
前記検知素子を駆動制御する駆動回路および前記検知素子からの信号を処理し慣性量に応じた信号に調整し出力する出力回路を含む回路ICと、
前記検知素子を支持し、かつ前記検知素子を前記回路ICに電気的に接続するための配線パターンを形成した可撓性樹脂基板と、
前記回路ICを内蔵し、前記検知素子が駆動振動により慣性量を検知可能なように前記可撓性樹脂基板を内部に取り付けた外容器とを備え、
前記検知素子を支持した状態の前記可撓性樹脂基板の固有周波数は、前記検知素子の駆動方向の固有周波数と検知方向の固有周波数の周波数差より大きく、かつ、外部からの振動により前記検知素子に励起される最低周波数より小さい範囲とした慣性センサ。 - 検知素子は接着剤で可撓性樹脂基板に支持した請求項1に記載の慣性センサ。
- 固有周波数が2kHzから10kHzの範囲となるように可撓性樹脂基板の弾性を設定した請求項1に記載の慣性センサ。
- 弾性は可撓性樹脂基板の厚み、形状、または配線パターンの厚み、形状のいずれか一つ、もしくはそれらの選択的組合せにより設定した請求項3に記載の慣性センサ。
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