JP5776184B2 - センサ装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態に係るセンサ装置を示す断面図である。図1に示すように、本実施の形態に係るセンサ装置は、角速度センサ素子1と、パッケージ本体2と、Auワイヤ3と、ダイボンド材4と、リッド5と、リード端子6と、ポッティング材7とを含む。
次に、図1に示すセンサ装置の製造方法について説明する。
次に、パッケージ本体2の中空部2Aの底面に、ダイボンド材4(接着剤)を塗布し、角速度センサ素子1およびIC素子をダイボンドする。
次に、角速度センサ素子1の構造について説明する。図2は角速度センサ素子を構成する振動子基板と保護基板とを接合した状態の一部を示す断面図である。図3は角速度センサ素子に使用される振動子基板の構造を示す平面図である。
上述のように、本実施の形態に係る角速度センサ素子1としては、単結晶Si基板(振動子基板10)に微細加工技術を用いてインターデジタル構造からなる駆動部と検出部とを形成し、駆動部と検出部が中空となるようにガラス基板(保護基板20)で挟み込んだ、いわゆるMEMS構造の角速度センサ素子を使用している。このような角速度センサ素子1に外部要因による応力が生じると、ゼロ点変動(角速度が生じていないにもかかわらず、センサチップの変形や反りにより誤信号が発生する状態)が発生する。したがって、角速度センサ素子1における応力を抑制することは重要である。
上述した内容について要約すると、次のようになる。すなわち、本実施の形態に係るセンサ装置は、実装面に対してθの角度で傾斜する底面を有するパッケージ本体2と、上記底面上に搭載される角速度センサ素子1と、上記底面上に角速度センサ素子1を収納する中空部2Aを形成するようにパッケージ本体2に取り付けられる「蓋部材」としてのリッド5と、複数のリード端子6と、上記底面と角速度センサ素子1との間に介在し、パッケージ本体2よりも高い柔軟性を有する「接着部」としてのダイボンド材4とを備える。上記センサ装置においては、複数のリード端子6のうち、側壁の一方に設けられているリード端子6の長さが、側壁の他方に設けられているリード端子6の長さと異なることにより、検知軸が鉛直方向(実装面に対して直交する方向)に対して角度θ(0°<θ<90°)をなしている。異なる観点では、ダイボンド材4は、角速度センサ素子1の保護基板20よりも高い柔軟性を有する。
Claims (5)
- 中空部を有する方形箱型形状のパッケージ本体と、
パッケージ本体の対向する2つの側壁に設けられている複数のリード端子と、
前記中空部の底面に搭載され、検知軸を有するセンサ素子と、
前記中空部を封止するように前記パッケージ本体に取り付けられる蓋部材と、
前記中空部の底面と前記センサ素子との間に介在し、前記パッケージ本体よりも高い柔軟性を有する接着部とを備え、
前記複数のリード端子のうち、前記側壁の一方に設けられているリード端子の長さが、前記側壁の他方に設けられているリード端子の長さと異なることにより、前記検知軸が鉛直方向に対して角度θ(0°<θ<90°)をなしており、
前記蓋部材は、天面とパッケージ本体に接着される傾斜面とを有しており、前記天面と前記傾斜面とがなす角度は前記角度θと等しい、センサ装置。 - 前記センサ素子とともに前記中空部内に搭載されているIC素子をさらに備えた、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記中空部内における前記センサ素子を覆うように設けられたポッティング材をさらに備えた、請求項1または請求項2に記載のセンサ装置。
- 前記センサ素子は、物理量を検出する検出部と該検出部の両面に接合された保護基板とを含み、
前記接着部は、前記保護基板よりも高い柔軟性を有する、請求項1から請求項3のいずれかに記載のセンサ装置。 - 前記接着部は、シリコン系樹脂またはフッ素系樹脂を含む、請求項1から請求項4のいずれかに記載のセンサ装置。
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