JP2008076153A - 力学量センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数個のパッド50〜54を、センサチップ100のコーナー部101に設けずに、センサチップ100の中央部を交差部分とした十字形状に配列することにより、コーナー部101を回路チップに対してリリースされた状態とする。
【選択図】図2
Description
なお、センサチップ100における検出部3、4が形成されている領域、あるいはセンサチップ100における固定部3b、4bが形成されている領域とは、センサチップ100の検出部3、4の形成面における当該検出部や固定部の形成領域だけを意味するものではなく、図5に「領域」として斜線ハッチングを施して示しているように、当該検出部3、4の形成面と反対側のセンサチップ100の面までを含むものである。
4…右側検出部、4a…右側検出部の可動部、4b…右側検出部の固定部、
50…駆動用パッド、51…可動部用パッド、52…駆動振動用パッド、
53…角速度検出用パッド、54…ダミーパッド、100…センサチップ、
101…コーナー部、200…基材としての回路チップ、400…バンプ、
L1…第1の中心線、x…駆動振動の方向としての第1の方向、
y…検出振動の方向としての第2の方向。
Claims (11)
- 力学量の印加により変位可能な可動部(3a、4a)を有し前記可動部(3a、4a)の変位に伴う容量変化に基づいて前記力学量を検出する検出部(3、4)および複数個のパッド(50〜54)が形成されている矩形板状のセンサチップ(100)を備え、前記センサチップ(100)の前記パッド(50〜54)と前記基材(200)とをバンプ(400)を介して電気的・機械的に接続してなる力学量センサであって、
前記複数個のパッド(50〜54)は前記センサチップ(100)のコーナー部(101)には設けられずに、前記コーナー部(101)は前記基材(200)に対してリリースされた状態となっていることを特徴とする力学量センサ。 - 前記複数個のパッド(50〜54)の少なくとも1個を、前記センサチップ(100)の中央部に配置することにより、前記センサチップ(100)の中央部が前記バンプ(400)を介して前記基材(200)に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の力学量センサ。
- 前記複数個のパッド(50〜54)の少なくとも1個は、前記センサチップ(100)における前記検出部(3、4)が形成されている領域に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の力学量センサ。
- 前記検出部(3、4)は、前記可動部(3a、4a)とこれに対向する固定部(3b、4b)とを有し、前記力学量の印加によるこれら可動部(3a、4a)と固定部(3b、4b)との間の容量変化に基づいて前記力学量を求めるものであり、
前記検出部(3、4)が形成されている領域に配置された前記パッドは、前記固定部(3b、4b)が形成されている領域に配置されていることを特徴とする請求項3に記載の力学量センサ。 - 前記可動部(3a、4a)は、一方向に駆動振動するとともに角速度が印加されたときに、この駆動振動の方向とは直交する方向に印加されるコリオリ力によって検出振動するものとして構成されており、
前記固定部(3b、4b)が形成されている領域に配置された前記パッドは複数個のものであるとともに、当該複数個のパッドは、前記駆動振動の方向もしくは前記検出振動の方向に沿って配列されていることを特徴とする請求項4に記載の力学量センサ。 - 前記複数個のパッド(50〜54)は、前記センサチップ(100)の中央部を交差部分とした十字形状に配列されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の力学量センサ。
- 前記複数個のパッド(50〜54)における十字形の配列形状は、前記交差部分から前記センサチップ(100)の各辺の中心に向かって延びるような十字形状であることを特徴とする請求項6に記載の力学量センサ。
- 前記検出部(3、4)は、前記センサチップ(100)を2等分する中心線(L1)の一側と他側とにそれぞれ線対称形状に設けられた2個のものを備えてなり、
前記複数個のパッド(51、54)は、前記中心線(L1)上に沿って配置されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載の力学量センサ。 - 前記可動部(3a、4a)は、一方向に駆動振動するとともに角速度が印加されたときに、この駆動振動の方向とは直交する方向に印加されるコリオリ力によって検出振動するものとして構成されており、
前記中心線(L1)上に沿って配置されている複数個のパッド(51、54)は、前記検出振動の方向に沿って配列されていることを特徴とする請求項8に記載の力学量センサ。 - 前記複数個のパッド(50〜54)の一部は、ダミーパッドであることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1つに記載の力学量センサ。
- 前記検出部(3、4)と前記複数個のパッド(50〜54)は、前記センサチップ(100)の同一面側に設けられており、
前記センサチップ(100)における前記検出部(3、4)側の面を前記基材(200)に対向させた状態で、前記バンプ(400)を介した接続がなされていることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1つに記載の力学量センサ。
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