JP7087479B2 - 物理量センサー、物理量センサーデバイス、物理量センサーデバイスを用いた傾斜計、慣性計測装置、構造物監視装置、及び移動体 - Google Patents
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Description
基部と、
前記基部に連結され、固定領域がそれぞれ設けられている第1の腕部及び第2の腕部と、
平面視で、前記第1の腕部と前記第2の腕部との間に配置されている可動部と、
前記基部と前記可動部との間に配置され、前記基部と前記可動部とを接続している括れ部と、
前記平面視で前記括れ部を跨いで配置され、前記基部と前記可動部とに取り付けられている物理量検出素子と、
を含み、
前記固定領域は、
前記平面視で、前記括れ部を跨いでいる方向に沿って、前記物理量検出素子の中心を通る第1直線で区画される第1の領域及び第2の領域に配置され、
かつ、
前記平面視で、前記第1直線と、前記括れ部上を通り前記第1直線と直交する第2直線とで区画される4つの領域のうち、前記第2直線よりも前記基部側の前記第1の領域に位置する第3の領域、及び前記第2直線よりも前記基部側の前記第2の領域に位置する第4の領域の少なくとも一方には配置されていない物理量センサーに関する。
上述された(1)~(5)のいずれかに記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーが実装されている基台と、
を含み、
前記固定領域が前記基台に取り付けられている物理量センサーデバイスに関する。
上述された(8)に記載の物理量センサーデバイスと、
構造体に取り付けられている前記物理量センサーデバイスからの出力信号に基ついて、前記構造体の傾斜角度を算出する算出部と、
を含むことを特徴とする傾斜計。
上述された(8)に記載の物理量センサーデバイスと、
角速度センサーデバイスと、
前記物理量センサーデバイスからの加速度信号と、前記角速度センサーデバイスからの角速度信号とに基づいて、移動体の姿勢を算出する回路部と、
を含む慣性計測装置に関する。
上述さたれ(8)に記載の物理量センサーデバイスと、
構造物に取り付けられている前記物理量センサーデバイスからの検出信号を受信する受信部と、
前記受信部から出力された信号に基づいて、前記構造物の傾斜角度を算出する算出部と、
を含む構造物監視装置に関する。
上述さたれ(8)に記載の物理量センサーデバイスと、
前記物理量センサーデバイスで検出された検出信号に基づいて、加速、制動、及び操舵の少なくともいずれかを制御する制御部と、
を含み、
自動運転の実施或いは不実施は、前記物理量センサーデバイスからの検出信号の変化に応じて切り替えられる移動体に関する。
図1は物理量センサー10を示す。物理量センサー10は、基部20と、少なくとも2本例えば3本の第1の腕部31、第2の腕部32、第3の腕部33と、可動部40と、括れ部50と、物理量検出素子60とを含む。
2.1.第1実施形態
図1では、3つの腕部31~33には、基台110の一部に設けられた段部112に固定される各一つの固定領域31A~33Aが示されている。図1では、固定領域31A~33Aは段部112に固定される位置を平面視で示している。本実施形態では、図1に示す3つの腕部31~33の裏面(物理量検出素子60が固定される側の面とは反対側の面)における固定領域31A~33Aが、段部112に固定される。
図6は、図5に示す固定領域31A,33Aを有するが、固定領域32Aを有しない第2実施形態を示している。つまり、図6に示す固定領域は、第2直線L2よりも可動部側(C2側)の第1の領域A1に位置する領域(第5の領域と称する)B21に配置されている固定領域(第1の固定領域と称する)31Aと、第2直線L2よりも基部側(C1側)の第2の領域A2に位置する領域(第6の領域と称する)B12に配置されている固定領域(第2の固定領域と称する)33Aと、から構成されている。こうすると、図5に示す3点支持から2点支持となり、腕部31,33及び基部20の変形の自由度はさらに高まる。ただし、第1,第2の固定領域31A,33Aは、対角位置にある第2,第3象限の領域B12,B21に設けられているので、物理量センサー10を安定して支持できる。この理由から、第1,第2の固定領域は、対角位置にある第1,第4象限の領域B11,B22に設けても同様の効果を奏することができる。
図7は、図5に示す固定領域31A,32Aを有するが、固定領域33Aを有しない第3実施形態を示している。つまり、図7に示す固定領域は、第2直線L2よりも可動部側(C2側)の第1の領域A1に位置する領域(第5の領域と称する)B21に配置されている固定領域(第1の固定領域と称する)31Aと、第2直線L2よりも可動部側(C2側)の第2の領域A2に位置する領域(第6の領域と称する)B11に配置されている固定領域(第2の固定領域と称する)32Aと、から構成されている。こうしても、図5に示す3点支持から2点支持となり、腕部31,32の変形の自由度はさらに高まる。この場合、第1,第2の固定領域31A,32Aは、第1の領域A1と第2の領域A2に配置されるので、物理量センサー10を安定して支持できる。
物理量検出素子60に意図しない原因による応力歪みが作用したか否かを評価するのに、以下の表1に示す通り、物理量検出素子60の温度特性の変化(温度特性における平均頂点の位置の変化)、再現性、ヒステリシスを評価することができる。ここで、下記の表1中の比較例1,2は、図5~図7に示す第1~第4象限の4つの領域B11,B12,B21,B22に固定領域を配置している。比較例2は比較例1よりも腕部を太くして腕部の剛性を高めている。表1中の比較例3は、図5~図7に示す第2,第4象限に位置する領域B12,B22の2箇所に固定領域を配置したものである。比較例1~3はいずれも、第2直線L2よりも基部側(C1側)に位置する2つの領域B12,B22に固定領域をそれぞれ有する点で、本発明の第1~第3実施形態と異なる。
図8は、物理量検出素子60の一例である水晶振動子の温度特性を示している。図8の縦軸は周波数の変化量(df/f)であり、横軸は温度(℃)である。特性K0は、応力歪みが作用していない水晶振動子の固有の温度特性を示す。特性K0は、水晶のヤング率に基づく固有の温度特性であり、頂点温度は25.2℃である(表1も参照)。
表1に示す「再現性」とは、温度を上げ下げした時に、物理量検出素子60で検出される物理量(表1では加速度)が、始点と終点とでどれだけずれるかを、ずれた加速度の大きさ(mG)で表わしている。正方向または負方向にずれた絶対値が大きいほど再現性が悪いことを示している。温度ドリフトが小さい本発明の第1~第3実施形態は、温度ドリフトが大きい比較例1~3よりも再現性の点で優れていることが分かる。
表1に示す「ヒステリシス」とは、温度を上げ下げした時に、物理量検出素子60で検出される物理量(表1では加速度)のずれの最大値を、ずれた加速度の大きさ(mG)で表わしている。温度ドリフトが小さい本発明の第1~第3実施形態は、温度ドリフトが大きい比較例1~3よりも、ヒステリシスの点においても優れていることが分かる。
3.4.組立時の安定性
図5に示すように3つの固定領域31A~33Aが存在すれば、図2に示す基台110の段部112に3点支持されるので、物理量センサー10を段部112に安定して載置することができる。一方、図6及び図7では2つの固定領域による2点支持となるので、段部112に載置して組み立てる時の安定性が悪い。そこで、図5~図7の実施形態、特に図6及び図7の実施形態では、図9に示すように基部20と連結されている第3の腕部34をさらに設けることができる。第3の腕部34は、平面視で4つの領域B11,B12,B21,B22のうち固定領域が配置されない少なくとも一つの領域において、物理量検出素子60が接続される面とは反対側の面に形成された突起34Aを含むことができる。突起34Aの高さHは、図2に示す接合部(接着剤)113の厚さTと実質的に等しい。それにより、物理量センサー10を基台110上に載置した時には、2つの固定領域と突起34Aとの3点支持となって、組み立て時の安定性が改善される。ただし、突起34Aは段部112と接合されない。
物理量センサー10の用途によっては耐衝撃性も求められる。耐衝撃性を高めるには、腕部の剛性を高めることが考えられる。比較例1よりも腕部の剛性を高めた比較例2の特性が劣化したことから分かるように、耐衝撃性の確保と、物理量センサー10の温度特性向上とは二律背反性を有する。本発明の第1~第3の実施形態で腕部の剛性を高めて耐衝撃性を確保しても、比較例1~3と対比して物理量センサー10の温度特性の劣化は抑制できる。
本実施形態では、物理量センサー10の物理量検出素子60は図1に示すワイヤーボンディング62,62により、段部112に形成された電極と接続することができる。その理由は、物理量検出素子60に上述した応力歪みが作用しないことから、ワイヤーボンディング62,62が断線する虞が無いからである。ワイヤーボンディング62,62を用いることにより、基部20に設けられる電極パターンを段部112上の金電極と導電性接着剤を介して接続する不要がない。金電極と導電性接着剤との接着は、金が高温で分子間力が減少するので剥離し易いが、ワイヤーボンディング62,62を用いればそのような弊害を排除できる。
以下、上述した構成を有する物理量センサーデバイスを用いた機器について、図12~図20を参照して説明する。
傾斜計300は、設置された位置の傾斜角度に応じた信号を出力する装置である。具体
的には、傾斜計300は、アンダーケース301と、アッパーケース302とで画成された内部空間に、第1実施形態の物理量センサーデバイス200A(200B)の構造を備えた物理量センサーデバイス310と、物理量センサーデバイス310の出力信号に基づいて傾斜角度を算出する算出部330と、算出部210で算出された傾斜角度に応じた信号を外部出力する外部出力端子332と、を有する。傾斜計300は、これら以外の要素を適宜含めることができる。例えば、内蔵バッテリーや、電源回路、無線装置、などを含めることができる。
図15は、慣性計測装置(IMU:Inertial Measurement Unit)の構成例を示す図であって、一部断面表示された側面図である。図16は慣性計測装置のブロック図である。慣性計測装置400は、移動体に取り付けられる慣性計測装置であって、アンダーケース401と、アッパーケース402とで画成された内部空間に、実施形態の物理量センサーデバイス200A(200B)と同じ構造を有する物理量センサーデバイス410と、角速度センサーデバイス420と、物理量センサーデバイス410の加速度信号および角速度センサーデバイス420の角速度信号に基づいて移動体の姿勢を算出する姿勢算出部(回路部)430と、回路部430で算出された姿勢に応じた信号を外部出力する外部出力端子431と、を有する。慣性計測装置400には、例えば、内蔵バッテリーや、電源回路、無線装置、などを含めることができる。
図17に、構造物監視装置(SHM:Structural Health Monitoring)500を示す。構造物監視装置500は、実施形態の物理量センサーデバイス200A(200B)と同じ構造を有し、監視対象とされる構造物590に取り付けられる物理量センサーデバイス510を有する。物理量センサーデバイス510は、検出信号を送信する送信部511を含む。送信部511は、物理量センサーデバイス510とは別体の通信モジュール及びアンテナとして実現するとしてもよい。
図19は、移動体の構成例を示す図である。本実施形態では移動体600を、乗用車として例示するが車種は適宜変更可能である。また、移動体600は、小型船舶や自動運搬装置、構内用の運搬車、フォークリフトなどでもよい。
Claims (10)
- 基部と、
前記基部に連結され、固定領域がそれぞれ設けられている第1の腕部及び第2の腕部と、
平面視で、前記第1の腕部と前記第2の腕部との間に配置されている可動部と、
前記基部と前記可動部との間に配置され、前記基部と前記可動部とを接続している括れ部と、
前記平面視で前記括れ部を跨いで配置され、前記基部と前記可動部とに取り付けられている物理量検出素子と、
を含み、
前記固定領域は、
前記平面視で、前記括れ部を跨いでいる方向に沿って、前記物理量検出素子の中心を通る第1直線で区画される第1の領域及び第2の領域に配置され、
かつ、
前記平面視で、前記第1直線と、前記括れ部上を通り前記第1直線と直交する第2直線とで区画される4つの領域のうち、前記第2直線よりも前記基部側の前記第1の領域に位置する第3の領域、及び前記第2直線よりも前記基部側の前記第2の領域に位置する第4の領域の少なくとも一方には配置されてなく、
前記固定領域は、
前記平面視で、前記第2直線よりも前記可動部側の前記第1の領域に位置する第5の領域に配置されている第1固定領域と、
前記平面視で、前記第2直線よりも前記可動部側の前記第2の領域に位置する第6の領域に配置されている第2固定領域と、
前記平面視で、前記第3の領域と前記第4の領域とのいずれか一方に配置されている第3固定領域と、
から構成されていることを特徴とする物理量センサー。 - 基部と、
前記基部に連結され、固定領域がそれぞれ設けられている第1の腕部及び第2の腕部と、
平面視で、前記第1の腕部と前記第2の腕部との間に配置されている可動部と、
前記基部と前記可動部との間に配置され、前記基部と前記可動部とを接続している括れ部と、
前記平面視で前記括れ部を跨いで配置され、前記基部と前記可動部とに取り付けられている物理量検出素子と、
を含み、
前記固定領域は、
前記平面視で、前記括れ部を跨いでいる方向に沿って、前記物理量検出素子の中心を通る第1直線で区画される第1の領域及び第2の領域に配置され、
かつ、
前記平面視で、前記第1直線と、前記括れ部上を通り前記第1直線と直交する第2直線とで区画される4つの領域のうち、前記第2直線よりも前記基部側の前記第1の領域に位置する第3の領域、及び前記第2直線よりも前記基部側の前記第2の領域に位置する第4の領域の少なくとも一方には配置されてなく、
前記固定領域は、
前記平面視で、前記第3の領域と前記第4の領域とのいずれか一方に配置されている第1固定領域と、
前記平面視で、前記第1固定領域が配置されている前記第1の領域及び前記第2の領域の一方とは異なる他方の領域に配置され、前記第2直線よりも前記可動部側に位置する領域に配置されている第2固定領域と、
から構成されていることを特徴とする物理量センサー。 - 請求項1または2において、
前記基部と連結されている第3の腕部を含み、
前記第3の腕部は、前記平面視で前記4つの領域のうち前記固定領域が配置されない少なくとも一つの領域において、前記物理量検出素子が取り付けられている面とは反対側の面に設けられている突起を含むことを特徴とする物理量センサー。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーが実装されている基台と、
を含み、
前記固定領域が前記基台に取り付けられていることを特徴とする物理量センサーデバイス。 - 請求項4において、
回路基板を含み、
前記物理量センサーを3つ有し、
前記3つの物理量センサーは、各々の検出軸が直交する三軸の各々に合わせられて前記回路基板に実装されていることを特徴とする物理量センサーデバイス。 - 請求項4または5において、
前記物理量は加速度であることを特徴とする物理量センサーデバイス。 - 請求項6に記載の物理量センサーデバイスと、
構造体に取り付けられている前記物理量センサーデバイスからの出力信号に基ついて、前記構造体の傾斜角度を算出する算出部と、
を含むことを特徴とする傾斜計。 - 請求項6に記載の物理量センサーデバイスと、
角速度センサーデバイスと、
前記物理量センサーデバイスからの加速度信号及び前記角速度センサーデバイスからの角速度信号に基づいて移動体の姿勢を算出する回路部と、
を含むことを特徴とする慣性計測装置。 - 請求項6に記載の物理量センサーデバイスと、
構造物に取り付けられている前記物理量センサーデバイスからの検出信号を受信する受信部と、
前記受信部から出力された信号に基づいて、前記構造物の傾斜角度を算出する算出部と、
を含むことを特徴とする構造物監視装置。 - 請求項6に記載の物理量センサーデバイスと、
前記物理量センサーデバイスで検出された検出信号に基づいて、加速、制動、及び操舵の少なくともいずれかを制御する制御部と、
を含み、
自動運転の実施或いは不実施は、前記物理量センサーデバイスからの検出信号の変化に応じて切り替えられることを特徴とする移動体。
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Families Citing this family (3)
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---|---|---|---|---|
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Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040025590A1 (en) | 2002-08-07 | 2004-02-12 | Schaad Theo P. | Triaxial acceleration sensor |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2586359B2 (ja) | 1990-12-17 | 1997-02-26 | 日本電気株式会社 | 半導体加速度センサおよびその製造方法 |
JP2833257B2 (ja) | 1991-04-23 | 1998-12-09 | 富士電機株式会社 | 半導体加速度センサ |
DE4234238A1 (de) * | 1992-10-10 | 1994-04-14 | Bosch Gmbh Robert | Beschleunigungssensor |
JP2000065856A (ja) | 1998-08-25 | 2000-03-03 | Nippon Inter Electronics Corp | 加速度スイッチ |
JP2011226941A (ja) * | 2010-04-21 | 2011-11-10 | Seiko Epson Corp | 振動型力検出センサー、及び振動型力検出装置 |
JP5678741B2 (ja) | 2011-03-11 | 2015-03-04 | セイコーエプソン株式会社 | 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器 |
JP5896114B2 (ja) * | 2011-10-31 | 2016-03-30 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器 |
JP2013122375A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-06-20 | Seiko Epson Corp | 物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器 |
JP2014076527A (ja) * | 2012-10-12 | 2014-05-01 | Seiko Epson Corp | Memsセンサー、および電子機器、ロボット、移動体 |
JP6070056B2 (ja) | 2012-10-24 | 2017-02-01 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出デバイス、物理量検出器、電子機器、及び移動体 |
JP2014085232A (ja) | 2012-10-24 | 2014-05-12 | Seiko Epson Corp | 物理量検出デバイス、物理量検出器、電子機器、及び移動体 |
JP2014098565A (ja) | 2012-11-13 | 2014-05-29 | Seiko Epson Corp | 電子デバイス、電子デバイスの製造方法、電子機器及び移動体 |
JP2014119369A (ja) | 2012-12-18 | 2014-06-30 | Seiko Epson Corp | 物理量検出センサー、物理量検出装置、電子機器および移動体 |
JP6089753B2 (ja) | 2013-02-15 | 2017-03-08 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出センサーの製造方法、物理量検出センサー、物理量検出装置、電子機器および移動体 |
JP6136349B2 (ja) * | 2013-02-22 | 2017-05-31 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、電子機器及び移動体 |
JP2014240762A (ja) | 2013-06-11 | 2014-12-25 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出センサー、加速度センサー、電子機器、および移動体 |
JP6399283B2 (ja) * | 2014-03-24 | 2018-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出装置、電子機器及び移動体 |
JP2016070670A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 京セラ株式会社 | センサ装置 |
JP5867631B2 (ja) | 2015-01-07 | 2016-02-24 | セイコーエプソン株式会社 | 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器 |
JP6705168B2 (ja) | 2015-12-28 | 2020-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | センサー用基板、物理量検出センサー、加速度センサー、電子機器、および移動体 |
JP6840960B2 (ja) | 2016-09-07 | 2021-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | センサー用基板、物理量検出センサー、加速度センサー、電子機器、移動体、およびセンサー用基板の製造方法 |
JP6897187B2 (ja) * | 2017-03-16 | 2021-06-30 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出器、物理量検出デバイス、電子機器および移動体 |
-
2018
- 2018-03-09 JP JP2018043532A patent/JP7087479B2/ja active Active
-
2019
- 2019-03-07 CN CN201910173618.0A patent/CN110244082B/zh active Active
- 2019-03-08 US US16/296,386 patent/US11105827B2/en active Active
-
2021
- 2021-07-28 US US17/386,679 patent/US11630122B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040025590A1 (en) | 2002-08-07 | 2004-02-12 | Schaad Theo P. | Triaxial acceleration sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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