JP2010185716A - 角速度センサモジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】リードフレームに搭載された角速度センサおよび他の電子部品の応力を低減可能な角速度センサモジュールを提供する。
【解決手段】角速度センサモジュールは、角速度検出素子を有する角速度センサ30と、角速度センサ30に接続される電子回路を有するASIC素子20と、角速度センサ30およびASIC素子20が搭載されるリードフレーム10と、リードフレーム10上に搭載された角速度センサ30およびASIC素子20を封止するモールド樹脂50とを備え、リードフレーム10は、角速度センサ30とASIC素子20とが重なる方向に折り曲げられている。一例では、折り曲げられたリードフレーム10を角速度センサ30およびASIC素子20が挟むようにリードフレーム10が折り曲げられている。
【選択図】図8
【解決手段】角速度センサモジュールは、角速度検出素子を有する角速度センサ30と、角速度センサ30に接続される電子回路を有するASIC素子20と、角速度センサ30およびASIC素子20が搭載されるリードフレーム10と、リードフレーム10上に搭載された角速度センサ30およびASIC素子20を封止するモールド樹脂50とを備え、リードフレーム10は、角速度センサ30とASIC素子20とが重なる方向に折り曲げられている。一例では、折り曲げられたリードフレーム10を角速度センサ30およびASIC素子20が挟むようにリードフレーム10が折り曲げられている。
【選択図】図8
Description
本発明は、角速度センサモジュールに関し、特に、角速度検出素子を含む角速度センサおよび他の電子部品が搭載されるリードフレームを有する角速度センサモジュールに関する。
特開2002−334965号公報(特許文献1)には、実装時において基板の設置電極と実装部とを導通可能とするダイリード端子を備えた高周波デバイス用パッケージが記載されている。
実用新案登録第3061660号公報(特許文献2)には、入力出力端子フレームとペレット設置面とが平行でないホール素子が記載されている。
また、特開2004−163376号公報(特許文献3)には、複数の質量部を互いに逆位相で振動させることにより角速度を検出する角速度センサが記載されている。
リードフレーム上に搭載される電子部品には、外部要因によるリードフレームの変形に伴なう応力が伝達される(本明細書では、これを『外部応力』と称する)。また、リードフレームに搭載された部品を樹脂でモールドする場合は、当該部品と樹脂との熱膨張差による応力も発生する(本明細書では、これを『内部応力』と称する)。
電子部品に作用する応力をできる限り小さくしたいという要請があるため、上記外部応力および内部応力を縮小させる構造を設けることが望ましい。しかし、特許文献1〜3には、このような応力低減のための解決策が記載も示唆もなされていない。
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、リードフレームに搭載された角速度センサおよび他の電子部品の応力を低減可能な角速度センサモジュールを提供することにある。
本発明に係る角速度センサモジュールは、角速度検出素子を含む角速度センサと、角速度センサに接続される電子回路を有する他の電子部品と、角速度センサおよび他の電子部品が搭載されるリードフレームと、リードフレーム上に搭載された角速度センサおよび他の電子部品を封止する樹脂部とを備え、リードフレームは、角速度センサと他の電子部品とが重なる方向に折り曲げられている。
1つの実施態様では、上記角速度センサモジュールにおいて、折り曲げられたリードフレームを角速度センサおよび他の電子部品が挟むようにリードフレームが折り曲げられる。
1つの実施態様では、上記角速度センサモジュールにおいて、リードフレームにおける折り返された部分が該リードフレームに密着するようにリードフレームが折り曲げられる。
1つの実施態様では、上記角速度センサモジュールにおいて、折り曲げられたリードフレームが角速度センサおよび他の電子部品を挟むようにリードフレームが折り曲げられる。
1つの実施態様では、上記角速度センサモジュールにおいて、角速度センサと他の電子部品とはワイヤを介して電気的に接続される。
1つの実施態様では、上記角速度センサモジュールにおいて、角速度検出素子は、基板と、基板に対して隙間をもって配置され、該基板に対して変位可能な質量部と、質量部の変位量に基づいて角速度を出力する角速度出力部とを含む。
本発明によれば、リードフレームを折り曲げることにより、リードフレームの剛性が高まるため、外部要因によるリードフレームの変形が抑制され、結果的に角速度センサおよび他の電子部品に作用する外部応力を低減することができる。また、リードフレームを折り曲げることにより、モールド樹脂の量を低減することができるので、角速度センサおよび他の電子部品と樹脂との熱膨張差による内部応力を低減することができる。
このように、本発明によれば、角速度センサモジュールにおいて、リードフレームに搭載された角速度センサおよび他の電子部品の応力を低減することができる。
以下に、本発明の実施の形態について説明する。なお、同一または相当する部分に同一の参照符号を付し、その説明を繰返さない場合がある。また、以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、以下の実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本発明にとって必ずしも必須のものではない。
図1は、後述する本発明の実施の形態1,2に係る角速度センサモジュールに含まれる角速度検出素子の構造を示す平面図である。図2は、図1に示す角速度検出素子に含まれる振動子基板と保護基板とを接合した状態の一部を示す断面図である。
実施の形態1,2に係る角速度センサモジュールは、角速度検出素子1を備えている。この角速度検出素子1は、静電駆動/容量検出型で、かつ非共振型のものであって、たとえば単結晶または多結晶の低抵抗なシリコン材料からなる振動子基板2と、この振動子基板2の主面上および裏面上に設けられたたとえば高抵抗なシリコン材料またはガラス材料等からなる保護基板3とを含む三層構造を有する。そして、両基板2,3は、振動子基板2の可動部分を収納するためのキャビティ4が形成される箇所を除いてたとえば陽極接合等の接合方法により一体的に接合されている。また、キャビティ4内は振動ダンピングを低減するために真空状態あるいは低圧力状態に保たれている。
振動子基板2には、エッチング処理等の微細加工を施すことにより、第1〜第4の各質量部71〜74、駆動梁8、第1,第2モニター電極91,92、第1〜第4駆動電極101〜104、第1〜第4検出電極161〜164、および接地電極181,182などが形成されている。
ここで、図1において、角速度検出素子1の長手方向をY軸方向、これに直交する短手方向をX軸方向、両軸に共に直交する紙面に垂直な方向をZ軸方向としたとき、第1〜第4の各質量部71〜74は、部分的に接地電極181,182に接続された駆動梁8によってY軸方向に沿って直列に支持されており、これによって第1〜第4の各質量部71〜74はX軸方向に沿って振動可能な状態になっている。すなわち、第1〜第4の各質量部71〜74および駆動梁8が可動部分となっており、第1,第2モニター電極91,92、第1〜第4駆動電極101〜104、および接地電極181,182が固定部となっている。
上記の第1質量部71においては、第1モニター電極91および第1,第2の駆動電極101,102の櫛歯状部分に対向するように左右に突出形成された櫛歯状の可動側電極111a,111b,111cが設けられている。
また、第2質量部72は、駆動梁8により支持された四角形の第1駆動枠121と、第1駆動枠121の内側において上下の第1検出梁131により支持された2つの四角形を連接した形状の第1検出枠141とを有する。第1駆動枠121の外側には第1質量部71に近接して上記の第1,第2駆動電極101,102の櫛歯状部分に対向した櫛歯状の可動側電極151a,151bが形成されている。また、第1検出枠141の2つの四角形部分の内側にはそれぞれ櫛歯状の第1,第2検出電極161,162にそれぞれ対向して櫛歯状の可動側電極171が形成されている。これにより、第1検出枠141は可動側電極171と共に第1検出梁131によってY軸方向に沿って振動可能な状態になっている。
上記の第4質量部74においては、第2モニター電極92および第3,第4の駆動電極103,104の櫛歯状部分に対向するように左右に突出形成された櫛歯状の可動側電極112a,112b,112cが設けられている。
また、第3質量部73は、駆動梁8により支持された四角形の第2駆動枠122と、第2駆動枠122の内側において上下の第2検出梁132により支持された2つの四角形を連接した形状の第2検出枠142とを有する。第2駆動枠122の外側には第4質量部74に近接して上記の第3,第4駆動電極103,104の櫛歯状部分に対向した櫛歯状の可動側電極152a,152bが形成されている。また、第2検出枠142の2つの四角形部分の内側にはそれぞれ櫛歯状の第3,第4検出電極163,164にそれぞれ対向して櫛歯状の可動側電極172が形成されている。これにより、第2検出枠142は可動側電極172と共に第2検出梁132によってY軸方向に沿って振動可能な状態になっている。
上記の第1,第2モニター電極91,92、第1〜第4駆動電極101〜104、第1〜第4検出電極161〜164、および接地電極181,182は、振動子基板2上の保護基板3との接合箇所の上に形成されていて固定状態になっている。そして、これらの固定側の各電極91,92、101〜104、161〜164、181,182は、図2に示すように各電極パッド5にそれぞれ個別に接続されており、これらの各電極パッド5を介して外部の電気回路と電気的接続が可能になっている。なお、角速度検出素子1の可動部分は、駆動梁8を介して接地電極181,182と機械的かつ電気的に接続されていて接地電位に保たれている。
角速度検出素子1による角速度の検出の原理については、以下に説明するとおりである。すなわち、第1〜第4質量部71〜74がX軸方向に振動しているときに、角速度検出素子1にZ軸まわりに角速度が加わると、第2質量部72および第3質量部73がコリオリ力によりY軸方向において互いに逆向きに変位する。これにより、上記変位量は静電容量の変化として検出され、第1〜第4検出電極161〜164から検出信号として出力される。
以上に説明した角速度検出素子1は、応力により反りや捩れなどの変形が生じると、特性悪化を生じるものである。したがって、角速度検出素子1に生じる応力は、極力低減することが好ましい。本発明の実施の形態1,2に係る角速度センサモジュールでは、後述する機構により、角速度検出素子1の応力の低減を図っている。
(実施の形態1)
図3〜図7は、実施の形態1に係る角速度センサモジュールの製造方法における第1〜第5工程を示す断面図である。また、図8は、実施の形態1に係る角速度センサモジュールを示す断面図である。
図3〜図7は、実施の形態1に係る角速度センサモジュールの製造方法における第1〜第5工程を示す断面図である。また、図8は、実施の形態1に係る角速度センサモジュールを示す断面図である。
本実施の形態に係る角速度センサモジュールは、図8に示すように、リードフレーム10と、ASIC素子20と、角速度センサ30と、ワイヤ40と、モールド樹脂50と、実装基板60とを含む。
ASIC素子20および角速度センサ30は、リードフレーム10上に搭載される。ASIC素子20は、角速度センサ10に接続される電子回路を有し、角速度センサ30を制御するものである。
MEMS素子である角速度センサ30は、上述した角速度検出素子1を互いに直交する3軸方向に沿って3つ配置したものである。これにより、角速度を三次元で測定することができる。
ワイヤ40は、ASIC素子20と角速度センサ30とを電気的に接続するものである。モールド樹脂50は、リードフレーム10、ASIC素子20、および角速度センサ30をモールドするものである。
次に、図3〜図7を用いて、図8に示す角速度センサモジュールの製造工程について説明する。
まず、図3に示すように、略平面形状のリードフレーム10を準備する。次に、図4に示すように、リードフレーム10における同一の主表面上に、ASIC素子20および角速度センサ30を載置する。そして、図5に示すように、ASIC素子20と角速度センサ30とをワイヤ40により電気的に接続する。なお、ワイヤ40による接続工程を行なうためには、ASIC素子20と角速度センサ30とをリードフレーム10における同一の主表面に搭載することが必須である。ここで、ワイヤ40は、本実施の形態のようにリードフレーム10を折り曲げない場合と比べて長く形成される。その後、図6に示すように、ASIC素子20と角速度センサ30とが外側に位置するように、リードフレーム10を折り曲げる。ここで、リードフレーム10には、折り曲げ工程を容易にするため、折り曲げ位置の表面に予め溝部等を形成しておくことが好ましい。リードフレーム10を折り曲げた後、図7に示すように、モールド樹脂50により、リードフレーム10、ASIC素子20、および角速度センサ30をモールドする。このようにして形成されたデバイスを実装基板60に実装することで、本実施の形態に係る角速度センサモジュール(図8)が形成される。
本実施の形態に係る角速度センサモジュールによれば、以下の効果を奏する。すなわち、リードフレーム10を折り曲げることにより、リードフレーム10の剛性が高まるため、外部要因によるリードフレーム10の変形が抑制され、結果的に角速度センサ30およびASIC素子20に作用する外部応力を低減することができる。また、リードフレーム10を折り曲げることにより、モジュールの平面積を減少させ、モールド樹脂50の量を低減することができるので、角速度センサ30およびASIC素子20とモールド樹脂50との熱膨張差による内部応力を低減することができる。この結果、本実施の形態に係る角速度センサモジュールでは、リードフレーム10に搭載された角速度センサ30およびASIC素子20の応力を低減することができる。
上述の如く、角速度センサ30に含まれる角速度検出素子1は、応力により反りや捩れなどの変形が生じると、特性悪化を生じるものである。本実施の形態に係る角速度センサモジュールでは、上述の構造により、角速度検出素子1の特性の悪化を抑制している。
また、上記のようにリードフレーム10を折り曲げることにより、リードフレーム10を折り曲げない場合と比較して、実装基板60に実装する際の実装面積を低減することもできる。
上述した内容について要約すると、以下のようになる。すなわち、本実施の形態に係る角速度センサモジュールは、角速度検出素子1を含む角速度センサ30と、角速度センサ30に接続される電子回路を有する『他の電子部品』としてのASIC素子20と、角速度センサ30およびASIC素子20が搭載されるリードフレーム10と、リードフレーム10上に搭載された角速度センサ30およびASIC素子20を封止する『樹脂部』としてのモールド樹脂60とを備え、リードフレーム10は、角速度センサ30とASIC素子20とが重なる方向に折り曲げられている。角速度センサ30に含まれる角速度検出素子1は、保護基板3と、保護基板3に対して隙間をもって配置され、保護基板3に対して変位可能な質量部72,73と、質量部72,73の変位量に基づいて角速度を出力する『角速度出力部』としての第1〜第4検出電極161〜164とを含む。
より具体的には、本実施の形態では、折り曲げられたリードフレーム10を角速度センサ30およびASIC素子20が挟むようにリードフレーム10が折り曲げられている。さらに具体的には、本実施の形態では、リードフレーム10における折り返された部分が該リードフレーム10に密着するようにリードフレーム10が折り曲げられる。ただし、この部分は必ずしも互いに密着していなくてもよい。
(実施の形態2)
図9〜図11は、実施の形態2に係る角速度センサモジュールの製造方法における第3〜第5工程を示す断面図である。また、図12は、実施の形態2に係る角速度センサモジュールを示す断面図である。なお、本実施の形態においても、第1工程および第2工程は、実施の形態1(図3,図4)と同様である。
図9〜図11は、実施の形態2に係る角速度センサモジュールの製造方法における第3〜第5工程を示す断面図である。また、図12は、実施の形態2に係る角速度センサモジュールを示す断面図である。なお、本実施の形態においても、第1工程および第2工程は、実施の形態1(図3,図4)と同様である。
本実施の形態に係る角速度センサモジュールは、実施の形態1に係る角速度センサモジュールの変形例であって、図9〜図12に示すように、ASIC素子20と角速度センサ30とが内側に位置するように、すなわち、折り曲げられたリードフレーム10が角速度センサ30およびASIC素子20を挟むようにリードフレーム10を折り曲げることを特徴とする。
本実施の形態に係る角速度センサモジュールによれば、実施の形態1に係る角速度センサモジュールと同様の効果を奏し、さらに、次のような効果も奏する。
ASIC素子20および角速度センサ30は、電気的な外乱に比較的敏感である。本実施の形態のように、ASIC素子20および角速度センサ30をワイヤ40で接続する場合、ワイヤ40がアンテナとして機能して電気的外乱が増大することが懸念される。したがって、これらに作用する電気的な外乱を極力小さくすることが望ましい。これに対し、本実施の形態では、上記のようにリードフレーム10を折り曲げることにより、リードフレーム10が、ASIC素子20および角速度センサ30に対する電気的外乱を遮断するシールド板としても機能するため、電気的外乱に強い角速度センサモジュールを得ることができる。
なお、本実施の形態に係る角速度センサモジュールにおいては、実施の形態1に係る角速度センサモジュールと比較して、ASIC素子20と角速度センサ30との位置関係に起因して、ワイヤ40の長さが短く設定されている。すなわち、本実施の形態では、ASIC素子20と角速度センサ30とが内側に位置するようにリードフレーム10を折り曲げるため、折り曲げ後において、ASIC素子20と角速度センサ30とが比較的短い。したがって、ワイヤ40が長いと、該ワイヤ40の収納が難しくなるため、実施の形態1と比較して、ワイヤ40の長さを短く設定している。
なお、上記以外の事項については、実施の形態1と同様であるので、詳細な説明は繰り返さない。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 角速度検出素子、2 振動子基板、3 保護基板、4 キャビティ、5 電極パッド、8 駆動梁、10 リードフレーム、20 ASIC素子、30 角速度センサ(MEMS素子)、40 ワイヤ、50 モールド樹脂、60 実装基板、71〜74 第1〜第4の各質量部、91,92 第1,第2モニター電極、101〜104 第1〜第4駆動電極、161〜164 第1〜第4検出電極、181,182 接地電極。
Claims (6)
- 角速度検出素子を含む角速度センサと、
前記角速度センサに接続される電子回路を有する他の電子部品と、
前記角速度センサおよび前記他の電子部品が搭載されるリードフレームと、
前記リードフレーム上に搭載された前記角速度センサおよび前記他の電子部品を封止する樹脂部とを備え、
前記リードフレームは、前記角速度センサと前記他の電子部品とが重なる方向に折り曲げられた、角速度センサモジュール。 - 折り曲げられた前記リードフレームを前記角速度センサおよび前記他の電子部品が挟むように前記リードフレームが折り曲げられる、請求項1に記載の角速度センサモジュール。
- 前記リードフレームにおける折り返された部分が該リードフレームに密着するように前記リードフレームが折り曲げられる、請求項2に記載の角速度センサモジュール。
- 折り曲げられた前記リードフレームが前記角速度センサおよび前記他の電子部品を挟むように前記リードフレームが折り曲げられる、請求項1に記載の角速度センサモジュール。
- 前記角速度センサと前記他の電子部品とはワイヤを介して電気的に接続される、請求項1から請求項4のいずれかに記載の角速度センサモジュール。
- 前記角速度検出素子は、
基板と、
前記基板に対して隙間をもって配置され、該基板に対して変位可能な質量部と、
前記質量部の変位量に基づいて角速度を出力する角速度出力部とを含む、請求項1から請求項5のいずれかに記載の角速度センサモジュール。
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JP2012251801A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-20 | Seiko Epson Corp | モジュールおよび電子機器 |
CN110323166A (zh) * | 2019-08-03 | 2019-10-11 | 捷捷半导体有限公司 | 一种带有应力释放槽的汽车二极管用烧结模具及使用方法 |
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2009
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