JPWO2010092806A1 - 慣性力センサとそれに用いる検出素子 - Google Patents

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Abstract

慣性力センサ用検出素子は、質量部と、励振部と、検出部とを有する。励振部は、互いに直交する第1方向、第2方向、第3方向のうち、第3方向に質量部を励振させる。検出部は、第1方向、第2方向の少なくともいずれかの方向への質量部の変位に応じた信号を出力する。第1方向および第2方向の共振周波数Fsx,Fsyは、第3方向の共振周波数Fzdよりも大きく設定されている。

Description

本発明は、航空機、自動車、ロボット、船舶等の移動体の姿勢制御や、ゲーム機やナビゲーションの位置検出等、各種電子機器に用いられる慣性力センサとそれに用いる検出素子に関する。
以下、従来の慣性力センサの一つである角速度センサについて説明する。従来の角速度センサは、音さ形状やH形状やT形状や円盤形状等の検出素子を有する。この検出素子を振動させ、コリオリ力の発生に伴う検出素子の歪を電気的に検知して角速度を検出する。例えば、互いに略直交したX軸とY軸とZ軸において、X軸とY軸とのXY平面に車両を配置した場合、ナビゲーション装置用の角速度センサでは、車両のZ軸周りの角速度を検出している。
図11は従来の角速度センサの検出素子の斜視図、図12は図11の12−12線における断面図である。検出素子51は音さ形状であって、2本のアーム52(52A、52B)と、アーム52を連結した基部53とを有する。
アーム52にはそれぞれ、アーム52を駆動振動させる駆動電極54や角速度に起因したアーム52の歪を感知する感知電極55が配置されている。例えば、各々の駆動電極54や感知電極55は圧電体56を介在させた上部電極57と下部電極58から形成されている。
検出素子51は、例えば、XY平面に対してZ軸方向に立てて配置される。この状態でアーム52をX軸方向に駆動振動させ、Z軸周りの角速度に起因した歪をアーム52で感知する。この検出により、Z軸周りの角速度が検出される。アーム52の駆動振動面(XZ平面)とアーム52の歪面(YZ平面)とは互いに直交しており、アーム52Aとアーム52Bでは歪の方向が逆である。例えば、アーム52AがY軸の正方向に歪めば、アーム52BはY軸の負方向に歪む。このような角速度センサは例えば、特許文献1に開示されている。
一般的に、角速度を検出する際、励振用の周波数と感知用の周波数との周波数差(離調周波数)を小さくする方が、感知用電極55の感度を向上できるので有利である。このようにすれば、結果として角速度の検出感度も向上する。また、励振用の周波数と感知用の周波数は、それぞれ、検出素子51の共振周波数になるように設計される。しかしながらこれだけの指標に基づいて検出素子51を設計すると充分なゲインが得られない場合がある。
特開2001−208546号公報
本発明は検出軸の慣性力を検出する場合のゲインを高め、感度特性を向上した検出素子とそれを用いた慣性力センサである。本発明の慣性力センサ用検出素子は質量部と、励振部と、検出部とを有する。励振部は互いに直交する第1方向、第2方向、第3方向のうち、第3方向に質量部を励振させる。検出部は第1方向、第2方向の少なくともいずれかの方向への質量部の変位に応じた信号を出力する。第1方向および第2方向の共振周波数は前記第3方向の共振周波数よりも大きく設定されている。
この構成により、第1方向回りや第2方向回りの慣性力を検出する際に、検出感度の感度効率を向上できるとともに、検出感度のバラツキを抑制できる。よって、感度特性を向上できる。
図1は本発明の実施の形態における慣性力センサの一つである角速度センサの検出素子の斜視図である。 図2Aは図1に示す検出素子の部分断面図である。 図2Bは図1に示す他の検出素子の断面図である。 図3は本発明の実施の形態における慣性力センサのブロック図である。 図4は図1に示す検出素子の動作状態図である。 図5は角速度センサの検出素子の共振アドミタンス特性波を示す図である。 図6は本実施の形態における検出素子の共振アドミタンス特性波を示す図である。 図7は本実施の形態における角速度センサの処理回路における角速度の算出処理の一例を説明するための図である。 図8は本実施の形態における慣性力センサの他の検出素子の斜視図である。 図9は本実施の形態における慣性力センサの他の検出素子の上面図である。 図10は本実施の形態における慣性力センサの他の検出素子の断面図である。 図11は従来の角速度センサの検出素子の斜視図である。 図12は図11の12−12線における断面図である。
図1は本発明の実施の形態における慣性力センサの一つである角速度センサの検出素子の斜視図である。図2Aは図1に示す検出素子の部分断面図である。図3は本発明の実施の形態における角速度センサのブロック図である。図4は図1に示す検出素子の動作状態図である。
図3に示すように、この角速度センサは検出素子1と駆動部81と処理回路82とを有する。検出素子1は図1に示すように、支持部6から左右(Z軸方向)に伸びる2本の第1アーム2(2A、2B)と、各第1アーム2の支持部6側から上下(Y軸方向)に伸びる2本の第2アーム4とを有する。第1アーム2Aから伸びる第2アーム4は上側の第2アーム41Aと下側の第2アーム42Aで構成され、第1アーム2Bから伸びる第2アーム4は上側の第2アーム41Bと下側の第2アーム42Bで構成されている。このようにこの検出素子1は第1アーム2と第2アーム4とを直交方向に連結して形成した2つの直交アームを有する。この2つの直交アームでは、第1アーム2の一端が支持部6にて互いに連結されている。
また第1アーム2の他端は基板に実装するための実装用アーム8(8A、8B)に連結されている。2つの第1アーム2と支持部6とは一直線上に配置され、実装用アーム8は第1アーム2に対して直交するように配置されている。すなわち、第1アーム2A、2Bと支持部6とは一直線上に配置されている。そして実装用アーム8A、8Bは第1アーム2A、2Bに対して直交するように配置されている。
また、第2アーム4は互いに非常に近接するように配置され、実装用アーム8に近づくようにU字形状に折曲し、その先端には質量部10が形成されている。すなわち、第2アーム41Aと第2アーム41B、第2アーム42Aと第2アーム42Bは互いに非常に近接するように配置されている。そして第2アーム41A、41Bは実装用アーム8Aに近づくようにU字形状に折曲し、第2アーム41B、42Bは実装用アーム8Bに近づくようにU字形状に折曲している。さらに第2アーム41A、41B、41B、42Bの先端にはそれぞれ質量部101A、102A、101B、102Bが形成されている。
検出素子1は、質量部10と、励振部と、検出部とを有する。励振部は、互いに直交するX軸方向、Y軸方向、Z軸方向のうち、Z軸方向に質量部10を励振させる。検出部は、X軸方向、Y軸方向の少なくともいずれかの方向への質量部10の変位を検出する。角速度を検出する際、質量部10の励振方向がZ軸方向である時、処理回路82は、質量部10のY軸方向への変位に基づく検出部からの出力によりX軸回りの角速度を検出する。また質量部10のX軸方向への変位に基づく検出部からの出力によりY軸回りの角速度を検出する。
具体的には、励振部は、Y軸の正側に配置された第2アーム4である第2アーム41A、41Bの支持部6側にそれぞれ、第1励振用電極12、第2励振用電極14を配置して形成されている。一方、検出部は、Y軸の負側に配置された第2アーム4である第2アーム42A、42Bの支持部6側にそれぞれ、第1感知用電極16、第2感知用電極18を配置して形成されている。第1感知用電極16は第2アーム42Aの歪を感知し、第2感知用電極18は第2アーム42Bの歪を感知する。励振部、検出部は検出素子1のYZ平面上に形成される。
また、検出素子1は、電極パッド70〜73を有する。電極パッド70は第1励振用電極12と、電極パッド71は第2励振用電極14と、それぞれ電気的に接続されている。また電極パッド72は第1感知用電極16と、電極パッド73は第2感知用電極18と、それぞれ電気的に接続されている。
図3に示すように、駆動部81は配線74、75を介して電極パッド70、71に電気的に接続されている。また処理回路82は配線76〜79を介して電極パッド72、73に電気的に接続されている。したがって駆動部81は第1、第2励振用電極12、14に電気的に接続され、処理回路82は第1、第2感知用電極16、18に電気的に接続されている。
図2Aに示すように、第1、第2励振用電極12、14や第1、第2感知用電極16、18は、圧電体22を介在させた電極21、23で形成されている。あるいは、図2Bの断面図に示すように、検出素子1を覆う蓋25を設けるとともに、蓋25と質量部101Bに容量結合させた対向電極26を配置してもよい。駆動部81は、電極21、23間に交流電圧を印加して圧電体22の圧電状態を変化させる。これによって第1、第2励振用電極12、14は検出素子1を励振する。検出素子1に印加された角速度によって第1、第2感知用電極16、18の圧電体22の圧電状態が変化し、第1、第2感知用電極16、18はこれによって生じる電流信号を出力する。あるいは、検出素子1に印加された加速度によって対向電極26間に生じる容量変化を信号として用いてもよい。対向電極26を用いた構成は例えば特開2008−203070号公報に開示されている。
次に図3、図4を参照しながら、本実施の形態による角速度センサの動作を説明する。互いに直交したX軸、Y軸、Z軸において、例えば、検出素子1の第1アーム2をZ軸方向に配置して、第2アーム4をY軸方向に配置する。この場合、駆動部81から第1、第2励振用電極12、14に交流電圧を印加すると、第2アーム41A、41Bが励振するとともに、質量部101A、101Bも同調して励振する。そして質量部101A、101Bの振動が質量部102A、102Bに伝わって質量部102A、102Bも励振し、その結果、第2アーム42A、42Bも励振する。
質量部10の励振方向31はZ軸方向であって、質量部10が互いに遠ざかる方向と近づく方向に、4つの質量部10が同調して励振する。すなわち。質量部101Aと質量部101Bは互いに遠ざかる方向と近づく方向に励振し、質量部102Aと質量部102Bは互いに遠ざかる方向と近づく方向に励振する。また質量部101Aと質量部102Aは同じ方向に同調して励振する。
この状態で、例えば、X軸回りに角速度が生じた場合は、質量部10の励振と同調して、質量部10に対して励振方向と直交したY軸方向にコリオリ力32が発生し、第2アーム41B、42BにY軸方向への歪が発生する。この歪に応じた電流信号が第1、第2感知用電極16、18に生じる。処理回路82はこの出力に基づきX軸回りの角速度を検出する。
また、Y軸回りに角速度が生じた場合は、質量部10の励振と同調して、質量部10に対して励振方向と直交したX軸方向にコリオリ力が発生し、第2アーム41B、42BにX軸方向への歪が発生する。この歪に応じた電流信号が第1、第2感知用電極16、18に生じる。処理回路82はこの出力に基づきY軸回りの角速度を検出する。
なおX軸回りに角速度が生じた場合とY軸回りに角速度が生じた場合とでは、第1、第2感知用電極16、18の各電極に生じる信号の符号(正負)の組み合わせが異なる。そのため処理回路82はX軸回りに角速度が生じたのか、Y軸回りに角速度が生じたのかを区別することができる。なお用途によってはX軸回り、Y軸回りのいずれか一方の角速度のみを検出してもよい。
一般的に、角速度を検出する際、励振用の周波数と感知用の周波数との周波数差(離調周波数)を小さくする方が、第1、第2感知用電極16、18の感度を向上できるので有利である。このようにすれば、結果として角速度の検出感度も向上する。
また、励振用の周波数と感知用の周波数は、それぞれ、検出素子1の共振周波数になるように設計される。すなわち、図4では、励振用の周波数は、励振方向のZ軸方向における共振周波数(Fzd)とし、感知用の周波数は、歪の発生方向であるX軸方向の共振周波数(Fsx)およびY軸方向の共振周波数(Fsy)となるように設計される。
このとき、例えば、検出素子1のX軸、Y軸、Z軸方向の共振アドミタンス特性波は図5に示すようになる。そしてFzd、Fsx、Fsyの関係はFzd>Fsx>Fsyとなる。
第1、第2感知用電極16、18の感度出力値(ゲイン)は、歪の発生方向がX軸方向である場合はGsxであり、歪の発生方向がY軸方向である場合はGsyである。ここで、GsxとGsyは、共振周波数(Fzd)におけるX軸、Y方向の共振アドミタンス特性波のゲインを意味する。X軸、Y軸方向の共振アドミタンス特性波は、図5に示すように、共振周波数であるFsx、Fsyを中心にして、反共振周波数側(高周波数域側)は急峻な波形であり、反共振周波数と遠ざかる側(低周波数域側)は緩やかな波形となる。すなわち、Fzd>Fsx>Fsyであれば、FzdとFsxおよびFsyとの離調周波数を小さくしても、急峻な波形なので、充分なゲインが得られにくい。また、FsxおよびFsyが低周波数域側にずれた場合は、著しくゲインが低下する。
したがって、本実施の形態では、図6に示すように、Fzd<Fsy<Fsxとしている。Fzd<Fsy<Fsxであれば、X軸、Y軸方向の共振アドミタンス特性波が緩やかになるので、FzdとFsxおよびFzdとFsyとの離調周波数を小さくしても、充分なゲインが得られやすい。また、FsxおよびFsyが低周波数側にずれた場合でも、ゲインを著しく低下させることもない。なお、FzdとFsxとFsyの関係は、Fzd<Fsx<Fsyでもよく、FsxとFsyがFzdよりも大きければよい。
Fsx、Fsy、Fzdの大きさの関係は、例えば第2アーム4の断面の縦横比を変えることによって設定することができる。図1に示すように第2アーム4は、X軸方向の厚み4Bと、支持部6からY軸方向に伸びる部分の幅4Cと、実装用アーム8に近づくように折れ曲がり、Z軸方向に伸びる部分の幅4Aとを有する。ここで幅4A、厚み4B、幅4Cの値をそれぞれa、b、cとする。Fsxは、b/cを大きくすれば大きくなり、b/cを小さくすれば小さくなる。Fsyは、a/cを大きくすれば大きくなり、a/cを小さくすれば小さくなる。またFzdは、c/aを大きくし、かつ、c/bを大きくすれば大きくなり、c/aを小さくし、かつ、c/bを小さくすれば小さくなる。したがってこれらの関係に基づきa、b、cを適切に設定すればFsxとFsyをFzdよりも大きくすることができる。
共振周波数が以上のような関係になるよう検出素子1を設計すれば、検出感度の感度効率が向上し、かつ、検出感度のバラツキが抑制され、感度特性が向上する。
特に、FsxとFsyを同等にすれば、GsxとGsyの感度出力値を信号処理や増幅処理する際も、処理回路の共有化や共通化が可能となる。これによって、別々の処理回路を設ける必要がないので、処理回路における誤差(バラツキ)の影響を受けることがなく、検出誤差(検出バラツキ)を抑制して検出感度を向上できる。
このようにX軸回りの角速度、Y軸回りの角速度を算出する処理回路を共通化する場合のセンサにおける処理について図7を用いて説明する。図7はこの角速度センサの処理回路における角速度の算出処理の一例を説明するための図である。
図3に示すように、処理回路82は第1感知用電極16及び第2感知用電極18から出力される感知信号を配線76〜79を介して受け取り、角速度を算出処理する。その際、FsxとFsyとを同等の周波数にすれば、処理回路82はX軸周りの角速度とY軸周りの角速度とを時分割で算出することができる。
図7に示すように、処理回路82は、時刻t0と時刻t1との間及び時刻t2と時刻t3の時間にX軸回りの角速度を算出する処理を行う。そして時刻t1と時刻t2との間及び時刻t3と時刻t4との間にY軸回りの角速度を算出する処理を行う。すなわち、処理回路82は、第1の時間において、第1方向への質量部102A、102Bの変位を検出する。そして第1の時間とは異なる第2の時間において、第2方向への質量部102A、102Bの変位を検出する。このように処理を時分割することにより、単一の処理回路82でX軸回りの角速度を算出する処理と、Y軸回りの角速度を算出する処理を共に実現することができる。
具体的には、t0−t1間及びt2−t3間には、配線77から入力される信号(S77)と配線79から入力される信号(S79)との和(和A)を算出する。一方、配線76から入力される信号(S76)と配線78から入力される信号(S78)との和(和B)を算出する。そして、和Aと和Bとの差を算出することでX軸回りの角速度Yxを算出することができる。すなわち、X軸回りの角速度Yxは(式1)により算出することができる。
Yx=(S77+S79)−(S76+S78) (式1)
また、t1−t2間及びt3−t4間には、配線76から入力される信号(S76)と配線77から入力される信号(S77)との和(和C)を算出する。一方、配線78から入力される信号(S78)と配線79から入力される信号(S79)との和(和D)を算出する。そして、和Cと和Dとの差を算出することでY軸回りの角速度Yyを算出することができる。すなわち、Y軸回りの角速度Yyは(式2)により算出することができる。
Yy=(S76+S77)−(S78+S79) (式2)
ここで、X軸回りの角速度を算出するための処理回路の状態から、Y軸回りの角速度を算出するための処理回路の状態へ遷移するためには、切替時間Tが必要となる。FsxとFsyとが著しく異なる場合、切替時間Tの間に処理回路82のゲインやフィルタの定数などを切り替える必要がある。また、処理回路82を、(式1)を算出する構成と(式2)を算出する構成とに切り替える必要がある。そのため、切替時間Tをある程度長く設定する必要がある。
しかしながら、検出素子1においてFsxとFsyとを同等にすれば、処理回路82のゲインやフィルタの定数などを切り替える必要がない。したがって、処理回路82における切替時間Tを短縮することができる。
なお、処理回路82はロジックIC等で実現されるのが一般的であるが、これに限るものではない。すなわち、デジタルシグナルプロセッサやマイコン等を用いてソフトウェアで処理回路82の全ての機能又は一部の機能を実現してもよい。
なお、FsxとFsyとは全く同一ではなくても、FsxとFsyとの差が所定の範囲内であれば、処理回路の共有化や共通化が可能となる。例えば、処理回路のゲインばらつきの許容値は一般的に5%であるため、感度出力値(ゲイン)の差が5%以内となる範囲の周波数差とすればよい。これにより、X軸回りの角速度を算出する処理回路と、Y軸回りの角速度を算出する処理回路との共有化や共通化を行ったとしても、FsxとFsyとの差の影響を小さくすることができる。また、FsxとFsyとの差は、製造ばらつきに起因する共振周波数のばらつきの範囲内(例えば、1%以内)とすればよい。これにより、X軸回りの角速度を算出する処理回路と、Y軸回りの角速度を算出する処理回路とを共有化したり共通化したりしても、X軸周りの角速度の算出誤差とY軸周りの角速度の算出誤差との差を製造ばらつきの範囲内に抑えることができる。
以上のように、本実施の形態によれば、互いに直交するX軸、Y軸、Z軸において、検出素子1の質量部10の励振方向をZ軸方向とする。この時、質量部10のY軸方向への変位に基づいてX軸回りの慣性力を検出し、質量部10のX軸方向への変位に基づいてY軸回りの慣性力を検出する。このように、1つの検出素子1で複数の検出軸の慣性力を検出することができる。よって、複数の検出軸の慣性力を検出する場合でも、複数の検出素子1や複数の慣性力センサを実装する必要がないので、実装面積が小さくなり、慣性力センサを搭載する各種電子機器を小型化することができる。
また、検出素子1では、X軸方向およびY軸方向の共振周波数がZ軸方向の共振周波数よりも大きく設定されている。そのため、X軸回りやY軸回りの慣性力を検出する際に、検出感度の効率を向上できる。また、検出感度のバラツキを抑制できる。よって、感度特性を向上することができる。
なお、検出素子1の形状としては、本実施の形態以外の形状でも、同様の効果を得ることができる。例えば、図8に示すように検出素子は、第1アーム2と第2アーム4とを直交方向に連結して形成した3つ以上の直交アームを有する構造で構成されていてもよい。それらの直交アームでは、第1アーム2が互いに連結されるとともに、第2アーム4の先端に質量部10が形成されている。この形状に関連する先行技術文献情報としては、特開2004−245605号公報や特開2005−221361号公報がある。これらに開示された検出素子1は直交アームを3つ以上用いて形成される。
あるいは、図9に示すように、検出素子は、第1アーム2と第2アーム4とを交差するように連結して形成した交差アームを有する構造で構成されていてもよい。そして、この交差アームの中央に質量部10が形成されている。この形状に関連する先行技術文献情報としては、特開平6−174739号公報や特開平7−190782号公報がある。この構造では第1アーム2および第2アーム4が梁として形成される。
あるいは、図10に示すように、検出素子は、平板状の基盤91と、基盤91の中央に質量部10を形成した構造を有していてもよい。この形状に関連する先行技術文献情報としては、特開平8−145683号公報や特開平10−185582号公報がある。この構造では第1アーム2および第2アーム4の代わりにダイヤフラム(平板状の基盤91)が形成されている。
いずれの場合も、X軸方向およびY軸方向の共振周波数がZ軸方向の共振周波数よりも大きく設定されていれば、図1に示す検出素子1と同様の効果を奏する。
なお、以上の説明では質量部10の励振方向をZ軸方向とした場合を説明したが検出素子の配置はこれに限定されない。例えば質量部10の励振方向をY軸方向とする場合、処理回路82はZ軸まわり、X軸まわりの角速度を算出する。すなわち、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向は互いに直交する第1方向、第2方向、第3方向である。また本実施の形態では角速度を検出しているが、検出素子を用いて加速度を検出してもよい。
また以上の説明では慣性力センサとして角速度センサを中心に説明したが、加速度センサ等にも適用可能である。
本発明に係る慣性力センサは、複数の検出軸の慣性力を検出でき、各種電子機器に適用できる。
1 検出素子
2,2A,2B 第1アーム
4,41A,41B,42A,42B 第2アーム
4A,4C 幅
4B 厚み
6 支持部
8,8A,8B 実装用アーム
10,101A,101B,102A,102B 質量部
12 第1励振用電極
14 第2励振用電極
16 第1感知用電極
18 第2感知用電極
21,23 電極
22 圧電体
25 蓋
26 対向電極
31 励振方向
32 コリオリ力
70,71,72,73 電極パッド
74,75,76,77,78,79 配線
81 駆動部
82 処理回路
91 基盤

Claims (12)

  1. 質量部と、
    互いに直交する第1方向、第2方向、第3方向のうち、前記第3方向に前記質量部を励振させる励振部と、
    前記第1方向、第2方向の少なくともいずれかの方向への前記質量部の変位に応じた信号を出力する検出部と、を備え、
    前記第1方向および前記第2方向の共振周波数を前記第3方向の共振周波数よりも大きくした、
    慣性力センサ用検出素子。
  2. 前記第1方向の共振周波数と前記第2方向の共振周波数を同等にした、
    請求項1記載の慣性力センサ用検出素子。
  3. 前記励振部と前記検出部は、第1アームと第2アームとを直交方向に連結して形成した複数の直交アームを有し、複数の前記直交アームの前記第1アームが互いに連結されるとともに、前記第2アームの先端に前記質量部が形成された、
    請求項1記載の慣性力センサ用検出素子。
  4. 前記励振部と前記検出部は、第1アームと第2アームとを交差するように連結して形成した交差アームを有し、前記交差アームの中央に前記質量部が形成された、
    請求項1記載の慣性力センサ用検出素子。
  5. 前記励振部と前記検出部は、平板状の基盤を有し、前記基盤の中央に前記質量部が形成された、
    請求項1記載の慣性力センサ用検出素子。
  6. 検出素子と駆動部と処理回路とを備え、
    前記検出素子は、
    質量部と、
    互いに直交する第1方向、第2方向、第3方向のうち、前記第3方向に前記質量部を励振させる励振部と、
    前記第1方向、第2方向のいずれかの方向への前記質量部の変位に応じた信号を出力する検出部と、を有し、
    前記第1方向および前記第2方向の共振周波数を前記第3方向の共振周波数よりも大きくされ、
    前記駆動部は前記励振部に接続され、前記励振部に駆動信号を入力し、
    前記処理回路は前記検出部に接続され、前記検出部から出力される信号に基づき前記第1方向、第2方向のいずれかの方向への前記質量部の変位を検出する、
    慣性力センサ。
  7. 前記第1方向の共振周波数と前記第2方向の共振周波数を同等にした、
    請求項6記載の慣性力センサ。
  8. 前記励振部と前記検出部は、第1アームと第2アームとを直交方向に連結して形成した複数の直交アームを有し、複数の前記直交アームの前記第1アームが互いに連結されるとともに、前記第2アームの先端に前記質量部が形成された、
    請求項6記載の慣性力センサ。
  9. 前記励振部と前記検出部は、第1アームと第2アームとを交差するように連結して形成した交差アームを有し、前記交差アームの中央に前記質量部が形成された、
    請求項6記載の慣性力センサ。
  10. 前記励振部と前記検出部は、平板状の基盤を有し、前記基盤の中央に前記質量部が形成された、
    請求項6記載の慣性力センサ。
  11. 前記処理回路は、前記質量部の第2方向への変位に基づいて第1方向回りの慣性力を検出するとともに、前記質量部の第1方向への変位に基づいて第2方向回りの慣性力を検出する、
    請求項6記載の慣性力センサ。
  12. 前記第1方向の共振周波数と前記第2方向の共振周波数を同等にするとともに、
    前記処理回路は、第1の時間において、前記第1方向への前記質量部の変位を検出し、前記第1の時間とは異なる第2の時間において、前記第2方向への前記質量部の変位を検出する、
    請求項6記載の慣性力センサ。
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