JP2008101980A - 容量式半導体センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサチップ12を回路チップ13に対しフェースダウン状態とし、4個のバンプ29により接続する。このとき、センサチップ12と回路チップ13との間に、バンプ29に加えて、両者の機械的な接続を行う8個のダミーバンプ31を設ける。ダミーバンプ31(ダミーパッド23)を、第1〜第4の仮想線L1〜L4が形成する仮想四角形の各頂点部に4個配置すると共に、第3の仮想線L3に沿って、各頂点と第3の電極パッド21との中間点に位置して2個、第4の仮想線L4に沿って、各頂点と第4の電極パッド22との中間点に位置して2個配置する。各バンプ29及び各ダミーバンプ31の、原点OからのX軸方向の距離の総和ΣXと、原点OからのX軸方向の距離の総和ΣYとの関係が、ΣX>ΣYとなる。
【選択図】図1
Description
まず、図1及び図2を参照して、本発明の第1の実施例(請求項1、2に対応)について述べる。図2は、本実施例に係る容量式半導体センサ装置たる半導体加速度センサ11の全体構成を概略的に示す縦断正面図であり、図1は、そのうちセンサチップ12の構成を示す図である。ここで、図2に示すように、この半導体加速度センサ11は、センサチップ12を回路チップ13に実装したスタック構造を備え、それらを例えばセラミック製のパッケージ14内に収容して構成される。
次に、本発明の第2〜第6の実施例について、図3〜図7を参照しながら順に述べる。尚、以下に述べる各実施例においては、やはり、本発明を上記第1の実施例と同様の半導体加速度センサに適用したものであり、上記第1の実施例と異なる点は、ダミーバンプ(ダミーパッド)の配置構成にある。従って、上記第1の実施例と同一部分には同一符号を付して詳しい説明を省略し、以下、相違する点を中心に述べることとする。
図8は、本発明の第7の実施例を示すものであり、以下、上記第1の実施例と異なる点について述べる。図8は、本実施例に係るセンサチップ61の平面構成を概略的に示しており、このセンサチップ61の中央部やや後方寄りの矩形領域(破線で囲む部分)には、力学量検出部としての加速度検出部62が設けられる。
Claims (10)
- 一方向の検出軸を有する力学量検出部を形成してなるセンサチップと、信号処理回路を有する回路チップとを備え、前記センサチップを回路チップに対してバンプを介してフリップチップ接続するようにした容量式半導体センサ装置であって、
前記センサチップと回路チップとの間に、前記バンプに加えて、両者の機械的な接続を行うダミーバンプを設けたことを特徴とする容量式半導体センサ装置。 - 前記センサチップの力学量検出部の中心を原点Oとし、前記検出軸方向をY軸方向、それと直交する方向をX軸方向としたときに、前記各バンプ及び各ダミーバンプの、前記原点からのX軸方向の距離の総和ΣXと、前記原点からのX軸方向の距離の総和ΣYとの関係が、ΣX>ΣYとされていることを特徴とする請求項1記載の容量式半導体センサ装置。
- 前記バンプは、前記原点Oを挟んだY軸上の2箇所に位置する第1,第2バンプと、前記原点Oを挟んだX軸上の2箇所に位置する第3,第4バンプとの4個が設けられ、それら4個のバンプを各辺の中央とした四角形を仮想した際に、前記ダミーバンプは、少なくとも前記四角形の各頂点部分に位置して4個が設けられていることを特徴とする請求項2記載の容量式半導体センサ装置。
- 前記バンプは、前記原点Oを挟んだY軸上の2箇所に位置する第1,第2バンプと、前記原点Oを挟んだX軸上の2箇所に位置する第3,第4バンプとの4個が設けられ、前記第1、第2バンプを通りX軸方向に平行な第1,第2の仮想線を夫々仮想した際に、前記ダミーバンプは、前記第1,第2の仮想線の間の領域に位置して設けられていることを特徴とする請求項2記載の容量式半導体センサ装置。
- 前記バンプは、前記原点Oを挟んだY軸上の2箇所に位置する第1,第2バンプと、前記原点Oを挟んだX軸上の2箇所に位置する第3,第4バンプとの4個が設けられ、前記第3、第4バンプを通りY軸方向に平行な第3,第4の仮想線を夫々仮想した際に、前記ダミーバンプは、前記第3,第4の仮想線に沿って複数個ずつ設けられていることを特徴とする請求項2記載の容量式半導体センサ装置。
- 前記バンプ及びダミーバンプは、前記Y軸に関して線対称であり且つ、前記原点Oに関して点対称となるように配置されていることを特徴とする請求項2ないし5のいずれかに記載の容量式半導体センサ装置。
- 前記バンプは、前記センサチップの一辺部に並んで複数個が設けられており、前記ダミーバンプは、前記センサチップの他の辺部に位置して設けられていることを特徴とする請求項2記載の容量式半導体センサ装置。
- 前記センサチップと回路チップとの間の隙間には、両者を接着する軟質接着部材が設けられていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の容量式半導体センサ装置。
- 前記センサチップの裏面側にも、同材質の軟質接着部材が設けられていることを特徴とする請求項8記載の容量式半導体センサ装置。
- 前記回路チップには、複数のダミーバンプ間の電気特性を検査するための検査用回路が設けられていることを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載の容量式半導体センサ装置。
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