JP7310598B2 - 電子装置 - Google Patents

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Description

本発明は、慣性力センサ部がセンサ実装部に配置された電子装置に関するものである。
従来より、慣性力センサ部がセンサ実装部に配置された電子装置が提案されている。例えば、特許文献1には、プリント基板に、慣性力センサ部としての加速度センサが配置された電子装置が提案されている。具体的には、この電子装置では、プリント基板にスリットが形成されて片持ち梁が形成されており、片持ち梁がセンサ実装部とされている。そして、加速度センサは、片持ち梁の根本に配置されている。
特開2011-94987号公報
しかしながら、上記電子装置のセンサ実装部は、片持ち梁であるため、捩じれて傾く可能性がある。この場合、加速度センサは、軸方向が変化して角度誤差が増加し、検出精度が低下する可能性がある。また、プリント基板を筐体等に固定した際に発生する反りや捩じれにより、片持ち梁の根元に配置された加速度センサに応力が加わって加速度センサの0点が変動する可能性がある。なお、このような問題は、慣性力センサ部としての角速度センサを用いた場合も同様である。
本発明は上記点に鑑み、慣性力センサ部の検出精度が低下することを抑制できる電子装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するための請求項1では、センサ実装部(20)に慣性力センサ部(60)が配置された電子装置であって、センサ実装部と、慣性力を検出する慣性力センサ部と、筐体に実装される被実装部材(10)と、を備え、被実装部材には、当該被実装部材を厚さ方向に貫通する基板貫通部(50)が形成され、センサ実装部は、被実装部材の面方向に対する法線方向において、基板貫通部内に配置されており、センサ実装部の複数個所と接続されると共に被実装部材の複数個所と接続され、センサ実装部を被実装部材に支持する支持梁(40)を有し、支持梁は、伸長方向が折れ曲がった屈曲部(C)を有する形状とされている
これによれば、センサ実装部が支持梁を介して被実装部材に支持されているため、被実装部材が反ったとしても、当該反りに起因するひずみエネルギが支持梁を介してセンサ実装部に伝搬され難くなり、センサ実装部が反ることを抑制できる。これにより、慣性力センサ部に応力が加わり、0点変動が発生することを抑制できる。また、センサ実装部は、支持梁と複数個所で接続されているため、センサ実装部が傾くことも抑制できる。したがって、慣性力センサ部の軸方向がずれることを抑制できる。以上より、慣性力センサ部の検出精度が低下することを抑制できる。
なお、各構成要素等に付された括弧付きの参照符号は、その構成要素等と後述する実施形態に記載の具体的な構成要素等との対応関係の一例を示すものである。
第1実施形態における電子装置の平面図である。 図1中の領域II部分の拡大図である。 図2中のIII-III線に沿った断面図である。 図2中のIV-IV線に沿った断面図である。 第2実施形態における電子装置の平面図である。 第3実施形態における電子装置の平面図である。 第4実施形態における電子装置の平面図である。 第5実施形態における電子装置の平面図である。 第6実施形態における電子装置の平面図である。 第7実施形態における電子装置の平面図である。 図10中のXI-XI線に沿った断面図である。 図10中のXII-XII線に沿った断面図である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
(第1実施形態)
第1実施形態の電子装置について、図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態では、GNSS(Global Navigation Satellite Systemの略)およびIMU(Inertial Measurement Unitの略)を備える自己位置推定システムを構成する電子装置について説明する。また、本実施形態の電子装置は、例えば、日本政府や米国運輸省道路交通安全局(NHTSA:National Highway Traffic Safety Administration)が定義する自動化のレベルにおいて、レベル3以上の運転支援装置が備えられる車両に搭載されると好適である。
電子装置は、図1~図4に示されるように、被実装部材としてのプリント基板10と、慣性力センサ部60とを備える構成とされている。なお、図2では、理解をし易くするため、後述する絶縁膜15を省略して示し、絶縁膜15に被覆される配線パターン11等も実線で示してある。また、以下では、プリント基板10における面方向の一方向をx軸方向とし、面方向におけるx軸方向と直交する方向をy軸方向とし、x軸方向およびy軸方向と直交する方向をz軸方向として説明する。
本実施形態のプリント基板10は、一面10a側に配線パターン11が形成されると共に他面10b側に配線パターン12が形成され、内部に配線層13が形成されたガラスエポキシ基板等を用いて構成される多層配線基板とされている。そして、一面10a側に形成された配線パターン11、他面10b側に形成された配線パターン12、内部に形成された配線層13は、貫通ビア14を介して適宜接続されている。
また、プリント基板10には、一面10a側および他面10b側に、ソルダーレジスト等で構成される絶縁膜15が形成されている。そして、絶縁膜15には、例えば、後述するセンサ実装部20において、慣性力センサ部60と接続されるランド22aを露出させるコンタクトホール15aが形成されている。
そして、本実施形態のプリント基板10は、センサ実装部20、周辺部30、および支持梁40を有し、これらが区画された構成とされている。つまり、本実施形態では、センサ実装部20、周辺部30、および支持梁40は、それぞれプリント基板10の一部で構成されており、同一面上に位置している。
具体的には、プリント基板10には、センサ実装部20と周辺部30とを区画しつつセンサ実装部20が内部に配置され、さらにセンサ実装部20と周辺部30との間に支持梁40が構成されるように、当該プリント基板10を厚さ方向に貫通する基板貫通部50が形成されている。より詳しくは、基板貫通部50は、プリント基板10の一面10aに対する法線方向(以下では、単に法線方向ともいう)において、センサ実装部20が第1~第4実装部側辺21a~21dを有する正方形状(すなわち、矩形状)となるように形成されている。なお、本実施形態では、センサ実装部20は、第1、第3実装部側辺21a、21cがx軸方向と平行となり、第2、第4実装部側辺21b、21dがy軸方向と平行となるように形成されている。
また、基板貫通部50は、法線方向において、開口部の平面形状が第1~第4開口部側辺51a~51dを有する略正方形状(すなわち、矩形状)となり、開口部の中心とセンサ実装部20の中心とが一致するように形成されている。そして、基板貫通部50は、第1開口部側辺51aが第1実装部側辺21aと対向し、第2開口部側辺51bが第2実装部側辺21bと対向し、第3開口部側辺51cが第3実装部側辺21cと対向し、第4開口部側辺51dが第4実装部側辺21dと対向するように形成されている。さらに、基板貫通部50は、第1、第3開口部側辺51a、51cが第1、第3実装部側辺21a、21cと平行となり、第2、第4開口部側辺51b、51dが第2、第4実装部側辺21b、21dと平行となるように形成されている。つまり、基板貫通部50は、第1、第3開口部側辺51a、51cがx軸方向と平行となり、第2、第4開口部側辺51b、51dがy軸方向と平行となるように形成されている
さらに、基板貫通部50は、支持梁40がセンサ実装部20と周辺部30とを接続することでセンサ実装部20が支持梁40によって周辺部30に支持されるように形成されている。本実施形態では、支持梁40は、それぞれ一方向を伸長方向としたストレート構造とされ、互いに同一形状であって、同一寸法とされた第1~第4支持梁部41~44を有している。
そして、第1~第4支持梁部41~44は、センサ実装部20の第1~第4実装部側辺21a~21dと、基板貫通部50における第1~第4開口部側辺51a~51dとを接続するように配置されている。つまり、センサ実装部20は、第1~第4支持梁部41~44によって周辺部30に両持ち支持された状態となっている。
具体的には、第1支持梁部41は、一端部が第1実装部側辺21aと接続され、他端部が第1開口部側辺51aと接続されるように配置されている。第2支持梁部42は、一端部が第2実装部側辺21bと接続され、他端部が第2開口部側辺51bと接続されるように配置されている。第3支持梁部43は、一端部が第3実装部側辺21cと接続され、他端部が第3開口部側辺51cと接続されるように配置されている。第4支持梁部44は、一端部が第4実装部側辺21dと接続され、他端部が第4開口部側辺51dと接続されるように配置されている。
また、第1~第4支持梁部41~44は、センサ実装部20の中心に対して点対称となるように配置されている。また、第1~第4支持梁部41~44は、センサ実装部20の中心を通り、x軸方向に伸びる仮想線に対して線対称となると共に、y軸方向に伸びる仮想線に対して線対称となるように配置されている。本実施形態では、第1~第4支持梁部41~44は、一端部がセンサ実装部20における第1~第4実装部側辺21a~21dの中心部と接続され、他端部が基板貫通部50における第1~第4開口部側辺51a~51dの中心部とを接続するように配置されている。
そして、このような第1~第4支持梁部41~44は、プリント基板10の一部で構成されるため、周辺部30と同じ厚さとされるが、接続される部分の周辺部30に対して十分に小さい断面積とされている。例えば、第1支持梁部41は、x軸方向に沿った断面において、当該第1支持梁部41が接続される部分の周辺部30よりも十分に小さい断面積とされている。
また、第1~第4支持梁部41~44は、上記のようにプリント基板10の一部で構成されている。なお、以下では、説明の便宜上、周辺部30に形成されている配線パターンを配線パターン11、12として説明し、センサ実装部20および支持梁40に形成されている配線パターンを配線パターン22、23として説明する。また、図2では、後述する慣性力センサ部60の周囲に形成される配線パターン22を省略しているが、実際には、慣性力センサ部60が接続されるランド22aと接続されるように適宜配線パターン22が形成されている。そして、本実施形態の第1~第4支持梁部41~44は、プリント基板10の一面10a側となる部分の構成と、プリント基板10の他面10b側となる部分の構成とが対称となるように、配線パターン22、23および図示しない配線層の形状等が調整されている。なお、特に限定されるものではないが、例えば、第1~第4支持梁部41~44におけるプリント基板10の一面10a側に配置される配線パターン22は、センサ出力の信号配線とされ、プリント基板10の他面10b側に配置される配線パターン23は、グランド配線とされる。
慣性力センサ部60は、本実施形態では、x軸方向の加速度を検出する加速度センサ、y軸方向の加速度を検出する加速度センサ、z軸方向の加速度を検出する加速度センサを備えている。また、慣性力センサ部60は、本実施形態では、x軸方向周りの角速度を検出する角速度センサ、y軸方向周りの角速度を検出する角速度センサ、z軸方向周りの角速度を検出する角速度センサを備えている。つまり、本実施形態の慣性力センサ部60は、いわゆるIMUとされている。また、本実施形態では、慣性力センサ部60は、具体的な構成については省略するが、ケース61内に各加速度センサや各角速度センサが収容され、ケース61の裏面に複数の端子部62が形成されたQFNパッケージとされている。
そして、慣性力センサ部60は、センサ実装部20に形成されているランド22aとはんだ70を介して接合されている。本実施形態では、慣性力センサ部60は、センサ実装部20の略中央部に形成されている。但し、慣性力センサ部60は、例えば、センサ実装部20の外縁側に寄せて配置されていてもよく、配置される場所は特に限定されない。また、センサ実装部20には、チップ抵抗やチップコンデンサ等の外付電子部品81も配置されている。
また、周辺部30には、上記外付電子部品81、マイコン91、GNSS用部品92、他の回路部との接続を図るためのソケット93等が搭載されている。さらに、周辺部30には、アルミ合金等で構成される筐体にプリント基板10をネジ固定するためのネジが挿通されるネジ孔31等が形成されている。
以上が本実施形態における電子装置の構成である。そして、このような電子装置は、例えば、周辺部30に形成されたネジ孔31にネジが挿通されることで筐体にネジ固定され、金属性の蓋部が電子装置を収容するように筐体に備えられることで車載搭載部品を構成する。そして、この車両搭載部品は、筐体が機械的に固定されることで車両に搭載され、車両の各種制御を実行するのに用いられる。
以上説明した本実施形態では、センサ実装部20は、第1~第4支持梁部41~44によって周辺部30に支持されている。そして、第1~第4支持梁部41~44は、接続される周辺部30に対して断面積が十分に小さくされている。このため、プリント基板10における周辺部30がx軸方向回りやy軸方向回りに反ったとしても、当該反りに起因するひずみエネルギが第1~第4支持梁部41~44を介してセンサ実装部20に伝搬され難くなり、センサ実装部20が反ることを抑制できる。言い換えると、プリント基板10における周辺部30が反ったとしても、当該反りに起因するひずみエネルギが第1~第4支持梁部41~44によって消費され、センサ実装部20が反ることを抑制できる。したがって、慣性力センサ部60の軸方向がずれることを抑制できると共に、慣性力センサ部60に反り起因の応力が加わって0点変動が発生することを抑制できる。つまり、本実施形態は、反りに対して慣性力センサ部60のロバスト性を向上できる。これにより、慣性力センサ部60の検出精度が低下することを抑制できる。そして、慣性力センサ部60に0点変動が発生し難いため、電子装置を組付けた後等に0点補正を行う必要がなくなり、調整コストや検査コストの削減を図ることもできる。
なお、プリント基板10における周辺部30が反るとは、プリント基板10が筐体等に組付けられる際に発生するひずみエネルギや、使用環境の温度変化に応じて発生するひずみエネルギによって反ることである。つまり、本実施形態の電子装置によれば、ひずみエネルギによってプリント基板10の周辺部30が反ったとしても、慣性力センサ部60の検出精度が低下することを抑制できる。
また、支持梁40は、第1~第4支持梁部41~44を有している。そして、支持梁40は、センサ実装部20の複数個所と接続されると共に周辺部30の複数個所と接続された状態となっている。つまり、センサ実装部20は、支持梁40によって両持ち支持された状態となっている。このため、センサ実装部20が傾くことも抑制でき、検出精度が低下することを抑制できる。
さらに、本実施形態では、第1~第4支持梁部41~44は、センサ実装部20の中心に対して点対称に配置されている。また、第1~第4支持梁部41~44は、センサ実装部20の中心を通り、x軸方向に伸びる仮想線に対して線対称となると共に、y軸方向に伸びる仮想線に対して線対称となるように配置されている。このため、センサ実装部20が傾くことをさらに抑制できる。
さらに、本実施形態の電子装置では、上記のように、センサ実装部20が反ることを抑制することで慣性力センサ部60の検出精度が低下することを抑制しており、慣性力センサ部60の構成については特に制限されない。このため、慣性力センサ部60では、各加速度センサや各角速度センサの配置自由度の向上を図ることができる。また、センサ実装部20が反ることを抑制しているため、慣性力センサ部60をセンサ実装部20に配置する際の配置自由度の向上を図ることもできる。
また、センサ実装部20および第1~第4支持梁部41~44は、プリント基板10に基板貫通部50を形成することで構成されており、プリント基板10の一部で構成されている。このため、センサ実装部20および第1~第4支持梁部41~44を別材料で構成する場合と比較して、部材数を削減したり製造工程が複雑化することを抑制でき、ひいてはコストの低減を図ることができる。
そして、センサ実装部20が反ることを抑制できるため、慣性力センサ部60とセンサ実装部20との間に配置されるはんだ70に応力が印加されることを抑制できる。このため、はんだ70が破壊されることを抑制でき、はんだ70の長寿命化を図ることで電子装置の信頼性の向上を図ることができる。
そして、センサ実装部20は、基板貫通部50内に配置されており、大きさが小さくなり易く、周辺部30と区画されて配置されている。このため、使用環境での温度変化による熱応力によってセンサ実装部20の伸長、収縮が小さくなり易く、はんだ70に印加される応力も小さくなり易い。したがって、この点においても、はんだ70の長寿命化を図ることができる。また、応力による0点変動の発生を抑制できる。
また、本実施形態の電子装置は、上記のように、慣性力センサ部60がIMUとされており、自己位置推定システムを構成するのに利用される。そして、慣性力センサ部60は、上記のように、軸方向がずれることが抑制されると共に、0点変動が発生することが抑制されるため、6軸の慣性力を高精度に検知できる状態となっている。このため、本実施形態の電子装置では、長時間に渡る車両のデッドレコニング(すなわち、慣性航法)を実現できる。
(第2実施形態)
第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対し、支持梁40の構成を変更したものである。その他に関しては、第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本実施形態では、図5に示されるように、支持梁40は、枠状の枠部40aと、外側支持部40bと、内側支持部40cとを有する構成とされている。なお、図5は、図1中の領域IIの拡大図に相当している。
具体的には、枠部40aは、それぞれストレート構造とされた第1~第4部位401~404を有している。第1部位401は、第1実装部側辺21aと第1開口部側辺51aとの間において、x軸方向と平行となるように配置されている。第2部位402は、第2実装部側辺21bと第2開口部側辺51bとの間において、y軸方向と平行となるように配置されている。第3部位403は、第3実装部側辺21cと第3開口部側辺51cとの間において、x軸方向と平行となるように配置されている。第4部位404は、第4実装部側辺21dと第4開口部側辺51dとの間において、y軸方向と平行となるように配置されている。
そして、枠部40aは、第1~第4部位401~404が一体化されて構成されている。このため、枠部40aは、各部位401~404の接続部分に、伸長方向が直交する方向に折れ曲がった屈曲部Cを有する矩形枠状とされている。
外側支持部40bは、ストレート構造とされており、2つ備えられている。そして、一方の外側支持部40bは、第1開口部側辺51aの中心部と、第1部位401の中心部とを接続するように、y軸方向に沿って配置されている。他方の外側支持部40bは、第3開口部側辺51cの中心部と、第3部位403の中心部とを接続するように、y軸方向に沿って配置されている。
内側支持部40cは、ストレート構造とされており、2つ備えられている。そして、一方の内側支持部40cは、第2実装部側辺21bの中心部と第2部位402の中心部とを接続するように、x軸方向に沿って配置されている。他方の内側支持部40cは、第4実装部側辺21dの中心部と第4部位404の中心部とを接続するように、x軸方向に沿って配置されている。
つまり、本実施形態の支持梁40は、いわゆるジンバル構造とされている。そして、本実施形態の支持梁40は、センサ実装部20の中心に対して点対称となるように配置されている。また、本実施形態の支持梁40は、センサ実装部20の中心を通り、x軸方向に伸びる仮想線に対して線対称となると共に、y軸方向に伸びる仮想線に対して線対称となるように配置されている。
なお、本実施形態では、センサ実装部20は、2つの外側支持部40bが周辺部30に接続されると共に、2つの内側支持部40cがセンサ実装部20と接続されることによって両持ち支持された状態となっている。
そして、本実施形態では、枠部40aと外側支持部40bとが上記のように接続されることにより、枠部40aと外側支持部40bとの接続部分にも伸長方向が直交する屈曲部Cが構成される。同様に、枠部40aと内側支持部40cとが上記のように接続されることにより、枠部40aと内側支持部40cとの接続部分にも伸長方向が直交する屈曲部Cが構成される。
以上説明した本実施形態では、支持梁40は、屈曲部Cを有する構成とされている。このため、プリント基板10が反った際、プリント基板10から支持梁40を介して伝搬されるひずみエネルギは、支持梁40の屈曲部Cに集中し易くなり、センサ実装部20まで伝搬され難くなる。したがって、センサ実装部20が反ることをさらに抑制でき、慣性力センサ部60の検出精度が低下することをさらに抑制できる。
また、支持梁40は、屈曲部Cを有する構成とされることにより、センサ実装部20と周辺部30とをストレート構造の支持梁40で接続する場合と比較して、長さを長くし易くなる。このため、プリント基板10から支持梁40を介して伝搬されるひずみエネルギは、当該支持梁40内でも消費され易くなる。したがって、センサ実装部20が反ることをさらに抑制できる。
(第3実施形態)
第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対し、支持梁40の構成を変更したものである。その他に関しては、第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本実施形態では、図6に示されるように、支持梁40は、屈曲部Cで伸長方向が変化する第1~第4支持梁部41~44を有している。具体的には、第1~第4支持梁部41~44は、それぞれ1つの屈曲部Cを有し、当該屈曲部Cで伸長方向が直交する方向に変化する構成とされている。なお、図6は、図1中の領域IIの拡大図に相当している。
そして、第1支持梁部41は、一端部が第4実装部側辺21dにおける第3開口部側辺51c側の端部と接続され、他端部が第1開口部側辺51aにおける第1実装部側辺21aと対向する部分と異なる部分に接続されている。第2支持梁部42は、一端部が第1実装部側辺21aにおける第4開口部側辺51d側の端部と接続され、他端部が第2開口部側辺51bにおける第2実装部側辺21bと対向する部分と異なる部分に接続されている。
第3支持梁部43は、一端部が第2実装部側辺21bにおける第1開口部側辺51a側の端部と接続され、他端部が第3開口部側辺51cにおける第3実装部側辺21cと対向する部分と異なる部分に接続されている。第4支持梁部44は、一端部が第3実装部側辺21cにおける第2開口部側辺51b側の端部と接続され、他端部が第4開口部側辺51dにおける第4実装部側辺21dと対向する部分と異なる部分に接続されている。
つまり、支持梁40は、いわゆる卍構造とされている。そして、本実施形態の支持梁40は、センサ実装部20の中心に対して点対称となるように配置されている。
以上説明した本実施形態では、第1~第4支持梁部41~44が屈曲部Cを有する構成とされているため、上記第2実施形態と同様の効果を得ることができる。
(第4実施形態)
第4実施形態について説明する。本実施形態は、第3実施形態に対し、支持梁40の構成を変更したものである。その他に関しては、第3実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本実施形態では、図7に示されるように、第1~第4支持梁部41~44は、それぞれ3つの屈曲部Cを有し、当該屈曲部Cで伸長方向が直交する方向に変化する構成とされている。なお、図7は、図1中の領域IIの拡大図に相当している。
そして、第1支持梁部41は、一端部が第1実装部側辺21aにおける第2開口部側辺51b側の端部と接続され、他端部が第2開口部側辺51bにおける第2実装部側辺21bと対向する部分と異なる部分に接続されている。第2支持梁部42は、一端部が第3実装部側辺21cにおける第2開口部側辺51b側の端部と接続され、他端部が第2開口部側辺51bにおける第2実装部側辺21bと対向する部分と異なる部分に接続されている。
第3支持梁部43は、一端部が第3実装部側辺21cにおける第4開口部側辺51d側の端部と接続され、他端部が第4開口部側辺51dにおける第4実装部側辺21dと対向する部分と異なる部分に接続されている。第4支持梁部44は、一端部が第1実装部側辺21aにおける第4開口部側辺51d側の端部と接続され、他端部が第4開口部側辺51dにおける第4実装部側辺21dと対向する部分と異なる部分に接続されている。
なお、第1~第4支持梁部41~44は、x軸方向の長さがy軸方向の長さよりも長くなるように折り曲げられている。そして、本実施形態の支持梁40は、センサ実装部20の中心に対して点対称となるように配置されている。また、本実施形態の支持梁40は、センサ実装部20の中心を通り、x軸方向に伸びる仮想線に対して線対称となると共に、y軸方向に伸びる仮想線に対して線対称となるように配置されている。
さらに、本実施形態では、センサ実装部20は、第1実装部側辺21aおよび第3実装部側辺21cを長辺とする平面長方形状とされている。つまり、センサ実装部20は、第1、第4支持梁部41、44が接続される第1実装部側辺21a、および第2、第3支持梁部42、43が接続される第3実装部側辺21cを長辺とする平面矩形状とされている。
以上説明した本実施形態では、第1~第4支持梁部41~44が3つの屈曲部Cを有する構成とされている。このため、プリント基板10が反った際、プリント基板10から第1~第4支持梁部41~44を介して伝搬されるひずみエネルギは、支持梁40の各屈曲部Cに集中し易くなるため、センサ実装部20までさらに伝搬され難くなる。したがって、センサ実装部20が反ることをさらに抑制できる。
また、本実施形態では、センサ実装部20は、第1、第4支持梁部41、44が接続される第1実装部側辺21a、および第2、第3支持梁部42、43が接続される第3実装部側辺21cを長辺とする平面矩形状とされている。このため、第1~第4支持梁部41~44のx軸方向への長さを長くし易くでき、第1~第4支持梁部41~44内でひずみエネルギを消費し易くなる。したがって、センサ実装部20が反ることをさらに抑制できる。
(第5実施形態)
第5実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対し、支持梁40の構成を変更したものである。その他に関しては、第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本実施形態では、図8に示されるように、センサ実装部20は、法線方向において、円形状とされている。また、基板貫通部50は、センサ実装部20の外形と同心円となる円状とされている。なお、図8は、図1中の領域IIの拡大図に相当している。また、図8では、センサ実装部20等に形成される配線パターン11等を省略して示している。
そして、センサ実装部20は、第1~第4支持梁部41~44によって周辺部30に支持されている。本実施形態では、第1~第4支持梁部41~44は、センサ実装部の外形に沿った湾曲部41a~44aと、湾曲部41a~44aの端部で伸長方向が変化する2つの屈曲部Cを有する構成とされている。そして、第1~第4支持梁部41~44は、センサ実装部20の中心に対し、点対称となるように配置されている。
以上説明した本実施形態のように、センサ実装部20を円形状となるようにしても、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第1~第4支持梁部41~44は、屈曲部Cを有する構成とされているため、上記第2実施形態と同様に、さらにセンサ実装部20が反ることを抑制できる。
(第6実施形態)
第6実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対し、支持梁40の構成を変更したものである。その他に関しては、第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本実施形態では、図9に示されるように、支持梁40は、第1支持梁部41および第3支持梁部43の2つとされている。つまり、本実施形態の電子装置は、上記第1実施形態における第2支持梁部42および第4支持梁部44を備えない構成とされている。
以上説明した本実施形態のように、支持梁40を2つの第1、第3支持梁部41、43としても、センサ実装部20が両持ち支持されるため、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
(第7実施形態)
第7実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対し、センサ実装部20および支持梁40の構成を変更したものである。その他に関しては、第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本実施形態では、図10~図12に示されるように、センサ実装部20は、プリント基板10とは別材料で構成されている。本実施形態では、センサ実装部20は、プリント基板10を構成するガラスエポキシ基板よりも剛性が高いセラミックス基板で構成されている。そして、センサ実装部20は、センサ実装部20の一面20a側に配線パターン22が形成されていると共に、当該配線パターン22を被覆する絶縁膜24が形成されている。なお、絶縁膜24には、配線パターン22のうちの慣性力センサ部60と接続されるランド22aを露出させるコンタクトホール24aが形成されている。
そして、慣性力センサ部60は、センサ実装部20に形成されているランド22aとはんだ70を介して接合されている。
第1~第4支持梁部41~44は、本実施形態では、センサ実装部20と一体的に形成されている。つまり、本実施形態では、第1~第4支持梁部41~44は、セラミックス基板の一部で構成されている。そして、第1~第4支持梁部41~44には、センサ実装部20に形成されている配線パターン22が適宜延設されている。なお、図11は図10中のXI-XI線に沿った断面図であり、XI-XI線が第2、第4支持梁部42、44に形成されている配線パターン22を通っていないが、理解をし易くするため、配線パターン22を断面図にも示している。
第1支持梁部41は、第1実装部側辺21aの中心部からy軸方向に伸長するように配置されている。第2支持梁部42は、第2実装部側辺21bの中心部からx軸方向に伸長するように配置されている。第3支持梁部43は、第3実装部側辺21cの中心部からy軸方向に伸長するように配置されている。第4支持梁部44は、第4実装部側辺21dの中心部からx軸方向に伸長するように配置されている。なお、第1~第4支持梁部41~44は、後述するように、法線方向において、センサ実装部20の中心と基板貫通部50の中心とが一致するように配置された際、センサ実装部20側と反対側の端部がプリント基板10と重複する長さとされている。
そして、第1~第4支持梁部41~44には、センサ実装部20側と反対側の端部に、それぞれ梁側接続部45が形成されている。梁側接続部45は、各支持梁部41~44を貫通するように形成された孔部45aに配置されたオス型の接続ピン45bを有している。なお、接続ピン45bは、孔部45aの両側の開口部から突出するように配置されている。そして、接続ピン45bは、孔部45aに配置された接着剤等の固定部材45cによって固定されている。
また、第1~第4支持梁部41~44に形成される配線パターン22は、孔部45a近傍まで適宜延設されている。そして、孔部45aにおけるセンサ実装部20の一面20a側の開口部には、接続ピン45bと配線パターン22とを電気的に接続するように、はんだ46が配置されている。これにより、慣性力センサ部60は、配線パターン22を介して接続ピン45bと電気的に接続されている。
プリント基板10は、上記と同様の基板貫通部50が形成されている。そして、基板貫通部50の周囲には、基板側接続部16が形成されている。なお、本実施形態のプリント基板10は、上記第1実施形態と比較すると、周辺部30のみを有する構成とされている。
具体的には、センサ実装部20および第1~第4支持梁部41~44は、法線方向において、センサ実装部20の中心と基板貫通部50の中心とが一致し、第1~第4支持梁部41~44に形成された梁側接続部45がプリント基板10と重複するように配置される。そして、プリント基板10には、第1~第4支持梁部41~44に形成された梁側接続部45と対応する位置に、基板側接続部16が形成されている。基板側接続部16は、プリント基板10を貫通するように形成された孔部16aに配置されたメス型の接続ピン16bを有している。
なお、接続ピン16bは、孔部16aにおけるプリント基板10の一面10a側から突出するように配置されている。そして、接続ピン16bは、孔部16aに配置された接着剤等の固定部材16cによって固定されている。さらに、接続ピン16bのうちのプリント基板10から突出する部分の周囲には、絶縁性を図るための樹脂部材16dが配置されている。
また、プリント基板10の一面10a側に形成される配線パターン22は、孔部16a近傍まで適宜延設されている。孔部16aにおけるプリント基板10の一面10a側の開口部には、接続ピン16bと配線パターン22とを電気的に接続するように、はんだ17が配置されている。
そして、センサ実装部20は、梁側接続部45の接続ピン45bと基板側接続部16の接続ピン16bとが嵌合されるように、プリント基板10に配置されている。これにより、センサ実装部20とプリント基板10とが機械的、電気的に接続された状態となる。なお、本実施形態の電子装置では、上記のように、プリント基板10、センサ実装部20および第1~第4支持梁部41~44が構成されているため、これらは同一面上に位置しない構成となる。
以上説明した本実施形態では、プリント基板10には基板貫通部50が形成されている。このため、まず、プリント基板10は、x軸方向回りやy軸方向回りに反った場合、基板貫通部50によって反りが分断されるため、基板貫通部50が形成されていない場合と比較すると、基板貫通部50の周囲(すなわち、基板側接続部16が配置される部分)の反りを低減できる。つまり、プリント基板10が反った際、基板側接続部16を介してセンサ実装部20に伝搬され得る反りに起因したひずみエネルギを低減できる。
そして、センサ実装部20は、第1~第4支持梁部41~44、梁側接続部45、および基板側接続部16を介してプリント基板10に支持されている。このため、プリント基板10が反った際、基板側接続部16、第1~第4支持梁部41~44および梁側接続部45によって当該反りに起因するひずみエネルギが伝搬され難くなる。したがって、センサ実装部20が反ることを抑制でき、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
また、センサ実装部20および支持梁40がプリント基板10と異なる材料を用いて構成される。このため、センサ実装部20を使用用途に応じた材料で構成することができ、設計自由度の向上を図ることができる。
さらに、本実施形態では、センサ実装部20および支持梁40がプリント基板10よりも剛性の高いセラミックス基板で構成されている。このため、プリント基板10が反ったとしても支持梁40およびセンサ実装部20を反り難くできる。
(他の実施形態)
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
例えば、上記各実施形態において、被実装部材としてのプリント基板10は、ガラスエポキシ基板ではなく、セラミックス基板等で構成されていてもよい。
また、上記各実施形態において、慣性力センサ部60は、3つの加速度センサと3つの角速度センサを備えていなくてもよい。例えば、慣性力センサ部60は、2つ以下の加速度センサを有する構成とされていてもよいし、2つ以下の角速度センサを有する構成とされていてもよい。また、慣性力センサ部60は、加速度センサのみで構成されていてもよいし、角速度センサのみで構成されていてもよい。
さらに、上記各実施形態において、慣性力センサ部60は、QFNパッケージとされていなくてもよく、例えば、ケース61から突出する端子部を備えたQFP(Quad Flat Packageの略)パッケージとされていてもよい。また、慣性力センサ部60は、接着剤等を介してセンサ実装部20に機械的に固定され、ボンディングワイヤ等でセンサ実装部20に形成されているランド22a等と電気的に接続されるようにしてもよい。
さらに、上記各実施形態において、センサ実装部20の形状は適宜変更可能である。例えば、センサ実装部20は、上記第5実施形態のように、円形状とされていてもよいし、三角形状、または五角形以上の多角形状とされていてもよい。同様に、基板貫通部50の開口部の形状は、適宜変更可能である。例えば、基板貫通部50の開口部は、上記第5実施形態のように円形状とされていてもよいし、三角形状、または五角形以上の多角形状とされていてもよい。
そして、上記各実施形態において、支持梁40は、センサ実装部20の中心に対して点対称に配置されていなくてもよい。また、支持梁40は、センサ実装部20の中心を通るx軸方向に沿った仮想線に対して対称に配置されていなくてもよいし、センサ実装部20の中心を通る仮想線に対して対称に配置されていなくてもよい。例えば、上記第1実施形態では、第1~第4支持梁部41~44は、第1~第4実装部側辺21a~21dおよび第1~第4開口部側辺51a~51dと接続される位置を変更することにより、点対称および線対称に配置されていなくてもよい。また、例えば、上記第6実施形態では、支持梁40は、第1支持梁部41および第2支持梁部42の2つで構成されるようにしてもよい。
また、上記第1、第3~第7実施形態において、第1~第4支持梁部41~44は、互いに同一形状であって、同一寸法とされていなくてもよい。さらに、上記第1~第6実施形態において、センサ実装部20に貫通ビア14があってもよく、センサ実装部20や第1~第4支持梁部41~44の内部に、周辺部30の配線層13に相当する配線層があってもよい。
そして、上記第7実施形態において、センサ実装部20とプリント基板10との固定は、次のように行われてもよい。例えば、接続ピン45bをメス型とし、接続ピン16bをオス型としてもよい。また、例えば、第1~第4支持梁部41~44に形成された孔部45aとプリント基板10に形成された孔部16aとに共通のピンが挿通されるようにしてもよい。
そして、上記各実施形態を適宜組み合わせてもよい。例えば、上記第2~第6実施形態を上記第7実施形態に適宜組み合わせ、支持梁40の構成を変更するようにしてもよい。また、上記各実施形態を組み合わせたもの同士をさらに組み合わせるようにしてもよい。
10 プリント基板(被実装部材)
20 センサ実装部
40 支持梁
50 基板貫通部

Claims (8)

  1. センサ実装部(20)に慣性力センサ部(60)が配置された電子装置であって、
    前記センサ実装部と、
    慣性力を検出する前記慣性力センサ部と、
    筐体に実装される被実装部材(10)と、を備え、
    前記被実装部材には、当該被実装部材を厚さ方向に貫通する基板貫通部(50)が形成され、
    前記センサ実装部は、前記被実装部材の面方向に対する法線方向において、前記基板貫通部内に配置されており、
    前記センサ実装部の複数個所と接続されると共に前記被実装部材の複数個所と接続され、前記センサ実装部を前記被実装部材に支持する支持梁(40)を有し、
    前記支持梁は、伸長方向が折れ曲がった屈曲部(C)を有する形状とされている電子装置。
  2. 前記センサ実装部は、前記支持梁によって両持ち支持されている請求項1に記載の電子装置。
  3. 前記支持梁は、前記センサ実装部の中心に対して点対称、および前記センサ実装部の中心を通る仮想線に対して線対称の少なくとも一方の対称構成となるように配置されている請求項1または2に記載の電子装置。
  4. 前記支持梁は、複数の支持梁部(41~44)を有し、互いに同一形状であって、同一寸法とされている請求項1ないし3のいずれか1つに記載の電子装置。
  5. 前記センサ実装部および前記支持梁は、前記被実装部材の一部で構成され、前記被実装部材と一体化されている請求項1ないしのいずれか1つに記載の電子装置。
  6. 前記センサ実装部は、前記被実装部材と異なる材料を用いて構成されている請求項1ないしのいずれか1つに記載の電子装置。
  7. 前記センサ実装部は、前記被実装部材よりも剛性の高い材料で構成されている請求項に記載の電子装置。
  8. 前記慣性力センサ部は、前記センサ実装部にはんだ(70)を介して接合されている請求項1ないしのいずれか1つに記載の電子装置。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002107246A (ja) 2000-09-29 2002-04-10 Matsushita Electric Works Ltd 半導体センサ
JP2007233753A (ja) 2006-03-01 2007-09-13 Fujitsu Ltd 加速度センサを備えた情報処理装置
US20190056228A1 (en) 2017-08-17 2019-02-21 Autel Robotics Co., Ltd. Inertial measurement apparatus and mechanical device

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0763779A (ja) * 1993-08-27 1995-03-10 Kansei Corp 加速度センサ
JPH10253652A (ja) * 1997-03-14 1998-09-25 Denso Corp センサ装置及びその製造方法並びにその製造に用いられるリードフレーム
JPH11337571A (ja) * 1998-05-27 1999-12-10 Japan Aviation Electronics Ind Ltd 慣性センサ
JP4701505B2 (ja) * 2001-01-29 2011-06-15 パナソニック株式会社 慣性トランスデューサ
US7424347B2 (en) * 2001-07-19 2008-09-09 Kelsey-Hayes Company Motion sensors integrated within an electro-hydraulic control unit
US7253079B2 (en) * 2002-05-09 2007-08-07 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Coplanar mounting member for a MEM sensor
JP2004271312A (ja) * 2003-03-07 2004-09-30 Denso Corp 容量型半導体センサ装置
JP4026573B2 (ja) * 2003-09-24 2007-12-26 株式会社デンソー 電子装置を収納するパッケージの製造方法
US6927482B1 (en) * 2003-10-01 2005-08-09 General Electric Company Surface mount package and method for forming multi-chip microsensor device
JP4438579B2 (ja) * 2004-09-14 2010-03-24 株式会社デンソー センサ装置
DE102006022807A1 (de) * 2006-05-16 2007-11-22 Robert Bosch Gmbh Chipgehäuse mit reduzierter Schwingungseinkopplung
JP5070778B2 (ja) * 2006-09-20 2012-11-14 株式会社デンソー 力学量センサ
JP4858215B2 (ja) * 2007-02-20 2012-01-18 パナソニック株式会社 複合センサ
WO2009031285A1 (ja) * 2007-09-03 2009-03-12 Panasonic Corporation 慣性力センサ
EP2112471A1 (fr) * 2008-04-22 2009-10-28 Microcomponents AG Dispositif de montage pour composant électronique
JP5417737B2 (ja) * 2008-04-23 2014-02-19 パナソニック株式会社 慣性力センサ
CN102216789A (zh) * 2008-11-13 2011-10-12 三菱电机株式会社 加速度传感器
JP2011094987A (ja) * 2009-10-27 2011-05-12 Panasonic Electric Works Co Ltd 回路モジュールおよび回路モジュールの製造方法
JP2012039033A (ja) * 2010-08-11 2012-02-23 Clarion Co Ltd 電子回路基板、ナビゲーション装置
JP5719999B2 (ja) * 2011-05-26 2015-05-20 パナソニックIpマネジメント株式会社 電子部品実装方法、電子部品搭載装置および電子部品実装システム
DE102012201486B4 (de) * 2012-02-02 2020-08-06 Robert Bosch Gmbh Dämpfungsvorrichtung für eine mikromechanische Sensoreinrichtung
WO2016084630A1 (ja) * 2014-11-27 2016-06-02 ソニー株式会社 回路基板および電子機器
JP6372361B2 (ja) * 2015-01-16 2018-08-15 株式会社デンソー 複合センサ
MX2018005866A (es) * 2015-11-12 2018-08-15 Possehl Electronics Deutschland Gmbh Estructura conductora que tiene un componente que se aloja amortiguado contra vibraciones.
JP7283407B2 (ja) * 2020-02-04 2023-05-30 株式会社デンソー 電子装置
JP7200969B2 (ja) * 2020-04-10 2023-01-10 株式会社デンソー 電子装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002107246A (ja) 2000-09-29 2002-04-10 Matsushita Electric Works Ltd 半導体センサ
JP2007233753A (ja) 2006-03-01 2007-09-13 Fujitsu Ltd 加速度センサを備えた情報処理装置
US20190056228A1 (en) 2017-08-17 2019-02-21 Autel Robotics Co., Ltd. Inertial measurement apparatus and mechanical device

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