JPH09287956A - 角速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ２軸の角速度の検出ができる小型軽量で
検出感度の高い角速度センサを得る。 【解決手段】 板状の振動体、および該振動体の片面に
圧電素子を貼付し、該圧電素子には少なくとも励振用電
極と検出用電極を形成し、重錘体を設けた角速度センサ
において、該振動体をトリミングすることで駆動モード
の共振周波数と検出モードの共振周波数を所定の周波数
差に合わせ込む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は圧電振動型角速度センサ
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】姿勢制御、位置制御が可能な角速度セン
サは、ビデオカメラの手ぶれ防止や、自動車のナビゲー
ションに使うことを目的に小型化、高性能化の開発が行
われている。角速度センサにもいろいろあるが、サイズ
やコストの面では圧電振動型の角速度センサが有利であ
り、音叉型、音片型（四角柱）、円柱型、三角柱型等が
製品化されている。

【０００３】図１は音片型圧電振動角速度センサを説明
するための構造図である。圧電振動型角速度センサの原
理は、振動している振動子の中心軸（Ｚ軸）回りに、回
転角速度（ω0）が加わると、もとの振動方向（Ｘ軸）
に対し、直角方向（Ｙ軸）に回転角速度に比例したコリ
オリ力（Ｆc）が生じる力学現象を利用したもので、駆
動用圧電セラミックスを用いてＸ軸に振動を与え、Ｙ軸
に設けた検出用圧電セラミックスによってコリオリ力を
電圧として検出するものである。コリオリ力は一般に次
式により求められる。 Ｆc＝２ｍ×ｖ×ω0 ｍは質
量、ｖは速度 、ω0は角速度である。

【０００４】共振周波数が同じであればＸ軸の振幅が大
きいほどＹ軸変位は大きく、検出電圧（感度）を高める
にはＸ軸の振幅が大きく、Ｙ軸の検出効率を高めた共振
型振動角速度センサが有利である。音片型振動角速度セ
ンサは共振型であり、感度は高くできるが、駆動辺と検
出辺の振動姿勢を崩さず、共振周波数を正確に調整する
ことが難しく、しかも駆動辺と検出辺の振動特性の不一
致やズレによる顕著な特性変化や高機械的品質係数（Ｑ
ｍ）がゆえに応答速度が遅いなど問題も多い。

【０００５】一つの角速度センサーで２軸回りの角速度
を検出できるものが望まれていたが、この要望に応える
ものとして、振動体の表面に圧電素子を貼付して角速度
により圧電素子が変形することで変化する電荷の量を測
定して角速度を検出する角速度センサが開発された。図
２はその角速度センサを斜め上から見た分解斜視図であ
る。図３は同じ角速度センサを斜め下から見た分解斜視
図である。振動体１の上面には、下面に電極６を設け上
面に４つの励振電極を兼ねる検出電極５を設けた圧電素
子２が貼付されている。振動体１の下面には、上面に電
極７を設け下面に帰還電極８を設けた圧電素子３が貼付
されている。帰還電極８の下面には重錘体９が貼付され
センサ部が構成されている。センサ部は円筒状支持部材
１０によりベンディング振動のノード部を固定されてい
る。

【０００６】電極６と振動体１は電気的に接続されて接
着されているので、振動体１と励振電極を兼ねる検出電
極５に交流をかけると圧電素子２が振動し振動体１も一
緒に振動する。４つの励振用電極を兼ねる検出電極５は
円筒状支持部材１０の内径より内側に設けてある。円筒
状支持部材１０は図の如く２ヵ所をＬ字型をしたワイヤ
ー１１で固定し、ワイヤー１１の他端を基板に固定する
ものである。

【０００７】角速度センサに角速度が作用するとコリオ
リ力により重錘体９が移動することでセンサ部が変形し
検出電極に電荷が発生する。４つの検出電極５に発生す
る電荷の量により角速度の方向と強さが検出できる。

【０００８】振動体１を含む平面の面上中心に原点を定
め、同平面上にＸ軸、同平面上でＸ軸に直交するＹ軸、
Ｘ軸、Ｙ軸に直交するＺ軸を設定する。振動モードは何
種類も存在するが、角速度センサとして用いる振動モー
ドは、図４、図５に示す如く重錘体９が縦方向に振れる
Ｚ軸方向の振動モードと、図６、図７に示す如く重錘体
９が横方向に振れるＸ、Ｙ軸方向（横方向）の振動モー
ドを用いる。

【０００９】図４はＺ軸方向の振動モードを示した断面
図でＺ軸プラス方向に振れている状態を示している。図
５はＺ軸方向の振動モードを示した断面図でＺ軸マイナ
ス方向に振れている状態を示している。Ｚ軸方向の振動
モードにおける共振周波数をＺ軸方向の共振周波数と言
う。Ｚ軸方向の振動モードは駆動（励振）モードとして
用いられる。

【００１０】図６はＸ軸方向の振動モードを示した断面
図でＸ軸プラス方向に振れている状態を示している。図
７はＸ軸方向の振動モードを示した断面図でＸ軸マイナ
ス方向に振れている状態を示している。Ｙ軸に関しても
同様であるのでＸ軸方向のみを図示した。Ｘ、Ｙ軸方向
の振動モードにおける共振周波数をＸ、Ｙ軸方向の共振
周波数と言う。Ｘ、Ｙ軸方向の振動モードは検出モード
として用いられる。一般的に、共振型角速度センサでは
駆動モードと検出モードの共振周波数が近いと検出感度
が高くなる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】検出感度を向上させる
ためには、前述したが駆動モードの共振周波数と検出モ
ードの共振周波数を近くすると良い。ところが部品単体
の持つ加工誤差、組立による組立誤差があり、駆動モー
ドの共振周波数と検出モードの共振周波数がいつも近く
なるとは限らない。加工誤差、組立誤差が大きい場合に
は、駆動モードの共振周波数と検出モードの共振周波数
が離れてしまう。さらに検出モードにおいてもＸ、Ｙ平
面上に無数に存在する任意軸方向に重錘体が振れる。２
軸回りの角速度を検出する角速度センサでは、Ｘ軸方
向、Ｙ軸方向の振動が重要であるが、Ｘ軸方向の共振周
波数とＹ軸方向の共振周波数も一致するとは限らず、Ｘ
軸方向とＹ軸方向で感度差が生じてしまう。本発明は振
動体をトリミング（本発明では、質量を除去する意味と
して用いている。）することで駆動モードの共振周波数
と検出モードの共振周波数を近くすることにより課題を
解決しようとするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は従来の角速度セ
ンサの課題を解決するためのものであり、小型、軽量で
感度の高い角速度センサを提供する。

【００１３】板状の振動体、および該振動体の片面に圧
電素子を貼付し、該圧電素子には少なくとも励振用電極
と検出用電極を形成し、重錘体を設けた角速度センサに
おいて、該振動体を含む平面にＸ軸、同平面上でＸ軸に
直交するＹ軸、Ｘ軸、Ｙ軸に直交するＺ軸を設定したと
き、Ｚ軸方向の共振周波数と、Ｘ、Ｙ軸方向の共振周波
数とで異なる場合、該振動体をトリミングすることでＺ
軸方向の共振周波数と、Ｘ、Ｙ軸方向の共振周波数とを
所定の周波数差に調整する。

【００１４】振動体の外周部分をトリミングすると、Ｚ
軸方向の共振周波数とＸ、Ｙ軸方向の共振周波数はとも
に上がるが、特にＺ軸方向の共振周波数に関しては変化
が大きい。従って、Ｚ軸方向の共振周波数が、Ｘ、Ｙ軸
方向の共振周波数より小さいときに効果的に両方の共振
周波数を近づけることができる。さらに、振動体の外周
部分において、ＸＹ平面上に設定された回転角速度検出
軸との交点およびまたはその近傍をトリミングすること
で、Ｘ軸方向の共振周波数とＹ軸方向の共振周波数を一
致させることができる。

【００１５】振動体の平面部分をトリミングすると、ベ
ンディング振動のノード部の内側をトリミングするとＺ
軸方向の共振周波数とＸ、Ｙ軸方向の共振周波数はとも
に下がるが、特にＺ軸方向の共振周波数に関しては変化
が大きい。従って、Ｚ軸方向の共振周波数が、Ｘ、Ｙ軸
方向の共振周波数より大きいときに効果的に両方の共振
周波数を近づけることができる。さらに、ＸＹ平面上に
設定された回転角速度検出軸を含み、かつ、軸対称の位
置をトリミングすることで、Ｘ軸方向の共振周波数とＹ
軸方向の共振周波数を一致させることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基き
詳細に説明する。図８は本発明を適用した角速度センサ
の第一実施例で上面図である。図９は本発明を適用した
角速度センサの第一実施例で正面断面図である。図８、
図９の如くＸＹＺ三次元直交座標系を設定する。ＸＹ平
面上に円板状の振動体２１の主面を設定し、原点２９に
振動体２１の面上中心を一致させて配置する。振動体２
１の上面には、下面に電極２５を設け、上面に４つの励
振電極を兼ねる検出電極２３と十字型をした帰還電極２
４を設けた円板状の圧電素子２２がその面上中心とＺ軸
が一致するように貼付されている。また、ここで４つの
励振電極を兼ねる検出電極２３の２軸回りの回転角速度
の検出軸をそれぞれＸ軸、Ｙ軸に設定する。Ｘ軸、Ｙ軸
での検出感度に差がでないように検出電極２３はＸ、Ｙ
軸に対して軸対称、かつ原点２９に対して点対称に形成
されている。そして、４つの励振電極を兼ねる検出電極
２３を個々にみると、励振電極を兼ねる検出電極２３ａ
はＸ軸上の正の位置に、励振電極を兼ねる検出電極２３
ｂはＹ軸上の正の位置に、励振電極を兼ねる検出電極２
３ｃはＸ軸上の負の位置に、励振電極を兼ねる検出電極
２３ｄはＹ軸上の負の位置にそれぞれ配置されている。
帰還電極２４もＸ、Ｙ軸に対してほぼ軸対称、かつ原点
２９に対して点対称に形成されている。振動体２１の下
面には重錘体２７が、重錘体２７の中心軸がＺ軸と一致
するように固定されセンサ部が構成されている。重錘体
２７は２つの円柱部２７ａ（第一円柱部）、２７ｂ（第
二円柱部）の中心軸が一致するように構成されている。
円筒状支持部材２８は、前記センサ部のベンディング振
動のノード部に接着固定されている。

【００１７】振動体２１は恒弾性金属であるエリンバ材
を用い、圧電素子２２にはＰＺＴを、また、円筒状支持
部材２８と重錘体２７もエリンバ材を用いた。電極はＡ
ｇ、Ｃｒを用いて、蒸着にて形成した。接着剤はエポキ
シ系のものを用いた。

【００１８】電極２５と振動体２１は電気的に接続され
て接着されているので、振動体２１と４つの励振電極を
兼ねる検出電極２３に交流をかけると圧電素子２２が振
動し、振動体２１も一緒に振動する。４つの励振電極を
兼ねる検出電極２３は円筒状支持部材２８の内径より内
側に設けてある。

【００１９】角速度センサに角速度が作用するとコリオ
リ力により重錘体２７が移動することでセンサ部が変形
し４つの励振電極を兼ねる検出電極２３に電荷が発生す
る。４つの励振電極を兼ねる検出電極２３に発生する電
荷の量により角速度の方向と強さが検出できる。なお、
従来例では圧電セラミックスを２枚用いて構成されてい
るが、本実施例のように、圧電セラミックス上に形成さ
れる電極の配置を工夫することで、圧電セラミックス１
枚で角速度センサを構成できる。圧電セラミックスを１
枚にすると、振動体の圧電セラミックスが貼付されてい
ない面のトリミングが可能となる。それについては、第
二実施例で詳述する。

【００２０】第一実施例では、市販されているレーザマ
ーカを使用し、振動体２１の外周部分とＸ軸との交点お
よびその近傍２１ａ、２１ｃ（以下、Ｘ軸トリミング部
という。）と、振動体２１の外周部分とＹ軸との交点お
よびその近傍２１ｂ、２１ｄ（以下、Ｙ軸トリミング部
という。）をトリミングした。トリミング量は、Ｙ軸ト
リミング部にＸ軸トリミング部の約２倍の量のトリミン
グを施す実験を行った。

【００２１】図１０は第一実施例におけるトリミングの
実験結果を示すグラフである。グラフの縦軸はトリミン
グ後の共振周波数からトリミング前の共振周波数を引い
た差ΔＦを表している。グラフの横軸は検出電極を表し
ている。すなわちＸ１と表記されている部分は、励振電
極を兼ねる検出電極２３ａを用いて励振させたとき、励
振電極を兼ねる検出電極２３ａより検出される検出電圧
から求めた共振周波数であることを示している。以下、
Ｘ２は検出電極２３ｃ、Ｙ１は検出電極２３ｂ、Ｙ２は
検出電極２３ｄが対応する。Ｚと表記されている部分
は、４つの励振電極を兼ねる検出電極２３ａ〜２３ｄ全
部を同時に励振させたとき、４つの励振電極を兼ねる検
出電極２３ａ〜２３ｄ全部より検出される検出電圧から
求めた共振周波数であることを示している。

【００２２】トリミング後はＺ軸方向の共振周波数、Ｘ
軸方向の共振周波数、Ｙ軸方向の共振周波数ともに共振
周波数が上がっている。その共振周波数の変化の比較を
すると、Ｙ軸方向の共振周波数はＸ軸方向の共振周波数
より大きく変化し、またＺ軸方向の共振周波数は、Ｘ軸
方向の共振周波数、Ｙ軸方向の共振周波数よりも大きく
変化している。

【００２３】さらに本発明が、特にＸ軸方向の共振周波
数とＹ軸方向の共振周波数を一致させるのに好適である
例を示す。図１１は第一実施例において有限要素法解析
を行って求められたトリミング結果を示したグラフであ
る。解析モデルに用いたディメンジョンと材質は次のよ
うに設定した。振動体は直径１０．２ｍｍ、厚さ０．２
３ｍｍのエリンバ材である。圧電素子は、直径６ｍｍ、
厚さ０．２ｍｍの圧電セラミックスである。重錘体は振
動体に接合する第一円柱部が直径１ｍｍ、高さ０．７ｍ
ｍ、第二円柱部が直径２．７ｍｍ、高さ１．６５ｍｍの
エリンバ材である。

【００２４】トリミングはＸ軸トリミング部２１ａ、２
１ｃのみをお互いにＸ軸、Ｙ軸に対称になるように同量
行った。すなわち原点２９を通り、Ｘ軸に対して±３度
の中に含まれる円周部を中心に向かってトリミングした
ものである。

【００２５】図１１のグラフの横軸は中心に向かってト
リミングした深さ（トリミング量）を表している。縦軸
は共振周波数の変化を表している。グラフ上で三角形の
ポイントが打たれているものは、Ｘ軸方向の共振周波数
の変化を表したもので、円形のポイントが打たれている
ものはＹ軸方向の共振周波数の変化を表したものであ
る。グラフよりＸ軸方向の共振周波数の変化が大きいこ
とがわかる。従って、この特徴を利用して共振周波数を
一致させるとよい。たとえばＸ軸方向の共振周波数が低
いとき、Ｘ軸トリミング部をトリミングすればよい。

【００２６】これよりＺ軸方向の共振周波数がＸ、Ｙ軸
方向の共振周波数より小さい場合、あるいはＸ軸方向の
共振周波数、Ｙ軸方向の共振周波数に差がある場合は、
Ｘ軸トリミング部とＹ軸方向トリミング部におけるトリ
ミング量を適切に設定することで、Ｚ軸方向の共振周波
数とＸ、Ｙ軸方向の共振周波数を所定の共振周波数に合
わせ込むことができる。またＸ軸方向の共振周波数とＹ
軸方向の共振周波数を一致させることができる。

【００２７】振動体２１の外周部分とＸ軸、あるいはＹ
軸との交点およびその近傍をトリミングしたものについ
て説明してきたが、これに限られるものではない。たと
えば、Ｘ１、Ｘ２、Ｙ１、Ｙ２同時に変化させる場合の
トリミング位置は、Ｘ軸、あるいはＹ軸との交点および
その近傍以外の位置でもよい。また、Ｘ軸トリミング部
２１ａ、２１ｃとのトリミング量を変えることでＸ１、
Ｘ２の共振周波数の調整も可能である。Ｙ軸トリミング
部に関しても同様である。

【００２８】図１２は本発明を適用した角速度センサの
第二実施例で正面断面図である。図１３は本発明を適用
した角速度センサの第二実施例で下面図である。部材の
構成は、本発明を適用した角速度センサの第一実施例と
同じであるので図示および説明は省略する。振動体２１
のトリミング位置が異なるので、それに関する説明をす
る。振動体２１は、下面上のノード部の内側で原点２９
を中心とした２つの同心円と、Ｘ軸、あるいは、Ｙ軸と
平行な２本の直線で囲まれる４箇所をトリミングしたも
のである。以下、第二実施例においては、トリミング部
２１ｅ〜２１ｈのうち２１ｅ、２１ｇをＸ軸トリミング
部、２１ｆ、２１ｈをＹ軸トリミング部という。Ｘ軸ト
リミング部２１ｅ、２１ｇおよびＹ軸トリミング部２１
ｆ、２１ｈは、回転角速度検出軸を含み、かつ、軸対称
の形状となっている。

【００２９】図１４は第二実施例におけるトリミングの
実験結果を示すグラフである。第二実施例では、Ｙ軸ト
リミング部２１ｆ、２１ｈのみをトリミングする実験を
行った。図１４で用いられている記号は、図１０で説明
したものと同じである。トリミング後はＺ軸方向の共振
周波数、Ｘ軸方向の共振周波数、Ｙ軸方向の共振周波数
ともに共振周波数が下がっている。その共振周波数の変
化の比較をすると、Ｙ軸方向の共振周波数はＸ軸方向の
共振周波数より大きく変化し、またＺ軸方向の共振周波
数は、Ｘ軸方向の共振周波数、Ｙ軸方向の共振周波数よ
りも大きく変化している。

【００３０】第一実施例がＸ軸方向の共振周波数とＹ軸
方向の共振周波数を一致させるのに好適であることを前
述したが、第二実施例でも同じく好適である例を示す。
図１５は第二実施例において有限要素法解析を行って求
められたトリミング結果を示したグラフである。解析モ
デルに用いたディメンジョンと材質は次のように設定し
た。振動体は直径１０．２ｍｍ、厚さ０．２３ｍｍのエ
リンバ材である。圧電素子は、直径６ｍｍ、厚さ０．２
ｍｍの圧電セラミックスである。重錘体は振動体に接合
する第一円柱部が直径１ｍｍ、高さ０．７ｍｍ、第二円
柱部が直径２．７ｍｍ、高さ１．６５ｍｍのエリンバ材
である。

【００３１】トリミングはＸ軸トリミング部２１ｅ、２
１ｇのみをお互いにＸ軸、Ｙ軸に対称になるように同量
行った。すなわち原点２９を通り、Ｘ軸に対して±２
２．５度をなす２本の直線と、原点２９を中心とする直
径４ｍｍ、３ｍｍの円に囲まれた部分を厚さ方向（Ｚ軸
方向）にトリミングしたものである。

【００３２】図１５のグラフの横軸は厚さ方向に向かっ
てトリミングした深さ（トリミング量）を表している。
縦軸は共振周波数の変化を表している。グラフ上で三角
形のポイントが打たれているものは、Ｘ軸方向の共振周
波数の変化を表したもので、円形のポイントが打たれて
いるものはＹ軸方向の共振周波数の変化を表したもので
ある。グラフよりＸ軸方向の共振周波数の変化が大きい
ことがわかる。従って、この特徴を利用して共振周波数
を一致させるとよい。たとえばＸ軸方向の共振周波数が
高いとき、Ｘ軸トリミング部をトリミングすればよい。

【００３３】これよりＺ軸方向の共振周波数がＸ、Ｙ軸
方向の共振周波数より大きい場合、あるいはＸ軸方向の
共振周波数、Ｙ軸方向の共振周波数に差がある場合は、
Ｘ軸トリミング部とＹ軸方向トリミング部におけるトリ
ミング量を適切に設定することで、Ｚ軸方向の共振周波
数とＸ、Ｙ軸方向の共振周波数を所定の共振周波数に合
わせ込むことができる。またＸ軸方向の共振周波数とＹ
軸方向の共振周波数を一致させることができる。

【００３４】振動体２１の原点２９を中心とした２つの
同心円と、Ｘ軸、あるいは、Ｙ軸と平行な２本の直線で
囲まれる部分をトリミングしたものについて説明してき
たが、これに限られるものではない。たとえば、Ｘ１、
Ｘ２、Ｙ１、Ｙ２同時に変化させる場合のトリミング位
置は、原点２９を中心とした２つの同心円と、Ｘ軸、あ
るいは、Ｙ軸と平行な２本の直線で囲まれる部分以外の
位置でもよい。また、Ｘ軸トリミング部２１ｅ、２１ｇ
とのトリミング量を変えることでＸ１、Ｘ２の共振周波
数の調整も可能である。Ｙ軸トリミング部に関しても同
様である。

【００３５】第一実施例、第二実施例ではレーザマーカ
を用いたトリミング方法について説明してきたが、サン
ドブラスト等、レーザ以外の方法でももちろんかまわな
い。さらに、第一実施例と第二実施例とを組み合わせる
ことで、より効果的にトリミングができる。

【００３６】

【発明の効果】本発明は前記のような構成にすることで
次のような効果が生じる。 １ 駆動モードの共振周波数と検出モードの共振周波数
を近くすることができるため検出感度が向上する。 ２ 駆動モードの共振周波数と検出モードの共振周波数
を精度良く合わせ込むことができる。 ３ 検出モードの共振周波数のアンバランスが無くな
り、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の検出感度が均一になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】音片型圧電振動角速度センサを説明するための
構造図。

【図２】本発明に係る角速度センサの従来例を斜め上か
ら見た分解斜視図。

【図３】本発明に係る角速度センサの従来例を斜め下か
ら見た分解斜視図。

【図４】本発明に係る角速度センサの従来例のＺ軸方向
の振動モードを示した断面図。

【図５】本発明に係る角速度センサの従来例のＺ軸方向
の振動モードを示した断面図。

【図６】本発明に係る角速度センサの従来例のＸ、Ｙ軸
方向の振動モードを示した断面図。

【図７】本発明に係る角速度センサの従来例のＸ、Ｙ軸
方向の振動モードを示した断面図。

【図８】本発明を適用した角速度センサの第一実施例で
上面図。

【図９】本発明を適用した角速度センサの第一実施例で
正面断面図。

【図１０】本発明を適用した角速度センサの第一実施例
におけるトリミングの実験結果を示すグラフ。

【図１１】本発明を適用した角速度センサの第一実施例
における有限要素法解析により求められたトリミング結
果を示すグラフ。

【図１２】本発明を適用した角速度センサの第二実施例
で正面断面図。

【図１３】本発明を適用した角速度センサの第二実施例
で下面図。

【図１４】本発明を適用した角速度センサの第二実施例
におけるトリミングの実験結果を示すグラフ。

【図１５】本発明を適用した角速度センサの第二実施例
における有限要素法解析により求められたトリミング結
果を示すグラフ。

【符号の説明】

１ 振動体 ２ 圧電素子 ３ 圧電素子 ５ 励振電極を兼ねる検出電極 ６ 電極 ７ 電極 ８ 帰還電極 ９ 重錘体 １０ 円筒状支持部材 １１ ワイヤー ２１ 振動体 ２１ａ、２１ｃ Ｘ軸トリミング部 ２１ｂ、２１ｄ Ｙ軸トリミング部 ２１ｅ、２１ｇ Ｘ軸トリミング部 ２１ｆ、２１ｈ Ｙ軸トリミング部 ２２ 圧電素子 ２３ 励振電極を兼ねる検出電極 ２３ａ〜２３ｄ 励振電極を兼ねる検出電極 ２４ 帰還電極 ２５ 電極 ２６ ノード部 ２７ 重錘体 ２７ａ、２７ｂ 円柱部 ２８ 円筒状支持部材 ２９ 原点

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 並木 智雄 長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107番 地５ ミヨタ株式会社内 (72)発明者 畠山 稔 長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107番 地５ ミヨタ株式会社内 (72)発明者 市川 和豊 長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107番 地５ ミヨタ株式会社内 (72)発明者 半田 正人 長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107番 地５ ミヨタ株式会社内 (72)発明者 岡田 恵也 長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107番 地５ ミヨタ株式会社内 (72)発明者 岡田 和廣 埼玉県上尾市菅谷４丁目73番地

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】板状の振動体、および該振動体の片面に圧
   電素子を貼付し、該圧電素子には少なくとも励振用電極
   と検出用電極を形成し、重錘体を設けた角速度センサに
   おいて、該振動体を含む平面にＸ軸、同平面上でＸ軸に
   直交するＹ軸、Ｘ軸、Ｙ軸に直交するＺ軸を設定したと
   き、該重錘体がＺ軸方向に振動する共振周波数と、Ｘ、
   Ｙ軸方向に振動する共振周波数とで異なる場合、該振動
   体をトリミングすることで該重錘体のＺ軸方向に振動す
   る共振周波数と、Ｘ、Ｙ軸方向に振動する共振周波数と
   を所定の周波数差に調整することを特徴とする角速度セ
   ンサ。
2. 【請求項２】振動体の外周部分をトリミングすることを
   特徴とする請求項１記載の角速度センサ。
3. 【請求項３】振動体の外周部分と、ＸＹ平面上に設定さ
   れた回転角速度検出軸との交点およびまたはその近傍を
   トリミングすることを特徴とする請求項２記載の角速度
   センサ。
4. 【請求項４】振動体の平面部分をトリミングすることを
   特徴とする請求項１記載の角速度センサ。
5. 【請求項５】振動体の平面部分で、ＸＹ平面上に設定さ
   れた回転角速度検出軸のうち、少なくともひとつの軸を
   含み、かつ、該回転角速度検出軸に対して軸対称である
   部分をトリミングすることを特徴とする請求項４記載の
   角速度センサ。