JP2004309306A - 加速度センサとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラス板等の四角形の絶縁基板12と、中空部25を有し中心に重り26を備え、絶縁基板12とほぼ同形状のシリコンウエハ等の半導体の本体部22とを備える。本体部22の各辺には、四辺ともにそのほぼ中央部分の一部分が切除された切除部24が形成されている。絶縁基板12に本体部22を接合した状態で、切除部24に絶縁基板12上の引出用電極20が露出する。切除部24の内側の角は、面取りされまたはアール状に形成されていてもよい。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、静電容量等の変化を検出して加速度を検知する加速度センサとその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
【特許文献1】特開平11−351876号公報
【特許文献2】特開2002−134659号公報
従来、静電容量型の半導体加速度センサを形成する基板は、図6に示すように、ガラス基板4の表面に図示しないセンサ用電極等と外部の回路基板の電極とを結ぶための引出用電極2や、その他の図示しない電極や配線パターンがアルミニウム薄膜等により形成され、このガラス基板4の表面に、所定の重り1や中空部3及び電極等が縦横に多数形成されたシリコンウエハ6を、陽極接合により一体化したものがある。このシリコンウエハ6から切り出される個々のセンサチップ5は、シリコンウエハ6による本体部7やガラス基板4に設けられた図示しないセンサ用電極と、外部の回路基板の電極とを結ぶための引出用電極2が、各センサチップ5の本体部7の一対の端縁部に露出したガラス基板4表面に位置して設けられている。
【0003】
この加速度センサ用基板は、シリコンウエハ6に予めエッチング等により、ガラス基板4に接合した際に引出用電極2が露出するような溝状長穴8を形成し、引出用電極2がこの溝状長穴8から露出するようにして、ガラス基板4の表面にシリコンウエハ6を陽極接合する。この後、個々のセンサチップ5毎に図6の2点鎖線で示すように分割していた。
【0004】
なお、この引出用電極2は、特許文献1,2に開示されているように、ガラス基板4の厚み方向に、表面側の電極に接した透孔を介して他の回路基板に接合可能としたものも本願出願人より提案している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の技術の図5、図6に示す加速度センサの場合、シリコンウエハ6とガラス基板4を陽極接合した状態で、接合面に内部応力が存在し、基板内の平面方向に不均一な応力が発生する。この内部応力は個々のセンサチップに分割した後も残るものであり、センサチップに微妙なひずみを生じさせていた。すなわち、上記従来例の場合、溝状長穴8が一方向に形成されているので、この溝状長穴8の方向とそれと直交する方向とで各部の膨張・収縮に面方向の異方性が生じ、個々のセンサチップ5に分割後もひずみが残るものであった。
【0006】
この発明は、上記従来の技術の問題点に鑑みて成されたもので、簡単な構造で、基板にひずみが生じない加速度センサを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この発明は、ガラス板等の四角形の絶縁基板と、中空部を有しその中心に重りが設けられ上記絶縁基板とほぼ同形状の半導体の本体部とを有し、この本体部の各辺には、四辺ともにそのほぼ中央部分の一部分が切除されて切除部が形成され、上記絶縁基板に上記本体部を接合した状態で、上記切除部に上記絶縁基板上の引出用電極が露出して成る加速度センサである。
【0008】
上記切除部の内側の角は、面取りされまたはアール状に形成されている。また、上記本体部の中空部は、その開口部がガラス板やシリコン板等の覆い蓋で密閉され、上記本体部内は真空の気密状態に形成されている。
【0009】
またこの発明は、個々のセンサチップの本体部や重りが縦横に多数形成されたシリコンウエハを設け、このシリコンウエハの上記個々のセンサチップの本体部を形成する部分の四辺を囲むように透孔を形成し、このシリコンウエハを絶縁性の大型基板に陽極接合し、上記大型基板表面に設けられた引出用電極が上記透孔内に露出するようにし、その後上記透孔を横断するように上記シリコンウエハ及び大型基板を分割し、個々のセンサチップとする加速度センサの製造方法である。また、真空中で上記本体部と絶縁基板との通気部を密封して、上記本体部内を真空にするものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下この発明の実施の形態について図面に基づいて説明する。図1〜図4はこの発明の一実施形態を示すもので、この実施形態の加速度センサ10は、ガラス板等の絶縁基板12と、この絶縁基板12の表面中央部に形成され静電容量を形成する正方形電極14と、その四方に各々形成された同じく静電容量を形成する台形電極16とを備えている。絶縁基板12の表面にはさらに、正方形電極14と台形電極16に接続した図示しない配線パターンと、この配線パターンが接続した引出用電極20とを備えている。引出用電極20は、絶縁基板12の四方の各辺のほぼ中央部端縁近傍に位置している。各電極14,16,20や配線パターンは、アルミニウムや金等の金属薄膜により形成されている。
【0011】
絶縁基板12の表面には、シリコンによる本体部22が接合されている。本体部22は、図1、図2に示すように、薄い四角筒状に形成され、四方の各辺の一部が各々矩形状に切除された形状に形成されている。この四方の切除部24は、絶縁基板12に本体部22を接合した状態で、引出用電極20が各々露出する程度の大きさに形成されている。
【0012】
本体部22の中空部25内には、本体部22の四方の各内壁22aの下面近傍から梁30が一体に延出し、この梁30の先端部に重り26が一体に設けられている。この重り26の周囲には、四方に台形状の電極部28が一体に突出している。重り26、電極部28及び梁30は、本体部22の構成材料であるシリコン半導体により一体に形成されている。梁30は、本体部22の内壁22aの下面近傍から一辺の側壁22aに沿って延出し、直交する他の内壁22aにぶつかる前に45°屈曲してレ字状に形成され、屈曲した部分は中央部に向かい、その先端は、一体に重り26の下部に繋がっている。梁30は、本体部22の内壁22aの四方の面から同様にして4本延出し、重り26に繋がっている。
【0013】
本体部22は、シリコンウエハ基板に、所定の不純物をドープしてp型またはn型半導体に形成されている。本体部22の上面開口部はガラス板やシリコン板等の覆い蓋32が低融点ガラス等により気密状態で密着して固定され、絶縁基板12とともに本体部22の中空部25内を密封している。
【0014】
そして、重り26の下面と正方形電極14が互いに所定の間隔を空けて対面して静電容量を形性し、絶縁基板12に対して垂直方向の加速度を検知する。また、重り26の四方の各電極部28は、台形電極16と所定の間隔を空けて対面して静電容量を形成し、絶縁基板12の面に対して平行な方向の加速度を検知する。
【0015】
この実施形態の加速度センサ10の製造方法は、先ず図2、図3に示すように、シリコンウエハ36をガラス板の絶縁基板12に接合した際に引出用電極20が露出するような透孔である矩形孔38や、中空部25及び重り26を、予めエッチング等により形成し、引出用電極20がこの矩形孔38から露出するように形成する。矩形孔38は中空部25の四方の側方に位置するように形成する。
【0016】
次に、シリコンウエハ36の裏面側にガラス板の絶縁基板12を、陽極接合により一体的に密着させる。陽極接合は、約400℃の温度で1kV程度の電圧を印加して行う。このとき、本体部22と絶縁基板12の間は、図示しないフィードスルー部分の配線パターンが挟まれ、通気部の隙間が残される。この通気部の隙間は、後述するように、後に接着剤で埋められる。
【0017】
また、本体部22の上面開口部端面に低融点ガラス板やシリコン板の覆い蓋32を載せて真空中で密着し固定する。さらに、絶縁基板12と本体部22の間の配線パターンによるフィードスルー部分の通気部の隙間を真空中で接着剤で埋め、中空部25内を真空状態に密封する。このとき使用する接着剤は揮発成分の少ない熱硬化性樹脂の接着剤や紫外線硬化樹脂の接着剤を用いる。
【0018】
この後、絶縁基板12及びシリコンウエハ36を、個々のセンサチップ40毎に図3の2点鎖線で示すように分割する。このとき、矩形孔38は長手方向にその中心で分割され、個々のセンサチップ40の四方に形成される切除部24となる。
【0019】
この発明の加速度センサ10は、本体部22を形成するシリコンウエハ36に、本体部22や重り26の四方を囲むように、本体部22の中空部25とともにその四方に矩形孔38を形成したので、絶縁基板12とシリコンウエハ36を陽極接合した後のシリコンウエハ36に生じる応力が極めて小さい。また、矩形の本体部22の四方に各々矩形孔38による切除部24が形成され、図2に示すように上下左右とも対称な形状に形成されるので、絶縁基板12とシリコンウエハ36の熱膨張係数の違いや接合具合等によっても、本体部22には均一な力が作用し全体としてひずみが生じ難い。
【0020】
なお、この矩形孔38の形状は、図4に示すように角を落とした形状にしても良い。これにより、さらに、角部への応力集中を緩和し、ひずみの原因を抑える。従って、矩形孔38の角部をアール状にしても良く、矩形孔38を長円や楕円状に変えても良い。また、覆い蓋は、本体部に対して真空中で接合する他、大気中で接合しても良く、少なくともフィードスルー部分の通気部の隙間を真空中で塞ぎ、本体部内を真空に形成すればよい。
【0021】
【発明の効果】
この発明の加速度センサの基板とその製造方法は、四方に切除部が対称に形成され、ひずみが少なく、個々のセンサチップの基板においても偏った方向性のひずみや内部応力も生じないもので、より精密な測定が可能となる。また、センサチップの形状をほぼ正方形にするこができ、その投影面積を小さくすることができ、体積も抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態の加速度センサを示す分解斜視図である。
【図2】この発明の一実施形態の加速度センサの平面図である。
【図3】この発明の一実施形態の加速度センサのシリコンウエハの平面図である。
【図4】この発明の他の実施形態の加速度センサのシリコンウエハの平面図である。
【図5】従来の技術の加速度センサのシリコンウエハ全体の平面図である。
【図6】従来の技術の加速度センサのシリコンウエハの平面図である。
【符号の説明】
10 加速度センサ
12 絶縁基板
14 正方形電極
16 台形電極
20 引出用電極
22 本体部
24 切除部
26 重り
28 電極部
30 梁
32 覆い蓋
36 シリコンウエハ
38 矩形孔
40 センサチップ
Claims (5)
- 四角形の絶縁基板と、中空部を有しその中心に重りが設けられ上記絶縁基板とほぼ同形状の半導体の本体部とを有し、この本体部の各辺には、四辺ともにその一部分が切除されて切除部が形成され、上記絶縁基板に上記本体部を接合した状態で、上記切除部に上記絶縁基板上の引出用電極が露出して成ることを特徴とする加速度センサ。
- 上記切除部の内側の角は、面取りされまたはアール状に形成されていることを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
- 上記本体部の中空部は、その開口部が覆い蓋で密閉され、上記本体部内は真空の気密状態に形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の加速度センサ。
- 個々のセンサチップの本体部や重りが縦横に多数形成されたシリコンウエハを設け、このシリコンウエハの上記個々のセンサチップの本体部を形成する部分の四辺を囲むように透孔を形成し、このシリコンウエハを絶縁性の大型基板に陽極接合し、上記大型基板表面に設けられた引出用電極が上記透孔内に露出するようにし、その後上記透孔を横断するように上記シリコンウエハ及び大型基板を分割し、個々のセンサチップとすることを特徴とする加速度センサの製造方法。
- 真空中で上記本体部と絶縁基板との通気部を密封することを特徴とする請求項4記載の加速度センサの製造方法。
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