JP2006226770A - 力学量センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】 側面から錘体の姿勢変化を検出するための静電容量素子における電極間の間隔を微小値に設定すること。
【解決手段】 加速度センサは、可動部構造体1を上部硝子基板2および下部硝子基板によって上下方向から挟み込んだ3層構造により構成されている。可動部構造体1には、フレーム14、梁15、錘体16が形成されている。そして、フレーム14と錘体16との間に形成された可動隙間に、錘体16の側面と対向する向きに側面電極4が設けられている。側面電極4は、下部硝子基板3の内壁面に、下部硝子基板3と直角をなすように固定されている。このように側面電極4を錘体16と別体に設けることにより、錘体16と側面電極4との隙間の間隔を小さく形成することができる。これにより、錘体16と側面電極4とで形成される静電容量素子における静電容量を増大させることができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 加速度センサは、可動部構造体1を上部硝子基板2および下部硝子基板によって上下方向から挟み込んだ3層構造により構成されている。可動部構造体1には、フレーム14、梁15、錘体16が形成されている。そして、フレーム14と錘体16との間に形成された可動隙間に、錘体16の側面と対向する向きに側面電極4が設けられている。側面電極4は、下部硝子基板3の内壁面に、下部硝子基板3と直角をなすように固定されている。このように側面電極4を錘体16と別体に設けることにより、錘体16と側面電極4との隙間の間隔を小さく形成することができる。これにより、錘体16と側面電極4とで形成される静電容量素子における静電容量を増大させることができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、物体に作用する力学量を検出する力学量センサに関し、特に、作用する力学量を静電容量の変化量に基づいて検出する静電容量検出型の力学量センサに関する。
ビデオカメラの手ぶれ補正装置や車載用のエアバッグ装置、ロボットの姿勢制御装置などの広い分野において、物体に作用する力学量を検出するための力学量センサが用いられている。
力学量センサの1つに、物体の回転運動、即ち角速度を検出するジャイロと呼ばれる角速度センサがある。
ジャイロは、物体の回転運動、即ち角速度を検出するセンサであり、取り付け部位や回転の中心位置に関わらず作用する角速度を検出することができる。
ジャイロは、その動作原理の違いによりいくつかの種類に分類され、振動体を用いた物は、振動式角速度センサと呼ばれている。
力学量センサの1つに、物体の回転運動、即ち角速度を検出するジャイロと呼ばれる角速度センサがある。
ジャイロは、物体の回転運動、即ち角速度を検出するセンサであり、取り付け部位や回転の中心位置に関わらず作用する角速度を検出することができる。
ジャイロは、その動作原理の違いによりいくつかの種類に分類され、振動体を用いた物は、振動式角速度センサと呼ばれている。
振動式角速度センサ(以下、角速度センサとする)は、可撓性を有する部材に支持された錘体を一定の周期で振動させ、発生するコリオリ力を検出することによって作用する角速度を検出する。
詳しくは、質量mの錘体をz軸方向に速度vで振動させた状態で、x軸またはy軸周りに角速度Ωが働くと、錘体の中心部には、“F=2mvΩ”のコリオリ力Fが発生する。
そして、発生するコリオリ力の作用によりねじれが生じるため、錘体は、振動方向と直交する面に対して傾く。
角速度センサは、この錘体の傾きの方向、傾き量を検出し、これらの検出された値に基づいて錘体に作用する角速度を算出する。
詳しくは、質量mの錘体をz軸方向に速度vで振動させた状態で、x軸またはy軸周りに角速度Ωが働くと、錘体の中心部には、“F=2mvΩ”のコリオリ力Fが発生する。
そして、発生するコリオリ力の作用によりねじれが生じるため、錘体は、振動方向と直交する面に対して傾く。
角速度センサは、この錘体の傾きの方向、傾き量を検出し、これらの検出された値に基づいて錘体に作用する角速度を算出する。
このような角速度センサにおいて、錘体の傾きの方向、傾き量を検出する方法の1つに、静電容量の変化量を測定するものがある。このような角速度センサを静電容量型角速度センサという。
静電容量型角速度センサには、錘体の側面と対向する位置に隙間(ギャップ)を介して電極が設けられている。そして、この電極と錘体によって形成される静電容量素子の静電容量の変化量を測定することによって錘体の傾きを検出する。
静電容量型角速度センサには、錘体の側面と対向する位置に隙間(ギャップ)を介して電極が設けられている。そして、この電極と錘体によって形成される静電容量素子の静電容量の変化量を測定することによって錘体の傾きを検出する。
従来、このような静電容量の変化量に基づいて、作用する角速度や加速度などの力学量を検出する静電容量検出型のセンサにおける検出精度を向上させる技術が下記の特許文献をはじめ種々提案されている。
特開平7−218534号公報
特許文献1には、重りの側面に可動電極が設けられ、この可動電極と対になる固定電極が固定枠の内側面に設けられた容量形加速度センサが開示されている。
ここでは、可動電極と固定電極とで形成された静電容量素子の静電容量変化に基づいて、重りの姿勢変化を検出する。つまり、重りの姿勢変化を側面方向から検出する構成を有している。
ここでは、可動電極と固定電極とで形成された静電容量素子の静電容量変化に基づいて、重りの姿勢変化を検出する。つまり、重りの姿勢変化を側面方向から検出する構成を有している。
ところで、静電容量検出型の力学量センサにおいては、力学量が作用していない初期状態の静電容量素子の静電容量が大きくなるほど検出精度を向上させることができる。これは、錘体の姿勢が変化した時の静電容量の変化量が大きくなるためである。
静電容量素子の静電容量Cは、次式で示される。
(式1) C=εS/d
但し、εは電極間の誘電体の誘電率、Sは電極の面積、dは電極間の距離(ギャップ長)を示す。
静電容量素子の静電容量Cは、次式で示される。
(式1) C=εS/d
但し、εは電極間の誘電体の誘電率、Sは電極の面積、dは電極間の距離(ギャップ長)を示す。
このように、静電容量素子の静電容量Cは、電極の面積Sに比例し、電極間の距離dに反比例する。
つまり、電極の面積Sを大きくする、または、電極間の距離dを小さくすることによって、静電容量Cを増大させることができる。
ところが、静電容量Cを増大させるために電極の面積Sを大きくすると、電極を配置する錘体やフレームも大きくなるため、力学量センサが大型化してしまう。
つまり、電極の面積Sを大きくする、または、電極間の距離dを小さくすることによって、静電容量Cを増大させることができる。
ところが、静電容量Cを増大させるために電極の面積Sを大きくすると、電極を配置する錘体やフレームも大きくなるため、力学量センサが大型化してしまう。
また、特許文献1に記載の加速度センサでは、可動電極と固定電極との隙間(ギャップ)は、シリコンウェハにエッチング処理を施すことによって形成されている。
しかしながら、電極間のギャップをエッチング処理によって形成する場合、形成されるギャップの間隔および深さは、エッチング処理におけるアスペクト比によって制限されてしまう。そのため、電極間のギャップを微小に形成し静電容量を増大させることは困難であった。
そこで、本発明は、錘部の姿勢変化を検出するための静電容量素子における電極間の間隔を微小値に設定することが容易にできる力学量センサを提供することを目的とする。
しかしながら、電極間のギャップをエッチング処理によって形成する場合、形成されるギャップの間隔および深さは、エッチング処理におけるアスペクト比によって制限されてしまう。そのため、電極間のギャップを微小に形成し静電容量を増大させることは困難であった。
そこで、本発明は、錘部の姿勢変化を検出するための静電容量素子における電極間の間隔を微小値に設定することが容易にできる力学量センサを提供することを目的とする。
請求項1記載の発明では、フレームと、前記フレーム内に配設され、第1の端面と、前記第1の端面と対向する第2の端面と、前記フレームの内壁と対向し前記第1の端面と直交する側面と、を有する錘部と、前記フレームと前記錘部とに固定された可撓性を有する梁部と、前記側面と対向し、前記錘体と別体に形成された側面電極と、前記側面と前記側面電極とにより形成された第1の静電容量素子の静電容量の変化に基づいて、前記錘部の姿勢変化を検出する検出手段と、前記検出手段で検出された前記錘部の姿勢の変化量を力学量に変換する変換手段と、を備えることにより前記目的を達成する。
請求項2記載の発明では、請求項1記載の発明において、前記側面電極は、所定のエッチング処理における最大アスペクト比をγとし、前記第1の端面と前記第2の端面との間隔をβとした場合、α<(β/γ)の関係を満たす間隔αを介して前記側面と対向する。
請求項3記載の発明では、請求項1または請求項2記載の発明において、前記側面電極における前記錘部の側面との対向面に、前記第1の端面と直交する方向に延びる凹部が前記凹部の幅方向に等間隔に形成され、前記錘部における前記側面電極との対向面に、前記凹部と隙間を介して掛合する凸部が形成されている。
請求項4記載の発明は、請求項1、請求項2または請求項3記載の発明において、前記側面電極と前記錘部との相対的な位置を決める位置決め手段を備える。
請求項5記載の発明は、請求項1、請求項2、請求項3または請求項4記載の発明において、前記第1の端面と隙間を介して対向する固定電極を備え、前記検出手段は、前記固定電極と前記錘部とにより形成された第2の静電容量素子の静電容量の変化に基づいて、前記錘部の姿勢変化を検出する。
請求項6記載の発明は、請求項1、請求項2、請求項3、請求項4または請求項5記載の発明において、前記錘部を前記第1の端面と直交する向きに、所定の周期で振動させる振動手段を備え、前記検出手段は、前記錘部の振動方向と直交する面に対する前記錘部の傾きを検出し、前記変換手段は、前記錘部の傾き量を角速度に変換する。
本発明によれば、側面電極を錘部と別体に設けることにより、錘部と側面電極との隙間の間隔を小さく形成することができる。これにより、錘部と側面電極とで形成される静電容量素子における静電容量を増大させることができ、錘部の姿勢検出精度を向上させることができる。
以下、本発明の好適な実施の形態について、図1〜図8を参照して詳細に説明する。
本実施形態では、力学量センサの例として、加速度センサおよび角速度センサについて説明する。
図1は、本実施の形態に係る加速度センサの概略構成を示した断面図である。
また、本実施の形態に係る力学量センサは、半導体基板を加工して形成された半導体センサ素子である。なお、半導体基板の加工は、MEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)技術を用いて行うことができる。
加速度センサを構成する基板の積層方向と同一方向を上下方向、即ちz軸(方向)と定義する。そして、このz軸と直交し、かつ互いの軸と直交する軸をx軸(方向)およびy軸(方向)と定義する。つまり、x軸、y軸、z軸は、それぞれ互いに直交する3軸となる。
本実施形態では、力学量センサの例として、加速度センサおよび角速度センサについて説明する。
図1は、本実施の形態に係る加速度センサの概略構成を示した断面図である。
また、本実施の形態に係る力学量センサは、半導体基板を加工して形成された半導体センサ素子である。なお、半導体基板の加工は、MEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)技術を用いて行うことができる。
加速度センサを構成する基板の積層方向と同一方向を上下方向、即ちz軸(方向)と定義する。そして、このz軸と直交し、かつ互いの軸と直交する軸をx軸(方向)およびy軸(方向)と定義する。つまり、x軸、y軸、z軸は、それぞれ互いに直交する3軸となる。
図1に示すように、加速度センサは、可動部構造体1、上部硝子基板2、下部硝子基板3を備えている。詳しくは、可動部構造体1を上部硝子基板2および下部硝子基板3によって上下方向から挟み込んだ3層構造となっている。
可動部構造体1は、シリコン層11、酸化膜層12、シリコン層13の3層構造を有するSOI(シリコン・オン・インシュレータ)基板から形成されている。
このSOI基板にエッチング処理を施して、フレーム14、梁15、錘体16を形成する。なお、錘体16は、導電性を有し可動電極として機能する。
このSOI基板のエッチング処理は、プラズマによる深いトレンチエッチングを施すD−RIE(ディープ−リアクティブ・イオン・エッチング)技術を利用して行う。
なお、D−RIEは、ドライエッチングの一種である特定の方向にエッチングが進行する異方性エッチングに分類される。
この場合、梁15や錘体16を加工する際のエッチング処理において、中間の酸化膜層12がエッチング遮断層(ストップ層)として機能するため、厚み方向に対する加工精度を向上させることができる。
可動部構造体1は、シリコン層11、酸化膜層12、シリコン層13の3層構造を有するSOI(シリコン・オン・インシュレータ)基板から形成されている。
このSOI基板にエッチング処理を施して、フレーム14、梁15、錘体16を形成する。なお、錘体16は、導電性を有し可動電極として機能する。
このSOI基板のエッチング処理は、プラズマによる深いトレンチエッチングを施すD−RIE(ディープ−リアクティブ・イオン・エッチング)技術を利用して行う。
なお、D−RIEは、ドライエッチングの一種である特定の方向にエッチングが進行する異方性エッチングに分類される。
この場合、梁15や錘体16を加工する際のエッチング処理において、中間の酸化膜層12がエッチング遮断層(ストップ層)として機能するため、厚み方向に対する加工精度を向上させることができる。
フレーム14は、錘体16を囲むように可動部構造体1の周縁部に設けられた固定部であり、可動部構造体1の枠組みを構成する。
梁15は、錘体16の中心から放射方向に(フレーム14の方向に)十字方向に延びる4つの帯状の薄部材であり、可撓性を有している。
また、梁15の端部は、フレーム14に固定されている。
錘体16は、4つの梁15によってフレーム14に固定された質量体である。錘体16は、梁15の作用により、外部より加わる力により振動させたり、捩れる動きが可能となっている。
梁15は、錘体16の中心から放射方向に(フレーム14の方向に)十字方向に延びる4つの帯状の薄部材であり、可撓性を有している。
また、梁15の端部は、フレーム14に固定されている。
錘体16は、4つの梁15によってフレーム14に固定された質量体である。錘体16は、梁15の作用により、外部より加わる力により振動させたり、捩れる動きが可能となっている。
梁15および錘体16の上面(上部硝子基板2との対向面)と上部硝子基板2との間には、錘体16を可動にするための空間である可動隙間17が形成されている。上部硝子基板2は、この可動隙間17を封止するように接合されている。
梁15の下面(下部硝子基板3との対向面)および錘体16の底面、即ち下面(下部硝子基板3との対向面)と下部硝子基板3との間には、錘体16を可動にするための空間である可動隙間18が形成されている。
さらに、錘体16の周部においても、錘体16を可動にするための空間である可動隙間19が形成されている。下部硝子基板3は、この可動隙間19を封止するように接合されている。
なお、加速度センサの内部は真空状態となっている。真空状態とすることで、錘体16が動作する際の空気抵抗を低減することができる。これにより、加速度の検出精度を向上させることができる。
梁15の下面(下部硝子基板3との対向面)および錘体16の底面、即ち下面(下部硝子基板3との対向面)と下部硝子基板3との間には、錘体16を可動にするための空間である可動隙間18が形成されている。
さらに、錘体16の周部においても、錘体16を可動にするための空間である可動隙間19が形成されている。下部硝子基板3は、この可動隙間19を封止するように接合されている。
なお、加速度センサの内部は真空状態となっている。真空状態とすることで、錘体16が動作する際の空気抵抗を低減することができる。これにより、加速度の検出精度を向上させることができる。
また、可動部構造体1には、電気接点であるコンタクト20が設けられている。コンタクト20は、可動部構造体1の中心に設けられた導通用のピンまたはスルーホールによって形成されている。
このコンタクト20は、錘体16において、酸化膜層12の上層に積層されているシリコン層11と、酸化膜層12の下層に形成されているシリコン層13とを電気的に接続し、同電位状態とするためのものである。
なお、コンタクト20の作用により同電位状態にある、錘体16における酸化膜層12の上層に積層されているシリコン層11、および、酸化膜層12の下層に形成されているシリコン層13は可動電極として機能する。
詳しくは、可動部構造体1における固定電極21との対向面、即ち、シリコン層11における上部硝子基板2との対向面は、端面可動電極として機能する。
また、錘体16の側面、即ちフレーム14との対向面は、側面可動電極として機能する。
上部硝子基板2および下部硝子基板3は、可動部構造体1を封止するように接合された硝子基板である。上部硝子基板2および下部硝子基板3は、それぞれ、可動部構造体1のフレーム14において陽極接合によって接合されている。
このコンタクト20は、錘体16において、酸化膜層12の上層に積層されているシリコン層11と、酸化膜層12の下層に形成されているシリコン層13とを電気的に接続し、同電位状態とするためのものである。
なお、コンタクト20の作用により同電位状態にある、錘体16における酸化膜層12の上層に積層されているシリコン層11、および、酸化膜層12の下層に形成されているシリコン層13は可動電極として機能する。
詳しくは、可動部構造体1における固定電極21との対向面、即ち、シリコン層11における上部硝子基板2との対向面は、端面可動電極として機能する。
また、錘体16の側面、即ちフレーム14との対向面は、側面可動電極として機能する。
上部硝子基板2および下部硝子基板3は、可動部構造体1を封止するように接合された硝子基板である。上部硝子基板2および下部硝子基板3は、それぞれ、可動部構造体1のフレーム14において陽極接合によって接合されている。
上部硝子基板2には、その内壁面に固定電極21が設けられている。また、上部硝子基板2には、基板の厚み方向に貫通するスルーホール22が設けられている。スルーホール22の内周壁に引出配線24が設けられている。この引出配線24を介して、固定電極21の電位を加速度センサの外部へ引き出すように構成されている。加速度センサ(上部硝子基板2)の外側面へ引き出された引出配線24は、スルーホール22の上部硝子基板2の外側端部に設けられた電極パッド23に接続される。そして、この電極パッド23を介して、図示しない制御部へ接続される。
なお、引出配線24は、スルーホール22の内周壁の全面に設けられたパターンによって形成されていてもよい。
なお、引出配線24は、スルーホール22の内周壁の全面に設けられたパターンによって形成されていてもよい。
そして、可動部構造体1の端面可動電極と固定電極21によって静電容量素子が形成されている。なお、この静電容量素子は、第2の静電容量素子として機能する。
錘体16の姿勢が変化して端部可動電極が傾くと、端部可動電極と固定電極21との隙間(ギャップ)が変化する。静電容量素子は、電極間のギャップ長が変化すると静電容量の値が変化する。
そこで、本実施の形態では、端部可動電極と固定電極21とにより形成される静電容量素子の静電容量を検出することにより、錘体16の姿勢変化を検出している。
そして、検出された錘体16の姿勢の変化量に基づいて錘体16に作用する加速度を算出する。
なお、下部硝子基板3における錘体16の底面との対向面に、固定電極21と同様の電極を設け、この固定電極と錘体16の底面(端部可動電極)とにより形成される静電容量素子の静電容量を検出することにより、錘体16の姿勢変化を検出するようにしてもよい。
このように、錘体16の姿勢変化を検出するための電極を増やすことにより、検出精度を向上させることができる。
錘体16の姿勢が変化して端部可動電極が傾くと、端部可動電極と固定電極21との隙間(ギャップ)が変化する。静電容量素子は、電極間のギャップ長が変化すると静電容量の値が変化する。
そこで、本実施の形態では、端部可動電極と固定電極21とにより形成される静電容量素子の静電容量を検出することにより、錘体16の姿勢変化を検出している。
そして、検出された錘体16の姿勢の変化量に基づいて錘体16に作用する加速度を算出する。
なお、下部硝子基板3における錘体16の底面との対向面に、固定電極21と同様の電極を設け、この固定電極と錘体16の底面(端部可動電極)とにより形成される静電容量素子の静電容量を検出することにより、錘体16の姿勢変化を検出するようにしてもよい。
このように、錘体16の姿勢変化を検出するための電極を増やすことにより、検出精度を向上させることができる。
さらに、本実施の形態に係る加速度センサにおいては、下部硝子基板3の内壁面に側面電極4が固定されている。
側面電極4は、下部硝子基板3と直角をなすように固定された、シリコン基板により形成された板状の電極であり、錘体16とフレーム14との間に形成された可動隙間19に、錘体16の側面と対向する向きに設けられている。
本実施の形態に係る加速度センサにおいては、梁15を形成するシリコン層11、およびこのシリコン層11とコンタクト20を介して電気的に接続されている錘体16を共通電極(基準電位)として扱い処理を行う。
そのため、側面電極4は、その高さ方向(z軸方向)において、端部が梁15と接触しないように、さらに、梁15の撓み時や捩れ時においてもその端部が梁15と接触しないように構成されている。
側面電極4は、下部硝子基板3と直角をなすように固定された、シリコン基板により形成された板状の電極であり、錘体16とフレーム14との間に形成された可動隙間19に、錘体16の側面と対向する向きに設けられている。
本実施の形態に係る加速度センサにおいては、梁15を形成するシリコン層11、およびこのシリコン層11とコンタクト20を介して電気的に接続されている錘体16を共通電極(基準電位)として扱い処理を行う。
そのため、側面電極4は、その高さ方向(z軸方向)において、端部が梁15と接触しないように、さらに、梁15の撓み時や捩れ時においてもその端部が梁15と接触しないように構成されている。
側面電極4と下部硝子基板3は、陽極接合によって接合されている。
なお、側面電極4と下部硝子基板3との接合方法は、陽極接合に限定されるものではない。例えば、接合面に金属を積層させて接合する共晶接合等を用いるようにしてもよい。
下部硝子基板3には、基板の厚み方向に貫通するスルーホール31が設けられている。スルーホール31の内周壁に引出配線33が設けられている。この引出配線33を介して、側面電極4の電位を加速度センサの外部へ引き出すように構成されている。加速度センサ(下部硝子基板3)の外側面へ引き出された引出配線33は、スルーホール31の下部硝子基板3の外側端部に設けられた電極パッド32に接続される。そして、この電極パッド32を介して、図示しない制御部へ接続される。
なお、引出配線33は、スルーホール31の内周壁の全面に設けられたパターンによって形成されていてもよい。
なお、側面電極4と下部硝子基板3との接合方法は、陽極接合に限定されるものではない。例えば、接合面に金属を積層させて接合する共晶接合等を用いるようにしてもよい。
下部硝子基板3には、基板の厚み方向に貫通するスルーホール31が設けられている。スルーホール31の内周壁に引出配線33が設けられている。この引出配線33を介して、側面電極4の電位を加速度センサの外部へ引き出すように構成されている。加速度センサ(下部硝子基板3)の外側面へ引き出された引出配線33は、スルーホール31の下部硝子基板3の外側端部に設けられた電極パッド32に接続される。そして、この電極パッド32を介して、図示しない制御部へ接続される。
なお、引出配線33は、スルーホール31の内周壁の全面に設けられたパターンによって形成されていてもよい。
そして、上述した固定電極21と同様に、側面電極4と側面可動電極とによって静電容量素子が形成されている。錘体16の側面部においてもまた、上面部と同様に、側面可動電極と側面電極4とにより形成される静電容量素子の静電容量を検出することにより、錘体16の姿勢変化を検出している。なお、側面電極4と可動電極とによって形成される静電容量素子は、第1の静電容量素子として機能する。
検出された錘体16の姿勢の変化量に基づいて錘体16に作用する加速度を算出する。
なお、電極間の静電容量は、静電容量/電圧変換(C/V変換)回路を用いて電気的に検出することができる。
C/V変換回路としては、例えば、十分周波数の高いキャリア信号(参照信号)を静電容量素子に印加し、その出力信号の振幅の変化量を静電容量として検出する方法がある。
静電容量素子に印加されたキャリア信号の出力は、その振幅が静電容量に比例する。そのため、入力キャリア信号と出力キャリア信号の振幅を比較することによって、静電容量を検出することができるようになっている。
検出された錘体16の姿勢の変化量に基づいて錘体16に作用する加速度を算出する。
なお、電極間の静電容量は、静電容量/電圧変換(C/V変換)回路を用いて電気的に検出することができる。
C/V変換回路としては、例えば、十分周波数の高いキャリア信号(参照信号)を静電容量素子に印加し、その出力信号の振幅の変化量を静電容量として検出する方法がある。
静電容量素子に印加されたキャリア信号の出力は、その振幅が静電容量に比例する。そのため、入力キャリア信号と出力キャリア信号の振幅を比較することによって、静電容量を検出することができるようになっている。
本実施の形態に係る加速度センサのような静電容量検出型の力学量センサにおいては、力学量(加速度)が作用していない初期状態の静電容量素子の静電容量が大きくなるほど検出精度を向上させることができる。これは、錘体16の姿勢が変化した時の静電容量の変化量が大きくなるためである。
このように、静電容量素子の静電容量は、電極の面積に比例し、電極間の距離に反比例する。
そこで、本実施の形態に係る加速度センサでは、側面電極4と錘体16の側面可動電極との距離、即ち電極間の間隔(ギャップ長)を従来のセンサより狭めることにより、センサの検出精度(検出感度)を向上させる構成となっている。
このように、静電容量素子の静電容量は、電極の面積に比例し、電極間の距離に反比例する。
そこで、本実施の形態に係る加速度センサでは、側面電極4と錘体16の側面可動電極との距離、即ち電極間の間隔(ギャップ長)を従来のセンサより狭めることにより、センサの検出精度(検出感度)を向上させる構成となっている。
本実施の形態に係る加速度センサにおいては、側面電極4および錘体16の側面可動電極をそれぞれ別の部材(基板)に形成し、組み合わせることによって錘体16の姿勢変化を検出するための静電容量素子を構成している。
詳しくは、シリコン基板をエッチング加工して形成された側面電極4と、SOI基板をエッチング加工して形成された錘体16とを組み合わせて静電容量素子を構成している。
詳しくは、シリコン基板をエッチング加工して形成された側面電極4と、SOI基板をエッチング加工して形成された錘体16とを組み合わせて静電容量素子を構成している。
ところで、従来の加速度センサにおいては、図1に示すところのフレーム14における錘体16との対向面に形成された固定電極と、錘体16の側面に形成された可動電極とによって静電容量素子が形成されていた。
そして、フレーム14と錘体16との対向面に形成された電極間の静電容量の変化量に基づいて錘体16の姿勢変化を検出するように構成されていた。
このように従来は、フレーム14と錘体16に形成された電極、即ち、同一基板を加工することによって形成された電極を用いて錘体16の姿勢変化を検出するように構成されていた。
そして、フレーム14と錘体16との対向面に形成された電極間の静電容量の変化量に基づいて錘体16の姿勢変化を検出するように構成されていた。
このように従来は、フレーム14と錘体16に形成された電極、即ち、同一基板を加工することによって形成された電極を用いて錘体16の姿勢変化を検出するように構成されていた。
このような従来の加速度センサにおいては、フレーム14と錘体16に形成された電極間の間隔、即ち、錘体16の側面部に形成された静電容量素子の電極間のギャップは、基板を加工することによって形成されていた。
詳しくは、フレーム14および錘体16を一体形成するSOI基板にエッチング処理を施すことによって形成されていた。
そのため、電極間のギャップ長の最小設定値は、エッチング処理におけるアスペクト比によって制限されていた。
アスペクト比とは、立体形状の垂直(高さ):水平(幅)の寸法比で相対的な厚みを示す指標である。
エッチング処理におけるアスペクト比とは、エッチングの進行の深さと孔や溝の開口幅比であり、例えば、深さ5μm、幅1μm、の溝のアスペクト比は5である。シリコンプロセスでつくられる形状のアスペクト比は概ね10程度であり、そのため厚みのある立体形状は作りにくい。
従来の加速度センサにおける電極間のギャップ長は、例えば、アスペクト比が10である場合には、錘体16のz軸方向の長さの10分の1程度までしか狭めることができなかった。
詳しくは、フレーム14および錘体16を一体形成するSOI基板にエッチング処理を施すことによって形成されていた。
そのため、電極間のギャップ長の最小設定値は、エッチング処理におけるアスペクト比によって制限されていた。
アスペクト比とは、立体形状の垂直(高さ):水平(幅)の寸法比で相対的な厚みを示す指標である。
エッチング処理におけるアスペクト比とは、エッチングの進行の深さと孔や溝の開口幅比であり、例えば、深さ5μm、幅1μm、の溝のアスペクト比は5である。シリコンプロセスでつくられる形状のアスペクト比は概ね10程度であり、そのため厚みのある立体形状は作りにくい。
従来の加速度センサにおける電極間のギャップ長は、例えば、アスペクト比が10である場合には、錘体16のz軸方向の長さの10分の1程度までしか狭めることができなかった。
しかしながら、本実施の形態に係る加速度センサでは、側面電極4を錘体16と別の部材(基板)に形成し、これらを組み合わせることによって静電容量素子を構成している。
そのため、上述した従来の加速度センサのように、電極間のギャップ長がアスペクト比によって制限されることなく、任意の極小間隔に設定することができる。
図1に示すように、錘体16の側面可動電極と側面電極4との間隔、即ちギャップ長をαとする。錘体16の上部硝子基板2、可動部構造体1および下部硝子基板3の積層方向の長さ、即ち、z軸方向の長さをβとする。
そして本実施の形態に係る加速度センサにおいては、
(ギャップ長α)<(錘体厚β)/(最大アスペクト比)
この関係を満たす値にギャップ長αが設定されている。
なお、最大アスペクト比は、シリコン基板のエッチング技術の現状に依存する値であり、エッチング技術が発展するほど大きくなる。
シリコン基板のエッチング処理は、例えば、ドライエッチングの一種である、特定の方向にだけエッチングを進行させることができるD−RIEなどの異方性エッチングの技術を用いて行う。
本実施の形態に係る加速度センサにおいては、このギャップ長αは、例えば1〜10μm、より好ましくは1〜5μm程度に設定されている。また、錘体厚βは、500μm程度に設定されている。
そのため、上述した従来の加速度センサのように、電極間のギャップ長がアスペクト比によって制限されることなく、任意の極小間隔に設定することができる。
図1に示すように、錘体16の側面可動電極と側面電極4との間隔、即ちギャップ長をαとする。錘体16の上部硝子基板2、可動部構造体1および下部硝子基板3の積層方向の長さ、即ち、z軸方向の長さをβとする。
そして本実施の形態に係る加速度センサにおいては、
(ギャップ長α)<(錘体厚β)/(最大アスペクト比)
この関係を満たす値にギャップ長αが設定されている。
なお、最大アスペクト比は、シリコン基板のエッチング技術の現状に依存する値であり、エッチング技術が発展するほど大きくなる。
シリコン基板のエッチング処理は、例えば、ドライエッチングの一種である、特定の方向にだけエッチングを進行させることができるD−RIEなどの異方性エッチングの技術を用いて行う。
本実施の形態に係る加速度センサにおいては、このギャップ長αは、例えば1〜10μm、より好ましくは1〜5μm程度に設定されている。また、錘体厚βは、500μm程度に設定されている。
このように、本実施の形態に係る加速度センサにおいては、側面電極4を別の部材で形成し、上述した範囲において錘体16の側面可動電極との間におけるギャップ長を設定することにより、側面電極4と錘体16により形成される静電容量素子の静電容量を大きくすることができる。これにより、錘体16の姿勢が変化した時の静電容量の変化量が大きくなるため、センサの検出精度(検出感度)を向上させることができる。
また、本実施の形態に係る加速度センサにおいては、錘体16とフレーム14との間に可動隙間19が形成され、この可動隙間19に側面電極4が配設されている。この可動隙間19を形成することにより、梁15が形成される領域を十分に確保することができる。 これにより、梁15の設計の自由度が向上し、適切な可撓性を有する梁15を容易に形成することができる。
また、本実施の形態に係る加速度センサにおいては、錘体16とフレーム14との間に可動隙間19が形成され、この可動隙間19に側面電極4が配設されている。この可動隙間19を形成することにより、梁15が形成される領域を十分に確保することができる。 これにより、梁15の設計の自由度が向上し、適切な可撓性を有する梁15を容易に形成することができる。
図8は、本実施の形態に係る加速度センサにおける側面電極4の変形例を示した図である。
図8に示すように、側面電極4’を、その高さ方向(z軸方向)に端部が梁15に至るまで延長し、かつ、その厚み方向(x軸またはy軸方向)に錘体16と対向する側面と反対の側面がフレーム14の外壁面の形成位置に至るまで延長するように形成してもよい。
即ち、可動部構造体1においてフレーム14を形成せずに、側面電極4’にフレーム14の機能、即ち、固定部としての機能を持たせるように構成してもよい。
但し、この場合、それぞれの側面電極4’を独立して形成し、隣接する側面電極4’同士が接触しないように配設することが望ましい。
また、側面電極4’をフレーム14と同様に、連続した囲み枠形状とする場合には、1側面と対向する領域毎に分割するためのスリットを形成し、隣接する電極領域同士を電気的に絶縁することが望ましい。
このように、側面電極4’間を電気的に絶縁する構造とする場合には、側面電極4’によってセンサ内部を真空封止することができないため、別途シール(封止)構造を設けるようにする。
なお、側面電極4’は、錘体16即ち可動部構造体1と別体に形成されており、下部硝子基板に3に固定されている。
図8に示すように、側面電極4’を、その高さ方向(z軸方向)に端部が梁15に至るまで延長し、かつ、その厚み方向(x軸またはy軸方向)に錘体16と対向する側面と反対の側面がフレーム14の外壁面の形成位置に至るまで延長するように形成してもよい。
即ち、可動部構造体1においてフレーム14を形成せずに、側面電極4’にフレーム14の機能、即ち、固定部としての機能を持たせるように構成してもよい。
但し、この場合、それぞれの側面電極4’を独立して形成し、隣接する側面電極4’同士が接触しないように配設することが望ましい。
また、側面電極4’をフレーム14と同様に、連続した囲み枠形状とする場合には、1側面と対向する領域毎に分割するためのスリットを形成し、隣接する電極領域同士を電気的に絶縁することが望ましい。
このように、側面電極4’間を電気的に絶縁する構造とする場合には、側面電極4’によってセンサ内部を真空封止することができないため、別途シール(封止)構造を設けるようにする。
なお、側面電極4’は、錘体16即ち可動部構造体1と別体に形成されており、下部硝子基板に3に固定されている。
このように側面電極4’を構成する場合においても、梁15が形成される領域を十分に確保するための梁可動隙間80を設ける。この梁可動隙間80は、側面電極4’における梁15と対向する端面に段差を設けることによって形成されている。この段差は、錘体16側に低部、外壁側に高部が形成されている。
なお、側面電極’と可動部構造体1’とを電気的に絶縁するために、接合部に絶縁体(図示せず)を配設するようにしてもよい。
このように、側面電極4’を構成することにより、側面電極4’を上述した側面電極4よりも厚みのある形状とすることができるため、エッチング処理における加工が容易になる。また、可動部構造体1’においても、フレーム14の形成が不要となるためエッチング処理における加工が容易になる。
なお、側面電極’と可動部構造体1’とを電気的に絶縁するために、接合部に絶縁体(図示せず)を配設するようにしてもよい。
このように、側面電極4’を構成することにより、側面電極4’を上述した側面電極4よりも厚みのある形状とすることができるため、エッチング処理における加工が容易になる。また、可動部構造体1’においても、フレーム14の形成が不要となるためエッチング処理における加工が容易になる。
次に、上述したように構成される本実施の形態に係る加速度センサの製造方法について図2を参照しながら説明する。
はじめに、図2(a)に示すように、上部硝子基板2および可動部構造体1を形成し、これらを接合する。
上部硝子基板2の製造工程を説明する。
まず、硝子基板にブラスト加工等によりスルーホール22を形成する。ブラスト加工とは、小さな粒状の物を圧縮空気を用いて吹き付けて物体の表面に凹凸を形成する加工である。
次に、高不純物濃度シリコン基板を硝子基板に接合する。高不純物濃度シリコン基板をエッチングし、電極パッド23を形成する。
続いて、金属膜を積層させて固定電極21およびスルーホール22内部の引出パターンを形成する。
はじめに、図2(a)に示すように、上部硝子基板2および可動部構造体1を形成し、これらを接合する。
上部硝子基板2の製造工程を説明する。
まず、硝子基板にブラスト加工等によりスルーホール22を形成する。ブラスト加工とは、小さな粒状の物を圧縮空気を用いて吹き付けて物体の表面に凹凸を形成する加工である。
次に、高不純物濃度シリコン基板を硝子基板に接合する。高不純物濃度シリコン基板をエッチングし、電極パッド23を形成する。
続いて、金属膜を積層させて固定電極21およびスルーホール22内部の引出パターンを形成する。
次に、可動部構造体1の製造工程を説明する。
はじめに、SOI基板をシリコン層11側から反応性イオンエッチングや誘導結合プラズマエッチングなどのドライエッチング加工により梁15を形成する。また、シリコン層13側から高密度プラズマエッチングなどのエッチング加工により可動隙間18、19を形成し、錘体16およびフレーム14を形成する。
そして、コンタクト20を導通用のピンまたはスルーホールによって形成する。
はじめに、SOI基板をシリコン層11側から反応性イオンエッチングや誘導結合プラズマエッチングなどのドライエッチング加工により梁15を形成する。また、シリコン層13側から高密度プラズマエッチングなどのエッチング加工により可動隙間18、19を形成し、錘体16およびフレーム14を形成する。
そして、コンタクト20を導通用のピンまたはスルーホールによって形成する。
このように形成された上部硝子基板2および可動部構造体1を陽極接合により接合する。
陽極接合とは、硝子基板側(上部硝子基板2)に陰極電圧を与え、硝子−シリコン間の静電引力を利用して接合する接合方法である。
なお、上部硝子基板2と可動部構造体1との接合方法は、陽極接合に限定されるものではない。例えば、接合面に金属を積層させて接合する共晶接合等を用いるようにしてもよい。
陽極接合とは、硝子基板側(上部硝子基板2)に陰極電圧を与え、硝子−シリコン間の静電引力を利用して接合する接合方法である。
なお、上部硝子基板2と可動部構造体1との接合方法は、陽極接合に限定されるものではない。例えば、接合面に金属を積層させて接合する共晶接合等を用いるようにしてもよい。
次に、図2(b)に示すように、下部硝子基板3を形成し、この下部硝子基板3にシリコン基板を接合する。
下部硝子基板3の製造工程を説明する。
まず、硝子基板にブラスト加工等によりスルーホール31を形成する。
次に、高不純物濃度シリコン基板を硝子基板に接合する。高不純物濃度シリコン基板をエッチングし、電極パッド32を形成する。
続いて、金属膜を積層させてスルーホール31内部の引出パターンを形成する。
そして、このように形成された下部硝子基板3と側面電極を形成するためのシリコン基板を陽極接合により接合する。
なお、下部硝子基板3と側面電極4との接合方法は、陽極接合に限定されるものではない。例えば、接合面に金属を積層させて接合する共晶接合等を用いるようにしてもよい。
下部硝子基板3の製造工程を説明する。
まず、硝子基板にブラスト加工等によりスルーホール31を形成する。
次に、高不純物濃度シリコン基板を硝子基板に接合する。高不純物濃度シリコン基板をエッチングし、電極パッド32を形成する。
続いて、金属膜を積層させてスルーホール31内部の引出パターンを形成する。
そして、このように形成された下部硝子基板3と側面電極を形成するためのシリコン基板を陽極接合により接合する。
なお、下部硝子基板3と側面電極4との接合方法は、陽極接合に限定されるものではない。例えば、接合面に金属を積層させて接合する共晶接合等を用いるようにしてもよい。
そして、図2(c)に示すように、下部硝子基板3に接合された(貼り合わせられた)シリコン基板をエッチング処理し側面電極4を形成する。
この段階において、側面電極4とスルーホール31内部の引出パターンとは電気的に接続され、即ち、側面電極4と電極パッド32が電気的に接続された状態となる。
なお、側面電極4は、最終的に組み立てられた時に、錘体16の側面可動電極との間にギャップ長αの隙間(間隔)が形成される下部硝子基板3上の位置に固定される。
なお、ギャップ長αは、上述した
(ギャップ長α)<(錘体厚β)/(最大アスペクト比)
この関係を満たす範囲内において任意に設定された長さである。
このように側面電極4を形成した場合、側面電極4を形成するシリコン基板が下部硝子基板3に固定された状態にあるため、側面電極4の位置出し(位置決め)が容易にでき、側面電極4が形成される位置の精度を向上させることができる。
この段階において、側面電極4とスルーホール31内部の引出パターンとは電気的に接続され、即ち、側面電極4と電極パッド32が電気的に接続された状態となる。
なお、側面電極4は、最終的に組み立てられた時に、錘体16の側面可動電極との間にギャップ長αの隙間(間隔)が形成される下部硝子基板3上の位置に固定される。
なお、ギャップ長αは、上述した
(ギャップ長α)<(錘体厚β)/(最大アスペクト比)
この関係を満たす範囲内において任意に設定された長さである。
このように側面電極4を形成した場合、側面電極4を形成するシリコン基板が下部硝子基板3に固定された状態にあるため、側面電極4の位置出し(位置決め)が容易にでき、側面電極4が形成される位置の精度を向上させることができる。
次に、図2(d)に示すように、可動部構造体1および上部硝子基板2の接合体と、下部硝子基板3および側面電極4の接合体とを組み合わせて接合する。
詳しくは、可動部構造体1の錘体16の周部に形成されている可動隙間19、即ち、錘体16とフレーム14との隙間に、側面電極4を挿入する。
そして、側面電極4が可動隙間19内に配設された状態でフレーム14と下部硝子基板3を陽極接合により接合する。
なお、可動部構造体1(フレーム14)と下部硝子基板3との接合方法は、陽極接合に限定されるものではない。例えば、接合面に金属を積層させて接合する共晶接合等を用いるようにしてもよい。
詳しくは、可動部構造体1の錘体16の周部に形成されている可動隙間19、即ち、錘体16とフレーム14との隙間に、側面電極4を挿入する。
そして、側面電極4が可動隙間19内に配設された状態でフレーム14と下部硝子基板3を陽極接合により接合する。
なお、可動部構造体1(フレーム14)と下部硝子基板3との接合方法は、陽極接合に限定されるものではない。例えば、接合面に金属を積層させて接合する共晶接合等を用いるようにしてもよい。
上述したように加速度センサは、最終的に可動部構造体1および上部硝子基板2の接合体と、下部硝子基板3および側面電極4の接合体とを組み合わせて接合する。
そして、錘体16の側面可動電極と側面電極4との最終的な位置関係、即ち、位置決め精度は、この接合体の組み合わせ工程における位置決め精度に大きく左右される。
可動部構造体1と上部硝子基板2の接合体と、下部硝子基板3と側面電極4の接合体とは、可動部構造体1におけるフレーム14の下端面と、下部硝子基板3の上面(可動部構造体1との対向面)とを接合することにより固定される。
上述したように、最終的に組み立てられた時の錘体16の側面可動電極と側面電極4とのギャップ長αは、数μmと極めて微小な値に設定されている。
そして、錘体16の側面可動電極と側面電極4との最終的な位置関係、即ち、位置決め精度は、この接合体の組み合わせ工程における位置決め精度に大きく左右される。
可動部構造体1と上部硝子基板2の接合体と、下部硝子基板3と側面電極4の接合体とは、可動部構造体1におけるフレーム14の下端面と、下部硝子基板3の上面(可動部構造体1との対向面)とを接合することにより固定される。
上述したように、最終的に組み立てられた時の錘体16の側面可動電極と側面電極4とのギャップ長αは、数μmと極めて微小な値に設定されている。
可動部構造体1と下部硝子基板3を接合(陽極接合)する際には、アライメント(位置合わせ)ずれが、場合によっては10μm程度発生するおそれがある。
このような接合時におけるアライメントずれの影響により、可動部構造体1におけるフレーム14が下部硝子基板3の接合面に対してスライドした状態の位置ずれを生じ、錘体16の外側可動電極と側面電極4とのギャップ長αが確保できないおそれがある。
また、最終的に可動部構造体1および上部硝子基板2の接合体と、下部硝子基板3および側面電極4の接合体とを組み合わせる際には、側面電極4をフレーム14や錘体16と接触しないようにして、微小な可動隙間19に挿入しなければならない。
この組み立て時にフレーム14や錘体16に接触してしまうと、側面電極4が破損してしまうおそれがある。
このような不具合が生じた場合、加速度センサの製造工程における歩留まり率が低下し、生産効率が低下するおそれがある。
このような接合時におけるアライメントずれの影響により、可動部構造体1におけるフレーム14が下部硝子基板3の接合面に対してスライドした状態の位置ずれを生じ、錘体16の外側可動電極と側面電極4とのギャップ長αが確保できないおそれがある。
また、最終的に可動部構造体1および上部硝子基板2の接合体と、下部硝子基板3および側面電極4の接合体とを組み合わせる際には、側面電極4をフレーム14や錘体16と接触しないようにして、微小な可動隙間19に挿入しなければならない。
この組み立て時にフレーム14や錘体16に接触してしまうと、側面電極4が破損してしまうおそれがある。
このような不具合が生じた場合、加速度センサの製造工程における歩留まり率が低下し、生産効率が低下するおそれがある。
そこで、このような加速度センサの組み立て時に生じる不具合を解消するために、図3に示すような位置決めガイド5を設けるようにしてもよい。
詳しくは、下部硝子基板3における、適切な位置に組み立てられた際にフレーム14の内壁面と接する位置に、位置決めガイド5を設ける。
この位置決めガイド5は、側面電極4の外側の領域に、下部硝子基板3と直角をなすように固定された板状の部材である。
位置決めガイド5は、フレーム14の内壁面に沿って接触(内接)するように、即ち、フレーム14の内側に配設される位置に設けられている。
位置決めガイド5は、その高さ方向(z軸方向)において、端部が梁15と接触しないように、さらに、梁15の撓み時や捩れ時においてもその端部が梁15と接触しないように構成されている。または、梁15の形成位置を避けた位置に設けられている。
詳しくは、下部硝子基板3における、適切な位置に組み立てられた際にフレーム14の内壁面と接する位置に、位置決めガイド5を設ける。
この位置決めガイド5は、側面電極4の外側の領域に、下部硝子基板3と直角をなすように固定された板状の部材である。
位置決めガイド5は、フレーム14の内壁面に沿って接触(内接)するように、即ち、フレーム14の内側に配設される位置に設けられている。
位置決めガイド5は、その高さ方向(z軸方向)において、端部が梁15と接触しないように、さらに、梁15の撓み時や捩れ時においてもその端部が梁15と接触しないように構成されている。または、梁15の形成位置を避けた位置に設けられている。
そして、図3に示すように、可動部構造体1および上部硝子基板2の接合体と、下部硝子基板3および側面電極4の接合体とを組み合わせる際に、位置決めガイド5をフレーム14に合わせることにより、位置決めガイド5がストッパとして機能する。
これにより、組み立て時における可動部構造体1に対する下部硝子基板3の位置ずれを抑止することができる。
さらに、位置決めガイド5がz軸方向の長さ(高さ)を有している場合には、側面電極4を可動隙間19に挿入する際におけるフレーム14や錘体16への接触を適切に抑制することができる。
また、位置決めガイド5には、装置を用いて自動組み立てをする際の基準点を示すマーカとしての機能を持たせることができる。
これにより、組み立て時における可動部構造体1に対する下部硝子基板3の位置ずれを抑止することができる。
さらに、位置決めガイド5がz軸方向の長さ(高さ)を有している場合には、側面電極4を可動隙間19に挿入する際におけるフレーム14や錘体16への接触を適切に抑制することができる。
また、位置決めガイド5には、装置を用いて自動組み立てをする際の基準点を示すマーカとしての機能を持たせることができる。
位置決めガイド5は、x軸方向およびy軸方向における位置ずれの発生を適切に抑制するために、フレーム14を構成する4つの壁面の全てに内接するように、4箇所に設けることが望ましい。
また、この位置決めガイド5においても側面電極4と同等の下部硝子基板3上の位置決め精度が要求される。そのため、位置決めガイド5は、側面電極4を形成する段階において、側面電極4と同時にシリコン基板をエッチングすることによって形成することが望ましい。
このように、側面電極4と同時に形成することにより、容易に位置決めガイド5を形成するとができる。
なお、位置決めガイド5は、その高さ方向(z軸方向)において、端部が梁15と接触する位置に達するまで延長して形成してもよい。この場合には、梁15における弾性(撓み)特性、即ちヤング率は、位置決めガイド5の端部と梁15が非接触状態にある場合と異なる(変化する)ため、梁15は、予め位置決めガイド5の端部と梁15の接触時のヤング率を考慮した値で設計する。
また、この位置決めガイド5においても側面電極4と同等の下部硝子基板3上の位置決め精度が要求される。そのため、位置決めガイド5は、側面電極4を形成する段階において、側面電極4と同時にシリコン基板をエッチングすることによって形成することが望ましい。
このように、側面電極4と同時に形成することにより、容易に位置決めガイド5を形成するとができる。
なお、位置決めガイド5は、その高さ方向(z軸方向)において、端部が梁15と接触する位置に達するまで延長して形成してもよい。この場合には、梁15における弾性(撓み)特性、即ちヤング率は、位置決めガイド5の端部と梁15が非接触状態にある場合と異なる(変化する)ため、梁15は、予め位置決めガイド5の端部と梁15の接触時のヤング率を考慮した値で設計する。
位置決めガイド5は、錘体16と側面電極4との相対的な位置決めを行うための位置決め手段(ガイド部)として機能する。
位置決め手段は、上述した位置決めガイド5に限定されるものではなく、錘体16と側面電極4との相対的な位置決めを行うことが可能な構成を有するものであればよい。例えば、フレーム14を嵌合させる下部硝子基板3に設けられた案内溝であってもよい。
このような位置決め手段を設けることにより、可動部構造体1と下部硝子基板3を接合(陽極接合)する際の位置ずれを防止することができる。
位置決め手段は、上述した位置決めガイド5に限定されるものではなく、錘体16と側面電極4との相対的な位置決めを行うことが可能な構成を有するものであればよい。例えば、フレーム14を嵌合させる下部硝子基板3に設けられた案内溝であってもよい。
このような位置決め手段を設けることにより、可動部構造体1と下部硝子基板3を接合(陽極接合)する際の位置ずれを防止することができる。
本実施の形態によれば、錘体16の姿勢変化をz軸方向に形成された静電容量素子(固定電極21と端面可動電極)における静電容量の変化だけでなく、x軸およびy軸方向に形成された静電容量素子(側面電極4と側面可動電極)における静電容量の変化に基づいて検出することができるため、作用する加速度の検出精度(検出感度)を向上させることができる。
また、本実施の形態によれば、側面電極4を可動部構造体1とは別の構造体として構成することにより、側面電極4と側面可動電極とのギャップ長αをエッチング処理で形成されるギャップ長よりも狭い間隔(短いギャップ長)に設定することができる。
これにより、側面電極4と側面可動電極により形成される静電容量素子の初期状態における静電容量を増大することができるため、錘体16の姿勢変化の検出精度を向上させることができる。従って、加速度センサにおける加速度の検出精度(検出感度)を向上させることができる。
また、本実施の形態によれば、側面電極4を可動部構造体1とは別の構造体として構成することにより、側面電極4と側面可動電極とのギャップ長αをエッチング処理で形成されるギャップ長よりも狭い間隔(短いギャップ長)に設定することができる。
これにより、側面電極4と側面可動電極により形成される静電容量素子の初期状態における静電容量を増大することができるため、錘体16の姿勢変化の検出精度を向上させることができる。従って、加速度センサにおける加速度の検出精度(検出感度)を向上させることができる。
次に、上述した加速度センサにおける側面電極4を用いて錘体16の姿勢変化を検出する技術を応用した角速度センサについて説明する。
なお、本実施の形態に係る角速度センサも上述した加速度センサと同様に、可動部構造体100、上部硝子基板200、下部硝子基板300を備え、可動部構造体100を上部硝子基板200および下部硝子基板300によって上下方向から挟み込んだ3層構造となっている。
図4は、本実施の形態に係る角速度センサにおける可動部構造体100を上部硝子基板200側から見た平面図である。なお、破線で示した部位は、下部硝子基板300上に形成されている側面電極40および位置決めガイド50を示す。
なお、本実施の形態に係る角速度センサも上述した加速度センサと同様に、可動部構造体100、上部硝子基板200、下部硝子基板300を備え、可動部構造体100を上部硝子基板200および下部硝子基板300によって上下方向から挟み込んだ3層構造となっている。
図4は、本実施の形態に係る角速度センサにおける可動部構造体100を上部硝子基板200側から見た平面図である。なお、破線で示した部位は、下部硝子基板300上に形成されている側面電極40および位置決めガイド50を示す。
可動部構造体100は、SOI基板から形成され、このSOI基板をエッチング処理することにより、フレーム140、梁150、錘体160が形成されている。
フレーム140は、錘体160を囲むように可動部構造体100の周縁部に設けられた固定部であり、可動部構造体100の枠組みを構成する。
梁150は、錘体160の中心から放射方向に(フレーム140の方向に)十字方向に延びる4つの帯状の薄部材であり、可撓性を有している。この梁150は、錘体160をフレーム140に対して弾性支持する機能を有している。
フレーム140は、錘体160を囲むように可動部構造体100の周縁部に設けられた固定部であり、可動部構造体100の枠組みを構成する。
梁150は、錘体160の中心から放射方向に(フレーム140の方向に)十字方向に延びる4つの帯状の薄部材であり、可撓性を有している。この梁150は、錘体160をフレーム140に対して弾性支持する機能を有している。
錘体160は、4つの梁150によってフレーム140に固定された質量体であり、中央部に位置する角柱状の錘部161、この錘部161の4隅にそれぞれバランスを保って配設された角柱状の錘部162〜165から構成されている。なお、錘部161〜165は、連続した固体として一体に形成されている。
梁150の下面(下部硝子基板300との対向面)および錘体160の底面、即ち下面(下部硝子基板300との対向面)と下部硝子基板300との間には、錘体160を可動にするための空間である可動隙間が形成されている。
さらに、錘体160の周部においても、錘体160を可動にするための空間である可動隙間190が形成されている。下部硝子基板300は、この可動隙間190を封止するように接合されている。
錘体160は、梁150の作用により、外部より加わる力により振動させたり、捩れる動きが可能となっている。
梁150の下面(下部硝子基板300との対向面)および錘体160の底面、即ち下面(下部硝子基板300との対向面)と下部硝子基板300との間には、錘体160を可動にするための空間である可動隙間が形成されている。
さらに、錘体160の周部においても、錘体160を可動にするための空間である可動隙間190が形成されている。下部硝子基板300は、この可動隙間190を封止するように接合されている。
錘体160は、梁150の作用により、外部より加わる力により振動させたり、捩れる動きが可能となっている。
また、可動部構造体100には、電気接点であるコンタクト170が設けられている。コンタクト170は、可動部構造体100の中心に設けられた導通用のピンまたはスルーホールによって形成されている。
このコンタクト170は、錘体160において、SOI基板の酸化膜層の上層と下層のシリコン層を電気的に接続し、同電位状態とするためのものである。
このコンタクト170は、錘体160において、SOI基板の酸化膜層の上層と下層のシリコン層を電気的に接続し、同電位状態とするためのものである。
図5(a)は、本実施の形態に係る角速度センサにおける下部硝子基板300を可動部構造体100側から見た平面図である。
下部硝子基板300には、図5(a)に示すように複数の電極が設けられている。
詳しくは、錘部161を中心として十字方向に延びる駆動電極321、錘体160における錘部162〜165と対向する位置にそれぞれ設けられた検出電極322〜325が設けられている。
駆動電極321および検出電極322〜325には、それぞれ電極を下部硝子基板300の外側へ引き出すための電極パッド331〜335が設けられている。この電極パッド331〜335を介して、駆動電極321および検出電極322〜325が外部配線と接続されるようになっている。
また、下部硝子基板300には、可動部構造体100におけるグランドレベル(接地レベル)の電位を保持するための電極パッド336が設けられている。
下部硝子基板300には、図5(a)に示すように複数の電極が設けられている。
詳しくは、錘部161を中心として十字方向に延びる駆動電極321、錘体160における錘部162〜165と対向する位置にそれぞれ設けられた検出電極322〜325が設けられている。
駆動電極321および検出電極322〜325には、それぞれ電極を下部硝子基板300の外側へ引き出すための電極パッド331〜335が設けられている。この電極パッド331〜335を介して、駆動電極321および検出電極322〜325が外部配線と接続されるようになっている。
また、下部硝子基板300には、可動部構造体100におけるグランドレベル(接地レベル)の電位を保持するための電極パッド336が設けられている。
さらに、下部硝子基板300には、上述した加速度センサと同様に、側面電極40が設けられている。
側面電極40は、下部硝子基板300と直角をなすように固定された、シリコン基板により形成された板状の電極であり、錘体160とフレーム140との間に形成された可動隙間190に、錘体160の側面と対向する向きに設けられている。
詳しくは、隣接する錘部162〜165との隙間を除く、錘部162〜165の外側面と対向する位置にギャップ長αの隙間を介して設けられている。
なお、錘体160と側面電極40のギャップ長αは、上述した加速度センサと同様に、
(ギャップ長α)<(錘体厚β)/(最大アスペクト比)
この関係を満たす値に設定されている。だたし、錘体厚βは、錘体160のz軸方向の長さを示す。
側面電極40は、下部硝子基板300と直角をなすように固定された、シリコン基板により形成された板状の電極であり、錘体160とフレーム140との間に形成された可動隙間190に、錘体160の側面と対向する向きに設けられている。
詳しくは、隣接する錘部162〜165との隙間を除く、錘部162〜165の外側面と対向する位置にギャップ長αの隙間を介して設けられている。
なお、錘体160と側面電極40のギャップ長αは、上述した加速度センサと同様に、
(ギャップ長α)<(錘体厚β)/(最大アスペクト比)
この関係を満たす値に設定されている。だたし、錘体厚βは、錘体160のz軸方向の長さを示す。
側面電極40は、陽極接合により下部硝子基板300に接合されている。
また、側面電極40と下部硝子基板300との接合面には、それぞれ電極を下部硝子基板300の外側へ引き出すための電極パッド41が設けられている。この電極パッド41を介して、側面電極40が外部配線と接続されるようになっている。
さらに、下部硝子基板300には、上述した加速度センサと同様に、組み立て時に生じる不具合を解消するための位置決め手段として機能する位置決めガイド50が設けられている。
詳しくは、下部硝子基板300において、適切な位置に組み立てられた際にフレーム140の内壁面と接する位置に、位置決めガイド50を設ける。
また、側面電極40と下部硝子基板300との接合面には、それぞれ電極を下部硝子基板300の外側へ引き出すための電極パッド41が設けられている。この電極パッド41を介して、側面電極40が外部配線と接続されるようになっている。
さらに、下部硝子基板300には、上述した加速度センサと同様に、組み立て時に生じる不具合を解消するための位置決め手段として機能する位置決めガイド50が設けられている。
詳しくは、下部硝子基板300において、適切な位置に組み立てられた際にフレーム140の内壁面と接する位置に、位置決めガイド50を設ける。
この位置決めガイド50は、フレーム140と内接する4隅の部位に、下部硝子基板300と直角をなすように固定された、板状部材をL字(くの字)形状に加工した部材である。
位置決めガイド50は、フレーム140の4隅の内壁面に沿って接触(内接)するように、即ち、フレーム140の内側に配設される位置に設けられている。
位置決めガイド50は、その高さ方向(z軸方向)において、端部が梁150と接触しないように、さらに、梁150の撓み時や捩れ時においてもその端部が梁150と接触しないように構成されている。または、梁150の形成位置を避けた位置に設けられている。
位置決めガイド50は、フレーム140の4隅の内壁面に沿って接触(内接)するように、即ち、フレーム140の内側に配設される位置に設けられている。
位置決めガイド50は、その高さ方向(z軸方向)において、端部が梁150と接触しないように、さらに、梁150の撓み時や捩れ時においてもその端部が梁150と接触しないように構成されている。または、梁150の形成位置を避けた位置に設けられている。
図5(b)は、本実施の形態に係る角速度センサにおける下部硝子基板300を外側面側から見た平面図である。
上述した、電極パッド41、331〜336の形成部位には、下部硝子基板300の厚み方向に貫通するスルーホールが設けられている。これらのスルーホールを介して、センサ内の電極およびグランドの配線を角速度センサの外部へ引き出すように構成されている。
角速度センサ(下部硝子基板300)の外側面へ引き出された配線は、スルーホールの下部硝子基板300の外側端部に設けられた電極パッドに接続される。詳しくは、電極パッド41、331〜336と下部硝子基板300を介して対向する電極パッド441、431〜436とがそれぞれ接続される。そして、この電極パッドを介して、図示しない制御部へ接続される。
上述した、電極パッド41、331〜336の形成部位には、下部硝子基板300の厚み方向に貫通するスルーホールが設けられている。これらのスルーホールを介して、センサ内の電極およびグランドの配線を角速度センサの外部へ引き出すように構成されている。
角速度センサ(下部硝子基板300)の外側面へ引き出された配線は、スルーホールの下部硝子基板300の外側端部に設けられた電極パッドに接続される。詳しくは、電極パッド41、331〜336と下部硝子基板300を介して対向する電極パッド441、431〜436とがそれぞれ接続される。そして、この電極パッドを介して、図示しない制御部へ接続される。
次に、角速度センサを構成する上部硝子基板200の構成について説明する。
図6(a)は、本実施の形態に係る角速度センサにおける上部硝子基板200を可動部構造体100側から見た平面図である。
上部硝子基板200における可動部構造体100との対向面には、錘体160の可動用のギャップ(可動隙間)が凹み形成されている。そのため、上部硝子基板200の断面はコの字型の形状をしている。
上部硝子基板200の凹み領域の底面部には、図6(a)に示すように複数の電極が設けられている。
図6(a)は、本実施の形態に係る角速度センサにおける上部硝子基板200を可動部構造体100側から見た平面図である。
上部硝子基板200における可動部構造体100との対向面には、錘体160の可動用のギャップ(可動隙間)が凹み形成されている。そのため、上部硝子基板200の断面はコの字型の形状をしている。
上部硝子基板200の凹み領域の底面部には、図6(a)に示すように複数の電極が設けられている。
詳しくは、錘部161を中心として十字方向に延びる駆動電極221、錘体160における錘部162〜165と対向する位置にそれぞれ設けられた検出電極222〜225が設けられている。
駆動電極221および検出電極222〜225には、それぞれ電極を上部硝子基板200の外側へ引き出すための電極パッド231〜235が設けられている。この電極パッド231〜235を介して、駆動電極221および検出電極222〜225が外部配線と接続されるようになっている。
また、上部硝子基板200には、可動部構造体100におけるグランドレベル(接地レベル)の電位を保持するための電極パッド236が設けられている。
駆動電極221および検出電極222〜225には、それぞれ電極を上部硝子基板200の外側へ引き出すための電極パッド231〜235が設けられている。この電極パッド231〜235を介して、駆動電極221および検出電極222〜225が外部配線と接続されるようになっている。
また、上部硝子基板200には、可動部構造体100におけるグランドレベル(接地レベル)の電位を保持するための電極パッド236が設けられている。
図6(b)は、本実施の形態に係る角速度センサにおける上部硝子基板200を外側面側から見た平面図である。
上述した、電極パッド231〜236の形成部位には、上部硝子基板200の厚み方向に貫通するスルーホール設けられている。これらのスルーホールの内に設けられた引出配線を介して、センサ内の電極およびグランドの配線を角速度センサの外部へ引き出すように構成されている。
角速度センサ(上部硝子基板200)の外側面へ引き出された配線は、スルーホールの上部硝子基板200の外側端部に設けられた電極パッドに接続される。詳しくは、電極パッド231〜236と上部硝子基板200を介して対向する電極パッド531〜536とがそれぞれ接続される。そして、この電極パッドを介して、図示しない制御部へ接続される。
上述した、電極パッド231〜236の形成部位には、上部硝子基板200の厚み方向に貫通するスルーホール設けられている。これらのスルーホールの内に設けられた引出配線を介して、センサ内の電極およびグランドの配線を角速度センサの外部へ引き出すように構成されている。
角速度センサ(上部硝子基板200)の外側面へ引き出された配線は、スルーホールの上部硝子基板200の外側端部に設けられた電極パッドに接続される。詳しくは、電極パッド231〜236と上部硝子基板200を介して対向する電極パッド531〜536とがそれぞれ接続される。そして、この電極パッドを介して、図示しない制御部へ接続される。
次に、このような構成を有する角速度センサにおける角速度の検出動作について説明する。
角速度センサは、駆動電極221と錘体160との間、および駆動電極321と錘体160との間に交流電圧を印加する。但し、錘体160とは、コンタクト170により同電位、詳しくは、グランド電位(接地電位)に保持されている。
そして、駆動電極221と錘体160との間、および駆動電極321と錘体160との間に働く静電力により錘体160を上下振動させる。
上下方向とは、角速度センサを構成する基板の積層方向と同一方向であり、この方向をz方向と定義する。
角速度センサは、駆動電極221と錘体160との間、および駆動電極321と錘体160との間に交流電圧を印加する。但し、錘体160とは、コンタクト170により同電位、詳しくは、グランド電位(接地電位)に保持されている。
そして、駆動電極221と錘体160との間、および駆動電極321と錘体160との間に働く静電力により錘体160を上下振動させる。
上下方向とは、角速度センサを構成する基板の積層方向と同一方向であり、この方向をz方向と定義する。
錘体160を上下振動させるために印加する交流電圧の周波数、即ち、錘体160の振動周波数は、錘体160が共振振動する3kHz程度の共振周波数fに設定されている。 このように、錘体160を共振周波数fで振動させることにより錘体160の大きな変位量を得ることができる。
この速度vで振動している質量mの錘体160の周りに角速度Ωが加わると、錘体160の中心には、“F=2mvΩ”のコリオリ力が錘体160の運動方向に対し直交する方向に発生する。
この速度vで振動している質量mの錘体160の周りに角速度Ωが加わると、錘体160の中心には、“F=2mvΩ”のコリオリ力が錘体160の運動方向に対し直交する方向に発生する。
このコリオリ力Fが発生すると、錘体160にねじれが加わり錘体160の姿勢が変化する。即ち、錘体160の振動の運動方向と直交する面に対して、錘体160が傾く。この錘体160の姿勢の変化(傾き、ねじれ量)を検出することによって、作用する角速度の向きや大きさを検出するようになっている。
錘体160の姿勢の変化は、検出電極222〜225とこれに対向する錘部162〜165とで構成される静電容量素子、検出電極322〜325とこれに対向する錘部162〜165とで構成される静電容量素子、さらに、側面電極40とこれに対向する錘部162〜165とで構成される静電容量素子における静電容量の変化を検出することによって行う。
つまり、固定電極と可動電極との距離の変化を検出することによって錘体160の姿勢の変化を検出する。
錘体160の姿勢の変化は、検出電極222〜225とこれに対向する錘部162〜165とで構成される静電容量素子、検出電極322〜325とこれに対向する錘部162〜165とで構成される静電容量素子、さらに、側面電極40とこれに対向する錘部162〜165とで構成される静電容量素子における静電容量の変化を検出することによって行う。
つまり、固定電極と可動電極との距離の変化を検出することによって錘体160の姿勢の変化を検出する。
なお、静電容量素子の静電容量は、静電容量/電圧変換(C/V変換)回路を用いて電気的に検出することができる。
検出された錘体160の姿勢の変化(傾斜方向、傾斜度合い等)に基づいて発生したコリオリ力Fを検出する。そして、検出されたコリオリ力Fに基づいて、角速度Ωを算出(導出)する。つまり、錘体160の姿勢の変化量を角速度に変換する。
錘体160の姿勢の変化量は、予め制御装置に記憶されている角速度算出プログラムを起動し、所定の演算処理を行うことによって角速度に変換される。
検出された錘体160の姿勢の変化(傾斜方向、傾斜度合い等)に基づいて発生したコリオリ力Fを検出する。そして、検出されたコリオリ力Fに基づいて、角速度Ωを算出(導出)する。つまり、錘体160の姿勢の変化量を角速度に変換する。
錘体160の姿勢の変化量は、予め制御装置に記憶されている角速度算出プログラムを起動し、所定の演算処理を行うことによって角速度に変換される。
本実施の形態によれば、錘体160の姿勢変化をz軸方向に形成された静電容量素子における静電容量の変化(振動方向検出)だけでなく、x軸およびy軸方向に形成された静電容量素子における静電容量の変化(側面方向検出)に基づいて検出することができるため、作用する角速度の検出精度(検出感度)を向上させることができる。
また、本実施の形態によれば、側面電極40を可動部構造体100とは別の構造体として構成することにより、側面電極40と錘部162〜165とのギャップ長αをエッチング処理で形成されるギャップ長よりも狭い間隔(短いギャップ長)に設定することができる。
これにより、側面電極40と錘部162〜165の側面により形成される静電容量素子の初期状態における静電容量を増大することができるため、錘体160の姿勢変化の検出精度を向上させることができる。従って、角速度センサにおける角速度の検出精度(検出感度)を向上させることができる。
また、本実施の形態によれば、側面電極40を可動部構造体100とは別の構造体として構成することにより、側面電極40と錘部162〜165とのギャップ長αをエッチング処理で形成されるギャップ長よりも狭い間隔(短いギャップ長)に設定することができる。
これにより、側面電極40と錘部162〜165の側面により形成される静電容量素子の初期状態における静電容量を増大することができるため、錘体160の姿勢変化の検出精度を向上させることができる。従って、角速度センサにおける角速度の検出精度(検出感度)を向上させることができる。
また、z軸方向に形成された静電容量素子による錘体160の姿勢変化の検出では、検出方向と錘体160の振動方向が同じである。検出する錘体160の傾きが振動運動の影響を受け、つまり、錘体160の傾きを検出した信号に振動運動を検出した信号が重畳してしまうおそれがある。
しかし、本実施の形態によれば、z軸方向の振動の影響を受けにくい錘体160の側面、即ちx軸方向およびy軸方向に形成された側面電極40を用いた静電容量素子の静電容量の変化に基づいて錘体160の姿勢変化(傾き)を検出することができる。これにより、作用する角速度の検出精度(検出感度)を向上させることができる。
しかし、本実施の形態によれば、z軸方向の振動の影響を受けにくい錘体160の側面、即ちx軸方向およびy軸方向に形成された側面電極40を用いた静電容量素子の静電容量の変化に基づいて錘体160の姿勢変化(傾き)を検出することができる。これにより、作用する角速度の検出精度(検出感度)を向上させることができる。
上述した角速度センサでは、角速度を検出するために、駆動電極221と錘体160との間、および駆動電極321と錘体160との間に交流電圧を印加し、錘体160をz軸方向に振動させる構成となっている。
しかし、角速度を検出するための錘体160の振動方法はこれに限られるものではない。
例えば、x軸方向またはy軸方向に形成された側面電極40とこれに対向する錘部162〜165とで形成される静電容量素子に交流電圧を印加する。即ち、上述した側面電極40を駆動電極として用いる。このようにして、錘体160をx軸方向またはy軸方向に振動させる。
そして、z軸方向に形成された静電容量素子、詳しくは、検出電極222〜225とこれに対向する錘部162〜165とで構成される静電容量素子、検出電極322〜325とこれに対向する錘部162〜165とで構成される静電容量素子における静電容量の変化に基づいて錘体160の姿勢変化を検出する。
しかし、角速度を検出するための錘体160の振動方法はこれに限られるものではない。
例えば、x軸方向またはy軸方向に形成された側面電極40とこれに対向する錘部162〜165とで形成される静電容量素子に交流電圧を印加する。即ち、上述した側面電極40を駆動電極として用いる。このようにして、錘体160をx軸方向またはy軸方向に振動させる。
そして、z軸方向に形成された静電容量素子、詳しくは、検出電極222〜225とこれに対向する錘部162〜165とで構成される静電容量素子、検出電極322〜325とこれに対向する錘部162〜165とで構成される静電容量素子における静電容量の変化に基づいて錘体160の姿勢変化を検出する。
また、側面電極40を駆動電極として用いることにより、錘体160をx軸方向またはy軸方向に振動させることができる。これに、錘体160をz軸方向に振動させることができる駆動電極221、321の作用を合わせることにより、錘体160を直交する2軸方向において振動させることができる。
これにより、振動方向を一定の周期で変えながら振動方向(駆動方向)に対応した軸方向における錘体160の姿勢変化を検出することができる。このような時分割制御を行うことにより、簡単な構成で3軸方向の角速度の検出が可能な角速度センサを構成することができる。
これにより、振動方向を一定の周期で変えながら振動方向(駆動方向)に対応した軸方向における錘体160の姿勢変化を検出することができる。このような時分割制御を行うことにより、簡単な構成で3軸方向の角速度の検出が可能な角速度センサを構成することができる。
次に、本実施の形態に係る角速度センサの変形例について説明する。
図7(a)は、本実施の形態に係る角速度センサの変形例を示した図である。なお、上述した角速度センサと重複する箇所には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
また、図7(b)は、図7(a)におけるA部(櫛歯構造)の詳細を示した拡大図である。
角速度センサの変形例では、上述した角速度センサにおける側面電極40とこれに対向する錘部162〜165とで構成される静電容量素子における静電容量を増やすために、電極間に櫛歯構造を用いている。
図7(a)は、本実施の形態に係る角速度センサの変形例を示した図である。なお、上述した角速度センサと重複する箇所には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
また、図7(b)は、図7(a)におけるA部(櫛歯構造)の詳細を示した拡大図である。
角速度センサの変形例では、上述した角速度センサにおける側面電極40とこれに対向する錘部162〜165とで構成される静電容量素子における静電容量を増やすために、電極間に櫛歯構造を用いている。
詳しくは、図7(a)、(b)に示すように、隣接する錘部162〜165との隙間を除く、錘体160’を構成する錘部162’〜165’の外側面に複数の溝部120が形成されている。
溝部120は、錘部162’〜165’の外側面に形成された、z軸方向(錘部162〜165の厚み方向)に延び、x軸方向またはy軸方向の深さを有する凹みである。
溝部120は、錘部162’〜165’の外側面に沿って、x軸方向またはy軸方向に等間隔に複数形成されている。
そして、隣り合う溝部120によって、凸出部130が形成されている。
なお、溝部120は、凹部として機能する。
溝部120は、錘部162’〜165’の外側面に形成された、z軸方向(錘部162〜165の厚み方向)に延び、x軸方向またはy軸方向の深さを有する凹みである。
溝部120は、錘部162’〜165’の外側面に沿って、x軸方向またはy軸方向に等間隔に複数形成されている。
そして、隣り合う溝部120によって、凸出部130が形成されている。
なお、溝部120は、凹部として機能する。
また、側面電極40’における錘部162’〜165’との対向面に複数の溝部60が形成されている。
溝部60は、側面電極40’における錘部162’〜165’との対向面に形成された、z軸方向に延び、x軸方向またはy軸方向の深さを有する凹みである。
溝部60は、側面電極40’における錘部162’〜165’との対向面に沿って、x軸方向またはy軸方向に等間隔に複数形成されている。
そして、隣り合う溝部60によって、凸出部70が形成されている。
なお、凸出部70は、凸部として機能する。
溝部60は、側面電極40’における錘部162’〜165’との対向面に形成された、z軸方向に延び、x軸方向またはy軸方向の深さを有する凹みである。
溝部60は、側面電極40’における錘部162’〜165’との対向面に沿って、x軸方向またはy軸方向に等間隔に複数形成されている。
そして、隣り合う溝部60によって、凸出部70が形成されている。
なお、凸出部70は、凸部として機能する。
錘部162’〜165’および側面電極40’に設けられた溝部120、60、および凸出部130、70は、それぞれの対向する部位が所定の間隔を介して互いに噛み合うように配設されている。
詳しくは、錘部162’〜165’の溝部120と側面電極40’の凸出部70、錘部162’〜165’の凸出部130と側面電極40’の溝部60とが互いに噛み合うように配設されている。
対向する溝部の底面と、凸出部の端面との間には、ギャップ長αの隙間が設けられている。また、対向する溝部の側面と、凸出部の側面との間にも、ギャップ長αの隙間が設けられている。
なお、ギャップ長αは、上述した加速度センサ、角速度センサと同様に、
(ギャップ長α)<(錘体厚β)/(最大アスペクト比)
この関係を満たす値に設定されている。だたし、錘体厚βは、錘体160のz軸方向の長さ示す。本実施の形態に係る角速度センサにおいては、ギャップ長αは、3〜5μm程度に設定されている。
詳しくは、錘部162’〜165’の溝部120と側面電極40’の凸出部70、錘部162’〜165’の凸出部130と側面電極40’の溝部60とが互いに噛み合うように配設されている。
対向する溝部の底面と、凸出部の端面との間には、ギャップ長αの隙間が設けられている。また、対向する溝部の側面と、凸出部の側面との間にも、ギャップ長αの隙間が設けられている。
なお、ギャップ長αは、上述した加速度センサ、角速度センサと同様に、
(ギャップ長α)<(錘体厚β)/(最大アスペクト比)
この関係を満たす値に設定されている。だたし、錘体厚βは、錘体160のz軸方向の長さ示す。本実施の形態に係る角速度センサにおいては、ギャップ長αは、3〜5μm程度に設定されている。
ここで、このような櫛歯構造を有する側面電極40’と錘部162’〜165’とにより構成される静電容量素子の静電容量の変化と、錘体160’の姿勢変化の関係について説明する。
ここでは、錘体160’のx軸方向における姿勢変化を検出するための、図7(b)に示す錘部165’と側面電極40’とにより形成される静電容量素子を例にとり説明する。
錘体160’に外力が作用し、錘部165’がx軸の+方向(図面右方向)に移動した場合(傾いた場合)、対向する溝部の底面と、凸出部の端面との間隔、即ち図7(b)に示すdxは、小さくなる。
すると、錘部165’と側面電極40’とにより形成される静電容量素子の電極間の距離、即ちギャップ長が短くなる。
さらに、対向する溝部の側面と凸出部の側面との重なり領域a(斜線に示す領域)、即ち対向する溝部の側面と凸出部の側面が電極として機能する領域の面積が大きくなる。
従って、錘部165’と側面電極40’とにより形成される静電容量素子の静電容量は増大する方向に変化する。
ここでは、錘体160’のx軸方向における姿勢変化を検出するための、図7(b)に示す錘部165’と側面電極40’とにより形成される静電容量素子を例にとり説明する。
錘体160’に外力が作用し、錘部165’がx軸の+方向(図面右方向)に移動した場合(傾いた場合)、対向する溝部の底面と、凸出部の端面との間隔、即ち図7(b)に示すdxは、小さくなる。
すると、錘部165’と側面電極40’とにより形成される静電容量素子の電極間の距離、即ちギャップ長が短くなる。
さらに、対向する溝部の側面と凸出部の側面との重なり領域a(斜線に示す領域)、即ち対向する溝部の側面と凸出部の側面が電極として機能する領域の面積が大きくなる。
従って、錘部165’と側面電極40’とにより形成される静電容量素子の静電容量は増大する方向に変化する。
一方、錘体160’に外力が作用し、錘部165’がx軸の−方向(図面左方向)に移動した場合(傾いた場合)、対向する溝部の底面と、凸出部の端面との間隔、即ち図7(b)に示すdxは、大きくなる。
すると、錘部165’と側面電極40’とにより形成される静電容量素子の電極間の距離、即ちギャップ長が長くなる。
さらに、対向する溝部の側面と凸出部の側面との重なり領域a(斜線に示す領域)、即ち対向する溝部の側面と凸出部の側面が電極として機能する領域の面積が小さくなる。
従って、錘部165’と側面電極40’とにより形成される静電容量素子の静電容量は減少する方向に変化する。
すると、錘部165’と側面電極40’とにより形成される静電容量素子の電極間の距離、即ちギャップ長が長くなる。
さらに、対向する溝部の側面と凸出部の側面との重なり領域a(斜線に示す領域)、即ち対向する溝部の側面と凸出部の側面が電極として機能する領域の面積が小さくなる。
従って、錘部165’と側面電極40’とにより形成される静電容量素子の静電容量は減少する方向に変化する。
なお、錘部165’がy軸の+方向(図面上方向)またはy軸の−方向(図面下方向)に移動した場合においても、対向する溝部の側面と、凸出部の側面との間隔、即ち図7(b)に示すdyは変化する。
しかし、対向する溝部の側面と、凸出部の側面との間隔の合計値は、初期状態におけるギャップ長αの設定値に基づく固定値であるため、隣り合うdyの変化量は互いに打ち消される(キャンセルされる)。
従って、錘部165’がy軸の+方向(図面上方向)またはy軸の−方向(図面下方向)に移動した場合には、静電容量の変化は起こらない。
これにより、錘体160’のx軸方向における姿勢変化を検出するための静電容量素子は、y軸方向の姿勢変化の影響を受けることなく、適切にx軸方向における錘体160’の姿勢変化を検出することができる。
しかし、対向する溝部の側面と、凸出部の側面との間隔の合計値は、初期状態におけるギャップ長αの設定値に基づく固定値であるため、隣り合うdyの変化量は互いに打ち消される(キャンセルされる)。
従って、錘部165’がy軸の+方向(図面上方向)またはy軸の−方向(図面下方向)に移動した場合には、静電容量の変化は起こらない。
これにより、錘体160’のx軸方向における姿勢変化を検出するための静電容量素子は、y軸方向の姿勢変化の影響を受けることなく、適切にx軸方向における錘体160’の姿勢変化を検出することができる。
1 可動部構造体
2 上部硝子基板
3 下部硝子基板
4 側面電極
5 位置決めガイド
11 シリコン層
12 酸化膜層
13 シリコン層
14 フレーム
15 梁
16 錘体
17 可動隙間
18 可動隙間
19 可動隙間
20 コンタクト
21 固定電極
22 スルーホール
23 電極パッド
31 スルーホール
32 電極パッド
40 側面電極
41 電極パッド
50 位置決めガイド
60 溝部
70 凸出部
100 可動部構造体
112 梁
113 錘体
120 溝部
130 凸出部
140 フレーム
150 梁
160 錘体
161 錘部
162〜165 錘部
170 コンタクト
190 可動隙間
200 上部硝子基板
221 駆動電極
222〜225 検出電極
231〜236 電極パッド
300 下部硝子基板
321 駆動電極
322〜325 検出電極
331〜335 電極パッド
336 電極パッド
2 上部硝子基板
3 下部硝子基板
4 側面電極
5 位置決めガイド
11 シリコン層
12 酸化膜層
13 シリコン層
14 フレーム
15 梁
16 錘体
17 可動隙間
18 可動隙間
19 可動隙間
20 コンタクト
21 固定電極
22 スルーホール
23 電極パッド
31 スルーホール
32 電極パッド
40 側面電極
41 電極パッド
50 位置決めガイド
60 溝部
70 凸出部
100 可動部構造体
112 梁
113 錘体
120 溝部
130 凸出部
140 フレーム
150 梁
160 錘体
161 錘部
162〜165 錘部
170 コンタクト
190 可動隙間
200 上部硝子基板
221 駆動電極
222〜225 検出電極
231〜236 電極パッド
300 下部硝子基板
321 駆動電極
322〜325 検出電極
331〜335 電極パッド
336 電極パッド
Claims (6)
- フレームと、
前記フレーム内に配設され、第1の端面と、前記第1の端面と対向する第2の端面と、前記フレームの内壁と対向し前記第1の端面と直交する側面と、を有する錘部と、
前記フレームと前記錘部とに固定された可撓性を有する梁部と、
前記側面と対向し、前記錘体と別体に形成された側面電極と、
前記側面と前記側面電極とにより形成された第1の静電容量素子の静電容量の変化に基づいて、前記錘部の姿勢変化を検出する検出手段と、
前記検出手段で検出された前記錘部の姿勢の変化量を力学量に変換する変換手段と、
を備えたことを特徴とする力学量センサ。 - 前記側面電極は、所定のエッチング処理における最大アスペクト比をγとし、前記第1の端面と前記第2の端面との間隔をβとした場合、α<(β/γ)の関係を満たす間隔αを介して前記側面と対向することを特徴とする請求項1記載の力学量センサ。
- 前記側面電極における前記錘部の側面との対向面に、前記第1の端面と直交する方向に延びる凹部が前記凹部の幅方向に等間隔に形成され、
前記錘部における前記側面電極との対向面に、前記凹部と隙間を介して掛合する凸部が形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の力学量センサ。 - 前記側面電極と前記錘部との相対的な位置を決める位置決め手段を備えたことを特徴とする請求項1、請求項2または請求項3記載の力学量センサ。
- 前記第1の端面と隙間を介して対向する固定電極を備え、
前記検出手段は、前記固定電極と前記錘部とにより形成された第2の静電容量素子の静電容量の変化に基づいて、前記錘部の姿勢変化を検出することを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3または請求項4に記載の力学量センサ。 - 前記錘部を前記第1の端面と直交する向きに、所定の周期で振動させる振動手段を備え、
前記検出手段は、前記錘部の振動方向と直交する面に対する前記錘部の傾きを検出し、
前記変換手段は、前記錘部の傾き量を角速度に変換することを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4または請求項5に記載の力学量センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005039227A JP2006226770A (ja) | 2005-02-16 | 2005-02-16 | 力学量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005039227A JP2006226770A (ja) | 2005-02-16 | 2005-02-16 | 力学量センサ |
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---|---|
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2005039227A Pending JP2006226770A (ja) | 2005-02-16 | 2005-02-16 | 力学量センサ |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006226770A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2005
- 2005-02-16 JP JP2005039227A patent/JP2006226770A/ja active Pending
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